JP2015141300A - 光モジュール、光モジュールの製造方法および光信号送受信機 - Google Patents

光モジュール、光モジュールの製造方法および光信号送受信機 Download PDF

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Abstract

【課題】ボイドの発生を抑えること。
【解決手段】光信号送受信機１００は、発光素子と、レンズシート１２０と、導波路部材１３０と、接合層１２７と、透過部１２９と、を有する。発光素子は、光を出射する。レンズシート１２０は、発光素子から出射された光を透過させるレンズ部１２０ａを有する。導波路部材１３０は、レンズ部１２０ａを透過した光を伝送する光導波路を有する。接合層１２７は、レンズシート１２０と導波路部材１３０とを接合する接着シート１２７ａを、レンズ部１２０ａを透過した光を光導波路へ通過させる間隙１２８を設けて配置する。透過部１２９は、間隙１２８に液状の光透過性樹脂１２７ｂを充填することによって形成されて光を透過させる。
【選択図】図３

Description

本発明は、光モジュール、光モジュールの製造方法および光信号送受信機に関する。
光インターコネクトでは、従来の基幹系の光通信と比較して小型であり低コストに製造可能な小型の光モジュールが求められている。また、光半導体素子を設けるステムとレンズ部材とを筒状のスペーサを介して接合する技術が知られている（例えば、下記特許文献１参照。）。また、光学部品において、レンズ部材に設けられた枠体の外側にのみ接着材を浸透させる技術が知られている（例えば、下記特許文献２参照。）。
特開平４−３５４３８５号公報 特開２００６−２１５２８８号公報
しかしながら、上述した従来技術では、光モジュールにおいてレンズ部材と光導波路部とを接合する接合層のうちの光の透過部分に気泡や空隙といったボイドが発生するという問題がある。
１つの側面では、本発明は、ボイドの発生を抑えることを目的とする。
本発明の一側面によれば、光を出射する発光素子と、前記発光素子から出射された前記光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、前記レンズ部を透過した前記光を伝送する光導波路を有する導波路部材と、前記レンズ部材と前記導波路部材とを接合する接着シートを、前記レンズ部を透過した前記光を前記光導波路へ通過させる間隙を設けて配置した接合層と、前記間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる透過部と、を有する、光モジュール、光モジュールの製造方法および光信号送受信機、が提案される。
本発明の一態様によれば、ボイドの発生を抑えることができる。
図１は、実施の形態１にかかる光信号送受信機の構成の一例を示す上面図である。 図２は、実施の形態１にかかる光信号送受信機の側面図である。 図３は、図１のＡ−Ａ’断面を示す部分拡大断面図である。 図４は、光信号送受信機の製造工程の一例を示すフローチャートである。 図５は、実施の形態１にかかる光信号送受信機の製造工程の一例を示す説明図（その１）である。 図６は、実施の形態１にかかる光信号送受信機の製造工程の一例を示す説明図（その２）である。 図７は、接着シートの厚さと光透過性樹脂の充填不良の関係を示すグラフである。 図８は、実施の形態１にかかる光信号送受信機における光の焦点を示す説明図である。 図９Ａは、従来の光信号送受信機における光の焦点を示す説明図（その１）である。 図９Ｂは、従来の光信号送受信機における光の焦点を示す説明図（その２）である。 図１０は、実施の形態１の変形例を示す説明図である。 図１１は、実施の形態２にかかる光信号送受信機の光モジュールを示す説明図である。 図１２は、実施の形態２にかかる光信号送受信機の製造工程の一例を示す説明図（その１）である。 図１３は、実施の形態２にかかる光信号送受信機の製造工程の一例を示す説明図（その２）である。 図１４は、実施の形態２の変形例を示す説明図である。
以下に図面を参照して、開示技術の好適な実施の形態１，２を詳細に説明する。
（実施の形態１）
（光信号送受信機の基本構成）
図１は、実施の形態１にかかる光信号送受信機の構成の一例を示す上面図である。図２は、実施の形態１にかかる光信号送受信機の側面図である。図１および図２に示すように、光信号送受信機１００は、プリント基板１０１と、光素子基板１０３と、導波路部材１３０と、を備えている。
プリント基板１０１は、電気信号を伝送する基板である。プリント基板１０１には、電気コネクタ１０２が設けられている。電気コネクタ１０２は、プリント基板１０１と光素子基板１０３とを接続する。光素子基板１０３は、例えば、コア層と、その両面にパターニングされた電極層とを備える。
光素子基板１０３の上面には、受光素子１１１と発光素子１１２がフェイスダウン実装されている。フェイスダウン実装とは、受光素子１１１の受光部１１１ａ（図３参照）または発光素子１１２の発光部（不図示）が光素子基板１０３に向いた状態で設けられることである。
受光素子１１１は、光を受光する。受光素子１１１は、例えばＰＤ（Ｐｈｏｔｏ Ｄｉｏｄｅ）アレイである。発光素子１１２は、光を出射する。発光素子１１２は、例えばＶＣＳＥＬ（Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ｃａｖｉｔｙ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｌａｓｅｒ）アレイである。
光素子基板１０３上には、ＴＩＡ（Ｔｒａｎｓ Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ）１１３と、駆動ＩＣ１１４と、が配置されている。ＴＩＡ１１３は、受光素子１１１からの電流を電圧に変換する。駆動ＩＣ１１４は、発光素子１１２へ駆動電流を供給することにより発光素子１１２を駆動させる。ＴＩＡ１１３と駆動ＩＣ１１４とは、光素子基板１０３および電気コネクタ１０２を介して、プリント基板１０１に電気的に接続されている。
なお、光素子基板１０３上に設けられる受光素子１１１と発光素子１１２との上面には、受光素子１１１および発光素子１１２を冷却するために、例えば放熱シートや放熱グリス等を介在させて、ヒートシンクなどの冷却部材が設けられる。この場合、ヒートシンクは、例えば金具留めやネジ留め等によって光素子基板１０３に装着される。
光素子基板１０３の受光素子１１１および発光素子１１２が設けられていない側の面には、基板接着シート１２５を介在させてレンズ部材であるレンズシート１２０が貼付けられている。レンズシート１２０には、透明材料が用いられ、一部に集光用のレンズ部１２０ａ（図３参照）が形成されている。
