JP2018017922A - 光モジュール及び光モジュールの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】光導波路に発光素子及び受光素子等が実装されている光導波路モジュールにおいて、使用している間に光導波路に対し発光素子及び受光素子等の位置ずれが生じない光導波路モジュールを提供する。
【解決手段】光導波路と、レンズを有するレンズシートと、一方の面に発光素子、あるいは受光素子の少なくとも一方が実装された基板と、前記光導波路と前記レンズシートとを貼り合わせる第１の接着膜と、前記レンズシートと前記基板とを貼り合わせる第２の接着膜と、前記第１の接着膜あるいは前記第２の接着膜の少なくとも一方に設けられ、接着剤が供給される接着剤導入領域と、を有することを特徴とする光モジュールを提供することにより上記課題を解決する。
【選択図】 図７

Description

本発明は、光モジュール及び光モジュールの製造方法に関する。

光通信の通信インタフェース規格としてＱＳＦＰ（Quad Small Form-factor Pluggable）があり、ＱＳＦＰ光モジュールが用いられている。ＱＳＦＰ光モジュールは、発光素子や受光素子が光導波路に実装された光導波路モジュールを有している。光導波路モジュールは、発光素子からの光が光導波路に入射するように、また、光導波路からの光が受光素子に入射するように、発光素子及び受光素子と光導波路とを位置合わせして、粘着シートにより貼り合わせることにより作製される。

特開２００９−６９３６０号公報 特開２０１４−１０２３９９号公報

ＱＳＦＰ光モジュールに接続されているケーブルが引っ張られることにより、発光素子や受光素子の位置が光導波路に対してずれてしまう場合がある。発光素子及び受光素子の位置が光導波路に対してずれると光損失が大きくなり、光導波路を伝播する光が受光素子に入射しなくなったり、また、発光素子より出射された光が光導波路に入射しなくなるため、光導波路モジュールの機能が低下する。

光導波路に発光素子や受光素子が実装されている光導波路モジュールにおいて、光導波路に対し発光素子及び受光素子の位置ずれが生じないものが求められている。

本実施の形態の一観点によれば、光導波路と、レンズを有するレンズシートと、一方の面に発光素子、あるいは受光素子の少なくとも一方が実装された基板と、前記光導波路と前記レンズシートとを貼り合わせる第１の接着膜と、前記レンズシートと前記基板とを貼り合わせる第２の接着膜と、前記第１の接着膜あるいは前記第２の接着膜の少なくとも一方に設けられ、接着剤が供給される接着剤導入領域と、を有することを特徴とする。

開示の光導波路モジュールによれば、使用している間に光導波路に対し発光素子及び受光素子等の位置ずれが生じることを防ぐことができる。

光導波路モジュールの断面図 光導波路モジュールの分解斜視図 光導波路モジュールによる位置ずれの説明図（１） 光導波路モジュールによる位置ずれの説明図（２） 光導波路モジュールによる位置ずれの説明図（３） 第１の実施の形態による光導波路モジュールの斜視図 第１の実施の形態による光導波路モジュールの分解斜視図 第１の実施の形態による光導波路モジュールの断面図 第１の実施の形態による光導波路モジュールの説明図 第１の実施の形態による光導波路モジュールの製造方法の工程図（１） 第１の実施の形態による光導波路モジュールの製造方法の工程図（２） 第１の実施の形態による光導波路モジュールの製造方法の工程図（３） 第２の実施の形態による光導波路モジュールの斜視図 第２の実施の形態による光導波路モジュールの分解斜視図 第２の実施の形態による光導波路モジュールの断面図 第２の実施の形態による光導波路モジュールの説明図 第３の実施の形態による光導波路モジュールの斜視図 第３の実施の形態による光導波路モジュールの分解斜視図 第３の実施の形態による光導波路モジュールの断面図 第３の実施の形態による光導波路モジュールの説明図 第３の実施の形態による光導波路モジュールの製造方法の工程図（１） 第３の実施の形態による光導波路モジュールの製造方法の工程図（２） 第３の実施の形態による光導波路モジュールの製造方法の工程図（３） 第４の実施の形態による光導波路モジュールの斜視図 第４の実施の形態による光導波路モジュールの分解斜視図 第４の実施の形態による光導波路モジュールの断面図 第４の実施の形態による光導波路モジュールの説明図 第４の実施の形態による光導波路モジュールの製造方法の工程図（１） 第４の実施の形態による光導波路モジュールの製造方法の工程図（２） 第４の実施の形態による光導波路モジュールの製造方法の工程図（３） 第５の実施の形態による光導波路モジュールの斜視図 第５の実施の形態による光導波路モジュールの分解斜視図 第５の実施の形態による光導波路モジュールの断面図 第５の実施の形態による光導波路モジュールの説明図 第５の実施の形態による光導波路モジュールの製造方法の工程図（１） 第５の実施の形態による光導波路モジュールの製造方法の工程図（２） 第５の実施の形態による光導波路モジュールの製造方法の工程図（３）

本発明を実施するための形態について、以下に説明する。尚、同じ部材等については、同一の符号を付して説明を省略する。

光導波路モジュールにおける発光素子及び受光素子の光導波路に対する位置ずれを説明する。

図１は光導波路モジュールの断面図であり、図２は光導波路モジュールの分解斜視図である。図１及び図２に示す光導波路モジュールは、シート状の光導波路２０の上に、レンズシート３０、フレキシブル基板（以下「基板」）４０が積層されている。

光導波路２０では、コア２１ａがクラッド２１ｂにより挟まれ覆われている。光導波路２０の一方の端部（図１図示右端側）には不図示のレンズ付きフェルールが接続される。レンズシート３０の面３０ａには複数のレンズ３１が形成され、光導波路２０とレンズシート３０とは粘着シート８０により貼り合わせられている。光導波路２０の他端には、面２０ｂ側より光導波路２０の一部をＶ字状に除去することによりミラー２２が形成されている。

基板４０には配線が形成され、その一方の面４０ａには発光素子５０、受光素子６０、ドライバ７１、ＴＩＡ（Transimpedance Amplifier）７２が実装されている。発光素子５０は複数の発光部を有する、例えばＶＣＳＥＬ（Vertical Cavity Surface Emitting LASER）である。受光素子６０は複数の受光部を有する、例えばフォトダイオードである。ドライバ７１は発光素子５０を駆動するためのＩＣ（Integrated Circuit）である。ＴＩＡ７２は、受光素子６０が検出した光により生じた電流を電圧に変換するＩＣである。

