JP2009069360A - 光素子実装方法、及び、光素子実装装置 - Google Patents

光素子実装方法、及び、光素子実装装置 Download PDF

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Abstract

【課題】光導波路デバイスにおける光の入出射位置を、正確かつ低コストで確認する光素子実装方法、及び、光素子実装装置を提供する。
【解決手段】紫外光照射部46を駆動させて、ステージ42上の光導波路デバイス20へ向かって紫外光を照射する。照射された紫外光は、第1導波路コア30内で散乱または励起されて蛍光を示し、第1導波路コア30の入射端面31Bから出射される。したがって、この出射された光を画像中で輝度の高い部分(明るい部分)としてとらえることができ入射端面31Bの位置を容易に確認することができる。
【選択図】図4

Description

本発明は、発光素子や受光素子などの光素子を導波路へ実装するための光素子実装方法、及び、この光素子実装方法を実施するための光素子実装装置に関する。
近年、コンピュータの処理能力向上に伴い、コンピュータや各種装置間の電気配線がシステム全体の性能を制限する「配線ボトルネック」という問題が生じている。そして、配線ボトルネックを解消する手段として、機器内や機器間等の短距離の光配線(光インターコネクション)が注目されている。光インターコネクションの実現には通信分野と比較して経済的な光技術が求められ、構成部品と実装方法の両面からの低コスト化が課題である。
ところで、発光素子や受光素子などの光素子の光導波路への実装方法では、光素子の位置合わせとして、光素子を駆動させ光入力強度を監視して位置合わせを行うアクティブアライメントによる実装、光部品に用意された位置認識マークを手がかりに位置合わせを行うパッシブアライメントによる実装がある。アクティブアライメントでは、導波路の光の入出射位置を正確に判断することができるが、コスト高になる。一方、パッシブアライメントでは、位置認識マークからの相対位置として類推される光の入出射位置が、実際の光軸と必ずしも一致せず、正確な光結合の効率が低いという問題がある。
これに対し、特許文献1では、光源から出射される光を導波路内に入射し、入射した光が導波路を伝搬し、導波路から出射される。この出射した光を撮像装置によって撮像し、得られた画像に基づいて、光部品の位置決めを決定し、実装対象に光部品を実装する方法が提案されている。
しかし、特許文献1の方法では光導波路の受発光素子搭載位置(光の入射または出射位置)の一方に、すでに光素子が実装されていた場合には、導波路内への光の入射が困難であり、もう一方の光素子の実装に対して同様の方法を適用することはできない。その為、1の導波路への2つ目の光素子の実装については、従来からのアクティブアライメントによる実装でコスト高となるか、若しくはパッシブアライメントにより光結合効率が低下するという問題がある。
また、光源からの光を光導波路内に入射させる為には、光の入射手段を光導波路の入出射光の光軸上に配置する必要がある。その為、両端にマイクロミラーなどの90度光路変換機能を備えた光導波路と、片端のみに90度光路変換機能を備えた光導波路では、光の入射手段の位置を大きく変更する必要があり、実装装置の構成や段取り替えが煩雑になるという問題がある。
特開2007−17559公報
本発明は、上記問題を解決すべく成されたものであり、光導波路デバイスにおける光の入出射位置を、低コストで正確に確認する光素子実装方法、及び、光素子実装装置を提供することを目的とする。
本発明の第1の態様の光素子実装方法は、光を導く導波路コアと、この導波路コアを包囲するクラッド部とを備えた高分子光導波路デバイスに、発光素子及び受光素子の少なくとも1つを含んで構成される光素子を実装する光素子実装方法であって、前記高分子光導波路デバイスへ紫外光を照射し、前記紫外光が照射された状態で前記導波路コアの光の入出射位置を含んで前記高分子光導波路デバイスを撮像装置により撮影し、前記撮影された画像中の明暗の差により、他部分よりも明るい部分または他部分よりも暗い部分が前記導波路コアの光の入出射位置であると判断して、前記導波路コアの光の入出射位置への前記発光素子及び前記受光素子の少なくとも一方の配置を行って前記光素子を実装する、ものである。