レンズシート１２０の下面には、接合層１２７が形成されている。接合層１２７は、レンズシート１２０と導波路部材１３０とを接合する。
導波路部材１３０は、レンズ部１２０ａを透過した光を伝送するとともに、光を伝送して出射する。具体的には、導波路部材１３０は、受光素子１１１へ入射させる光、または発光素子１１２から出力される光を伝送する。導波路部材１３０は、光導波路を実現する、コア１３０ａとクラッド１３０ｂとを有する。コア１３０ａは、導波路部材１３０の中心部に位置する。クラッド１３０ｂは、コア１３０ａよりも屈折率が低く、コア１３０ａの周囲に配置される。
これにより、コア１３０ａ内の光は、コア１３０ａとクラッド１３０ｂとの界面にて全反射しながら伝送される。導波路部材１３０には、例えば、エポキシ樹脂や、アクリレート樹脂を含むポリマー導波路を用いる。導波路部材１３０には、マルチモードを伝搬する安価な導波路を用いることができるが、これ以外のものを用いてもよい。
導波路部材１３０は、受光素子１１１に対向する位置に配置されるミラー１３１を有する。ミラー１３１は、例えば、ダイシングまたはレーザ加工により導波路部材１３０を削って形成される。ミラー１３１の傾斜角度は、例えば４５°である。このため、ミラー１３１は、導波路部材１３０内を伝送された光および導波路部材１３０内に入射した光を９０°曲げることができる。これにより、導波路部材１３０内を伝送された光の進む方向を９０°曲げて受光素子１１１に出射することができるとともに、発光素子１１２から出射された光の進む方向を９０°曲げて導波路部材１３０を伝送することができる。
図３は、図１のＡ−Ａ’断面を示す部分拡大断面図である。図３に示すように、光素子基板１０３は、光が透過する光路Ｋに対応する部分が開口している。なお、光素子基板１０３は、光が透過できる透明な材料を用いるようにすれば、光路Ｋに対応する部分が開口していなくてもよい。
受光素子１１１は、受光部１１１ａと、端子１１１ｂとを備えている。受光部１１１ａは、レンズシート１２０側に向けて配置されたフェイスダウン実装されており、レンズシート１２０を透過した光を受光する。受光素子１１１は、受光した光を信号電流に変換する。受光部１１１ａは、例えば、円形状に形成される。端子１１１ｂは、光素子基板１０３に接続されており、接続された光素子基板１０３に信号電流を伝送する。
なお、図示を省略するが、発光素子１１２は、発光部と端子とを備えている。発光部は、受光部１１１ａと同様にレンズシート１２０側に向けて配置されたフェイスダウン実装されており、レンズシート１２０に向けて光を出力する。発光素子１１２は、入力された信号電流を光に変換する。発光部は、例えば、円形状に形成される。また、発光素子１１２の端子は、光素子基板１０３に接続されており、接続された光素子基板１０３に信号電流を伝送する。
基板接着シート１２５は、光素子基板１０３とレンズシート１２０とを接着する。基板接着シート１２５には、光路Ｋに対応する位置に開口部が形成されており、光素子基板１０３とレンズシート１２０との間で、光が透過できるようになっている。基板接着シート１２５は、例えば２５μｍの厚みを有する。
レンズシート１２０は、透明部材である。レンズシート１２０には、例えばシクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ：Ｃｙｃｌｏ Ｏｌｅｆｉｎ Ｐｏｌｙｍｅｒ）、ポリカーボネート（ＰＣ：Ｐｏｌｙ Ｃａｒｂｏｎａｔｅ）などの熱可塑性樹脂が用いられる。レンズシート１２０は、例えば６０μｍの厚みを有する。
レンズシート１２０には、集光のためのレンズ部１２０ａが形成されている。レンズ部１２０ａは、発光素子１１２から出射された光や導波路部材１３０によって出射された光を透過させる。図３に示すレンズ部１２０ａは、例えば所定高さを有する凸レンズである。なお、レンズ部１２０ａは凸レンズに限らず、凹レンズでもよい。
接合層１２７は、レンズ部１２０ａと導波路部材１３０とを接合する接着シート１２７ａを、間隙１２８を設けて配置した接合用の層である。間隙１２８は、レンズ部１２０ａを透過した光を導波路部材１３０へ通過させ、また、導波路部材１３０によって出射された光をレンズ部１２０ａへ通過させる。例えば、間隙１２８は、接着シート１２７ａのうちの、レンズ部１２０ａと導波路部材１３０との間の光路Ｋを含む領域に開口部を設けることによって形成されるものでもよい。
接着シート１２７ａは、レンズ部１２０ａと導波路部材１３０との間の光路Ｋを含む間隙１２８を除く領域に配置され、レンズシート１２０と導波路部材１３０とを接合する。具体的には、接着シート１２７ａは、表面に粘着性を有するシートであり、レンズシート１２０と導波路部材１３０とを接合する。接着シート１２７ａは、予め均一な厚さ（例えば２５μｍ）に成形されており、例えば、厚さのバラツキが２μｍ以下のものを用いる。
また、接着シート１２７ａには、加圧による厚さ変化がレンズとミラーとの距離に対し十分小さいものや、加圧力に比例して厚さが変化するものを用いる。接着シート１２７ａには、熱硬化性接着シートや紫外線硬化性接着シートを用いる。熱硬化性接着シートは、加熱により接着面が硬化することによってレンズシート１２０および導波路部材１３０と接着する。紫外線硬化性接着シートは、紫外線の照射により接着面が硬化することによってレンズシート１２０および導波路部材１３０と接着する。
また、接着シート１２７ａは、間隙１２８を除く領域に配置され、光が透過することがないため、光透過性を有さなくてもよい。そのため、透過性については考慮しなくても、厚さ、厚さの均一性、接着性、のみに基づいて選定した接着シート１２７ａを用いることができる。
光透過性樹脂１２７ｂは、間隙１２８に液状の光透過性樹脂を充填することによって光を透過させる透過部１２９を形成する。具体的には、光透過性樹脂１２７ｂは、液状の光透過性樹脂である。液状とは、具体的には、流動性を有する液体である。光透過性樹脂１２７ｂは、例えば粘度が１０００ｃＰ以下である。
例えば、光透過性樹脂１２７ｂは、レンズシート１２０と導波路部材１３０とを接合する接着性のある樹脂である。これにより、光透過性樹脂１２７ｂとレンズシート１２０との間や、光透過性樹脂１２７ｂと導波路部材１３０との間を密着させてボイドの発生を抑えることができる。光透過性樹脂１２７ｂには、加熱することによって硬化する熱硬化性接着樹脂や、紫外線を照射することによって硬化する紫外線硬化性接着樹脂を用いる。
このような構成により、光信号送受信機１００は、別の光信号送受信機１００から出力された光を受光部１１１ａに集光することができる。また、光信号送受信機１００は、不図示の発光素子１１２から出射された光を、導波路部材１３０から別の光信号送受信機１００に出力することができる。
