JP2017007043A - ガラス板及びその製造方法 - Google Patents

ガラス板及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2017007043A
JP2017007043A JP2015125616A JP2015125616A JP2017007043A JP 2017007043 A JP2017007043 A JP 2017007043A JP 2015125616 A JP2015125616 A JP 2015125616A JP 2015125616 A JP2015125616 A JP 2015125616A JP 2017007043 A JP2017007043 A JP 2017007043A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
corner
grindstone
glass plate
corner cut
cut surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015125616A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6525395B2 (ja
Inventor
浩一 下津
Koichi Shimozu
浩一 下津
隼人 奥
Hayato OKU
隼人 奥
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Electric Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Glass Co Ltd filed Critical Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority to JP2015125616A priority Critical patent/JP6525395B2/ja
Publication of JP2017007043A publication Critical patent/JP2017007043A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6525395B2 publication Critical patent/JP6525395B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

【課題】ガラス板のコーナーカット面の品質を向上させる。【解決手段】ガラス板(ガラス基板2)のコーナー部2aを除去するコーナーカット工程において、砥石1によるコーナー部2aの除去が完了すると同時に、砥石1によりコーナーカット面2bを全域同時に形成する。【選択図】図1

Description

本発明は、ガラス板及びその製造方法に関し、特に、ガラス板のコーナー部を除去するコーナーカット加工に関する。
周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイなどの各種画像表示機器用のガラスパネルは、通常、大型のガラス原板から矩形状をなした複数枚のガラス基板を切り出す切断工程と、ガラス基板の各辺(詳しくは、表面及び裏面と端面とが交差する縁)に面取り加工を施す面取り工程と、ガラス基板のコーナー部(略三角形状部分)を除去するコーナーカット工程とを経て製造される。
ガラス基板のコーナーカット加工は、通常、図8に示すように、カット後の端面(コーナーカット面)の形成予定線102a’に沿って砥石101を移動させながら、略三角形状のコーナー部102bを研削により除去することで行われる(例えば、特許文献1及び2参照)。
特開2006−326785号公報 特開2008−49449号公報
上記のように、コーナーカット面の形成予定線102a’に沿って砥石を動かすと、図9に示すようにコーナー部102bを砥石で削りながらコーナーカット面102aを形成することになる。コーナー部102bは、砥石101を当てるために宙に浮いた状態(上下から支持されない状態)で支持されているため、コーナー部102bを削る際にはガラス板に振動(ばたつき)が生じやすい。従って、コーナー部102bを削りながらコーナーカット面102aを形成すると、ばたつきが生じた状態でコーナーカット面102aが形成されることになるため、コーナーカット面102aに「欠け」や「焼け」が発生しやすくなる。「欠け」や「焼け」は、砥石の粗さが細かい程生じやすいため、これらの発生を回避するためには粗い砥石を使用せざるを得ないが、この場合、ガラス基板のコーナーカット面102aにチッピングが生じやすく、品質の低下は避けられない。
