JP2017125956A - レンズ付き光導波路、光電気混載基板、光モジュールおよび電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】接着層を介して光素子が搭載されたとき光素子とレンズとの距離を容易かつ厳密に制御可能なレンズ付き光導波路および光電気混載基板、ならびに、光素子と光導波路との光結合効率が高く光通信の品質が高い光モジュールおよび電子機器を提供すること。【解決手段】レンズ付き光導波路６は、層状をなす光導波路１と、その上面に積層されたレンズ２１とそれを支持する支持部２２とを備えるレンズシート２（レンズ構造体）と、光導波路１の上面に積層された固体状の接着シート５０（接着層）と、を有し、光導波路１の上面から接着シート５０の表面までの距離は、光導波路１の上面から支持部２２の表面までの距離よりも大きくなるように構成されている。【選択図】図９

Description

本発明は、レンズ付き光導波路、光電気混載基板、光モジュールおよび電子機器に関するものである。

光導波路では、コア部の一端から導入された光が、クラッド部との境界で反射しながら他端に搬送される。光導波路の入射側には半導体レーザー等の発光素子が配置され、出射側にはフォトダイオード等の受光素子が配置される。発光素子から入射された光は光導波路を伝搬し、受光素子により受光され、受光した光の明滅パターンまたは強弱パターンに基づいて通信を行う。

このような光導波路により電気配線が置き換えられると、電気配線特有の問題が解消され、信号処理の高スループット化が可能になる。

ところで、電気配線を光導波路に置き換える際には、電気信号と光信号との相互変換を行うべく、発光素子と受光素子とが用いられるとともに、これらの素子間を光導波路で光学的に接続する必要がある。

例えば、特許文献１には、プリント基板と、プリント基板上に搭載された受光素子と、プリント基板の下面側に設けられた光導波路と、を有する光インターフェースが開示されている。そして、光導波路と受光素子との間は、プリント基板に形成された、光信号を伝送するための貫通孔であるスルーホールを介して光学的に接続されている。

特開２００５−２９４４０７号公報

しかしながら、上述したような光インターフェースでは、受光素子と光導波路との光結合において、光結合損失が大きいことが課題となっている。具体的には、光導波路を伝搬した信号光が、光導波路に形成されたミラーおよびプリント基板に形成されたスルーホールを介して受光素子に入射する際、信号光が放射状に発散してしまうため、全ての信号光を受光素子に入射させることができない。このため、信号光の一部は光通信に寄与せず、光結合損失の増加を招いている。

そこで、受光素子と光導波路との間にレンズを設けることにより、信号光を集束させ、光結合効率を高めることが提案されている。

しかしながら、集束された信号光を受光素子に対して確実に入射させ、光結合効率を高めるためには、レンズと受光素子との距離をレンズの焦点距離に応じて最適化する必要がある。

本発明の目的は、接着層を介して光素子が搭載されたとき光素子とレンズとの距離を容易かつ厳密に制御可能なレンズ付き光導波路および光電気混載基板、ならびに、光素子と光導波路との光結合効率が高く光通信の品質が高い光モジュールおよび電子機器を提供することにある。

このような目的は、下記（１）〜（９）の本発明により達成される。
（１） コア部と、前記コア部の光路を変換する光路変換部と、を備え、層状をなす光導波路と、
前記光導波路の一方の面側に設けられ、前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されているレンズと、前記レンズに隣接するとともに前記レンズを支持する支持部と、を備えるレンズ構造体と、
前記光導波路の一方の面側に設けられ、固体状の接着層と、
を有し、
前記光導波路の一方の面から前記接着層の表面までの距離が、前記光導波路の一方の面から前記支持部の表面までの距離よりも大きいことを特徴とするレンズ付き光導波路。

（２） 前記光導波路の一方の面から前記支持部の表面までの距離は、前記光導波路の一方の面から前記レンズの表面までの距離よりも大きい上記（１）に記載のレンズ付き光導波路。

（３） 前記支持部は、前記光導波路の一方の面から表面までの距離が前記光導波路の一方の面から前記レンズの表面までの距離よりも小さい基部と、前記光導波路の一方の面から表面までの距離が前記光導波路の一方の面から前記レンズの表面までの距離よりも大きい突起部と、を備えており、
前記光導波路の一方の面の法線方向から平面視されたとき、前記突起部が前記レンズを取り囲んでいる上記（２）に記載のレンズ付き光導波路。

（４） 前記支持部は、前記光導波路の一方の面から表面までの距離が前記光導波路の一方の面から前記レンズの表面までの距離よりも小さい基部と、前記光導波路の一方の面から表面までの距離が前記光導波路の一方の面から前記レンズの表面までの距離よりも大きい突起部と、を備えており、
前記光導波路の一方の面の法線方向から平面視されたとき、前記突起部が前記レンズを介して対向する少なくとも２か所に設けられている上記（２）に記載のレンズ付き光導波路。

（５） 前記支持部は、前記光導波路の一方の面と平行な面で切断されたとき、前記光導波路側に向かうにつれて切断面の面積が大きくなるように構成されている上記（１）ないし（４）のいずれかに記載のレンズ付き光導波路。

（６） 上記（１）ないし（５）のいずれかに記載のレンズ付き光導波路と、
電気回路を備え、前記接着層を介して前記光導波路と接着されている電気基板と、
を有し、
前記支持部と前記電気基板とが接触していることを特徴とする光電気混載基板。

（７） 上記（６）に記載の光電気混載基板と、
前記電気基板に設けられ、前記電気回路と電気的に接続されているとともに、前記レンズと光学的に接続されている光素子と、
を有することを特徴とする光モジュール。