また、光素子基板１０３と、受光素子１１１と、レンズシート１２０と、基板接着シート１２５と、接合層１２７と、導波路部材１３０と、透過部１２９と、によって、受光用の光モジュールを実現することができる。また、光素子基板１０３と、発光素子１１２と、レンズシート１２０と、基板接着シート１２５と、接合層１２７と、導波路部材１３０と、透過部１２９と、によって、発光用の光モジュールを実現することができる。
光信号送受信機１００は、受光素子１１１を有する光モジュールと、発光素子１１２を有する光モジュールと、の両方を搭載している。レンズシート１２０は、受光素子１１１への光を透過させるレンズ部１２０ａと、発光素子１１２からの光を透過させるレンズ部１２０ａと、を一体的に形成したものである。また、導波路部材１３０は、受光素子１１１への光を伝送する光導波路（コア１３０ａとクラッド１３０ｂ）と発光素子１１２からの光を伝送する光導波路（コア１３０ａとクラッド１３０ｂ）と、を一体的に形成したものである。
また、透過部１２９は、受光素子１１１への光を透過させる透過部１２９と、発光素子１１２からの光を透過させる透過部１２９と、を一体的に形成したものである。また、接合層１２７は、受光用の形成体の接合層１２７と、発光用の形成体の接合層１２７と、を一体的に形成したものである。受光用の形成体とは、受光素子１１１への光を透過させるレンズ部１２０ａを有するレンズシート１２０と、受光素子１１１への光を伝送する導波路部材１３０と、である。発光用の形成体とは、発光素子１１２からの光を透過させるレンズ部１２０ａを有するレンズシート１２０と、発光素子１１２からの光を伝送する導波路部材１３０とを接合する接合層１２７と、を一体的に形成したものである。
（光信号送受信機の製造工程の一例について）
次に、図４〜６を用いて、光信号送受信機の製造工程の一例について説明する。図４は、光信号送受信機の製造工程の一例を示すフローチャートである。図４に示す光信号送受信機１００の製造工程では、まず、導波路部材１３０に接着シート１２７ａを貼付ける工程が行われる（ステップＳ４０１）。
次に、ステップＳ４０１において導波路部材１３０に貼付された接着シート１２７ａにレンズシート１２０を貼付けることにより、導波路部材１３０とレンズシート１２０とを接合する工程が行われる（ステップＳ４０２）。
次に、ステップＳ４０２において一体化された、導波路部材１３０、レンズシート１２０および接着シート１２７ａの形成体のうちの接着シート１２７ａが貼付けられていない間隙１２８に光透過性樹脂１２７ｂを充填する工程が行われる（ステップＳ４０３）。
次に、ステップＳ４０３において充填した光透過性樹脂１２７ｂを硬化させる工程が行われる（ステップＳ４０４）。ステップＳ４０４の工程では、使用する接着シート１２７ａまたは光透過性樹脂１２７ｂの種類に応じて、加熱や紫外線の照射が行われる。
そして、導波路部材１３０、レンズシート１２０、接着シート１２７ａおよび光透過性樹脂１２７ｂの形成体のうちのレンズシート１２０に基板接着シート１２５を貼付ける工程が行われる（ステップＳ４０５）。次に、形成体に貼付された基板接着シート１２５に光素子基板１０３を貼付けることにより、形成体および光素子基板１０３を接合する工程が行われ（ステップＳ４０６）、本フローチャートによる製造工程を終了する。
なお、上述したフローチャートでは、先に導波路部材１３０に接着シート１２７ａを貼付けて（ステップＳ４０１参照）、レンズシート１２０を貼付けたが（ステップＳ４０２参照）、ステップＳ４０１とステップＳ４０２の工程の順序は逆にしてもよい。
図５は、実施の形態１にかかる光信号送受信機の製造工程の一例を示す説明図（その１）である。図６は、実施の形態１にかかる光信号送受信機の製造工程の一例を示す説明図（その２）である。図５に示すように、まず、（１）導波路部材１３０に接着シート１２７ａを貼付ける。このとき、間隙１２８を確保して、導波路部材１３０に接着シート１２７ａを貼付ける。
次に、（２）導波路部材１３０に貼付された接着シート１２７ａにレンズシート１２０を貼付けることにより、導波路部材１３０とレンズシート１２０とを接合する。このとき、導波路部材１３０とレンズシート１２０とを加圧するが、加圧力が大きいと導波路部材１３０のミラー１３１の角度が変形してしまうため、所定の加圧力（例えば上限値０．１〜０．５ＭＰａ）とする。
そして、（３）接着シート１２７ａが貼付けられていない間隙１２８に光透過性樹脂１２７ｂを充填する。このとき、接着シート１２７ａによって間隙１２８が形成されているため、間隙１２８以外の箇所へ光透過性樹脂１２７ｂが流れることがなく、間隙１２８へ光透過性樹脂１２７ｂを流し込むことができる。
ここで、間隙１２８のうち光透過性樹脂１２７ｂを充填する側の反対側に開口１２８ｋを設けている。具体的には、間隙１２８は、接合層１２７と、接合層１２７によって接合されたレンズシート１２０および導波路部材１３０と、を含む形成体を貫通するように設けられている。これにより、光透過性樹脂１２７ｂを一方向の側から充填することができ、光透過性樹脂１２７ｂの充填において空気を効率よく排出することができる。そのため、光透過性樹脂１２７ｂを隙間なく充填することができ、ボイドの発生を抑えることができる。
そして、図６に示すように、（４）使用する接着シート１２７ａや光透過性樹脂１２７ｂの種類に応じて、ＵＶ（Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ：紫外線）の照射や加熱の処理を施すことにより、接着シート１２７ａおよび光透過性樹脂１２７ｂを硬化させる。
そして、（５）レンズシート１２０の上面に基板接着シート１２５を貼付ける。このとき、光路Ｋを確保するようにレンズ部１２０ａの周辺領域には基板接着シート１２５を貼付けないようにする。次に、（６）基板接着シート１２５に光素子基板１０３を貼付けることにより形成体に光素子基板１０３を接合する。このようにして、光信号送受信機１００を製造することができる。
（接着シートの厚さと光透過性樹脂の充填不良の関係）
図７は、接着シートの厚さと光透過性樹脂の充填不良の関係を示すグラフである。図７において、横軸は接着シート１２７ａの厚さを示しており、縦軸は光透過性樹脂１２７ｂの不良率を示している。光透過性樹脂１２７ｂの不良とは、光透過性樹脂１２７ｂが間隙１２８に隙間なく充填されずに、流動せずに止まってしまったりして、ボイドが発生することである。光透過性樹脂１２７ｂの不良率は、具体的には、ボイドの発生割合を示す。光透過性樹脂１２７ｂの粘度は、例えば１０００ｃＰ以下としている。
関係７００に示すように、接着シート１２７ａの厚さが２０，２５，３５，５０μｍの場合、不良率は０％であり、つまり、製造した光信号送受信機１００の全てについて、ボイドが発生しないことを示している。