このような事情に鑑み、本発明が解決すべき技術的課題は、ガラス板の品質、特にコーナーカット面の品質を向上させることにある。
前記課題を解決するためになされた本発明は、ガラス原板から矩形状のガラス板を切り出す切断工程と、前記ガラス板のコーナー部を研削により除去してコーナーカット面を形成するコーナーカット工程とを含むガラス板の製造方法であって、前記コーナーカット工程において、砥石による前記コーナー部の除去が完了すると同時に、前記砥石によりコーナーカット面の全域を同時に形成することを特徴とするものである。
このように、本発明におけるコーナーカット工程では、従来のようにコーナー部の除去とコーナーカット面の形成とを同時に並行して行うのではなく、まず、コーナー部の研削を行い、砥石によるコーナー部の除去が完了すると同時に、この砥石によりコーナーカット面を全域同時に形成するようにした。この場合、コーナー部を研削する際に振動が生じても、研削完了時まではコーナーカット面を形成しないため、振動がコーナーカット面の品質に影響することはない。そして、コーナー部が除去されたらガラス板にばたつきが生じにくくなるため、この状態でコーナーカット面を形成することでガラス板のばたつきが抑えられ、コーナーカット面の「欠け」や「焼け」が防止され、コーナーカット面の品質が向上する。
ところで、図8に示す従来例のように、コーナーカット面の形成予定線102a’に沿って砥石101を動かす場合、研削が終了した後、同じ経路で砥石101を元の位置に戻すと、砥石101と研削後のガラス板102とが干渉する恐れがある。このような不具合を回避するために、通常、砥石101を形成予定線102a’に沿って動かしてコーナーカットを行った後(矢印A参照)、砥石101をガラス板102の一辺に沿って図中下方に移動させ(矢印B参照)、さらにガラス板102の他の一辺に沿って図中右側に移動させて元の位置に戻される(矢印C参照)。このように、砥石101の移動に3工程を要するため、タクトアップが問題となっていた。
本発明では、前記コーナーカット工程において、前記砥石を前記ガラス板に対して相対移動させながら研削を行った後、前記砥石を同じ経路を後退させて初期位置に戻すことができる。このように、砥石を同じ経路上で往復動させることで、砥石の移動が2工程で済むため、図8に示す従来例と比べてタクトタイムが短縮される。
上記のガラス板の製造方法では、前記コーナーカット工程において、前記ガラス板の角から研削し始めることが好ましい。
また、上記のガラス板の製造方法では、前記コーナーカット工程において、前記砥石を、前記ガラス板の角と前記コーナーカット面の形成予定線上の一点とを結ぶ直線と平行な方向(例えば、前記ガラス板の対角線と平行な方向)に相対移動させることが好ましい。
上記の製造方法によれば、コーナーカット面の「欠け」や「焼け」が防止されるため、従来よりも細かい砥石を使用することが可能となり、例えば番手が200番以上の砥石を使用することができる。このように、細かい砥石を使用することで、コーナーカット面の品質のさらなる向上が図られる。
上記の方法で製造されたガラス板は、四隅にコーナーカット面を有し、各コーナーカット面が円弧形状を成している。
このガラス板は、例えば、隣接する二辺を延長した線の交点から前記コーナーカット面の両端までの距離(すなわち、コーナーカット加工による隣接する二辺の削り代の大きさ)が異なる構成とすることができる。具体的には、前記交点と前記コーナーカット面の長辺側の端部までの距離(すなわち、長辺の削り代)が、前記交点と前記コーナーカット面の短辺側の距離(すなわち、短辺の削り代)よりも小さいことが好ましい。ガラス板は、通常、長辺方向で撓みやすいため、上記のように長辺の削り代を小さくして長辺の長さを確保することで、長辺方向の撓みに対する剛性を高めることが好ましい。
以上のように、本発明によれば、コーナーカット面の「欠け」や「焼け」が防止され、加工品質を向上させることができる。
本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法のコーナーカット工程において、加工開始前の状態を示す平面図である。 図1の側面図である。 上記コーナーカット工程による研削開始時の状態を示す平面図である。 上記コーナーカット工程による研削途中の状態を示す平面図である。 上記コーナーカット工程による研削完了時の状態を示す平面図である。 上記コーナーカット工程において、研削完了後に砥石を初期位置に戻す様子を示す平面図である。 上記方法で製造されたガラス板の平面図及びそのコーナーカット面付近の拡大図である。 従来のコーナーカット加工方法を示す平面図である。 図8のコーナーカット加工方法による研削途中の状態を示す平面図である。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