本発明の第1の態様の光素子実装方法では、導波路コアの形成されている高分子光導波路デバイスへ紫外光を照射する。照射された紫外光は、高分子光導波路デバイス中で散乱もしくは励起され、導波路コアおよび導波路コアを包囲するクラッド部を伝搬して光の入出射位置を含む導波路の端部から出射される。紫外光の照射による散乱および励起が主に導波路コア部を形成する材料において生じる場合、当該散乱および励起による光は、導波路コア端部の光の入出射位置より射出される。一方、紫外光照射による散乱と励起が主に導波路クラッド部で生じる場合には、光の入出射位置を除く導波路端部から射出される。そこで、紫外光が照射された状態で、この入出射位置を含んで高分子光導波路デバイスを撮像装置により撮影する。この出射光を撮影装置で撮影することにより、撮影された画像中の他部分よりも明るい部分または暗い部分を入出射位置として確認でき、導波路コアの光の入出射位置へ正確に発光素子及び受光素子の少なくとも一方の配置を行うことができる。
なお、本発明の第1の態様の光素子実装方法は、前記紫外光の光軸と前記撮像装置の光軸との成す角度が0°〜90°であること、を特徴とすることができる。
光導波路デバイスに付属される治具で反射された光が撮像装置へ入り込むことを抑制するために、紫外光の光軸と撮像装置の光軸との成す角度は、0°〜90°であることが好ましい。
また、本発明の第2の態様の光素子実装装置は、光を導く導波路コアと、この導波路コアを包囲するクラッド部とを備えた高分子光導波路デバイスへ紫外光を照射する光照射部と、前記導波路コアの光の入出射位置を含んで前記高分子光導波路デバイスを撮影する撮像装置と、を備えている。
本発明の第2の態様の光素子実装装置では、光照射部からの紫外光で高分子光導波路デバイスへ照射し、撮像装置で導波路コアの光の入出射位置を含んで高分子光導波路デバイスを撮影する。これにより、撮影された画像中に導波路コアの光の入出射位置から、もしくは、導波路コアの光の入出射位置を除く部分から出射される光を確認することができ、容易に導波路コアの端部、すなわち、光素子の実装位置を特定することができる。
なお、本発明の第2の態様の光素子実装装置は、前記撮像装置で撮影された画像中の他部分よりも明るい(暗い)部分に前記導波路コアの光の入出射位置が配置されていると判断する判断手段と、前記判断手段により判断された前記導波路コアの光の入出射位置に発光素子または受光素子を実装する実装手段と、を備えたことを特徴とすることもできる。
このように、判断手段による判断に基づいて、実装手段により適切な位置に光素子を実装することができる。
以上説明したように本発明によれば、紫外光を照射した状態での撮影画像に基づいて、光導波路デバイスにおける光の入出射位置を、低コストで正確に確認することができる。
図9には、光導波路デバイスと光導波路デバイスへ照射される光の関係が模式的に示されている。光導波路デバイスDは、通常図9(A)に示すように、伝搬する信号光の波長領域の他、可視光Kに対しても透明であり、信号光入出射部Cから信号光と同等の光軸に沿って入射される光以外は、屈折率の境界で屈折しながら光導波路デバイスDを通過し、そのまま光導波路デバイスD外へ抜ける。そのため、光導波路デバイスDの信号光入出射部Cを撮像しても、信号光の光軸を意識せずに可視光Kを照射した場合、信号光入出射部Cへ到達する光は僅かであり、信号光入出射部Cの位置(光結合位置)を認識することは困難である。
一方、高分子光導波路デバイスは、一般に短波長域で吸収を持ち、高分子光導波路デバイスを構成する高分子や重合開始剤は、紫外光Uの照射により蛍光を示す。そのため、紫外光Uが信号光の光軸以外から照射されたとしても、光導波路デバイスD内で散乱もしくは励起された光が光導波路デバイスDのコア部(導波路部)を伝搬し、信号光の入出射部Cから出射される(図9(B)参照)。
また、光導波路デバイスD内のクラッド部における散乱もしくは励起が支配的である場合には、信号光の入出射部C以外の光導波路デバイス端部より出射される(図9(C)参照)。
本発明は、このような高分子光導波路の紫外光に対する特性を用いて、光の入射位置を特定するものである。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の一例を詳細に説明する。
(光導波路デバイス及び光素子の構成)