一方、接着シート１２７ａの厚さが１０μｍの場合、不良率は８０％である。不良率が８０％とは、例えばサンプル数を５つとした場合、１つだけボイドが発生せずに、残りの４つはボイドが発生したことを示している。
また、接着シート１２７ａの厚さが１５μｍの場合、不良率は４０％である。不良率が４０％とは、例えば、サンプル数を５つとした場合、３つだけボイドが発生せずに、残りの２つはボイドが発生したこと示している。
このように、接着シート１２７ａの厚さを、２０〜５０μｍにすると、製造する全ての光信号送受信機１００について、光透過性樹脂１２７ｂを間隙１２８に隙間なく充填することができ、ボイドの発生を抑えることができる。
（光の焦点）
次に、図８、図９Ａおよび図９Ｂを用いて光の焦点について説明する。図８は、実施の形態１にかかる光信号送受信機における光の焦点を示す説明図である。図８に示すように、実施の形態１にかかる光信号送受信機１００の光の焦点は、設計上の焦点８００と一致する。具体的には、光信号送受信機１００は、間隙１２８へ光透過性樹脂１２７ｂを流し込むためボイドの発生を抑えることができる。したがって、ボイドの発生によって焦点の位置が設計上の焦点８００と不一致となること（図９Ａ参照）を抑えることができ、焦点の位置を設計上の焦点８００と同じ位置にすることができる。このため、光信号送受信機１００は、光損失を抑えることができる。
また、光信号送受信機１００は、厚みのバラツキが小さい接着シート１２７ａを用いている、レンズ部１２０ａとミラー１３１との距離のバラツキを小さく（例えば≦±１０μｍ）とすることができる。そのため、光信号送受信機１００は、接合層１２７の厚みが設計上の許容される厚みと異なることによって焦点の位置が設計上の焦点８００と不一致となること（図９Ｂ参照）を抑えることができる。すなわち、光信号送受信機１００は、接合層１２７の厚みを設計上の許容される厚みとすることができ、焦点の位置を設計上の焦点８００と同じ位置にすることができる。このため、光信号送受信機１００は、光損失を抑えることができる。
図９Ａは、従来の光信号送受信機における光の焦点を示す説明図（その１）である。従来の光信号送受信機では、例えば接合層１２７の全面に光透過性樹脂１２７ｂの層が形成されたものが用いられる。従来の光信号送受信機を製造するにあたっては、光透過性樹脂１２７ｂを全面に塗布するが、塗布する際の塗り方や塗布量によっては、図９Ａに示すように、ボイド９０１が発生してしまう。光路Ｋ上にボイド９０１が発生していると、ボイド９０１において光の屈折率が変わってしまい、焦点９００の位置が設計上の焦点８００と異なってしまう。これにより、光損失が生じることになる。
なお、光信号送受信機を製造するにあたり、導波路部材１３０とレンズシート１２０とを接合する際の加圧力を上げることにより、ボイド９０１の発生を抑えることは可能であるが、加圧力を上げるとミラー１３１が変形するため、実際には加圧力を上げられない。
また、間隙１２８を設けずに、光透過性樹脂１２７ｂを充填する透過部１２９にも透過性の接着シート１２７ａを挿入する構成を仮定してみる。この構成の場合、透過部１２９におけるレンズシート１２０との接着面において接着シート１２７ａにうねりがあると、レンズシート１２０と接着シート１２７ａと間で隙間が生じ、結果としてボイドが発生してしまう。このように、透過部１２９に透過性の接着シート１２７ａを挿入する構成では、図９Ａに示した従来の光信号送受信機における光の焦点と同様に、焦点の位置が設計上の焦点８００と異なってしまう。
これに対して、実施の形態１にかかる光信号送受信機１００は、間隙１２８に光透過性樹脂１２７ｂを流し込むことにより、光透過性樹脂１２７ｂを間隙１２８に隙間なく充填することができるため、透過部１２９におけるボイドの発生を抑えることができる。このため、焦点の位置を設計上の焦点８００と一致させることができ、光損失を抑えることができる。
図９Ｂは、従来の光信号送受信機における光の焦点を示す説明図（その２）である。従来の光信号送受信機では、例えば接合層１２７の全面に光透過性樹脂１２７ｂの層が形成されたものが用いられる。従来の光信号送受信機を製造するにあたっては、導波路部材１３０とレンズシート１２０とを接合する際に加圧される。このとき、全面に塗布した光透過性樹脂１２７ｂの塗布量や塗り方や加圧力によっては、レンズ部１２０ａとミラー１３１との距離が許容できない厚みとなってしまうことがある。
具体的には、実施の形態１にかかる光信号送受信機１００では、レンズ部１２０ａとミラー１３１との距離のバラツキは≦±１０μｍであるが、接合層１２７の全面に光透過性樹脂１２７ｂを塗布する従来の構成では約±２０μｍとなる。このように、接合層１２７の厚みのバラツキが大きくなると、レンズ部１２０ａとミラー１３１との距離が変わり、焦点９２０の位置が設計上の焦点８００の位置とは異なってしまう。これにより、光損失が生じることになる。
なお、間隙１２８に光透過性樹脂１２７ｂを充填せずに空気層とした構成を仮定すると、例えばレンズシート１２０にたわみが生じて、レンズ部１２０ａとミラー１３１との距離が変わることにより焦点の位置が変わり、光損失が生じてしまう。
これに対して、実施の形態１にかかる光信号送受信機１００は、接着シート１２７ａを用いたことにより接合層１２７の厚みを設計上の許容される厚みとすることができ、レンズ部１２０ａとミラー１３１との距離を一定にできる。このため、焦点の位置を設計上の焦点８００と同じ位置にし、光損失を抑えることができる。
以上のように、実施の形態１では、レンズシート１２０と導波路部材１３０とを接着シート１２７ａによって接合する接合層１２７のうちの光の通過部分に間隙１２８を設け、当該間隙１２８に液状の光透過性樹脂１２７ｂを注入して透過部１２９を形成した。これにより、透過部１２９におけるボイドの発生を抑えることができ、光損失を抑えることができる。
（実施の形態１の変形例）
図１０は、実施の形態１の変形例を示す説明図である。図１０に示す変形例は、間隙１２８のうち光透過性樹脂１２７ｂを充填する側の反対側に開口１２８ｋ（図５参照）を設けておらず、障壁１２０ｃが形成されている点で実施の形態１と異なる。具体的には、変形例では、間隙１２８が、接合層１２７と、接合層１２７によって接合されたレンズシート１２０および導波路部材１３０と、を含む形成体を貫通した構成にはなっていない。なお、変形例では、実施の形態１において説明した箇所と同様の箇所については同様の符号を付し、説明を省略する。
障壁１２０ｃは、レンズシート１２０の一部によって形成され、レンズシート１２０および導波路部材１３０に接着する。障壁１２０ｃは、光路Ｋを避けた位置に配置される。変形例では、光透過性樹脂１２７ｂを充填する前段階において、レンズシート１２０および導波路部材１３０との接着強度を向上させることができるため、製造効率を向上させることができる。また、変形例では、透過部１２９における接合層１２７の厚みを、より接着シート１２７ａの厚みに近づけることができる。