本実施形態に係るガラス板の製造方法は、オーバーフローダウンドロー法やフロート法等によりガラス原板を製作する工程と、ガラス原板から、矩形状をなした複数枚のガラス板(ガラス基板)を切り出す切断工程と、ガラス基板の端面(詳しくは、表面及び裏面と各辺の端面とが交差する縁)を研削して面取り加工を施す面取り工程と、ガラス基板のコーナー部を研削により除去するコーナーカット工程とを経て行われる。以下、コーナーカット工程を詳しく説明する。
コーナーカット工程は、図1に示す砥石1でガラス基板2を研削することにより、ガラス基板2のコーナー部2a(散点領域)を除去する工程である。ガラス基板2は、水平に平置きされた状態で、下定盤3a及び上定盤3bにより挟持固定される(図2参照)。具体的には、ガラス基板2のうち、コーナー部2aを除く領域(製品部)、図示例ではガラス基板2の各辺からの距離が所定以内の領域(外周領域)を除く領域が、定盤3a,3bにより上下から挟持される。このとき、ガラス基板2のうち、定盤3a,3bで挟持されていない外周領域は、宙に浮いた状態で保持される。言い換えると、ガラス基板2の外周領域は、定盤3a,3bにより片持ち支持された状態となっている。
砥石1は、外周面に略円筒面状の研削面1aを有し、鉛直方向の回転軸1bを中心に回転する。砥石1の研削面1aには、無数の砥粒が保持されている。砥石1は、砥粒を金属で保持するメタルボンド型、あるいは砥粒を樹脂で保持するレジンボンド型の何れも使用可能である。砥石1の大きさ(外径)は、例えばφ3〜300mm、好ましくはφ30〜150mmとされる。砥石1の研削面1aの番手は、例えば200番以上、好ましくは400番以上、さらに好ましくは500番以上、さらに好ましくは600番以上、さらに好ましくは800番以上、さらに好ましくは1000番以上とされる。また、砥石1の研削面1aの番手は、例えば2000番以下とされる。砥石1は、ガラス基板2の端面とその上下両端の縁の研削(面取り)とを同時に行うものであってもよいし、ガラス基板2の端面のみを研削するものであってもよい。
砥石1は、ガラス基板2の延在方向(水平方向)に平行移動可能とされる。本実施形態では、砥石1が、形成予定線2b’に接近離反する直線方向に往復移動可能とされ、詳しくは、コーナーカット加工前のガラス基板2の角Pと、ガラス基板に形成されるコーナーカット面の形成予定線2b’(図1の点線参照)上の一点を結ぶ直線と平行な方向で往復移動可能とされる。図示例では、砥石1の回転軸1bがガラス基板2の対角線Dの延長線上に配され、砥石1が対角線D方向で往復移動可能とされる。
コーナーカット工程は、以下の手順で行われる。まず、図1に示す初期位置に配された砥石1を、回転させながらガラス基板2に近づく側に平行移動させる。そして、図3に示すように、砥石1をガラス基板2の角Pに当接させてこの角Pから研削し始める。その後、図4に示すように、形成予定線2b’に近接する側に向けて砥石1を移動させながら、コーナー部2aを角P側から研削する。そして、砥石1がコーナーカット面の形成予定線2b’に達したら、砥石1の平行移動を停止させる(図5参照)。これにより、研削によるコーナー部2aの除去が完了すると同時に、コーナーカット面2bが形成される。このとき、コーナーカット面2bは、砥石1により全域が同時に研削される。
このように、上記のコーナーカット工程では、砥石1で、コーナー部2aを、コーナーカット面の形成予定線2b’から離反した側(角P側)から研削し、コーナー部2aの除去が完了すると同時にコーナーカット面2bを形成する。従って、コーナー部の除去とコーナーカット面の形成とを同時に並行して行っていた従来の方法(図9参照)と比べて、コーナー部2aの除去による振動がコーナーカット面2bの形成に影響を与えにくいため、コーナーカット面2bの加工品質の向上が図られる。
その後、図6に示すように、砥石1を対角線D方向に沿ってガラス基板2から離反する側に後退させ、初期位置に戻す。このように、砥石1を同一経路上で往復動させることで、砥石1の移動が2工程で済むため、砥石の移動に3工程を要していた従来の方法(図8参照)と比べて工程数が削減され、タクトタイムの短縮が図られる。
その後、他のコーナー部に対しても、上記と同様にコーナーカット加工を施す。これにより、図7に示すように、ガラス基板2の四隅にコーナーカット面2bが形成される。各コーナーカット面2bは、平面視で、ガラス基板2の中央側へ向けて凸となる円弧形状を成している。また、各コーナーカット面2bは、それぞれ砥石1で全域同時に研削された研削面であり、砥石1の研削面1a(外周面)と同一の円弧形状を成している。尚、上記のようにガラス基板2の四隅の一箇所ずつに順にコーナーカット加工を施す他、ガラス基板2の複数の角に同時にコーナーカット加工を施してもよく、例えばガラス基板2の四隅に同時にコーナーカット加工を施してもよい。