まず、本発明に係る光素子実装方法によって実装される光素子としての発光素子12Bを備えた発光部12、光素子としての受光素子14Bを備えた受光部14、及び、光導波路デバイス20について説明する。
光導波路デバイス20は、図1に示すように、長方形板状のクラッド部22を備えている。クラッド部22は、光導波路デバイス20の本体をなす部分であり、透明樹脂フィルムなどで構成することができる。クラッド部22の長手方向の一端辺及び他端辺には、第1ミラー面24、及び、第2ミラー面26が構成されている。第1ミラー面24、及び、第2ミラー面26は、クラッド部22の上面22Aと45度の角度をなす傾斜面で構成され、光の光路を変換する光路変換面として機能する。なお、ここで45度の角度は、機械的精度上、例えば±10%程度振れていても良い。
クラッド部22には、クラッド部22に覆われるように、光を導く第1導波路コア30及び第2導波路コア32が形成されている。第1導波路コア30及び第2導波路コア32は、クラッド部22よりも屈折率の高い材料で構成されている。
図2にも示すように、第1導波路コア30は、クラッド部22の長手方向に配置される第1上部導波路コア部30A及び、クラッド部22の厚み方向に配置される第1端部導波路コア部30B、30Cとで構成されている。第1上部導波路コア部30Aは、一端が第1ミラー面24に配置され、他端が第2ミラー面26に配置されている。第1端部導波路コア部30Bは、一端が第1上部導波路コア部30Aと第1ミラー面24で連続され、他端がクラッド部22の下面22Dに配置されている。第1端部導波路コア部30Cは、一端が第1上部導波路コア部30Aと第2ミラー面26で連続され、他端がクラッド部22の下面22Dに配置されている。第1端部導波路コア部30Bの下面22D側の端面(以下「第1入射端面31B」という)が、光の入射位置となり、第1端部導波路コア部30Cの下面22D側の端面(以下「第1出射端面31C」という)が、光の出射位置となる。
第2導波路コア32は、第1導波路コア30と平行に配置され、第1上部導波路コア部30A、第1端部導波路コア部30B、30Cに各々対応する、第2上部導波路コア部32A、第2端部導波路コア部32B、32Cを備えている。第2導波路コア32では、第2端部導波路コア部32Bの下面22D側の端面(以下「第2出射端面33B」という)が、光の出射位置となり、第2端部導波路コア部32Cの下面22D側の端面(以下「第2入射端面33C」という)が、光の入射位置となる。
第1端部導波路コア部30B、30C、および第2端部導波路コア部32B、32Cは省略することが可能である。このとき入射端面31B、33B、および出射端面31C、33Cを通過して入出射する信号光は、クラッド部22の厚み方向に自由伝搬し、ミラー面24および26を介して第1導波路コア30および第2導波路コア32と結合する。
また、光導波路デバイス20の長手方向の一方、または両方の端部はクラッド部上面22Aと90度の角度を成すように構成されていても良い。このとき光の入出射位置は第1導波路コア30Aおよび第2導波路コア32Aの端部となる。
本実施形態の、光導波路デバイス20は、例えば、シリコーン樹脂を用いた鋳型による複製方法、スタンパーを用いた方法、ダイシングソーを用いた切削による方法、直接露光法など、様々な方法を用いて製造することができる。また、ミラー面24は、45°の角度付きブレードを備えたダイシングソーを用いて切断することにより構成することができる。
なお、第1導波路コア30及び第2導波路コア32は、硬化性樹脂を用いて形成することができる。硬化性樹脂としては、放射線硬化性、電子線硬化性、熱硬化性等の樹脂を用いることができ、中でも紫外線硬化性樹脂及び熱硬化性樹脂が好ましく用いられる。紫外線硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂としては、紫外線硬化性又は熱硬化性のモノマー、オリゴマー若しくはモノマーとオリゴマーの混合物が好ましく用いられる。また、前記紫外線硬化性樹脂としてエポキシ系、ポリイミド系、アクリル系紫外線硬化性樹脂が好ましく用いられる。
また、クラッド部22についても、硬化性樹脂を用いて形成することができる。クラッド部22用のフィルムとしては、硬化性樹脂を塗布して硬化させた層、高分子材料の溶剤溶液を塗布して乾燥して得られる高分子膜等が挙げられる。硬化性樹脂としては紫外線硬化性樹脂や熱硬化性樹脂が好ましく用いられ、例えば、紫外線硬化性又は熱硬化性のモノマー、オリゴマー若しくはモノマーとオリゴマーの混合物を用いることができる。