このような変形例によれば、実施の形態１と同様に、ボイドの発生を抑えることができるとともに、接合層１２７の厚みを設計上の許容される厚みとすることができる。したがって、光損失を抑えることができる。
（実施の形態２）
図１１は、実施の形態２にかかる光信号送受信機の光モジュールを示す説明図である。実施の形態２では、接着シート１２７ａを用いずに、レンズ部１２０ａと導波路部材１３０との間の層の高さを調整する介在部材（スタンドオフ）を用いた構成について説明する。なお、実施の形態２では、実施の形態１において説明した箇所と同様の箇所については同様の符号を付し、説明を省略する。
図１１に示すように、スタンドオフ１２０ｂは、レンズシート１２０と導波路部材１３０との間に、光路Ｋ上の光を通過させる第１間隙１２８ａおよび第１間隙１２８ａと異なる第２間隙１２８ｂを設けて配置される。具体的には、スタンドオフ１２０ｂは、レンズ部１２０ａと導波路部材１３０との間の光路Ｋを含む第１間隙１２８ａを除く領域に配置されて、レンズシート１２０の表面と導波路部材１３０の表面とに当接する。スタンドオフ１２０ｂは、一定の厚み（例えば２５μｍ）を有する。
例えば、スタンドオフ１２０ｂは、レンズシート１２０に設けられている。具体的には、レンズシート１２０のうちのレンズ部１２０ａが形成されている側とは反対側に複数のスタンドオフ１２０ｂが形成されている。複数のスタンドオフ１２０ｂは、それぞれ楕円形状を有し（図１２の（２）参照）、長手方向が一定方向（図１１のｙ方向）となるように整列して離間配置されている。複数のスタンドオフ１２０ｂは、それぞれ均一の厚さを有する。
スタンドオフ１２０ｂの厚さは、例えば実施の形態１に示した接着シート１２７ａの厚さと同等の厚さである。これにより、スタンドオフ１２０ｂは、レンズシート１２０と導波路部材１３０との間で一定の距離（厚み）を確保することができ、焦点の位置が変わってしまうことを抑えることができる。
スタンドオフ１２０ｂは、楕円の円柱状に成形される。スタンドオフ１２０ｂは、レンズ部１２０ａの製造工程において成形される。具体的には、レンズ部１２０ａおよびスタンドオフ１２０ｂをかたどった金型を用いることにより、レンズ部１２０ａの製造工程において、レンズ部１２０ａおよびスタンドオフ１２０ｂを同時に成形することができる。
光透過性樹脂１２７ｂは、光路Ｋを確保するための第１間隙１２８ａおよび各スタンドオフ１２０ｂの間の第２間隙１２８ｂに充填され、レンズシート１２０と導波路部材１３０とを接合する。第１間隙１２８ａに液状の光透過性樹脂１２７ｂを充填することによって透過部１２９が形成される。また、第２間隙１２８ｂに液状の光透過性樹脂１２７ｂを充填することによって、レンズシート１２０と導波路部材１３０とを接合する接合部が形成される。
図１２は、実施の形態２にかかる光信号送受信機の製造工程の一例を示す説明図（その１）である。図１３は、実施の形態２にかかる光信号送受信機の製造工程の一例を示す説明図（その２）である。図１２に示すように、まず、（１）導波路部材１３０とレンズシート１２０とを重ね合わせる。このとき、レンズ部１２０ａとミラー１３１とを対向させることにより、光路Ｋを確保する。
次に、（２）第１間隙１２８ａおよび第２間隙１２８ｂに光透過性樹脂１２７ｂを充填する。このとき、スタンドオフ１２０ｂの楕円の長手方向と同じ方向（短径投影面の方向）の一方の側から光透過性樹脂１２７ｂを充填する。これにより、光透過性樹脂１２７ｂを流線型状に流し込むことができ、光透過性樹脂１２７ｂが効率よく流れ、光透過性樹脂１２７ｂを効率よく充填することができる。具体的には、第２間隙１２８ｂにおいて、光透過性樹脂１２７ｂを各スタンドオフ１２０ｂの裏側（充填する方向の逆側）に回り込ませやすくすることができる。
また、光透過性樹脂１２７ｂの充填においては、光透過性樹脂１２７ｂを充填する側の反対側に開口１２８ｋを設けて光透過性樹脂１２７ｂを充填する。このため、光透過性樹脂１２７ｂを隙間なく充填することができ、ボイドの発生を抑えることができる。
なお、第２間隙１２８ｂに充填する樹脂は、光透過性樹脂１２７ｂに限らず、レンズシート１２０と導波路部材１３０とを接合することができる液状の接着樹脂であれば、透過性を有しないものでもよい。具体的には、第１間隙１２８ａには光透過性樹脂１２７ｂを充填し、第２間隙１２８ｂには光が透過することがないため光透過性を有さない樹脂（接着剤）を充填してもよい。また、第２間隙１２８ｂにおいてボイドが発生したとしてもボイドが光路Ｋを妨げることはないが、レンズシート１２０と導波路部材１３０との接着強度を上げるという観点からすると、第２間隙１２８ｂにおいてもボイドが発生しない方がよい。
次に、図１３に示すように、（３）使用する光透過性樹脂１２７ｂの種別に応じて、ＵＶの照射や加熱の処理を施すことにより、光透過性樹脂１２７ｂを硬化させる。そして、（４）レンズシート１２０の上面に基板接着シート１２５を貼付ける。このとき、光路Ｋを確保するようにレンズ部１２０ａの周辺領域には基板接着シート１２５を貼付けないようにする。次に、（５）基板接着シート１２５に光素子基板１０３を貼付けることにより形成体に光素子基板１０３を接合する。このようにして、実施の形態２にかかる光信号送受信機１００を製造できる。
なお、実施の形態２において、スタンドオフ１２０ｂは、レンズシート１２０と一体的に形成されているが、導波路部材１３０と一体的に形成されているものでもよいし、レンズシート１２０や導波路部材１３０を除く別部材に設けられているものでもよい。また、スタンドオフ１２０ｂの形状は、楕円の円柱形状に限らず、角形の柱形状など他の形状であってもよい。
また、図７に示した接着シート１２７ａの厚さと光透過性樹脂１２７ｂの充填不良の関係については、実施の形態２において、スタンドオフ１２０ｂの高さと光透過性樹脂１２７ｂの充填不良の関係として表すことができる。具体的には、スタンドオフ１２０ｂの高さが２０，２５，３５，５０μｍの場合、不良率は０％であり、つまり、製造した光信号送受信機１００の全てについて、ボイドが発生しない。
このように、実施の形態２にかかる光信号送受信機１００によれば、実施の形態１同様に、光透過性樹脂１２７ｂを流し込むことにより、ボイドの発生を抑えることができる。また、スタンドオフ１２０ｂにより接合層１２７の厚みを設計上の許容される厚みとすることができる。したがって、焦点の位置を設計上の焦点８００（図８参照）と同じ位置にすることができる。これにより、光損失を抑えることができる。
（実施の形態２の変形例）
図１４は、実施の形態２の変形例を示す説明図である。図１４に示す変形例は、複数のスタンドオフ（介在部材）を点在させる構成とはせずに、光透過性樹脂１２７ｂを充填する側から反対側まで連なる線状のスタンドオフを用いた点が実施の形態２と異なる。
