JP2015153765A - 回路装置の製造方法、半導体部品の実装構造および回路装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のランドを有する回路基板の前記半導体部品が搭載される部分における、半導体部品の側周部に沿った範囲に、熱硬化性樹脂とその硬化促進剤として、エポキシ樹脂と熱カチオン性硬化促進剤および/またはアクリレート樹脂と熱ラジカル硬化促進剤を含有し、かつ無機充填剤および活性剤として有機酸を含有するサイドフィル用熱硬化性樹脂組成物を先塗布する。
【選択図】なし
Description
(エポキシ樹脂と熱カチオン性硬化促進剤)
サイドフィル用熱硬化性樹脂組成物6aに配合されるエポキシ樹脂は、1分子内にエポキシ基を2個以上有するものであれば、その分子量、分子構造は特に限定されず各種のものを用いることができる。
(アクリレート樹脂と熱ラジカル硬化促進剤)
サイドフィル用熱硬化性樹脂組成物6aに配合されるアクリレート樹脂は、2個以上の(メタ)アクリロイル基を持つ化合物が好ましく、2〜6個の(メタ)アクリロイル基を持つ化合物がより好ましく、2個の(メタ)アクリロイル基を持つ化合物がさらに好ましい。このアクリレート樹脂は、常温で液状であることが好ましい。なお、ここで「常温で液状」とは、大気圧下での5〜28℃の温度範囲、特に室温18℃において流動性を持つことを意味し、例えば、アクリレート樹脂は、25℃の粘度が1〜1000000mPa・sである。
(無機充填剤)
サイドフィル用熱硬化性樹脂組成物6aに配合される無機充填剤としては、例えば、溶融シリカ、結晶シリカ、微粉シリカ、アルミナ、窒化珪素、マグネシアなどが挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
(有機酸)
サイドフィル用熱硬化性樹脂組成物6aに配合される有機酸としては、アビエチン酸、セバシン酸、アジピン酸、イソフタル酸、マレイン酸、クエン酸、グルタル酸、酒石酸、シュウ酸、プロパントリカルボン酸、レブリン酸、フェニール酪酸、リンゴ酸、コハク酸、マロン酸、フタール酸、サリチル酸、乳酸、ピロメリット酸、パルミチン酸、オレイン酸、ステアリン酸、エチルヘキサン酸などを例示することができ、これらの中でもアビエチン酸、セバシン酸、アジピン酸を好適に用いることができる。これら有機酸は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
(エポキシ樹脂)
ビスフェノールF型エポキシ樹脂、新日鐵化学株式会社「YDF8170」
(アクリレート樹脂)
アクリレート樹脂1 ポリブタジエンアクリレート、日本曹達株式会社「TE2000」
アクリレート樹脂2 ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレート、共栄社化学株式会社「DCP−A」
(熱カチオン性硬化促進剤)
ヨードニウム塩系酸発生剤、サンアプロ株式会社「IK−1」
(熱ラジカル硬化促進剤)
有機過酸化物、日本油脂株式会社「パーブチルH69」
(硬化剤)
酸無水物、DIC株式会社「B650」
(硬化促進剤)
マイクロカプセル型潜在性硬化促進剤、旭化成ケミカル株式会社「HX3722」
(無機充填剤)
無機充填剤1:株式会社龍森「SO−32R」
無機充填剤2:日本アエロジル「#300」
(有機酸)
アジピン酸(東京化成工業)
アビエチン酸(東京化成工業)
セバシン酸(東京化成工業)
アンダーフィルおよびサイドフィルの樹脂組成物の製造は次の方法で調製した。まず表1および表2に示す無機充填剤以外の各配合成分を、表1および表2に示す割合で配合し、ミキサーで均一に混合した後、この混合物に無機充填剤を加え、再度、攪拌、混合、分散を行ってアンダーフィルおよびサイドフィルの樹脂組成物を得た。
先塗布サイドフィル:図1に示す工程により行った。
後入れアンダーフィル:図2に示す工程により行った。
後入れサイドフィル:図2に示す工程において、アンダーフィル12のディスペンスに替えてサイドフィルのディスペンスを行った。
先塗布アンダーフィル:図2に示す工程において、半導体部品4の載置前に予め基板上にアンダーフィル6のディスペンスを行った。
リフロー条件:130℃〜185℃(70s)、220℃〜250℃(1min)
アンダーフィルのアフターキュア条件:120℃、60min
上記の条件にて作成した回路装置について、ディスペンス塗りしろ、実装補強後のパッケージ下のボイド発生、接合後の実装接合率についての測定および評価を行った。
[ディスペンス塗りしろ]
実装補強した状態の半導体部品の側周部(エッジ部)からはみ出した、アンダーフィルおよびサイドフィルの距離を測定した。
[実装後のパッケージ下のボイド発生]
実装補強した状態の半導体部品および回路基板を切断し、アンダーフィルおよびサイドフィルのボイドのあり、なしについて目視にて評価した。
[実装接合率]
実装補強した状態の半導体装置の接続性について電気抵抗値を測定し、結果から実装接合率を測定した。
[ヒートサイクル試験]
半導体パッケージとして、0.75mm厚、14mm角の半導体パッケージを用い、回路基板としてFR−4の回路基板を用いた。
○:不良率0〜39%
△:不良率40%〜69%
×:不良率70%〜100%
[リペア性]
FR−4基板上にアンダーフィルまたはサイドフィルの樹脂組成物を120℃、1hにて塗布硬化させた。
○:アンダーフィルまたはサイドフィルがきれいに取り除かれる。基板上にアンダーフィルまたはサイドフィルが残らないモード
×:アンダーフィルまたはサイドフィルが残る。基板上のレジストがはがれるモード
上記の測定および評価の結果を表1および表2に示す。
2 ランド
3 半導体部品
3a 側周部
4 導電接続部材
5a はんだペースト
5b フラックス
6a サイドフィル用熱硬化性樹脂組成物
6b サイドフィル
7 接合構造体
Claims (5)
- 表面にはんだペーストを有し、または、はんだボール表面にフラックスを有する、はんだが供給された複数の導電接続部材を備えた半導体部品を用意する工程と、
複数のランドを有する回路基板の前記半導体部品が搭載される部分における、前記半導体部品の側周部に沿った範囲に、熱硬化性樹脂とその硬化促進剤として、エポキシ樹脂と熱カチオン性硬化促進剤および/またはアクリレート樹脂と熱ラジカル硬化促進剤を含有し、かつ無機充填剤および活性剤として有機酸を含有するサイドフィル用熱硬化性樹脂組成物を先塗布する工程と、