上記のコーナーカット工程は、面取り工程の前、面取り工程の後、あるいは面取り工程と同時の何れのタイミングで行ってもよい。あるいは、ガラス基板2の一辺の面取り工程と、その一端側のコーナーカット工程を行い、その後、ガラス基板2を90°ずつ回転させながら、他の辺の面取り工程及びその一端側のコーナーカット工程を行うようにしてもよい。尚、面取り工程は、例えば、砥石を回転させてガラス基板2の端面に当接させながら、各辺に沿って相対的に移動させ、ガラス基板2の端面の上側の縁と下側の縁とを同時に研削することにより行われる。
上記の方法により製造されたガラス基板2は、図7の拡大図に示すように、隣接する二辺2c,2dのコーナーカット加工による削り代の大きさL1,L2、すなわち、二辺2c,2dを延長した線の交点(コーナーカット前のガラス基板2の角P)からコーナーカット面2bの両端までの距離L1,L2が異なっている。図示例では、長辺2dの削り代L2が、短辺2cの削り代L1よりも小さい(L2<L1)。これにより、コーナーカット加工による長辺2dの短縮が抑えられ、湾曲の生じやすいガラス基板2の長辺方向の剛性の低下を抑えることができる。尚、コーナーカット加工による各辺の削り代の大きさL1,L2は、例えば1〜5mmの範囲内とされる。また、各辺の削り代の大きさL1,L2は、1<L1/L2<2の関係を満たすことが好ましく、1.1<L1/L2<1.5の関係を満たすことがさらに好ましい。
本発明は、上記の実施形態に限られない。例えば、上記の実施形態では、コーナーカット工程において、同一の砥石1でコーナー部2aの除去及びコーナーカット面2bの形成を一気に行う場合を示したが、これに限らず、コーナーカット工程を、異なる砥石を用いた複数回の研削で行ってもよい。例えば、砥石でコーナー部2aの一部を除去した後、別の砥石でコーナー部2aの残りの部分の除去とコーナーカット面2bの形成を行ってもよい。この場合、一回目の研削による研削量(除去されるコーナー部2aの体積)よりも、二回目の研削による研削量を少なくすることが好ましい。また、一回目の研削を番手の低い(目の粗い)砥石で行い、二回目の研削を番手の高い(目の細かい)砥石で行うことが好ましい。また、一回目の研削をメタルボンド型の砥石で行い、二回目の研削をレジンボンド型の砥石で行うことが好ましい。具体的には、例えば、一回目の研削を、番手が200〜1500番、好ましくは400〜1000番のメタルボンド型の砥石で行い、二回目の研削を、番手が400〜2000番、好ましくは500〜2000番のレジンボンド型の砥石で行うことができる。
また、上記のコーナーカット工程では、ガラス基板2の四隅に設けられるコーナーカット面2bが全て同一形状である場合を示したが、これに限られない。例えば、四隅のコーナーカット面2bの一つを、他とは異なる形状(例えば、他のコーナーカット面2bよりも削り代を大きくする)としてもよい。この場合、他とは形状の異なるコーナーカット面を、ガラスの表裏を判別するためのオリエンテーション部として機能させてもよい。例えば他よりも削り代の大きいコーナーカット面をオリエンテーション部として機能させる場合、このコーナーカット面における各辺の削り代L1,L2(図7の拡大図参照)は、3〜5mmの範囲内とすることが好ましい。一方、オリエンテーション部として機能させない通常のコーナーカット面における各辺の削り代L1,L2は、0.5〜1.5mmの範囲内とすることが好ましい。
また、上記のコーナーカット工程では、水平に平置きしたガラス基板2に対し、砥石1を水平に移動させて研削を行う場合を示したが、ガラス基板2の姿勢や砥石1の移動方向はこれに限られない。例えば、水平面と交差させた姿勢(例えば鉛直方向)でガラス基板2を保持し、砥石1をガラス基板2の延在方向で平行移動可能としてもよい。
また、上記のコーナーカット工程では、ガラス基板2を固定し、砥石1を平行移動させながら研削を行う場合を示したが、これに限らず、例えば、砥石1の位置を固定し、ガラス基板2を平行移動させながら研削を行ってもよい。あるいは、砥石1及びガラス基板2の双方を平行移動させながら研削を行ってもよい。
上記の実施形態で示したコーナーカット加工は、矩形状のガラス板であれば適用することができ、例えば、液晶ディスプレイ(LCD)、プラズマディスプレイ(PDP)、フィールドエミッションディスプレイ(FED)、有機ELディスプレイ(OLED)などに代表されるフラットパネルディスプレイ(FPD)のガラス基板や、太陽電池のガラス基板などに適用することができる。
1 砥石
2 ガラス基板(ガラス板)
2a コーナー部
2b コーナーカット面
2b’ (コーナーカット面の)形成予定線
3a,3b 定盤