図１４において、スタンドオフ１２０ｄは、例えば、レンズシート１２０のうちのレンズ部１２０ａが形成されている側とは反対側に複数形成されている。複数のスタンドオフ１２０ｄは、それぞれ、充填する側から反対側まで連なる線状に形成され、長手方向が一定方向となるように整列して離間配置されている。各スタンドオフ１２０ｄは、それぞれ均一の厚さを有する。
第１間隙１２８ａおよび第２間隙１２８ｂへの光透過性樹脂１２７ｂの充填においては、スタンドオフ１２０ｄの長手方向と同じ方向の一方の側から光透過性樹脂１２７ｂを充填すればよい。このような構成でも、第１間隙１２８ａおよび第２間隙１２８ｂに光透過性樹脂１２７ｂを流し込むことができ、ボイドの発生を抑えることができる。
また、実施の形態２と同様に、レンズシート１２０と導波路部材１３０との間で一定の距離（厚み）を確保することができ、焦点の位置が変わってしまうことを抑えることができる。
上述した実施の形態１，２に関し、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）光を出射する発光素子と、前記発光素子から出射された前記光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、前記レンズ部を透過した前記光を伝送する光導波路を有する導波路部材と、前記レンズ部材と前記導波路部材とを接合する接着シートを、前記レンズ部を透過した前記光を前記光導波路へ通過させる間隙を設けて配置した接合層と、前記間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる透過部と、を有することを特徴とする光モジュール。
（付記２）光を伝送して出射する光導波路を有する導波路部材と、前記光導波路によって出射された前記光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、前記レンズ部を透過した前記光を受光する受光素子と、前記レンズ部材と前記導波路部材とを接合する接着シートを、前記光導波路によって出射された前記光を前記レンズ部へ通過させる間隙を設けて配置した接合層と、前記間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる透過部と、を有することを特徴とする光モジュール。
（付記３）前記接着シートは、加熱により接着面が硬化することによって前記レンズ部材および前記導波路部材と接着することを特徴とする付記１または２に記載の光モジュール。
（付記４）前記接着シートは、紫外線の照射により接着面が硬化することによって前記レンズ部材および前記導波路部材と接着することを特徴とする付記１または２に記載の光モジュール。
（付記５）前記光透過性樹脂は、加熱により硬化する樹脂であることを特徴とする付記１〜４のいずれか一つに記載の光モジュール。
（付記６）前記光透過性樹脂は、紫外線の照射により硬化する樹脂であることを特徴とする付記１〜４のいずれか一つに記載の光モジュール。
（付記７）前記接合層と、前記接合層によって接合された前記レンズ部材および前記導波路部材と、を含む部材を貫通するように前記間隙が設けられていることを特徴とする付記１〜６のいずれか一つに記載の光モジュール。
（付記８）光を出射する発光素子と、前記発光素子から出射された前記光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、前記レンズ部を透過した前記光を伝送する光導波路を有する導波路部材と、前記レンズ部材と前記導波路部材との間に、前記レンズ部を透過した前記光を前記光導波路へ通過させる第１間隙および前記第１間隙と異なる第２間隙を設けて配置した一定の厚みを有する介在部材と、前記第１間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる透過部と、前記第２間隙に液状の接着樹脂を充填することによって形成された、前記レンズ部材と前記導波路部材とを接合する接合部と、を有することを特徴とする光モジュール。
（付記９）光を伝送して出射する光導波路を有する導波路部材と、前記光導波路によって出射された前記光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、前記レンズ部を透過した前記光を受光する受光素子と、前記導波路部材と前記レンズ部材との間に、前記導波路部材から出射された前記光を前記レンズ部材へ通過させる第１間隙および前記第１間隙と異なる第２間隙を設けて配置した一定の厚みを有する介在部材と、前記第１間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる透過部と、前記第２間隙に液状の接着樹脂を充填することによって形成された、前記レンズ部材と前記導波路部材とを接合する接合部と、を有することを特徴とする光モジュール。
（付記１０）前記介在部材は、互いに離間して配置された複数の介在部材であることを特徴とする付記８または９に記載の光モジュール。
（付記１１）前記介在部材は、楕円の長手方向が一定方向となるように配置された複数の楕円柱であることを特徴とする付記１０に記載の光モジュール。
（付記１２）前記介在部材は、前記レンズ部材と一体的に形成されていることを特徴とする付記８〜１１のいずれか一つに記載の光モジュール。
（付記１３）前記介在部材は、前記導波路部材と一体的に形成されていることを特徴とする付記８〜１２のいずれか一つに記載の光モジュール。
（付記１４）発光素子から出射された光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、前記レンズ部を透過した前記光を伝送する光導波路を有する導波路部材とを、前記レンズ部を透過した前記光を前記光導波路へ通過させる間隙を設けて配置した接合層によって接合し、前記間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって、前記光を透過させる透過部を形成する、ことを特徴とする光モジュールの製造方法。
（付記１５）前記接合層と、前記接合層によって接合された前記レンズ部材および前記導波路部材と、を含む部材を貫通するように前記間隙が設けられており、前記透過部を形成する際に、前記間隙の一端から前記光透過性樹脂を充填することを特徴とする付記１４に記載の光モジュールの製造方法。