（８） 前記電気基板は、貫通孔を備えており、
前記レンズと前記光素子との間は、前記貫通孔を介して光学的に接続されている上記（７）に記載の光モジュール。

（９） 上記（８）に記載の光モジュールを備えることを特徴とする電子機器。

本発明によれば、接着層を介して光素子が搭載されたとき光素子とレンズとの距離を容易かつ厳密に制御可能なレンズ付き光導波路および光電気混載基板が得られる。

また、本発明によれば、光素子と光導波路との光結合効率が高く光通信の品質が高い光モジュールおよび電子機器が得られる。

本発明の光モジュールの実施形態を示す断面図である。 図１に示す光導波路を示す（一部透過して示す）斜視図である。 図１に示すレンズシートを示す上面図である。 図３に示すレンズシートの変形例を示す上面図である。 図３に示すレンズシートの変形例を示す上面図である。 図３に示すレンズシートの変形例を示す断面図である。 図３に示すレンズシートの変形例を示す断面図である。 図３に示すレンズシートの変形例を示す上面図である。 図１に示す光モジュールを製造する方法を説明するための図である。 図１に示す光モジュールを製造する方法を説明するための図である。 図１に示す光モジュールを製造する方法を説明するための図である。

以下、本発明のレンズ付き光導波路、光電気混載基板、光モジュールおよび電子機器について添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜光モジュール＞
まず、本発明の光モジュールの実施形態について説明する。また、以下の説明では、併せて本発明の光電気混載基板の実施形態についても説明する。

図１は、本発明の光モジュールの実施形態を示す断面図である。なお、以下の説明では、説明の便宜上、図１の上方を「上」、下方を「下」という。

図１に示す光モジュール１０００（本発明の光モジュールの実施形態）は、光導波路１と、その上面に積層されたレンズシート２と、その上面に積層された電気基板３と、その上面に搭載された光素子４と、を有している。また、光導波路１と電気基板３との間が、接着部５を介して接着されている。以下、各部の構成について順次説明する。

（光導波路）
まず、光導波路１について説明する。

図２は、図１に示す光導波路を示す（一部透過して示す）斜視図である。なお、図２では、図１に示す光導波路を上下逆にして図示している。

図２に示す光導波路１は、細長い層状（帯状）をなしており、その長手方向の一端部と他端部との間で光信号を伝送し、光通信を行うことができる。

図２に示す光導波路１は、下側からクラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２を積層してなる導光部１０を備えている。コア層１３中には長尺状のコア部１４とその側面に隣接して設けられた側面クラッド部１５とが形成されている。

また、図２に示す光導波路１は、導光部１０の下面に積層された導光部保護層１６１と、導光部１０の上面に積層された導光部保護層１６２と、を備えている。

図２に示す光導波路１は、コア部１４と外部との間で光路変換を可能にする光路変換部１７を備えている。また、光導波路１は、光路変換部１７とは異なる位置に設けられ、コア部１４に対して光の入出射を可能にする光入出射部（図示せず）を備えている。これにより、光路変換部１７と光入出射部との間で光通信を行うことができる。

図２に示す光路変換部１７は、導光部保護層１６２の上面に開口し、導光部保護層１６２および導光部１０を貫通する凹部１７０を備えている。この凹部１７０は、内面としてコア部１４を斜めに横断する傾斜面１７１を含んでいる。この傾斜面１７１は、コア部１４の光路を変換するミラーとして機能し、このミラーを介してコア部１４と外部（他の光学部品）とを光学的に接続することができる。例えば、図１に示すコア部１４を左側から右側へ延びる光路Ｐは、傾斜面１７１で上方に反射され、導光部保護層１６１を透過して光導波路１の外部に導かれる。

また、光導波路１は、導光部保護層１６２の下面に設けられ、凹部１７０を塞ぐ凹部保護層１８を備えている。凹部１７０が凹部保護層１８で塞がれることにより、凹部１７０内に埃や水等の異物が侵入するのを防止することができる。これにより、傾斜面１７１の汚染を防止し、傾斜面１７１における反射損失の増大を抑制することができる。

一方、図示しない光入出射部は、いかなる構成であってもよい。例えば、導光部１０の端面であってもよく、光路変換部が設けられていてもよく、光コネクターが装着されていてもよい。

以下、光導波路１の各部についてさらに詳述する。
−コア層−
図１に示すコア層１３中に形成されているコア部１４は、クラッド部（側面クラッド部１５および各クラッド層１１、１２）で囲まれており、コア部１４に光を閉じ込めて伝搬することができる。

コア層１３における幅方向の屈折率分布は、いかなる形状の分布であってもよい。この屈折率分布は、屈折率が不連続的に変化したいわゆるステップインデックス（ＳＩ）型の分布であってもよく、屈折率が連続的に変化したいわゆるグレーデッドインデックス（ＧＩ）型の分布であってもよい。ＳＩ型の分布であれば屈折率分布の形成が容易であり、ＧＩ型の分布であれば屈折率の高い領域に信号光が集まる確率が高くなるため伝送効率が向上する。

また、コア部１４は、平面視で直線状であっても曲線状であってもよい。さらに、コア部１４は途中で分岐していてもよい。

なお、コア部１４の横断面形状は特に限定されず、例えば、真円、楕円形、長円形等の円形、三角形、四角形、五角形、六角形等の多角形であってもよいが、四角形（矩形状）であることにより、コア部１４を形成し易い利点がある。

また、コア層１３中には、複数のコア部１４を並列して、あるいは互いに交差するように形成することができる。光導波路１中に形成されるコア部１４の数は、特に限定されないが、１〜１００本程度であるのが好ましい。なお、コア部１４の数が多い場合は、必要に応じて、光導波路１を多層化してもよい。具体的には、図１に示すクラッド層１１上に、さらにコア層とクラッド層とを交互に重ねることにより多層化することができる。

また、コア部１４の幅および高さ（コア層１３の厚さ）は、特に限定されないが、それぞれ１〜２００μｍ程度であるのが好ましく、５〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、１０〜７０μｍ程度であるのがさらに好ましい。これにより、光導波路１の伝送効率の低下を抑えつつコア部１４の高密度化を図ることができる。

上述したようなコア層１３の構成材料（主材料）は、例えば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリクロロプレン、ＰＥＴやＰＢＴのようなポリエステル、ポリエチレンサクシネート、ポリサルフォン、ポリエーテル、また、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂のような各種樹脂材料等を用いることができる。なお、樹脂材料は、異なる組成のものを組み合わせた複合材料であってもよい。