基板４０には、発光素子５０が出射する光及び受光素子６０に入射する光の光路に貫通穴４１が設けられており、面４０ｂがレンズシート３０の面３０ａと粘着シート９０により貼り合わせられる。粘着シート９０にも、光路となる部分に貫通穴９１が設けられている。基板４０に実装されている発光素子５０、受光素子６０、ドライバ７１、ＴＩＡ７２は、バンプ４２を介して基板４０に実装される。粘着シート８０及び９０は例えば透明な両面テープである。本実施の形態では、光導波路２０の厚さは約１０５μｍであり、レンズシート３０の厚さは約７５μｍ、基板４０の厚さは６５μｍであり、発光素子５０及び受光素子６０の厚さは約２００μｍであり、粘着シート８０及び９０の厚さは約２５μｍであるものとする。

光導波路モジュールでは、発光素子５０の発光部及び受光素子６０の受光部、基板４０の貫通穴４１、レンズシート３０のレンズ３１、光導波路２０に形成されたミラー２２が位置合わせされた状態で貼り合わせられる。発光素子５０が出射した光は貫通穴４１を通り、レンズ３１を介してミラー２２で反射してコア２１ａ内を伝播する。また、コア２１ａ内を伝播した光がミラー２２により反射され、レンズ３１を介して貫通穴４１を通り受光素子６０に入射する。

光導波路モジュールでは、ＱＳＦＰ光モジュール内の基板に設けられたＦＰＣ（Flexible printed circuits）コネクタに基板４０が接続され固定される。しかし、光導波路２０の端部は固定されておらず、光導波路２０のたわみ等により光導波路２０に力が加わった場合には、レンズシート３０や基板４０が十分に固定されていないと、粘着シート８０により貼り付けられているレンズシート３０が光導波路２０の面に対して動き、粘着シート９０により貼り付けられている基板４０がレンズシート３０の面に対して動いてしまい、各部の位置ずれが生じてしまう。

図３は、光導波路モジュールの各部が正しい位置関係にある状態を示す図であり、図３（ａ）は上面図を、図３（ｂ）はミラー２２、レンズ３１、発光素子５０、受光素子６０の部分を示す図である。図３の状態では、ミラー２２、レンズ３１、発光素子５０、受光素子６０の各々の中心が一致している。

図４は、光導波路２０がＦＰＣコネクタ４５側に押された状態の光導波路モジュールを示している。光導波路２０が光導波路モジュール内に撓ませて組み込まれている場合、光導波路２０に生じる復元力により破線矢印Ａに示す方向に光導波路２０に力が加わる。この際、光導波路２０、レンズシート３０、基板４０相互が十分に固定されていないと、各部の位置ずれが生じる。例えば、光導波路２０がレンズシート３０に対して矢印Ａ方向に動いた場合、図４（ｂ）に示すようにミラー２２がレンズ３１に対して矢印Ａ方向にずれてしまう。同様に、レンズシート３０が基板４０に対して矢印Ａ方向に動いた場合、図４（ｂ）に示されるようにレンズ３１が発光部５１や受光部６１に対して矢印Ａ方向にずれてしまう。この場合、光導波路モジュールに光損失が生じ、光導波路モジュールとして機能が低下あるいは機能しなくなる場合がある。

図５は、光導波路２０が基板４０などに対して回転した状態を示す。図５（ａ）に示されるように、破線矢印Ｂに示す方向に光導波路２０に力が加わると、光導波路２０とレンズシート３０との固定が十分でないと、光導波路２０がレンズシート３０に対して回転し、その結果図５（ｂ）に示すようにミラー２２がレンズ３１に対して位置ずれを起こす。同様に、レンズシート３０と基板４０との固定が十分ではないと、レンズ３１が発光部５１、受光部６１に対して矢印Ｂ方向に回転する。このため、この場合も光導波路モジュールに光損失が生じる可能性が出る。

上記のように、ミラー２２、レンズ３１、発光部５１、受光部６１の各部の位置がずれてしまうのは、粘着シート８０及び９０の粘着力、即ち、光導波路２０とレンズシート３０、レンズシート３０と基板４０を固定する力が弱いためである。

光導波路２０とレンズシート３０、レンズシート３０と基板４０とを強く固定することができれば、このような問題は解消される。各部を強く固定するためには、例えば接着剤を用いることができる。接着剤が十分に硬化すれば、接着剤の固定力は粘着シートの固定力よりも高くなる。

しかし、接着剤は塗布量を制御することが困難であり、また接着剤の粘度も変化する可能性がある。そのため、接着剤の厚みを制御することが難しく、光導波路２０とレンズシート３０との厚み方向の間隔や、レンズシート３０と基板４０との厚み方向の間隔が、所望の間隔からずれてしまう場合がある。このため、ミラー２２、レンズ３１、発光部５１／受光部６１相互の間隔がずれてしまい、光損失が生じる可能性がある。

更には、接着剤が硬化した際、光導波路モジュールを構成する各部（特に樹脂）の収縮の違いを吸収できない可能性があるため、結果として光導波路モジュールの信頼性を十分に確保できない可能性も出てくる。

一方で、適切な厚みの粘着シートを用いれば、レンズシート３０−基板４０間、レンズシート３０−光導波路２０間の間隔を、問題とならない精度で確保できる。また、部材間の収縮度合いの差も、粘着シートであれば吸収可能である。

〔第１の実施の形態〕
（光導波路モジュール）
次に、第１の実施の形態による光導波路モジュールについて、図６〜図９に基づき説明する。

図６は本実施の形態による光導波路モジュールの光導波路１２０側から見た斜視図であり、図７は分解斜視図である。図８（ａ）は図６の一点鎖線６Ａ−６Ｂで切断した断面図であり、図８（ｂ）は図６の一点鎖線６Ｃ−６Ｄで切断した断面図である。図９は接着剤が供給されていない状態の図８に対応した断面であり、図９（ａ）は接着剤が供給されていない状態における図６の一点鎖線６Ａ−６Ｂで切断した断面図であり、図９（ｂ）は図６の一点鎖線６Ｃ−６Ｄで切断した断面図である。本実施の形態による光導波路モジュールは、粘着シートと接着剤との双方を用いて、フレキシブル基板とレンズシート、及びレンズシートと光導波路とを貼り合わせて固定したものである。