（付記１６）発光素子から出射された光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、前記レンズ部を透過した前記光を伝送する光導波路を有する導波路部材と、の間に、前記レンズ部を透過した前記光を前記光導波路へ通過させる第１間隙および前記第１間隙と異なる第２間隙を設けて一定の厚みを有する介在部材を配置し、前記第１間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって、前記光を透過させる透過部を形成し、前記第２間隙に液状の接着樹脂を充填することによって、前記レンズ部材と前記導波路部材とを接合する接合部を形成する、ことを特徴とする光モジュールの製造方法。
（付記１７）前記介在部材は、楕円の長手方向が一定方向となるように配置された複数の楕円柱であり、前記透過部を形成する際に、前記長手方向と同じ方向から前記光透過性樹脂を注入し、前記接合部を形成する際に、前記長手方向と同じ方向から前記接着樹脂を注入する、ことを特徴とする付記１６に記載の光モジュールの製造方法。
（付記１８）光を出射する発光素子と、前記発光素子から出射された前記光を透過させる第１レンズ部を有する第１レンズ部材と、前記第１レンズ部を透過した前記光を伝送する第１光導波路を有する第１導波路部材と、前記第１レンズ部材と前記第１導波路部材とを接合する第１接着シートを、前記第１レンズ部を透過した前記光を前記第１光導波路へ通過させる第１間隙を設けて配置した第１接合層と、前記第１間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる第１透過部と、前記発光素子に駆動電流を供給する供給部と、光を伝送して出射する第２光導波路を有する第２導波路部材と、前記第２光導波路によって出射された前記光を透過させる第２レンズ部を有する第２レンズ部材と、前記第２レンズ部を透過した前記光を受光する受光素子と、前記第２レンズ部材と前記第２導波路部材とを接合する第２接着シートを、前記第２光導波路によって出射された前記光を前記第２レンズ部へ通過させる第２間隙を設けて配置した第２接合層と、前記第２間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる第２透過部と、前記受光素子によって光電変換された電流信号を電圧信号に変換して出力する出力部と、を有することを特徴とする光信号送受信機。
（付記１９）前記第１レンズ部材および前記第２レンズ部材は一体的に形成され、前記第１導波路部材および前記第２導波路部材は一体的に形成され、前記第１接合層および前記第２接合層は一体的に形成され、前記第１透過部および前記第２透過部は一体的に形成されている、ことを特徴とする付記１８に記載の光信号送受信機。
（付記２０）光を出射する発光素子と、前記発光素子から出射された前記光を透過させる第１レンズ部を有する第１レンズ部材と、前記第１レンズ部を透過した前記光を伝送する第１光導波路を有する第１導波路部材と、前記第１レンズ部材と前記第１導波路部材との間に、前記第１レンズ部を透過した前記光を前記第１光導波路へ通過させる第１間隙および前記第１間隙と異なる第２間隙を設けて配置した一定の厚みを有する第１介在部材と、前記第１間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる第１透過部と、前記第２間隙に液状の接着樹脂を充填することによって形成された、前記第１レンズ部材と前記第１導波路部材とを接合する第１接合部と、前記発光素子に駆動電流を供給する供給部と、光を伝送して出射する第２光導波路を有する第２導波路部材と、前記第２光導波路によって出射された前記光を透過させる第２レンズ部を有する第２レンズ部材と、前記第２レンズ部を透過した前記光を受光する受光素子と、前記第２導波路部材と前記第２レンズ部材との間に、前記第２導波路部材から出射された前記光を前記第２レンズ部材へ通過させる第３間隙および前記第３間隙と異なる第４間隙を設けて配置した一定の厚みを有する第２介在部材と、前記第３間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる第２透過部と、前記第４間隙に液状の接着樹脂を充填することによって形成された、前記第２レンズ部材と前記第２導波路部材とを接合する第２接合部と、前記受光素子によって光電変換された電流信号を電圧信号に変換して出力する出力部と、を有することを特徴とする光信号送受信機。
（付記２１）前記第１レンズ部材および前記第２レンズ部材は一体的に形成され、前記第１導波路部材および前記第２導波路部材は一体的に形成され、前記第１介在部材および前記第２介在部材は一体的に形成され、前記第１透過部および前記第２透過部は一体的に形成され、前記第１接合部および前記第２接合部は一体的に形成されている、ことを特徴とする付記２０に記載の光信号送受信機。
１００ 光信号送受信機
１０１ プリント基板
１０３ 光素子基板
１１１ 受光素子
１１２ 発光素子
１１３ ＴＩＡ
１１４ 駆動ＩＣ
１２０ レンズシート
１２０ａ レンズ部
１２０ｂ，１２０ｄ スタンドオフ
１２０ｃ 障壁
１２５ 基板接着シート
１２７ 接合層
１２７ａ 接着シート
１２７ｂ 光透過性樹脂
１２８ 間隙
１２８ａ 第１間隙
１２８ｂ 第２間隙
１２８ｋ 開口
１２９ 透過部
１３０ 導波路部材
１３１ ミラー
８００，９００，９２０ 焦点

Claims (11)

  1. 光を出射する発光素子と、
    前記発光素子から出射された前記光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、
    前記レンズ部を透過した前記光を伝送する光導波路を有する導波路部材と、
    前記レンズ部材と前記導波路部材とを接合する接着シートを、前記レンズ部を透過した前記光を前記光導波路へ通過させる間隙を設けて配置した接合層と、
    前記間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる透過部と、
    を有することを特徴とする光モジュール。
  2. 光を伝送して出射する光導波路を有する導波路部材と、
    前記光導波路によって出射された前記光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、
    前記レンズ部を透過した前記光を受光する受光素子と、
    前記レンズ部材と前記導波路部材とを接合する接着シートを、前記光導波路によって出射された前記光を前記レンズ部へ通過させる間隙を設けて配置した接合層と、
    前記間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる透過部と、
    を有することを特徴とする光モジュール。
  3. 前記接合層と、前記接合層によって接合された前記レンズ部材および前記導波路部材と、を含む部材を貫通するように前記間隙が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の光モジュール。