発光部12は、図1に示すように、基材12A及び発光素子12Bを備えている。本実施形態では、発光素子12Bとしてレーザ光を発光する複数の発光点が2次元配列された面発光レーザ(VCSEL;Vertical Cavity Surface Emitting Laser)を用いることとする。なお、発光素子としては、面発光レーザに限定されるものではなく、LEDやその他の発光素子を用いることもできる。
受光部14は、基板14A及び受光素子14Bを備えている。本実施形態では、受光素子14Bとしてフォトダイオードを用いる例について説明するが、フォトダイオードに限定されるものではなく、CCDやその他の受光素子を用いることもできる。
(光素子実装装置)
本発明の光素子実装方法は、図3に示す光素子実装装置40で実施することができる。光素子実装装置40は、ステージ42、搬送実装部44、紫外光照射部46、及び、撮像装置48を備えている。
ステージ42は長方形板状とされ、長方形の長手方向X及び短手方向Yへ移動可能とされている。搬送実装部44は、ステージ42の上側に配置されており、アーム44Aで部材を短手方向Yの外側から保持可能とされている。搬送実装部44についても長手方向X及び短手方向Yへ移動可能とされ、更に、ステージ42の厚み方向Zにも移動可能とされている。
搬送実装部44による発光部12および受光部14の保持は、図3に示した側面を挟み込む方法の他、吸着ノズルによって電子部品を真空吸着する方法がある。
紫外光照射部46は、ステージ42の上側にステージ42の上面から離間して配置されている。紫外光照射部46は、光軸がステージ面と平行になるように、ステージ42へ向かって紫外光を出射可能とされている。なお、紫外光照射部46から出射される紫外光は、必ずしも前述の角度で照射される必要はないが、撮像装置48の光軸と紫外光照射部46の光軸でなす角が、0°〜90°の範囲であることが好ましい。光導波路デバイス20に付属される治具で反射された光が撮像装置48の受光部へ入り込むことを抑制するためである。また、ここでの紫外光は、波長200nm〜380nmの近紫外光であることが好ましい。波長が200nm未満の遠紫外光は、光導波路デバイス20へダメージを与えることを防止するためである。
紫外光照射部36の光源としては、上記波長領域の紫外線を主成分とするあらゆる光源を用いることができ、例えば、放電灯、LED等を用いることができる。
高圧水銀灯やメタルハライドランプ等の放電灯は、複数の波長ピークをもつブロードなスペクトルの光を照射することが可能であるため、広範な材料で構成される光導波路デバイスに適応させることができる。なお、放電灯を使用する場合には、熱線による光素子の変形(寸法変化)を抑制するために、熱線カットフィルタを備えたものを使用することが好ましい。
また、LEDを紫外光照射部46の光源として用いることにより、短波長の紫外光による高分子光導波路デバイス20のダメージを防止することができる。また、熱線による光素子の変形(寸法変化)についても防止することができる。
撮像装置38は、ステージ42の上側にステージ42の上面から離間して光軸がステージ面と約90°の角度をなすように配置されている。撮像装置48としては、可視域に感度を持つCCD撮像素子によるデジタルマイクロスコープなどを用いることができる。
(光素子実装方法)
次に、光素子実装装置40を用いて光素子を実装する方法について説明する。
図4(A)に示すように、ステージ42上に光導波路デバイス20を、実装面(下面22D)が上側となるように載置する。また、発光素子12Bがステージ42側に向くように発光部12を搬送実装部44で保持する。
紫外光照射部46を駆動させて、ステージ42上の光導波路デバイス20へ向かって紫外光を照射する。そして、撮像装置48をX−Y方向へ移動させて、入射端面31Bの形成されている部分が含まれるように撮影する。ここで、照射された紫外光は、第1導波路コア30内で散乱または励起されて蛍光を示し、第1導波路コア30の入射端面31Bから出射される。したがって、この出射された光を画像中で輝度の高い部分(明るい部分)としてとらえることができ(図5(A)参照)、入射端面31Bの位置を容易に確認することができる。確認ができたら、撮像装置48を固定して、ステージ42上での入射端面31B位置を記憶しておく。