上記の通り、光導波路モジュールを製造する上では、光導波路モジュールを構成する各要素を、各部の位置関係が動かないように固定することが必要となる。その一方で、各部の厚み方向の間隔を所望のものとするために、接着層の厚みが制御できる必要がある。そのため、本実施の形態では、固定力の高い接着剤と、厚みの制御がしやすいシート状の粘着剤との双方を用いて、光導波路モジュールの各部を貼りあわせる構成としている。

本実施の形態による光導波路モジュールは、図６〜図９に示されるように、シート状の光導波路１２０の上に、レンズシート１３０、フレキシブル基板（基板）１４０を積層することにより形成されている。本実施の形態による光導波路１２０は、中央部分に設けられたコア１２１ａがクラッド１２１ｂにより挟まれ周囲が覆われている構造のものであり、光導波路１２０の一端には不図示のレンズ付きフェルールが接続される。レンズシート１３０の面１３０ａには複数のレンズ１３１が一列に形成されており、光導波路１２０の面１２０ａとレンズシート１３０の面１３０ｂとは粘着シート１８０により貼り合わせられている。尚、光導波路１２０の他端近傍には、面１２０ｂより光導波路１２０の一部をＶ字状に除去することによりミラー１２２が形成されている。

本実施の形態による粘着シート１８０は２分割されており、光導波路１２０のミラー１２２、及びレンズシート１３０のレンズ１３１に対応する位置、つまり光路となる領域に、図７および図９に示すように接着剤導入領域となる溝１８１が設けられている。溝１８１に入れられた接着剤２０１により、図８に示されるように、光導波路１２０とレンズシート１３０との、特にミラーとレンズ１３１とが形成された部が接着され固定される。溝１８１の幅は、供給された接着剤が毛細管現象によって広がることができ、且つレンズ１３１の径よりも大きくなるように設定される。

レンズシート１３０は粘着シート１８０よりも幅広に形成されており、粘着シート１８０により光導波路１２０と張り合わされた状態で溝１８１の上となる位置に、１８１に接着剤２０１を供給するための貫通穴１３２が設けられている。

基板１４０には不図示の配線が形成されており、面１４０ａには、発光素子１５０、受光素子１６０、ドライバ１７１、ＴＩＡ１７２が実装されている。発光素子１５０は複数の発光部を有しており、例えばＶＣＳＥＬである。受光素子１６０は複数の受光部を有しており、例えばフォトダイオードである。ドライバ１７１は、発光素子１５０を駆動するためのＩＣである。ＴＩＡ１７２は、受光素子１６０の受光部において検出された光により生じた電流を電圧に変換するＩＣである。

基板１４０の、発光素子１５０の発光部より出射された光、及び、受光素子１６０の受光部に入射する光の光路となる部分には、各々貫通穴１４１が一列に設けられており、レンズシート１３０の面１３０ａと基板１４０の面１４０ｂとは粘着シート１９０により貼り合わせられている。基板１４０の面１４０ａに実装されている発光素子１５０、受光素子１６０、ドライバ１７１、ＴＩＡ１７２は、金などの材料により形成されたバンプを介して基板１４０に形成されている配線と接続されている。

粘着シート１９０の、レンズ１３１が形成されている領域、及び、発光素子１５０の発光部及び受光素子１６０の受光部が形成されている領域には、開口１９１が設けられている。レンズ１３１の周囲は粘着シート１９０により囲まれているため、レンズ１３１に接着剤がかかることを防止可能である。粘着シート１９０の大きさは、レンズシート１３０や基板１４０よりも小さく、言い換えるとレンズシート１３０は粘着シート１９０よりも幅広に形成されている。そのため、粘着シート１９０の縁とレンズシート１３０の縁との間に、図１１に示すように隙間が形成される。そのため、粘着シート１９０によりレンズシート１３０と基板１４０とが張り合わされた後、この隙間に沿って、レンズシート１３０の外側のレンズシート１３０と基板１４０との間に接着剤２０２を供給することにより、レンズシート１３０と基板１４０とが接着剤２０２により接着され固定される。

尚、粘着シート１８０及び１９０は、例えば両面に接着層を有する透明両面テープである。以下、粘着シート１８０を第１の接着膜と記載し、粘着シート１９０を第２の接着膜と記載する場合がある。また、本実施の形態においては接着剤２０１及び２０２として、紫外線（ＵＶ：ultraviolet）硬化樹脂を用いた場合について説明するが、熱硬化樹脂などの他の種類の接着剤を用いてもよい。なお、接着剤２０１及び２０２は、光に対して透明な樹脂材料である。

光導波路モジュールは、発光素子１５０の発光部及び受光素子１６０の受光部、基板１４０の貫通穴１４１、レンズシート１３０のレンズ１３１、光導波路１２０に形成されたミラー１２２が位置合わせされた状態で、粘着シート１８０及び１９０により張り合わせられ、更に、接着剤２０１及び２０２により固定される。具体的には、図８に示されるように、発光素子１５０の発光部／受光素子１６０の受光部、貫通穴、レンズ１３１、ミラー１２２の位置合わせがなされた状態で基板１４０、レンズシート１３０、光導波路１２０が粘着シート１８０及び１９０により貼り合わせられた後、接着剤２０１及び２０２により固定される。

光導波路モジュールでは、ＱＳＦＰ光モジュール内の基板に設けられたＦＰＣコネクタに基板１４０が接続される。そのため、光導波路１２０のたわみ等の影響により、光導波路１２０に力が加わることがある。しかし、本実施の形態による光導波路モジュールでは、レンズシート１３０と光導波路１２０とは接着剤２０１により固定されており、基板１４０とレンズシート１３０とは接着剤２０２により固定されている。従って、レンズシート１３０が光導波路１２０に対して、また、基板１４０がレンズシート１３０に対して動き、位置ずれが生じることはない。

また、光導波路１２０とレンズシート１３０の間には粘着シート１８０が、レンズシート１３０と基板１４０との間には粘着シート１９０が、それぞれ設けられている。このため、粘着シート１８０、１９０によってレンズシート１３０とミラー１２２、レンズシート１３０と発光素子１５０／受光素子１６０とを所定の間隔に保つことができる。

このように、接着剤と粘着シートとを併用することによって、各部を確実に固定しつつ、各部の位置関係を適切に維持することが可能となる。

（光導波路モジュールの製造方法）
次に、本実施の形態による光導波路モジュールの製造方法について、図１０〜図１２に基づき説明する。

図１０（ａ）に示すように、光導波路１２０の面１２０ａに、粘着シート１８０の一方の面を貼り付ける。この際、光導波路１２０に設けられたミラー１２２の位置と粘着シート１８０の溝１８１の位置とが一致するように位置合わせする。レンズ１３１の径が１００μｍである場合、溝１８１は例えば幅が約１００μｍあるいはこれ以上である。