Claims (8)

  1. ガラス原板から矩形状のガラス板を切り出す切断工程と、前記ガラス板のコーナー部を研削により除去してコーナーカット面を形成するコーナーカット工程とを含むガラス板の製造方法であって、
    前記コーナーカット工程において、砥石による前記コーナー部の除去が完了すると同時に、前記砥石によりコーナーカット面を全域同時に形成することを特徴とするガラス板の製造方法。
  2. 前記コーナーカット工程において、前記砥石を前記ガラス板に対して相対移動させながら研削を行った後、前記砥石を同じ経路を後退させて初期位置に戻す請求項1に記載のガラス板の製造方法。
  3. 前記コーナーカット工程において、前記ガラス板の角から研削し始める請求項1又は2に記載のガラス板の製造方法。
  4. 前記コーナーカット工程において、前記砥石を、前記ガラス板の角と前記コーナーカット面の形成予定線上の一点とを結ぶ直線と平行な方向に相対移動させる請求項1〜3の何れかに記載のガラス板の製造方法。
  5. 前記砥石を、前記ガラス板の対角線と平行な方向に相対移動させる請求項4に記載のガラス板の製造方法。
  6. 前記砥石の番手が200番以上である請求項1〜5の何れかに記載のガラス板の製造方法。
  7. 四隅にコーナーカット面を有する矩形状のガラス板であって、
    各コーナーカット面が円弧形状を成し、
    隣接する二辺を延長した線の交点から前記コーナーカット面の両端までの距離が異なるガラス板。
  8. 前記交点と前記コーナーカット面の長辺側の端部までの距離が、前記交点と前記コーナーカット面の短辺側の距離よりも小さい請求項7記載のガラス板。
JP2015125616A 2015-06-23 2015-06-23 ガラス板及びその製造方法 Active JP6525395B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015125616A JP6525395B2 (ja) 2015-06-23 2015-06-23 ガラス板及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015125616A JP6525395B2 (ja) 2015-06-23 2015-06-23 ガラス板及びその製造方法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019007529A Division JP6635409B2 (ja) 2019-01-21 2019-01-21 フラットパネルディスプレイ用のガラス板

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017007043A true JP2017007043A (ja) 2017-01-12
JP6525395B2 JP6525395B2 (ja) 2019-06-05