  4. 光を出射する発光素子と、
    前記発光素子から出射された前記光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、
    前記レンズ部を透過した前記光を伝送する光導波路を有する導波路部材と、
    前記レンズ部材と前記導波路部材との間に、前記レンズ部を透過した前記光を前記光導波路へ通過させる第１間隙および前記第１間隙と異なる第２間隙を設けて配置した一定の厚みを有する介在部材と、
    前記第１間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる透過部と、
    前記第２間隙に液状の接着樹脂を充填することによって形成された、前記レンズ部材と前記導波路部材とを接合する接合部と、
    を有することを特徴とする光モジュール。
  5. 光を伝送して出射する光導波路を有する導波路部材と、
    前記光導波路によって出射された前記光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、
    前記レンズ部を透過した前記光を受光する受光素子と、
    前記導波路部材と前記レンズ部材との間に、前記導波路部材から出射された前記光を前記レンズ部材へ通過させる第１間隙および前記第１間隙と異なる第２間隙を設けて配置した一定の厚みを有する介在部材と、
    前記第１間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる透過部と、
    前記第２間隙に液状の接着樹脂を充填することによって形成された、前記レンズ部材と前記導波路部材とを接合する接合部と、
    を有することを特徴とする光モジュール。
  6. 前記介在部材は、互いに離間して配置された複数の介在部材であることを特徴とする請求項４または５に記載の光モジュール。
  7. 前記介在部材は、楕円の長手方向が一定方向となるように配置された複数の楕円柱であることを特徴とする請求項６に記載の光モジュール。
  8. 発光素子から出射された光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、前記レンズ部を透過した前記光を伝送する光導波路を有する導波路部材とを、前記レンズ部を透過した前記光を前記光導波路へ通過させる間隙を設けて配置した接合層によって接合し、
    前記間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって、前記光を透過させる透過部を形成する、
    ことを特徴とする光モジュールの製造方法。
  9. 発光素子から出射された光を透過させるレンズ部を有するレンズ部材と、前記レンズ部を透過した前記光を伝送する光導波路を有する導波路部材と、の間に、前記レンズ部を透過した前記光を前記光導波路へ通過させる第１間隙および前記第１間隙と異なる第２間隙を設けて一定の厚みを有する介在部材を配置し、
    前記第１間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって、前記光を透過させる透過部を形成し、
    前記第２間隙に液状の接着樹脂を充填することによって、前記レンズ部材と前記導波路部材とを接合する接合部を形成する、
    ことを特徴とする光モジュールの製造方法。
  10. 光を出射する発光素子と、
    前記発光素子から出射された前記光を透過させる第１レンズ部を有する第１レンズ部材と、
    前記第１レンズ部を透過した前記光を伝送する第１光導波路を有する第１導波路部材と、
    前記第１レンズ部材と前記第１導波路部材とを接合する第１接着シートを、前記第１レンズ部を透過した前記光を前記第１光導波路へ通過させる第１間隙を設けて配置した第１接合層と、
    前記第１間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる第１透過部と、
    前記発光素子に駆動電流を供給する供給部と、
    光を伝送して出射する第２光導波路を有する第２導波路部材と、
    前記第２光導波路によって出射された前記光を透過させる第２レンズ部を有する第２レンズ部材と、
    前記第２レンズ部を透過した前記光を受光する受光素子と、
    前記第２レンズ部材と前記第２導波路部材とを接合する第２接着シートを、前記第２光導波路によって出射された前記光を前記第２レンズ部へ通過させる第２間隙を設けて配置した第２接合層と、
    前記第２間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる第２透過部と、
    前記受光素子によって光電変換された電流信号を電圧信号に変換して出力する出力部と、
    を有することを特徴とする光信号送受信機。
  11. 光を出射する発光素子と、
    前記発光素子から出射された前記光を透過させる第１レンズ部を有する第１レンズ部材と、
    前記第１レンズ部を透過した前記光を伝送する第１光導波路を有する第１導波路部材と、
    前記第１レンズ部材と前記第１導波路部材との間に、前記第１レンズ部を透過した前記光を前記第１光導波路へ通過させる第１間隙および前記第１間隙と異なる第２間隙を設けて配置した一定の厚みを有する第１介在部材と、
    前記第１間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる第１透過部と、
    前記第２間隙に液状の接着樹脂を充填することによって形成された、前記第１レンズ部材と前記第１導波路部材とを接合する第１接合部と、
    前記発光素子に駆動電流を供給する供給部と、
    光を伝送して出射する第２光導波路を有する第２導波路部材と、
    前記第２光導波路によって出射された前記光を透過させる第２レンズ部を有する第２レンズ部材と、
    前記第２レンズ部を透過した前記光を受光する受光素子と、
    前記第２導波路部材と前記第２レンズ部材との間に、前記第２導波路部材から出射された前記光を前記第２レンズ部材へ通過させる第３間隙および前記第３間隙と異なる第４間隙を設けて配置した一定の厚みを有する第２介在部材と、
    前記第３間隙に液状の光透過性樹脂を充填することによって形成された、前記光を透過させる第２透過部と、
    前記第４間隙に液状の接着樹脂を充填することによって形成された、前記第２レンズ部材と前記第２導波路部材とを接合する第２接合部と、
    前記受光素子によって光電変換された電流信号を電圧信号に変換して出力する出力部と、
    を有することを特徴とする光信号送受信機。
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