次に、図１０（ｂ）に示すように、粘着シート１８０の他方の面にレンズシート１３０の面１３０ｂを貼り付ける。この際、光導波路１２０に設けられたミラー１２２の位置とレンズシート１３０のレンズ１３１の位置とが一致するように位置合わせする。これにより、溝１８１の位置とレンズ１３１の位置とが一致し、溝１８１の端の部分の上にはレンズシート１３０の貫通穴１３２が位置する。

次に、図１０（ｃ）に示すように、破線矢印Ｃに示すように、レンズシート１３０の面１３０ａ側より、貫通穴１３２に接着剤として紫外線硬化樹脂を供給する。貫通穴１３２より供給された接着剤は溝１８１内を毛細管現象により広がり、溝１８１内を埋める。この後、破線矢印Ｄに示すように、面１３０ａ側より紫外線を照射する。レンズシート１３０は紫外線を透過するため、溝１８１を埋めている接着剤を硬化させることができる。このように硬化させた接着剤２０１により、光導波路１２０とレンズシート１３０が接着されて固定される。

次に、図１１（ａ）に示すように、レンズ１３１の位置と粘着シート１９０に形成された開口１９１の位置とが一致するように位置合わせした後、レンズシート１３０の面１３０ａに粘着シート１９０を貼り付ける。粘着シート１９０が貼り付けられた状態のレンズシート１３０を図１１（ｂ）に示す。図１１（ｂ）の状態では、レンズシート１３０の両側部がむき出しになっている。

次に、図１１（ｃ）に示すように、粘着シート１９０の他方の面に基板１４０の面１４０ｂを貼り付ける。この際、基板１４０の貫通穴１４１とレンズ１３１との位置とが一致するように位置合わせする。図１１（ｃ）は、図１１（ｂ）における粘着シート１９０が貼り付けられている状態のものを裏返して基板１４０に貼り付ける様子を示している。この状態では、レンズシート１３０の両側部と基板１４０との間に隙間が形成される。

次に、図１２に示すように、破線矢印Ｅに示すように、レンズシート１３０と基板１４０との隙間から、面１３０ａと面１４０ｂとの間に接着剤として紫外線硬化樹脂を供給し、レンズシート１３０と基板１４０との間に接着剤を広がらせた後、破線矢印Ｆに示すように面１３０ｂ側より紫外線を照射する。レンズシート１３０を透過した紫外線によりレンズシート１３０と基板１４０との間の接着剤が硬化し、レンズシート１３０と基板１４０とが接着される。

以上のように、本実施の形態による光導波路モジュールでは、粘着シート１８０により光導波路１２０とレンズシート１３０とを貼り合わせた後、粘着シート１８０の溝１８１に接着剤２０１を供給して接着する。
光導波路１２０とレンズシート１３０との間隔は粘着シート１８０の厚さに保たれており、間隔が変動することはない。同様に、粘着シート１９０によりレンズシート１３０と基板１４０とを貼り合わせた後、レンズシート１３０と基板１４０との間に接着剤２０２を供給して接着するため、レンズシート１３０と基板１４０との間隔は、粘着シート１９０の厚さに保たれており、間隔が変動することはない。従って、接着剤を用いて接着しても、光損失が生じることはない。

また、本実施の形態では、光導波路１２０とレンズシート１３０との間を接着剤を用いて接着しているため、粘着シートを用いた場合と比較してより強く固定されており、光導波路１２０に力が加わっても、レンズシート１３０が光導波路１２０に対して、また、基板１４０がレンズシート１３０に対して動くことはない。よって、信頼性の高い光導波路モジュールを得ることができる。

〔第２の実施の形態〕
次に、第２の実施の形態による光導波路モジュールについて、図１３〜図１６に基づき説明する。本実施の形態による光導波路モジュールは、レンズシート２３０の側面に切り欠け部２３２を設けた構造のものである。

図１３は本実施の形態による光導波路モジュールの斜視図であり、図１４は分解斜視図である。図１５（ａ）は図１３の一点鎖線１３Ａ−１３Ｂで切断した断面図であり、図１５（ｂ）は図１３の一点鎖線１３Ｃ−１３Ｄで切断した断面図である。図１６は接着剤が供給されていない状態の光導波路モジュールの断面を示すものであり、図１６（ａ）は図１３の一点鎖線１３Ａ−１３Ｂで切断した断面図であり、図１６（ｂ）は図１３の一点鎖線１３Ｃ−１３Ｄで切断した断面図である。

図１３〜図１６に示す光導波路モジュールは、光導波路１２０の上にレンズシート２３０、基板１４０が積層される。光導波路１２０とレンズシート２３０とは粘着シート１８０により貼り合わせられている。本実施の形態での粘着シート１８０は２分割されており、溝１８１が形成されるように粘着シート１８０が配置される。光導波路１２０とレンズシート２３０とは、溝１８１に供給された接着剤により接着され固定される。

レンズシート２３０の側面の両側には、レンズシート２３０と光導波路１２０とを粘着シート１８０により貼りあわせた後に溝１８１に接着剤２０１を供給するための切り欠け部２３２が設けられている。二つの切り欠け部２３２は、直線状に配列するレンズ１３１の両端に、レンズ１３１を挟む位置に形成されている。

レンズシート２３０と基板１４０とは、粘着シート１９０により貼り合わせられている。粘着シート１９０には、レンズシート２３０のレンズ１３１、及び、発光素子１５０の発光部及び受光素子１６０の受光部に対応する領域に、レンズ１３１を囲むように形成された開口１９１が設けられている。

粘着シート１９０は、レンズシート２３０や基板１４０よりも小さく形成されている。特に、粘着シート１９０の幅（開口１９１の延長方向）をレンズシート２３０の幅よりも狭くすることにより、レンズシート２３０と基板１４０とを貼りあわせた際に、図１６（ｂ）に示すようにレンズシート２３０の縁と基板１４０との間に空間が確保される。粘着シート１９０によりレンズシート２３０と基板１４０とが張り合わされた後、レンズシート２３０の外側よりレンズシート２３０と基板１４０との間に確保された空間に接着剤２０２を供給することにより、毛細管現象によりこの空間内に接着剤が満たされ、レンズシート２３０と基板１４０とを接着剤２０２により接着し固定することができる。