−クラッド層−
クラッド層１１、１２の平均厚さは、コア層１３の平均厚さの０．０５〜１．５倍程度であるのが好ましく、０．１〜１．２５倍程度であるのがより好ましい。具体的には、クラッド層１１、１２の平均厚さは、それぞれ１〜２００μｍ程度であるのが好ましく、３〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、５〜６０μｍ程度であるのがさらに好ましい。これにより、光導波路１が必要以上に厚膜化するのを防止しつつ、クラッド部としての機能が確保される。

また、クラッド層１１、１２の構成材料としては、例えば、前述したコア層１３の構成材料と同様の材料を用いることができるが、特に（メタ）アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリイミド系樹脂、フッ素系樹脂、およびポリオレフィン系樹脂からなる群から選択される少なくとも１種であるのが好ましく、（メタ）アクリル系樹脂またはエポキシ系樹脂がより好ましい。

また、光導波路１の厚さ方向の屈折率分布についても、特に限定されず、例えばＳＩ型、ＧＩ型の分布が挙げられる。

光導波路１の幅は、特に限定されないが、２〜１００ｍｍ程度であるのが好ましく、５〜５０ｍｍ程度であるのがより好ましい。

なお、クラッド層１１は、必要に応じて設けられればよく、省略されてもよい。この場合、外気（空気）がクラッド層１１と同等の機能を有する。

−導光部保護層−
図２に示す光導波路１は、導光部１０の一方の面に導光部保護層１６１を、他方の面に導光部保護層１６２を、それぞれ備えている。これにより、導光部１０が保護され、導光部１０の光伝送効率の低下を抑制することができる。また、凹部保護層１８を光伝送に直接寄与しない導光部保護層１６２に対して固定することが可能になるため、固定に伴う影響が導光部１０に及ぶのを抑制することができる。

導光部保護層１６１、１６２の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド等の各種樹脂を含む材料が挙げられる。

導光部保護層１６１、１６２の平均厚さは、特に限定されないが、５〜５００μｍ程度であるのが好ましく、１０〜４００μｍ程度であるのがより好ましい。これにより、導光部保護層１６１、１６２は、導光部１０を保護するのに必要かつ十分な機械的特性を有するものとなる。また、光導波路１は、適度な可撓性を有するものとなり、湾曲または屈曲させた状態でも高い信頼性を示すものとなる。

なお、導光部保護層１６１と導光部保護層１６２とは、互いに同じ構成であっても互いに異なる構成であってもよい。例えば互いに異なる構成にすることで、光導波路１を特定の一方に曲げ易くなるといった効果が得られる。

また、導光部１０と導光部保護層１６１との間、および、導光部１０と導光部保護層１６２との間は、それぞれ双方またはいずれか一方の粘着力により接着されていてもよく、あるいは、接着剤、粘着剤、接着シート、粘着シート等の部材を介して、または熱圧着により接着されていてもよい。

なお、導光部保護層１６１、１６２は、それぞれ必要に応じて設けられればよく、省略されてもよい。

−凹部−
光路変換部１７は、図１に示すように、導光部保護層１６２および導光部１０を貫通する凹部１７０を備えている。この凹部１７０は、コア部１４の長手方向の途中に位置している。凹部１７０の内面の一部は、コア部１４の光軸に対して傾斜する傾斜面１７１になっている。換言すれば、コア層１３の下面に対して傾斜面１７１が傾斜しつつ交差している。このような傾斜面１７１は、コア部１４の光路を変換するミラーとして機能する。

また、図１に示す凹部１７０は、コア層１３の下面に直交しかつコア部１４の光軸を含む平面で切断されたときの断面形状を示しており、下底の長さが長く、上底の長さが短い台形をなすように構成されている。

また、傾斜面１７１は、図１に示すように、導光部保護層１６２からクラッド層１２およびコア層１３を経てクラッド層１１に至るまでの間に連続して形成された平坦面である。また、凹部１７０の内面のうち、傾斜面１７１に対向する位置には、別の傾斜面１７２が設けられている。この傾斜面１７２も、傾斜面１７１と同様、導光部保護層１６２からクラッド層１２およびコア層１３を経てクラッド層１１に至るまでの間に連続して形成された平坦面である。

一方、凹部１７０の内面のうち、コア部１４の光軸とほぼ平行な２つの面は、それぞれクラッド層１１の下面に対してほぼ垂直な直立面１７３、１７４である。

このような２つの傾斜面１７１、１７２と２つの直立面１７３、１７４とにより、凹部１７０の内側面が構成されている。

なお、凹部１７０の形状は、図１、２に示す形状に限定されず、いかなる形状であってもよい。

また、傾斜面１７１は、ミラーとして機能するものであるため、コア部１４の光路Ｐを変換すべき方向に応じてその傾斜角度が適宜設定されるが、図１に示すコア層１３の下面を基準面としたとき、基準面と傾斜面１７１とがなす角度（鋭角側）は、３０〜６０°程度であるのが好ましく、４０〜５０°程度であるのがより好ましい。傾斜角度を前記範囲内に設定することにより、傾斜面１７１においてコア部１４の光路Ｐを効率よく変換し、光路変換に伴う損失を抑制することができる。

なお、コア層１３に複数本のコア部１４が形成されている場合、図２に示すように１本のコア部１４に対して１つの凹部１７０が設けられていてもよいが、複数本のコア部１４に対してこれらに跨るように１つの凹部１７０が設けられていてもよい。

また、複数個の凹部１７０を形成する場合、それらの形成位置は、コア部１４の長手方向において互いに同じ位置であっても、互いにずれていてもよい。

また、凹部１７０の最深部の位置（台形の上底の位置）は、図１に示す位置に限定されず、例えば、コア層１３の途中であってもよく、クラッド層１１の途中であってもよく、導光部保護層１６１の途中であってもよい。さらには、凹部１７０は、導光部保護層１６１を貫通していてもよい。