次に、搬送実装部44を駆動させて、発光部12を撮像装置48と光導波路デバイス20との間に移動させる。そして、前記固定した撮像装置48で、発光部12を発光素子12Bの位置を撮影し、第1導波路コア30の入射端面31Bと発光素子12Bの位置とが一致するように、搬送実装部44をX−Y方向へ移動させる(図4(B)参照)。
入射端面31Bと発光素子12Bの位置とが一致した地点で、搬送実装部34をZ方向下側へ移動させ、光導波路デバイス20へ実装する(図4(C)参照)。
同様にして出射端面31Cの位置を確認して、受光素子14Bと出射端面31Cとを一致させて、受光部14を実装する。また、入射端面33Cには発光部12を、出射端面33Bには受光部14を、同様にして実装することができる。
本実施形態によれば、第1導波路コア30、第2導波路コア32の入出射端面から光が出射されるので、撮像装置48を用いて、正確な入出射端面の位置を確認することができる。また、第1導波路コア30、第2導波路コア32の光軸方向に光を入射させる必要がないので、容易に入出射端面の位置を確認することができる。
一方、紫外光照射による散乱および励起が主としてクラッド部22で生じる場合には、画像中の輝度の低い部分(暗い部分(図5(B))を入射端面の位置として、それ以外については、上記と同様の手法により光素子を実装することができる。
なお、紫外光が照射された状態の光導波路デバイス20を撮像装置48で撮影した後の第1入射端面31B等の各入出射端面の確認、及び、確認された位置への発光部12、受光部14の配置及び実装は、自動的に行ってもよい。以下、高輝度部分が入出射位置となる場合について例示する。
自動的に行う場合には、光素子実装装置は、図6に示すように、制御部50及び指示入力部52をさらに備え、制御部50を、指示入力部52、撮像装置48、紫外光照射部46、ステージ42、及び、搬送実装部44と接続させる。指示入力部52は、ユーザーが各種の指示を入力するための操作部であり、撮像装置48、紫外光照射部46、ステージ42、及び、搬送実装部44の駆動指示を入力可能とされている。制御部50は、CPU、ROM、RAMなどを含んで構成されており、光素子実装装置40全体の制御や入出射端面の確認処理などを実行するための各種プログラムなどが格納されている。
紫外光が照射された状態の光導波路デバイス20を撮像装置48で撮影した後、指示入力部52から入出射端面の確認処理開始指示が入力されると、制御部50では、図7に示す入出射端面の確認処理が開始される。
まず、ステップS10で撮影画像を記憶し、ステップS12で記憶した画像の平均輝度を算出する。ステップS14で平均輝度よりも所定値以上高い輝度でかつ所定サイズ以上の領域を高輝度領域として検出する。ここで検出された部分を入出射端面として判断し、ステップS16で検出された位置を入出射端面位置P1として記憶する。このようにして、入出射端面位置を確認(判断)することができる。
次に、図8に示す、実装処理を実行する。本実施形態では、実装処理はユーザーからの実装処理開始指示が入力された後に開始される。この実装処理開始指示を入力する前に、搬送実装部44に保持された状態の発光部12または受光部14を撮像装置48で撮影し、発光素子12Bの位置または受光素子14Bの位置(光素子位置P2)を記憶しておく。実装処理開始指示が入力されると、まず、ステップS20で、入出射端面位置P1及び光素子位置P2を読み出し、ステップS22で、搬送実装部44を、入出射端面位置P1と光素子位置P2とがX−Y平面上で重なり合う位置へ移動させる。ステップS24で、搬送実装部44を、Z方向下側へ移動させて、発光部12または受光部14を光導波路デバイス20上へ実装する。
このようにして、自動的に光導波路デバイス20へ光素子を実装することができる。
なお、上記実施形態では、光導波路デバイス20を光素子実装装置40のステージ42上に載置し、光素子を搬送実装部44で保持しつつ移動させて実装を行ったが、光素子をステージ42上に載置し、光導波路デバイス20を搬送実装部44で保持しつつ移動させて実装を行ってもよい。
前述の実施形態における、発光部12、受光部14として、レーザーダイオード、フォトダイオードが、受光点−発光点間距離を500μmとして固定されたセラミックパッケージを用意した。また、エポキシ系樹脂によって構成され、500μmの間隔で平行に埋設された2本のコアを有し、光の伝播方向の一端に45度傾斜面による光路変換機能を有する高分子光導波路デバイスを用意した。