本実施の形態による光導波路モジュールは、光導波路１２０とレンズシート２３０とを粘着シート１８０で貼りあわせる。その後、２つの切り欠け部２３２から接着剤を溝１８１内に供給し、接着剤を硬化する。これにより、光導波路１２０とレンズシート２３０との、特にミラーとレンズが形成される位置が接着剤により固定されるため、レンズシート２３０が光導波路１２０に対して動くことを防止できる。

一方、基板１４０とレンズシート２３０とを粘着シート１９０により貼りあわせ、その後レンズシート２３０と基板１４０との間の空間に接着剤を供給してレンズシート２３０と基板１４０とを固定する。このため、レンズシート２３０の基板に対する移動を防止することができる。

尚、上記以外の内容については、第１の実施の形態と同様である。
〔第３の実施の形態〕
（光導波路モジュール）
次に、第３の実施の形態による光導波路モジュールについて、図１７〜図２０に基づき説明する。

図１７は本実施の形態による光導波路モジュールの光導波路１２０側から見た斜視図であり、図１８は分解斜視図である。図１９（ａ）は図１７の一点鎖線１７Ａ−１７Ｂで切断した断面図であり、図１９（ｂ）は図１７の一点鎖線１７Ｃ−１７Ｄで切断した断面図である。また、図２０は接着剤２０１及び２０２が供給されていない状態の光導波路モジュールの断面を示すものであり、図２０（ａ）は図１７の一点鎖線１７Ａ−１７Ｂで切断した断面図であり、図２０（ｂ）は図１７の一点鎖線１７Ｃ−１７Ｄで切断した断面図である。

本実施の形態による光導波路モジュールは、図１７〜図２０に示されるように、シート状の光導波路１２０の上に、レンズシート３３０、基板１４０を積層することにより形成されている。

本実施の形態による光導波路モジュールにおいては、レンズシート３３０には、一方の面３３０ａに複数のレンズ１３１が形成されており、光導波路１２０とレンズシート３３０とは粘着シート３８０により貼り合わせられている。粘着シート３８０には、光導波路１２０のミラー１２２、及び、レンズシート３３０のレンズ１３１に対応する位置に接着剤導入領域となる溝３８１が、その一端に粘着シート３８０の外縁に向かう開口部を有する略Ｔ字状に設けられている。この溝３８１に入れられる接着剤２０１により、光導波路１２０とレンズシート３３０とが接着され固定されている。また、レンズシート３３０には、溝３８１に接着剤２０１を供給するための切り欠け部３３２が設けられている。

レンズと光導波路との厚みを制御するためには、少なくともレンズの周囲に粘着シートが配置されていればよい。そのため、本実施の形態による粘着シート３８０はレンズシートおよび光導波路よりも小さく形成されている。また、粘着シート３８０を小さく形成することで、光導波路１２０とレンズシート３３０とを接着剤２０１により接着する際に、溝３８１のみならず、粘着シート３８０の周囲における光導波路１２０とレンズシート３３０との隙間にも接着剤を入り込ませることができる。これにより、光導波路１２０とレンズシート３３０との接着強度を高めることができる。

基板１４０において、発光素子１５０の発光部より出射された光、及び、受光素子１６０の受光部に入射する光の光路となる部分には、各々貫通穴１４１が設けられており、レンズシート３３０と基板１４０とは粘着シート３９０により貼り合わせられている。

粘着シート３９０には、レンズシート３３０のレンズ１３１に対応する領域に開口部３９１が設けられている。また、粘着シート３８０と同様、粘着シート３９０もレンズ１３１の周囲を囲む程度の大きさがあれば、レンズシート３３０と基板１４０との厚み方向の間隔を制御できるため、レンズシート３３０や基板１４０よりも小さく形成されている。粘着シート３９０によりレンズシート３３０と基板１４０とが張り合わされた後、レンズシート３３０の外側より接着剤２０２を供給することにより、粘着シート３９０の周囲のレンズシート３３０と基板１４０との隙間に接着剤２０２が入り込む。粘着シート３９０の周囲のレンズシート３３０と基板１４０との間に入り込んだ接着剤２０２を硬化させることにより、レンズシート３３０と基板１４０とが接着され固定される。

尚、粘着シート３８０及び３９０は、透明両面テープ等である。本願においては、粘着シート３８０を第１の接着膜と記載し、粘着シート３９０を第２の接着膜と記載する場合がある。

本実施の形態による光導波路モジュールは、発光素子１５０の発光部及び受光素子１６０の受光部、貫通穴１４１、レンズ１３１、ミラー１２２の位置合わせがなされた状態で粘着シート３８０及び３９０により張り合わせされ、更に、接着剤２０１及び２０２により固定されている。

本実施の形態による光導波路モジュールでは、レンズシート３３０と光導波路１２０とは接着剤２０１により固定されており、特にレンズ１３１が形成されている部分は溝３８１に供給される接着剤により固定される。また、基板１４０とレンズシート３３０とは接着剤２０２により固定されている。従って、レンズシート３３０が光導波路１２０に対して動き位置ずれが生じること、また、基板１４０がレンズシート３３０に対して動き位置ずれが生じることはない。

（光導波路モジュールの製造方法）
次に、本実施の形態による光導波路モジュールの製造方法について、図２１〜図２２に基づき説明する。

最初に、図２１（ａ）に示すように、光導波路１２０の一方の面１２０ａに粘着シート３８０を貼り付ける。この際、光導波路１２０に設けられたミラー１２２の位置と溝３８１の位置とが一致するように位置合わせをして貼り付ける。粘着シート３８０に形成された溝３８１は、レンズ径が１００μｍの場合には、例えば、幅が約１００μｍあるいはそれ以上である。

次に、図２１（ｂ）に示すように、粘着シート３８０の他方の面にレンズシート３３０を貼り付ける。この際、ミラー１２２の位置とレンズ１３１の位置とが一致するように位置合わせをして貼り付ける。これにより、粘着シート３８０に形成された溝３８１の位置とレンズ１３１の位置とが一致する。

次に、図２１（ｃ）に示すように、破線矢印Ｇに示される側より、レンズシート３３０の切り欠け部３３２よりレンズシート３３０と光導波路１２０との隙間に紫外線硬化樹脂からなる接着剤を供給する。切り欠け部３３２より供給された接着剤は、粘着シート３８０の周囲に広がるとともに、溝３８１内を毛細管現象により広がり、溝３８１内を埋める。この後、破線矢印Ｈに示されるように紫外線を照射し溝３８１内及び粘着シート３８０の周囲の接着剤を硬化させる。このように硬化させた接着剤により、光導波路１２０とレンズシート３３０が接着されて固定される。