また、図２に示す光導波路１では、コア部１４の長手方向の途中に凹部１７０が形成されているが、この形成位置は限定されるものではなく、コア部１４の延長線上であってもよい。すなわち、コア部１４がコア層１３の端面に露出せずに途中で途切れるように形成されており、その途切れた部位に側面クラッド部１５が形成されている場合、この側面クラッド部１５のうちコア部１４の延長線上に位置する部位に凹部１７０が設けられていてもよい。

−凹部保護層−
図１に示す光導波路１は、導光部保護層１６２の下面に設けられ、凹部１７０を塞ぐ凹部保護層１８を備えている。これにより、凹部１７０は、凹部保護層１８によって塞がれることとなる。その結果、凹部１７０内は外部と隔離された空間となり、傾斜面１７１に埃や水分等の異物が付着し難くなる。

また、凹部保護層１８は凹部１７０を塞ぐように設けられることにより、凹部１７０近傍を補強することとなる。すなわち、凹部１７０が形成されることにより、導光部１０の厚さが部分的に薄くなって機械的強度が低下するところ、凹部保護層１８が設けられることにより、凹部１７０近傍を補強することができる。これにより、例えば傾斜面１７１と発光素子や受光素子とを光結合させる際、凹部１７０近傍に荷重が加わって傾斜面１７１が歪んでしまい、傾斜面１７１における反射損失が増大するのを防止することができる。換言すれば、凹部保護層１８がクッション層として機能し、加えられた荷重が傾斜面１７１の歪みにつながるのを抑制することができる。その結果、荷重の影響を受け難く、例えば光導波路１に発光素子や受光素子を光結合させる作業の容易性を高めることができる。

ここで、図１に示す凹部保護層１８は、基層１８１と、導光部保護層１６２に対して基層１８１を接着または粘着させる粘接着層１８２と、を含んでいる。このような凹部保護層１８は、基層１８１の材質によらず、導光部保護層１６２に対して基層１８１を強固に固定することができる。

このうち、基層１８１の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド等の各種樹脂を含む材料が挙げられる。

また、基層１８１の平均厚さは、特に限定されないが、５〜５００μｍ程度であるのが好ましく、１０〜４００μｍ程度であるのがより好ましい。

一方、粘接着層１８２の構成材料としては、例えば、シリコーン系粘着剤、ポリ塩化ビニル系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、エラストマー系粘着剤、ゴム系粘着剤、アクリル樹脂系粘着剤、ポリビニルエーテル樹脂系粘着剤等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上の混合物が用いられる。
なお、凹部保護層１８は、必要に応じて設けられればよく、省略されてもよい。

（レンズシート）
次に、レンズシート２について説明する。

図３は、図１に示すレンズシート２を示す上面図である。すなわち、図３は、図１に示す光導波路１の上面の法線に沿って上方からレンズシート２を平面視したときの平面図である。

図３に示すレンズシート２は、平面視形状が円形をなすレンズ２１と、レンズ２１の外側に設けられレンズ２１を支持する支持部２２と、を有している。また、図３に示す支持部２２は、図１に示すように、その厚さがレンズ２１よりも薄い基部２２１と、基部２２１の表面よりも突出しその厚さがレンズ２１よりも厚い突起部２２２と、を備えている。

レンズシート２の全体は、平面視において円形をなしている。また、レンズシート２の全体の平面視形状は、特に限定されず、例えば四角形、六角形のような多角形、楕円、長円のような円形であってもよい。

レンズ２１は、図１の上方に突出する球面または非球面を有する凸レンズである。非球面の例としては、放物線回転面、双曲線回転面、多次関数曲線回転面等が挙げられる。

図１に示すレンズ２１は、下面が平面になっており、いわゆる平凸レンズであるが、これに限定されるものではなく、両凸レンズであってもよい。

支持部２２は、図３に示すように、レンズ２１の外縁を取り囲むように設けられている。これにより、レンズ２１が支持部２２によって保護されることとなり、レンズ２１にキズが付き難くなる。

また、支持部２２がレンズ２１を取り囲むように存在しているため、異物の侵入等からレンズ２１を保護することができる。これにより、レンズ２１に異物が付着するのを抑制することができる。

また、このような形状の突起部２２２は、レンズシート２における任意の位置を正確に特定しレンズシート２の位置合わせを可能にするアライメントマークとして機能する。すなわち、突起部２２２がレンズ２１を取り囲むように存在するため、突起部２２２の平面視形状は環状となる。このため、突起部２２２には、内側の縁部（輪郭）と外側の縁部（輪郭）が存在することとなり、視覚的にコントラストの高い領域を多く含むこととなる。その結果、突起部２２２を視認する際、これら内外の縁部が容易に特定可能になることで、突起部２２２の視認性（特定容易性）が向上することとなる。

このようにして突起部２２２の視認性が向上すると、光導波路１の傾斜面１７１に対してレンズ２１を位置合わせする際、視認性が良好な突起部２２２を位置基準にしつつ位置合わせすることができる。これにより、高い精度で位置合わせをすることができる。その結果、光導波路１と光素子４との間の光結合効率をより高めることができる。

突起部２２２の厚さは、特に限定されないが、０．５〜２５００μｍ程度であるのが好ましく、１〜１５００μｍ程度であるのがより好ましい。支持部２２の厚さを前記範囲内に設定することにより、支持部２２は十分な剛性を有するものとなるため、レンズ２１を安定的に保持することができる。

また、基部２２１からの突起部２２２の突出高さは、特に限定されないが、０．３〜１２００μｍ程度であるのが好ましく、０．５〜１０００μｍ程度であるのがより好ましい。これにより、突起部２２２がアライメントマークとして機能するとき、その視認性をより高めることができる。

なお、レンズシート２では、レンズ２１と支持部２２とが一体であっても、別体同士を接着したものであってもよい。なお、一体であることにより、両者の位置精度をより高めることができるので、光路Ｐに対してレンズ２１の位置をより正確に合わせることができる。

レンズシート２の構成材料は、透光性を有する材料であれば特に限定されないが、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂のような各種樹脂材料の他、石英ガラス、ホウケイ酸ガラスのような各種ガラス材料、サファイア、水晶のような各種結晶材料等が挙げられる。