前記導電接続部材と前記ランドとを位置合わせして前記回路基板に前記半導体部品を搭載し、および、先塗布された前記サイドフィル用熱硬化性樹脂組成物を、前記半導体部品の側周部に沿った裏面と前記回路基板の表面との間に介在させ、かつ、少なくとも前記半導体部品の側周部に沿った最外側に配置された前記導電接続部材と前記ランドとの接合構造体に接触させる工程と、
リフロー処理を行うことによって、前記導電接続部材と前記ランドとのはんだによる接続と前記サイドフィル用熱硬化性樹脂組成物の硬化によるサイドフィルの形成とを同時に行う工程とを含み、
前記サイドフィルが、前記半導体部品の側周部から外側に露出せずに前記半導体部品の側周部に沿った裏面と前記回路基板の表面との間を封止し、前記サイドフィル用熱硬化性樹脂組成物が、前記回路基板における、前記半導体部品の側周部に沿った最外側に配置された前記導電接続部材に接続される前記ランドの表面を少なくとも含む範囲に塗布されることを特徴とする回路装置の製造方法。 - 前記サイドフィル用熱硬化性樹脂組成物とその硬化物の色が、前記回路基板の色および前記半導体部品の封止材料の色とは、視認により区別される異なる色であることを特徴とする請求項1に記載の回路装置の製造方法。
- 半導体部品の導電接続部材と回路基板のランドとがはんだにより接続され、サイドフィルが、少なくとも前記半導体部品の側周部に沿った最外側に配置された前記導電接続部材と前記ランドとの接合構造体に接触し、かつ、前記半導体部品の側周部から外側に露出せずに前記半導体部品の側周部に沿った裏面と前記回路基板の表面との間を接着補強していることを特徴とする半導体部品の実装構造。
- 前記サイドフィルが、熱硬化性樹脂とその硬化促進剤として、エポキシ樹脂と熱カチオン性硬化促進剤および/またはアクリレート樹脂と熱ラジカル硬化促進剤を含有し、かつ無機充填剤および活性剤として有機酸を含有するサイドフィル用熱硬化性樹脂組成物の硬化物であることを特徴とする請求項3に記載の半導体部品の実装構造。
- 請求項3または4に記載の半導体部品の実装構造を備えることを特徴とする回路装置。
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Cited By (2)
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WO2020095634A1 (ja) * | 2018-11-07 | 2020-05-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 硬化樹脂組成物および実装構造体 |
WO2022215577A1 (ja) * | 2021-04-05 | 2022-10-13 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | サイドフィル用樹脂組成物、半導体装置、サイドフィル材の除去方法、及び半導体装置の製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002373914A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Ricoh Co Ltd | 電子部品接続構造体 |
JP2003092464A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Nec Corp | 回路基板、半導体パッケージの実装構造および半導体パッケージの実装方法 |
JP2012069839A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Panasonic Corp | 電子部品実装方法 |
JP2012188526A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Nippon Zeon Co Ltd | エポキシ樹脂組成物、半導体封止材料および半導体装置 |
JP2012224525A (ja) * | 2011-04-21 | 2012-11-15 | Nippon Shokubai Co Ltd | 非晶質シリカ粒子 |
JP2014057008A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-27 | Panasonic Corp | 回路装置の製造方法、半導体部品の実装構造および回路装置 |
-
2014
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002373914A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Ricoh Co Ltd | 電子部品接続構造体 |
JP2003092464A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Nec Corp | 回路基板、半導体パッケージの実装構造および半導体パッケージの実装方法 |
JP2012069839A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Panasonic Corp | 電子部品実装方法 |
JP2012188526A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Nippon Zeon Co Ltd | エポキシ樹脂組成物、半導体封止材料および半導体装置 |
JP2012224525A (ja) * | 2011-04-21 | 2012-11-15 | Nippon Shokubai Co Ltd | 非晶質シリカ粒子 |
JP2014057008A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-27 | Panasonic Corp | 回路装置の製造方法、半導体部品の実装構造および回路装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020095634A1 (ja) * | 2018-11-07 | 2020-05-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 硬化樹脂組成物および実装構造体 |
WO2022215577A1 (ja) * | 2021-04-05 | 2022-10-13 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | サイドフィル用樹脂組成物、半導体装置、サイドフィル材の除去方法、及び半導体装置の製造方法 |
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