次に、図２２（ａ）に示すように、レンズ１３１の位置と粘着シート３９０に形成された開口部３９１の位置とが一致するように位置合わせをした後、レンズシート３３０面３３０ａに粘着シート３９０を貼り付ける。このように、粘着シート３９０が貼り付けられている状態のものを図２２（ｂ）に示す。

次に、図２２（ｃ）に示すように、粘着シート３９０の他方の面に基板１４０を貼り付ける。この際、基板１４０の貫通穴１４１とレンズ１３１との位置とが一致するように位置合わせする。図２２（ｃ）は、図２２（ｂ）における粘着シート３９０が貼り付けられている状態のものを裏返して基板１４０に貼り付ける様子を示している。

次に、図２３に示すように、破線矢印Ｉに示される側から、切り欠け部３３２に熱硬化樹脂からなる接着剤２０２を供給し、レンズシート３３０と基板１４０との間に接着剤を広がらせた後、熱を加えて接着剤を硬化させる。このように硬化させた接着剤により、レンズシート３３０と基板１４０とが接着されて固定される。

以上のように、本実施の形態による光導波路モジュールでは、粘着シート３８０により光導波路１２０とレンズシート３３０とを貼り合わせた後、溝３８１に供給した接着剤２０１により光導波路１２０とレンズシート３３０とを固定ため、光導波路１２０とレンズシート３３０との間隔は、粘着シート３８０の厚さに保たれており、間隔が変動することはない。また、粘着シート３９０によりレンズシート３３０と基板１４０とを貼り合わせた後、レンズシート３３０の外側よりレンズシート３３０と基板１４０との間に接着剤２０２を供給し接着するため、レンズシート３３０と基板１４０との間隔は粘着シート３９０の厚さに保たれており、間隔が変動することはない。従って、接着剤を用いて接着しても、光損失が生じることはない。

また、光導波路１２０とレンズシート３３０とを接着剤を用いて接着し、さらにレンズシート３３０と基板１４０とも接着剤を用いて接着しているため、光導波路１２０に力が加わっても、レンズシート３３０が光導波路１２０に対して動き位置ずれが生じること、また、基板１４０がレンズシート３３０に対して動き位置ずれが生じることはない。

尚、上記以外の内容については、第１の実施の形態と同様である。

〔第４の実施の形態〕
（光導波路モジュール）
次に、第４の実施の形態による光導波路モジュールについて、図２４〜図２７に基づき説明する。

図２４は本実施の形態による光導波路モジュールの斜視図であり、図２５は分解斜視図である。図２６（ａ）は図２４の一点鎖線２４Ａ−２４Ｂで切断したな断面図であり、図２６（ｂ）は図２４の一点鎖線２４Ｃ−２４Ｄで切断した断面図である。図２７（ａ）は接着剤が供給されていない状態で図２４の一点鎖線２４Ａ−２４Ｂで切断した断面図であり、図２７（ｂ）は図２４の一点鎖線２４Ｃ−２４Ｄで切断した断面図である。

本実施の形態による光導波路モジュールは、図２４〜図２７に示されるように、シート状の光導波路１２０の上に、レンズシート３３０、基板１４０を積層することにより形成されている。

本実施の形態による光導波路モジュールにおいては、レンズシート３３０には、一方の面３３０ａに複数のレンズ１３１が形成されており、光導波路１２０とレンズシート３３０とは粘着シート４８０により貼り合わせられている。本実施の形態においては、粘着シート４８０には、光導波路１２０のミラー１２２、及び、レンズシート３３０のレンズ１３１が形成されている領域に、接着剤導入領域となる溝４８１が、その一端が粘着シート４８０の外縁に向かう開口部を有する略Ｔ字状に設けられている。溝４８１に入れられる接着剤２０１により、光導波路１２０とレンズシート３３０とが固定される。また、レンズシート３３０には、溝４８１に接着剤２０１を供給するための切り欠け部３３２が設けられている。

基板１４０の、発光素子１５０の発光部より出射された光、及び、受光素子１６０の受光部に入射する光の光路となる部分には、各々貫通穴１４１が設けられており、レンズシート３３０と基板１４０とは粘着シート４９０により貼り合わせられている。尚、本実施の形態においては、粘着シート４８０、４９０は、レンズシート３３０と略同じ大きさで形成されている。

粘着シート４９０の、レンズシート３３０のレンズ１３１に対応する領域に、開口部４９１が設けられており、更には、接着剤が入り込む接着剤導入領域となる溝４９２が、その一端が粘着シート４９０の外縁に向かう開口部を有し他端が開口部４９１を略コ字状に囲うように設けられている。

本実施の形態においては、粘着シート４９０によりレンズシート３３０と基板１４０とが張り合わされた後、レンズシート３３０に設けられた切り欠け部３３２からレンズシート３３０と基板１４０との間に接着剤２０２を供給することにより、接着剤２０２が溝４９２内を毛細管現象により広がり溝４９２内に入り込む。この後、接着剤２０２を硬化させることにより、レンズシート３３０と基板１４０とが接着され固定される。尚、粘着シート４８０及び４９０は、透明両面テープ等である。

本実施の形態による光導波路モジュールは基板１４０、レンズシート３３０、光導波路１２０が粘着シート４８０及び４９０により張り合わせされており、更に、接着剤２０１及び２０２により固定されている。

本実施の形態による光導波路モジュールでは、レンズシート３３０と光導波路１２０とは接着剤２０１により接着され固定されており、基板１４０とレンズシート３３０とは接着剤２０２により接着され固定されている。従って、レンズシート３３０が光導波路１２０に対して動き位置ずれが生じること、また、基板１４０がレンズシート３３０に対して動き位置ずれが生じることはない。

（光導波路モジュールの製造方法）
次に、本実施の形態による光導波路モジュールの製造方法について、図２８〜図３０に基づき説明する。

最初に、図２８（ａ）に示すように、光導波路１２０に粘着シート４８０を貼り付ける。この際、光導波路１２０に設けられたミラー１２２の位置と粘着シート４８０に形成された溝４８１の位置とが一致するように位置合わせする。粘着シート４８０に形成された溝４８１は、例えば、幅が約１００μｍの溝である。