なお、レンズシート２の表面には、必要に応じて、反射防止膜、多層膜コーティング等の各種コーティングを施すようにしてもよい。

また、レンズシート２の表面には、必要に応じて、微小な凹凸を形成するようにしてもよい。この際、凹凸のピッチや深さ（高さ）を、レンズ２１に入射する光の波長以下にすることで、凹凸が形成された領域の屈折率を、空気の屈折率とレンズ２１の構成材料の屈折率との中間の値としてみなすことができるようになるので、レンズ２１に入射する光の反射が抑制され、光の入射効率を高めることができる。

（電気基板）
次に、電気基板３について説明する。

電気基板３は、絶縁性基板３１と、その表面に設けられた電気配線３２と、を有している。

絶縁性基板３１としては、例えば、樹脂基板、セラミックス基板、ガラス繊維と樹脂材料とを複合化した複合基板等が用いられる。

また、電気配線３２の構成材料としては、例えば、銅、アルミニウム、銀、金、ニッケルのような金属単体またはこれらの金属を含む合金等が挙げられる。

また、電気基板３は、厚さ方向に貫通する貫通孔３３を有している。この貫通孔３３は、レンズ２１の位置に対応する位置に設けられている。換言すれば、レンズ２１を通過する光路Ｐに合わせて貫通孔３３が設けられている。これにより、光路Ｐは、レンズ２１および貫通孔３３を介して光導波路１と光素子４とを光学的に接続する。このとき、貫通孔３３は、比較的簡単な構造であるにもかかわらず、効率が高い光結合を実現する。

このような電気基板３は、図１に示すように、レンズシート２の支持部２２の上面に載置されている。換言すれば、支持部２２を介して光導波路１と電気基板３とが積層されている。これにより、支持部２２がスペーサーとして機能し、図１の上下方向におけるレンズシート２と電気基板３との位置関係を容易かつ正確に決めることができる。その結果、電気基板３の上面に光素子４が搭載されたとき、光素子４とレンズ２１との距離を容易かつ厳密に制御することができる。例えば、レンズ２１の焦点距離に応じて電気基板３の厚さを適宜選択することによって、光素子４とレンズ２１との距離が容易かつ厳密に決まるため、光導波路１と光素子４との間の光結合効率をより高めることができる。その結果、光モジュール１０００において高品質な光通信が可能になる。

なお、電気基板３は、貫通孔３３に代えて、透光性を有する透光部を備えていてもよい。

また、電気基板３は必要に応じて設けられればよく、例えば電気基板３以外の部材によって光素子４に対する通電が図られる場合には、電気基板３を省略することができる。この場合、支持部２２に対して光素子４が接するように配置される。その結果、光素子４とレンズ２１との距離が容易かつ厳密に決まるため、光導波路１と光素子４との間の光結合効率をより高めることができる。

（光素子）
次に、光素子４について説明する。

光素子４は、図１に示すように、素子本体４０と、素子本体４０の下面に設けられた受発光部４１と、素子本体４０から下方に突出するバンプ４２と、を備えている。なお、受発光部とは、受光部または発光部、あるいはその双方の機能を有する部位を指す。

光素子４としては、例えば、面発光レーザー（ＶＣＳＥＬ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、有機ＥＬ素子等の発光素子、フォトダイオード（ＰＤ、ＡＰＤ）等の受光素子が挙げられる。

なお、電気基板３には、必要に応じて、光素子４以外の電気素子が搭載されていてもよい。電気素子としては、例えば、ＩＣ、ＬＳＩ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、コンデンサー、コイル、抵抗、ダイオード等が挙げられる。

（接着部）
次に、接着部５について説明する。

接着部５は、図１に示すように、光導波路１と電気基板３との間に介挿され、これらを接着している。

このような接着部５は、後述する接着シートを硬化させることにより、接着性が発現してなるものである。したがって、接着部５は、樹脂材料の硬化物を主材料としている。

図１に示す接着部５は、光導波路１の上面のうち、レンズシート２を取り囲む領域に設けられている。これにより、レンズシート２の上面に積層されている電気基板３を光導波路１に対して確実に接着するとともに、レンズシート２が図１の左右方向あるいは上下方向に移動するのを規制することができる。その結果、光路Ｐとレンズ２１との位置関係、および、光素子４とレンズ２１との距離を、容易かつ厳密に制御することができる。

また、接着部５がレンズシート２を取り囲む領域に設けられていることで、異物や外気がレンズシート２に接触するのを抑制することができる。このため、レンズシート２の光学特性が低下するのを抑制し、光結合効率の低下を抑制することができる。

さらに、接着部５には、図１に示すように、電気基板３の一部がめり込んでいてもよい。これにより、電気基板３と光導波路１との間をより強固に接着することができる。

なお、接着部５が設けられている領域は、特に限定されず、光導波路１と電気基板３とを接着し得る領域であれば、いかなる領域に設けられていてもよい。

また、図１に示す光モジュール１０００のうち、光素子４を除く部分が光電気混載基板１００（本発明の光電気混載基板の実施形態）である。すなわち、光電気混載基板１００は、光導波路１と、その上面に積層されたレンズシート２と、その上面に積層された電気基板３と、を有している。また、光導波路１と電気基板３との間が、接着部５を介して接着されている。

かかる光電気混載基板１００は、前述したように、電気基板３がレンズシート２の支持部２２の上面に載置されている。このため、支持部２２がスペーサーとして機能し、図１の上下方向におけるレンズシート２と電気基板３との位置関係を容易かつ正確に決めることができる。その結果、光電気混載基板１００に光素子４が搭載されたとき、光素子４とレンズ２１との距離を容易かつ厳密に制御することができる。例えば、レンズ２１の焦点距離に応じて電気基板３の厚さを適宜選択することによって、光素子４とレンズ２１との距離が容易かつ厳密に決まるため、光導波路１と光素子４との間の光結合効率をより高めることができる。その結果、光モジュール１０００において高品質な光通信が可能になる。