無負荷状態での実装精度が±1μmである光素子実装機の実装ステージ上に、前記セラミックパッケージを設置し、また、前記高分子光導波路デバイスの45度傾斜面による信号光の出射部が実装ステージ側となるように光素子実装機の搬送実装部に取り付けた。
高圧水銀灯を光源とする紫外光を光導波路デバイスに対して照射した。このとき、紫外光は前記光導波路デバイスの2本の導波路コアを含む面に平行に、導波路コアの延伸方向に対して30度となる角度で、光導波路デバイスからライトガイドの距離が40mmとなる位置から照射した。
搬送実装部を望む撮像装置により、光導波路デバイスの45度傾斜面のコア部が明確に撮像され、コア部とレーザーダイオード発光点が同一位置となるように光導波路デバイスを移動させ、実装を行った。
光導波路デバイスと受発光素子の理想位置からのズレは2μmであり、良好な光接続が確認された。
本実施の形態の高分子光導波路デバイス、発光部、及び受信部を示す斜視図である。 本実施の形態の高分子光導波路デバイスの、(A)は長手方向の断面図であり、(B)は短手方向の断面図である。 本実施の形態の光素子実装装置の概略図である。 本実施形態の光素子実装装置での実装手順(A)〜(C)の説明図である。 本実施形態の高分子光導波路デバイスへ紫外光を照射したときの入出射位置を示す図である。 本実施の形態の光素子実装装置の変形例の概略ブロック図である。 入出射端面の確認処理のフローチャートである。 実装処理のフローチャートである。 光導波路デバイスへ、可視光を照射した場合(A)と、紫外光を照射した場合(B)(C)とを模式的に示した図である。
符号の説明
12 発光部
12B 発光素子
14 受光部
14B 受光素子
20 光導波路デバイス
22 クラッド部
24 第1ミラー面
26 第2ミラー面
30 第1導波路コア
31C 出射端面
31B 入射端面
32 ステージ
32 第2導波路コア
33B 出射端面
33C 入射端面
34 搬送実装部
36 紫外光照射部
38 撮像装置
40 光素子実装装置
42 ステージ
44 搬送実装部
45 光導波路
46 紫外光照射部
48 撮像装置
50 制御部
52 指示入力部

Claims (6)

  1. 光を導く導波路コアと、この導波路コアを包囲するクラッド部と、を備えた高分子光導波路デバイスに、発光素子及び受光素子の少なくとも1つを含んで構成される光素子を実装する光素子実装方法であって、
    前記高分子光導波路デバイスへ紫外光を照射し、
    前記紫外光が照射された状態で前記導波路コアの光の入出射位置を含んで前記高分子光導波路デバイスを撮像装置により撮影し、
    前記撮影された画像中の明暗の差により、他部分よりも明るい部分、または他部分よりも暗い部分が前記導波路コアの光の入出射位置であると判断して、前記導波路コアの光の入出射位置への前記発光素子及び前記受光素子の少なくとも一方の配置を行って前記光素子を実装する、光素子実装方法。
  2. 前記紫外光の光軸と前記撮像装置の光軸との成す角度が0°〜90°であること、を特徴とする請求項1に記載の光素子実装方法。
  3. 前記紫外光の発光素子が放電灯であること、を特徴とする請求項1または請求項2に記載の光素子実装方法。
  4. 前記紫外光の発光素子が発光ダイオードであること、を特徴とする請求項1または請求項2に記載の光素子実装方法。
  5. 光を導く導波路コアと、この導波路コアを包囲するクラッド部とを備えた高分子光導波路デバイスへ紫外光を照射する光照射部と、
    前記導波路コアの光の入出射位置を含んで前記高分子光導波路デバイスを撮影する撮像装置と、
    を備えた光素子実装装置。
  6. 前記撮像装置で撮影された画像中の明暗の差により、他部分よりも明るい部分、または他部分よりも暗い部分に前記導波路コアの光の入出射位置が配置されていると判断する判断手段と、
    前記判断手段により判断された前記導波路コアの光の入出射位置に発光素子または受光素子を実装する実装手段と、
    を備えた請求項5に記載の光素子実装装置。
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