Family

ID=57761064

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015125616A Active JP6525395B2 (ja) 2015-06-23 2015-06-23 ガラス板及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6525395B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020003548A (ja) * 2018-06-26 2020-01-09 クアーズテック株式会社 フォトマスク用基板およびその製造方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53147492U (ja) * 1977-04-25 1978-11-20
JPH10118907A (ja) * 1996-10-15 1998-05-12 Hitachi Electron Eng Co Ltd ガラス基板の外周加工装置
JPH11217232A (ja) * 1998-01-30 1999-08-10 Nippon Electric Glass Co Ltd 電子部品用板ガラス
JP2001239443A (ja) * 2000-02-28 2001-09-04 Bando Kiko Kk ガラス板を隅取りする方法及びその装置
JP2015160268A (ja) * 2014-02-26 2015-09-07 株式会社ディスコ 矩形板状物の加工方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53147492U (ja) * 1977-04-25 1978-11-20
JPH10118907A (ja) * 1996-10-15 1998-05-12 Hitachi Electron Eng Co Ltd ガラス基板の外周加工装置
JPH11217232A (ja) * 1998-01-30 1999-08-10 Nippon Electric Glass Co Ltd 電子部品用板ガラス
JP2001239443A (ja) * 2000-02-28 2001-09-04 Bando Kiko Kk ガラス板を隅取りする方法及びその装置
JP2015160268A (ja) * 2014-02-26 2015-09-07 株式会社ディスコ 矩形板状物の加工方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020003548A (ja) * 2018-06-26 2020-01-09 クアーズテック株式会社 フォトマスク用基板およびその製造方法
JP7037445B2 (ja) 2018-06-26 2022-03-16 クアーズテック株式会社 Icまたはlcdフォトリソグラフィ用のフォトマスク用基板

Also Published As

Publication number Publication date
JP6525395B2 (ja) 2019-06-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5817722B2 (ja) ガラス基板及びガラス基板の製造方法
JP5185412B2 (ja) カッターホイールを用いた脆性材料基板のスクライブ方法および分断方法
JP4406752B2 (ja) ガラス基板の端面加工装置及び端面加工方法
US20110107894A1 (en) Brittle Material Substrate Chamfering Method
JP4883352B2 (ja) 板状体の面取り方法及びその装置
KR20110004295A (ko) 경질 취성판의 모따기 가공방법 및 장치
JP2014188729A (ja) スクライビングホイール、スクライブ装置及びスクライビングホイールの製造方法
JP2013198974A (ja) ガラス基板の端面研削装置、ガラス基板の端面研削方法、及びガラス基板の製造方法
KR20160045047A (ko) 스크라이빙 휠, 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법
JP6476892B2 (ja) マルチポイントダイヤモンドツール
KR20150145503A (ko) 기판 폴리싱장치 및 방법
JP2017007043A (ja) ガラス板及びその製造方法
JP6635409B2 (ja) フラットパネルディスプレイ用のガラス板
JP5370913B2 (ja) ガラス基板の端面研磨装置およびその端面研磨方法
JP4935230B2 (ja) 透光性基板の製造方法
KR101871853B1 (ko) 평판 디스플레이용 패널 가공 장치
JP6707758B2 (ja) マルチポイントダイヤモンドツール及びその製造方法
JPWO2014002447A1 (ja) 基板端縁の研削方法及び基板端縁の研削装置
JP2018015945A (ja) ダイヤモンドツール及びそのスクライブ方法
KR20190112055A (ko) 유리 시트들의 엣지들을 마무리하기 위한 방법들 및 장치
KR101986546B1 (ko) 기판 연마 장치 및 방법
KR100669370B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 장치
KR100839427B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 장치
KR20230063992A (ko) 기판 가공 장치
TWI491470B (zh) A chamfering method for a hard brittle plate, and a chamfering apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180116

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180808

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180809

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181003

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20181203

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190123

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190415

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6525395

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190428