なお、本発明の光電気混載基板および本発明の光モジュールは、上記の他に、任意の構造体、例えば光コネクター、電気コネクター等を備えていてもよい。

＜レンズシートの変形例＞
次に、図３に示すレンズシート２の変形例について説明する。

図４は、図３に示すレンズシート２の変形例を示す上面図である。
このうち、図４に示すレンズシート２は、その全体の平面視形状が長方形をなしている。

また、図４に示す支持部２２の突起部２２２は、図３に示す突起部２２２と同様、レンズ２１を取り囲むように設けられている。また、図４に示す突起部２２２は、外形が長方形の環状をなしている。

以上が異なる以外、図４に示すレンズシート２は、図３に示すレンズシート２と同様である。

さらに、突起部２２２とレンズ２１との間、および、突起部２２２の外側は、それぞれ基部２２１で占められている。

このようなレンズシート２が用いられた場合でも、図３に示すレンズシート２が用いられた場合と同様の効果が得られる。

図５も、図３に示すレンズシート２の変形例を示す上面図である。
図５（ａ）および図５（ｂ）に示すレンズシート２は、それぞれ支持部２２の形状が異なる以外、図３に示すレンズシート２と同様である。

このうち、図５（ａ）に示す支持部２２の突起部２２２は、レンズ２１を介して対向する２か所にそれぞれ設けられている。また、図５（ａ）に示す突起部２２２の平面視形状は、それぞれ長方形をなしている。また、２つの突起部２２２の長辺は、互いに平行である。

このような突起部２２２は、その平面視形状の長辺がレンズ２１に臨んでいるため、レンズ２１を保護し易い。また、レンズ２１の近くで電気基板３をバランスよく支持することができるので、光素子４とレンズ２１との距離を容易かつ厳密に制御することができる。

一方、図５（ｂ）に示す突起部２２２は、レンズ２１を中心にした四方にそれぞれ設けられている。また、図５（ｂ）に示す突起部２２２の平面視形状は、それぞれレンズ２１よりも小さい円形をなしている。

このような突起部２２２は、その平面視における面積が小さいため、電気基板３との接触面積を小さくすることができる。このため、突起部２２２と電気基板３との間に生じる応力を小さくすることができ、応力集中に伴う不具合の発生を抑制することができる。

図６は、図３に示すレンズシート２の変形例を示す断面図である。
図６に示す支持部２２の突起部２２２は、図１に示す光導波路１の上面と平行な面で切断されたとき、光導波路１側に向かうにつれて切断面の面積が大きくなるように構成されている。すなわち、突起部２２２の縦断面形状は、図６の上方に向かうにつれて幅が徐々に細くなる形状である。このような相違点以外、図６に示すレンズシート２の構成は、図３に示すレンズシート２の構成と同様である。

このような突起部２２２は、凸レンズ様の形状をなしていることになり、突起部２２２を透過する光を集光させる。このため、図６に示すレンズシート２を上方から見たとき、突起部２２２（支持部２２）の存在をより明瞭に視認することができる。したがって、突起部２２２（支持部２２）は、前述したアライメントマークとしての機能をより高度化させることができ、レンズシート２を位置合わせする際の精度をさらに高めることができる。

図７は、図３に示すレンズシート２の変形例を示す断面図である。
図７に示すレンズ２１は、両凸レンズになっている。これにより、平凸レンズよりもレンズ２１の光学性能を高めることができる。また、図７に示す突起部２２２は、基部２２１の上面側のみでなく、下面側にも突出している。このような相違点以外、図７に示すレンズシート２の構成は、図３に示すレンズシート２の構成と同様である。

また、図７に示すレンズシート２では、レンズ２１の上方のみでなく、下方にも空隙が形成される。

図８は、図３に示すレンズシート２の変形例を示す上面図である。
図８（ａ）および図８（ｂ）に示すレンズシート２は、それぞれ、その全体の形状が異なること、および、複数のレンズ２１を備えていること以外、図３に示すレンズシート２と同様である。

このうち、図８（ａ）に示すレンズシート２には、複数のレンズ２１と、基部２２１と各レンズ２１に対応する突起部２２２とを含む支持部２２と、が設けられている。また、各レンズ２１に対応する突起部２２２は、基部２２１を介して相互に連結されている。すなわち、支持部２２は、一体的に構成されている。

一方、図８（ｂ）に示すレンズシート２には、複数のレンズ２１と、基部２２１と複数のレンズ２１をまとめて取り囲む突起部２２２とを含む支持部２２と、が設けられている。また、レンズ２１同士の間、レンズ２１と突起部２２２との間、および突起部２２２の外側は、それぞれ基部２２１で占められている。

このようなレンズシート２は、並列する複数のコア部１４を備えた光導波路１に対して、複数のレンズ２１を同時に配置することを可能にする。このため、各コア部１４と各レンズ２１との間で高い光結合効率を実現したレンズ付き光導波路６が得られる。そして、複数のコア部１４を備えたレンズ付き光導波路６に対して、複数の受発光部４１を備えた光素子４を搭載するとき、各受発光部４１と各レンズ２１との間で高い光結合効率を実現することができる。

以上のような各変形例に係るレンズシート２においても、図３に示すレンズシート２と同様、支持部２２をスペーサーとして機能させることができる。このため、図１の上下方向におけるレンズシート２と電気基板３との位置関係を容易かつ正確に決めることができる。その結果、電気基板３に光素子４が搭載されたとき、光導波路１と光素子４との間の光結合効率をより高めることができる。

なお、１つのレンズシート２に設けられるレンズ２１の数は、光導波路１に形成されるコア部１４の数に応じて設定され、特に限定されないが、例えば１〜１００個程度とされる。

＜光モジュールの製造方法＞
次に、図１に示す光モジュール１０００を製造する方法、および、本発明のレンズ付き光導波路の実施形態について説明する。

図９〜図１１は、それぞれ図１に示す光モジュール１０００を製造する方法を説明するための図である。

図９に示す光モジュール１０００は、［１］レンズ付き光導波路６を用意する工程と、［２］レンズ付き光導波路６に電気基板３を積層し、光電気混載基板１００を得る工程と、［３］光電気混載基板１００に光素子４を搭載し、光モジュール１０００を得る工程と、を有する。以下、各工程について順次説明する。