次に、図２８（ｂ）に示すように、粘着シート４８０にレンズシート３３０を貼り付ける。この際、ミラー１２２の位置とレンズシート３３０におけるレンズ１３１の位置とが一致するように位置合わせする。これにより、粘着シート４８０に形成された溝４８１の位置とレンズ１３１の位置とが一致する。また、溝４８１の端の部分の上には、レンズシート３３０の切り欠け部３３２が位置する。

次に、図２８（ｃ）に示すように、破線矢印Ｊに示される側より、切り欠け部３３２に紫外線硬化樹脂からなる接着剤を供給する。切り欠け部３３２より供給された接着剤は、溝４８１内を毛細管現象により広がり溝４８１内を埋める。この後、破線矢印Ｋに示されるように紫外線を照射し、溝４８１内を埋めている接着剤を硬化させる。このように硬化させた接着剤２０１により、光導波路１２０とレンズシート３３０が接着されて固定される。

次に、図２９（ａ）に示すように、レンズ１３１の位置と粘着シート４９０に形成された開口部４９１の位置とが一致するように位置合わせをした後、レンズシート３３０に粘着シート４９０を貼り付ける。このように、粘着シート４９０が貼り付けられている状態のものを図２９（ｂ）に示す。

次に、図２９（ｃ）に示すように、粘着シート４９０に基板１４０を貼り付ける。この際、基板１４０の貫通穴１４１とレンズ１３１との位置とが一致するように位置合わせする。図２９（ｃ）は、図２９（ｂ）における粘着シート４９０が貼り付けられている状態のものを裏返して基板１４０に貼り付ける様子を示している。

次に、図３０に示すように、破線矢印Ｌに示される側から、切り欠け部３３２に熱硬化樹脂からなる接着剤を供給する。切り欠け部３３２より供給された接着剤は、溝４９２内を毛細管現象により広がり溝４９２内を埋める。この後、熱を加えることにより、溝４９２内を埋めている接着剤を硬化させる。このように硬化させた接着剤２０２により、レンズシート３３０と基板１４０とが接着されて固定される。

以上のように、本実施の形態による光導波路モジュールでは、粘着シート４８０により光導波路１２０とレンズシート３３０とを貼り合わせた後、溝４８１に供給された接着剤２０１により接着するため、光導波路１２０とレンズシート３３０との間隔は粘着シート４８０の厚さに保たれており、間隔が変動することはない。また、粘着シート４９０によりレンズシート３３０と基板１４０とを貼り合わせた後、粘着シート４９０に設けられた溝４９２に接着剤２０２を供給し接着するため、レンズシート３３０と基板１４０との間隔は、粘着シート４９０の厚さに保たれており、間隔が変動することはない。従って、接着剤を用いて接着しても、光損失が生じることはない。

また、光導波路１２０とレンズシート３３０とを接着剤を用いて接着し、さらにレンズシート３３０と基板１４０とも接着剤を用いて接着しているため、光導波路１２０等に力が加わっても、レンズシート３３０が光導波路１２０に対して動き位置ずれが生じること、また、基板１４０がレンズシート３３０に対して動き位置ずれが生じることはない。

尚、上記以外の内容については、第１の実施の形態と同様である。

〔第５の実施の形態〕
（光導波路モジュール）
次に、第５の実施の形態による光導波路モジュールについて、図３１〜図３４に基づき説明する。

図３１は本実施の形態による光導波路モジュールの斜視図であり、図３２は分解斜視図である。図３３（ａ）は図３１の一点鎖線３１Ａ−３１Ｂで切断した断面図であり、図３３（ｂ）は図３１の一点鎖線３１Ｃ−３１Ｄで切断した断面図である。図３４は接着剤が供給されていない状態の光導波路モジュールの断面を示すものであり、図３４（ａ）は図３１の一点鎖線３１Ａ−３１Ｂで切断した断面図であり、図３４（ｂ）は図３１の一点鎖線３１Ｃ−３１Ｄで切断した断面図である。

本実施の形態による光導波路モジュールは、図３１〜図３４に示されるように、シート状の光導波路１２０の上に、レンズシート３３０、基板１４０が積層される。

光導波路１２０とレンズシート３３０とは粘着シート５８０により貼り合わせられている。粘着シート５８０には、光導波路１２０のミラー１２２及びレンズシート３３０のレンズ１３１に対応する位置に、開口している接着剤導入領域５８１が設けられており、レンズシート３３０には、接着剤導入領域５８１に接着剤２０１を供給するための切り欠け部３３２が設けられている。光導波路１２０とレンズシート３３０とはさらに、接着剤導入領域５８１に供給された接着剤により接着されている。粘着シート５８０には、光導波路１２０とレンズシート３３０とを接着剤２０１により接着した際に、接着剤導入領域５８１から接着剤２０１が流れ出ないようにするための枠部５８２が設けられている。

レンズシート３３０と基板１４０とは粘着シート５９０により貼り合わせられている。尚、本実施の形態においては、粘着シート５８０、５９０は例えば透明な両面テープであり、レンズシート３３０と略同じ大きさで形成されている。

粘着シート５９０には、レンズシート３３０のレンズ１３１に対応する位置に、レンズ１３１を囲むように形成された開口５９１が設けられ、更に、開口している接着剤が入り込む接着剤導入領域５９２が設けられている。また、粘着シート５９０には、レンズシート３３０と基板１４０とを接着した際に接着剤導入領域５９２から接着剤２０２が流れ出ないようにするための枠部５９３が設けられている。

本実施の形態では、粘着シート５９０によりレンズシート３３０と基板１４０とを張り合わせた後、切り欠け部３３２より接着剤導入領域５８１に接着剤２０２を供給する。接着剤は接着剤導入領域５９２内を毛細管現象により広がり、接着剤導入領域５９２内に入り込む。この後、接着剤導入領域５９２内の接着剤２０２を硬化させることにより、レンズシート３３０と基板１４０とが接着される。

本実施の形態による光導波路モジュールでは、レンズシート３３０と光導波路１２０とは接着剤２０１により接着され固定されているため、レンズシート３３０が光導波路１２０に対して動き位置ずれが生じることがない。同様に、基板１４０とレンズシート３３０とは接着剤２０２により接着され固定されているため、基板１４０がレンズシート３３０に対して動き位置ずれが生じることはない。

一方、レンズシート３３０と光導波路１２０とは粘着シート５８０により貼り付けられているため、レンズシート３３０と光導波路１２０との厚み方向の間隔をより容易に制御することができる。同様に、レンズシート３３０と基板１４０とは粘着シート５９０により貼り付けられているため、レンズシート３３０と基板１４０との厚み方向の間隔を制御可能となる。