［１］まず、レンズ付き光導波路６（本発明のレンズ付き光導波路の実施形態）を用意する。

図９に示すレンズ付き光導波路６は、層状をなす光導波路１と、その上面（一方の面）に積層されたレンズシート２（レンズ構造体）と、光導波路１の上面（一方の面）に積層された固体状の接着シート５０（接着層）と、を有している。

接着シート５０は、常温において固体状をなしているが、加熱により溶融し、その後、硬化に至る。これにより、接着性を発現させ、図１に示す接着部５を形成する。

接着シート５０の構成材料としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂のようなビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂のようなノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタントリグリシジルエーテル等のような芳香族エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂等の各種エポキシ樹脂のほか、ポリイミド、ポリアミドイミドのようなイミド樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂等の熱硬化性樹脂が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせたものを含む材料が用いられる。

また、接着シート５０の構成材料は、上記の熱硬化性樹脂の他に、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、反応性末端カルボキシル基ＮＢＲ（ＣＴＢＮ）、スチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ポリブタジエン、アクリルゴム等のゴム成分、酢酸ビニル樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、アクリル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ビニルウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂のような熱可塑性樹脂を含んでいてもよい。これらのゴム成分および熱可塑性樹脂の含有率は、熱硬化性樹脂１００質量部に対して１０〜２００質量部程度であるのが好ましく、２０〜１５０質量部程度であるのがより好ましい。

さらに、接着シート５０の構成材料は、必要に応じて、アミン系硬化剤、フェノール系硬化剤のような各種硬化剤、硬化促進剤、シランカップリング剤、フィラー等の添加物を含んでいてもよい。これらの添加物の含有率は、熱硬化性樹脂１００質量部に対して０．０５〜５０質量部程度であるのが好ましく、０．１〜３０質量部程度であるのがより好ましい。

また、接着シート５０に含まれる熱硬化性樹脂は、少なくとも一部が半硬化状態または未硬化状態にある。このため、この熱硬化性樹脂は、加熱によって一旦溶融し、その後、硬化に至る。溶融した状態では、適度な流動性を示すため、後述する工程においてレンズ付き光導波路６に電気基板３が積層されたとき、それらの間に流動して高い接着力を発生させる。

また、接着シート５０は、加熱溶融された後、硬化前における溶融粘度が、１００℃において２００〜３００００Ｐａ・ｓ程度であるのが好ましく、３００〜２００００Ｐａ・ｓ程度であるのがより好ましい。溶融粘度を前記範囲内に設定することにより、溶融した接着シート５０が十分な流動性と、ある程度の保形性と、を両立させたものとなる。このため、接着シート５０が溶融したとき、後述する工程において、電気基板３と光導波路１との間に溶融物が適度に広がる一方、レンズシート２の支持部２２と電気基板３との隙間には浸入し難くなる。その結果、光導波路１と電気基板３との離間距離は、支持部２２の厚さに基づいてより高精度に規制されるとともに、光導波路１と電気基板３との間に溶融物が充填され、両者をより強固に接着する。このため、後述する工程において電気基板３に光素子４が搭載されると、光素子４とレンズ２１との距離をレンズ２１の焦点距離に応じて特に最適化することができるとともに、接着部５の信頼性をより高めることができる。

なお、接着シート５０の溶融粘度は、回転式粘弾性測定装置（ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン（株）製、商品名「ＡＲＥＳ−ＲＤＡ」）を用いて測定することができる。

また、接着シート５０は、熱硬化型（熱接着型）の接着シート以外のもの、例えば光硬化型（光接着型）の接着シートであってもよい。

［２］次に、図１０に示すように、レンズ付き光導波路６に電気基板３を積層する。これにより、図１に示す光電気混載基板１００が得られる。

この工程では、まず、レンズ付き光導波路６の接着シート５０の上面に電気基板３を載置する。常温では、接着シート５０には接着性が発現していないので、接着シート５０の上面に電気基板３を仮置きしても、その後、位置の修正を容易に行うことができる。このため、レンズシート２が小さい場合でも、レンズシート２の支持部２２と電気基板３とが重なるように位置合わせを効率よく行うことができる。

ここで、光導波路１の上面（一方の面）を基準面Ｓにしたとき、基準面Ｓから接着シート５０の表面５０ａ（上面）までの距離Ｌ１は、基準面Ｓから支持部２２の表面２２ａ（上面）までの距離Ｌ２よりも大きくなるよう設定されている。換言すれば、接着シート５０には、その厚さが支持部２２よりも厚いものが選択される。これにより、レンズ付き光導波路６に電気基板３を積層したとき、接着シート５０と電気基板３とを確実に接触させることができる。このため、接着シート５０を介して電気基板３を確実に接着することができる。

また、接着シート５０が溶融する際、あるいは、硬化収縮する際には、接着シート５０の収縮に伴って電気基板３が光導波路１側に引っ張られることとなる。そして、電気基板３がレンズシート２の支持部２２の表面２２ａに接すると、それ以上、光導波路１側に移動することが規制される。その結果、光導波路１と電気基板３との離間距離は、支持部２２の厚さに基づいた所定の距離に収束する。

したがって、後述する工程において電気基板３に光素子４が搭載されると、光素子４とレンズ２１との距離をレンズ２１の焦点距離に応じて容易に最適化することが可能になる。その結果、レンズ２１を介した光導波路１と光素子４との間の光結合効率をより高めることができる。

また、図９に示す支持部２２は、その厚さがレンズ２１よりも薄い基部２２１と、基部２２１の表面よりも突出しその厚さがレンズ２１よりも厚い突起部２２２と、を備えている。