（光導波路モジュールの製造方法）
次に、本実施の形態による光導波路モジュールの製造方法について、図３５〜図３７に基づき説明する。

最初に、図３５（ａ）に示すように、光導波路１２０に粘着シート５８０を貼り付ける。この際、ミラー１２２の位置と粘着シート５８０に形成された接着剤導入領域５８１の位置とが一致するように位置合わせされる。

次に、図３５（ｂ）に示すように、粘着シート５８０にレンズシート３３０を貼り付ける。この際、ミラー１２２の位置とレンズ１３１の位置とが一致するように位置合わせされる。これにより、接着剤導入領域５８１の位置とレンズ１３１の位置とが一致し、接着剤導入領域５８１の上にはレンズシート３３０の切り欠け部３３２が位置する。

次に、図３５（ｃ）に示すように、破線矢印Ｍに示すレンズシート３３０の切り欠け部３３２に紫外線硬化樹脂を供給する。切り欠け部３３２より供給された接着剤は接着剤導入領域５８１内を毛細管現象により広がり、接着剤導入領域５８１内を埋める。この後、破線矢印Ｎに示すように、レンズシート３３０の面３３０ａ側より紫外線を照射し、接着剤導入領域５８１内の接着剤を硬化させ、光導波路１２０とレンズシート３３０が接着される。

次に、図３６（ａ）に示すように、レンズ１３１の位置と開口５９１の位置とが一致するように位置合わせをした後、レンズシート３３０に粘着シート５９０を貼り付ける。図３６（ｂ）は粘着シート５９０が貼り付けられた状態を示す。

次に、図３６（ｃ）に示すように、粘着シート５９０の他方の面に基板１４０を貼り付ける。この際、貫通穴１４１とレンズ１３１との位置とが一致するように位置合わせする。

次に、図３７に示すように、破線矢印Ｐに示されるように、レンズシート３３０と基板１４０とにはさまれる粘着シート５９０の側面から、切り欠け部３３２に熱硬化樹脂からなる接着剤を供給する。切り欠け部３３２より供給された接着剤は接着剤導入領域５９２内を毛細管現象により広がり、接着剤導入領域５９２内を埋める。この後、熱を加えることにより接着剤導入領域５９２内の接着剤を硬化させ、レンズシート３３０と基板１４０とが接着される。

以上のように、本実施の形態による光導波路モジュールでは、粘着シート５８０により光導波路１２０とレンズシート３３０とを貼り合わせた後、接着剤導入領域５８１に接着剤２０１を供給し光導波路１２０とレンズシート３３０とを接着するため、光導波路１２０とレンズシート３３０との間隔は粘着シート５８０の厚さに保たれており、間隔が変動することはない。また、粘着シート５９０によりレンズシート３３０と基板１４０とを貼り合わせた後、接着剤導入領域５９２に接着剤２０２を供給しレンズシート３３０と基板１４０とを接着するため、レンズシート３３０と基板１４０との間隔は粘着シート５９０の厚さに保たれており、間隔が変動することはない。従って、接着剤を用いて接着しても、光損失が生じることはない。

また、光導波路１２０とレンズシート３３０とを接着剤を用いて接着し、さらに光導波路１２０とレンズシート３３０とにはさまれた粘着シート５８０の枠部５８２で囲われた接着剤導入領域５８１、及びレンズシート３３０と基板１４０とにはさまれた粘着シート５９０の枠部５９３で囲われた接着剤導入領域５９２も接着剤を用いて接着しているため、光導波路１２０に力が加わっても、レンズシート３３０が光導波路１２０に対して、また、基板１４０がレンズシート３３０に対して動き位置ずれが生じることはない。

尚、上記以外の内容については、第１の実施の形態と同様である。

以上、本発明の実施に係る形態について説明したが、上記内容は、発明の内容を限定するものではない。

１２０ 光導波路
１２２ ミラー
１３０ レンズシート
１３１ レンズ
１３２、１４１ 貫通穴
１４０ フレキシブル基板
１５０ 発光素子
１６０ 受光素子
１８０、１９０ 粘着シート
１８１ 溝
１９１ 開口
２０１、２０２ 接着剤

Claims (8)

1. 光導波路と、
   レンズを有するレンズシートと、
   一方の面に発光素子、あるいは受光素子の少なくとも一方が実装された基板と、
   前記光導波路と前記レンズシートとを貼り合わせる第１の接着膜と、
   前記レンズシートと前記基板とを貼り合わせる第２の接着膜と、
   前記第１の接着膜あるいは前記第２の接着膜の少なくとも一方に設けられ、接着剤が供給される接着剤導入領域と、を有することを特徴とする光モジュール。
2. 前記接着剤導入領域は、前記第１の接着膜に設けられる第１の接着剤導入領域を含み、
   前記光導波路と前記レンズシートとは前記第１の接着剤導入領域に供給される接着剤により接着されることを特徴とする、請求項１に記載の光モジュール。
3. 前記接着剤導入領域は、前記第２の接着膜に設けられた第２の接着剤導入領域を含み、
   前記レンズシートと前記基板とは、前記第２の接着剤導入領域に供給される接着剤により接着されることを特徴とする、請求項１または２に記載の光モジュール。
4. 前記光導波路はミラーを有し、
   前記接着剤導入領域は、前記ミラーと前記レンズとの間に設けられることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光モジュール。
5. 前記レンズシートは、接着剤を供給するための貫通穴または切り欠け部を有することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の光モジュール。
6. 光導波路に第１の接着膜を貼り付ける工程と、
   前記第１の接着膜にレンズシートを貼り付ける工程と、
   前記レンズシートに第２の接着膜を貼り付ける工程と、
   前記第２の接着膜に基板を貼り付ける工程と、
   前記第１の接着膜の、前記レンズシートと前記光導波路との間の位置に接着剤を供給し、前記光導波路と前記レンズシートとを接着する工程と、
   を有することを特徴とする光モジュールの製造方法。
7. 前記第２の接着膜の周囲に接着剤を供給し、前記レンズシートと前記基板とを接着する工程を更に有することを特徴とする請求項６に記載の光モジュールの製造方法。
8. 前記第２の接着膜の、前記レンズシートと前記基板との間に接着剤を供給し、前記レンズシートと前記基板とを接着する工程を更に有することを特徴とする請求項６または７に記載の光モジュールの製造方法。

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