基準面Ｓから支持部２２（突起部２２２）の表面２２ａまでの距離Ｌ２は、基準面Ｓからレンズ２１の表面２１ａまでの距離Ｌ３よりも大きくなるよう設定されている。換言すれば、突起部２２２の突出高さがレンズ２１の突出高さよりも高くなるように設定される。これにより、支持部２２の表面２２ａよりもレンズ２１の表面２１ａが凹むことになるので、レンズ２１の表面２１ａがキズつき難くなり、より取り扱い易いレンズ付き光導波路６が得られる。また、レンズシート２に電気基板３が重ねられたとき、レンズ２１と電気基板３との間に空隙が形成されることになる。このため、レンズ２１の表面において十分な屈折率差を確保することができ、集光性能を確保することができる。

なお、突起部２２２の厚さは、レンズ２１の厚さと同じであっても、レンズ２１の厚さより薄くてもよい。例えば、基部２２１の厚さと突起部２２２の厚さが同じ、つまり、突起部２２２が突出していなくてもよい。

レンズ付き光導波路６に電気基板３を載せ、位置合わせをした後、接着シート５０を加熱すると、接着シート５０が一旦溶融し、その後、硬化することにより、接着性が発現する。これにより、レンズ付き光導波路６と電気基板３との間を、接着シート５０の硬化物である接着部５（図１参照）を介して接着することができる。その結果、光電気混載基板１００が得られる。

接着シート５０の加熱温度は、接着シート５０を溶融させ得る温度であれば特に限定されないが、一例として８０〜１７０℃程度とされる。また、加熱時間は、一例として１〜２４０分程度とされる。

また、接着シート５０を加熱する際には、必要に応じて接着シート５０を厚さ方向に加熱するようにしてもよい。この場合の加圧力は０．１〜１０ＭＰａ程度であるのが好ましい。

さらに、加熱処理を複数回に分けるようにしてもよく、その場合、１回ごとに加熱条件を変更するようにしてもよい。

なお、基準面Ｓから接着シート５０の表面５０ａまでの距離Ｌ１は、基準面Ｓから支持部２２の表面２２ａまでの距離Ｌ２よりも大きければよいが、１．０１倍以上であるのが好ましく、１．１倍以上５倍以下であるのがより好ましく、１．２倍以上４倍以下であるのがさらに好ましい。換言すれば、基準面Ｓが平坦面である場合には、接着シート５０の厚さが支持部２２の厚さよりも厚ければよく、好ましくは１．０１倍以上とされ、より好ましくは１．１倍以上５倍以下とされ、さらに好ましくは１．２倍以上４倍以下とされる。これにより、接着シート５０が溶融したり硬化収縮したりしたとしても、接着シート５０と電気基板３とが接した状態を確実に維持することができる。すなわち、接着シート５０の溶融や硬化収縮によって厚さが減少し過ぎて接着シート５０と電気基板３との間が離間したり、反対に、接着シート５０の厚さがあまり減少せず電気基板３と支持部２２とが接触しなかったりする不具合の発生を防止することができる。
また、接着シート５０は、電気基板３よりも広い範囲に設けられていてもよい。

［３］次に、図１１に示すように、光電気混載基板１００に光素子４を搭載する。これにより、図１に示す光モジュール１０００が得られる。

光素子４の搭載方法は、特に限定されず、例えば光素子４が備えるバンプ４２と電気基板３の電気配線３２との間を金属接合により電気的に接続する方法、導電性シートを介して電気的に接続する方法等が挙げられる。

＜電子機器＞
上述したような本発明の光モジュールは、光素子と光導波路との光結合効率が高いため、高品質の光通信を行うことが可能である。したがって、本発明の光モジュールを備えることにより、高品質の光通信を行い得る信頼性の高い電子機器（本発明の電子機器）が得られる。

本発明の光モジュールを備える電子機器としては、例えば、スマートフォン、タブレット端末、携帯電話、ゲーム機、ルーター装置、ＷＤＭ装置、パソコン、テレビ、ホーム・サーバー等の電子機器類が挙げられる。これらの電子機器では、いずれも、内部において大量のデータが高速で伝送される。したがって、このような電子機器が本発明の光モジュールを備えることにより、電気配線に特有なノイズ、信号劣化等の不具合が解消され、その性能の飛躍的な向上が期待できる。

また、光導波路部分では、電気配線に比べて発熱量が大幅に削減される。このため、冷却に要する電力を削減することができ、電子機器全体の消費電力を削減することができる。

以上、本発明のレンズ付き光導波路、光電気混載基板、光モジュールおよび電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。

例えば、本発明のレンズ付き光導波路は、前記各実施形態に対して任意の構造物が付加されたものであってもよい。

１ 光導波路
２ レンズシート
３ 電気基板
４ 光素子
５ 接着部
６ レンズ付き光導波路
１０ 導光部
１１ クラッド層
１２ クラッド層
１３ コア層
１４ コア部
１５ 側面クラッド部
１７ 光路変換部
１８ 凹部保護層
２１ レンズ
２１ａ 表面
２２ 支持部
２２ａ 表面
３１ 絶縁性基板
３２ 電気配線
３３ 貫通孔
４０ 素子本体
４１ 受発光部
４２ バンプ
５０ 接着シート
５０ａ 表面
１００ 光電気混載基板
１６１ 導光部保護層
１６２ 導光部保護層
１７０ 凹部
１７１ 傾斜面
１７２ 傾斜面
１７３ 直立面
１７４ 直立面
１８１ 基層
１８２ 粘接着層
２２１ 基部
２２２ 突起部
１０００ 光モジュール
Ｌ１ 距離
Ｌ２ 距離
Ｌ３ 距離
Ｐ 光路
Ｓ 基準面

Claims (9)

1. コア部と、前記コア部の光路を変換する光路変換部と、を備え、層状をなす光導波路と、
   前記光導波路の一方の面側に設けられ、前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されているレンズと、前記レンズに隣接するとともに前記レンズを支持する支持部と、を備えるレンズ構造体と、
   前記光導波路の一方の面側に設けられ、固体状の接着層と、
   を有し、
   前記光導波路の一方の面から前記接着層の表面までの距離が、前記光導波路の一方の面から前記支持部の表面までの距離よりも大きいことを特徴とするレンズ付き光導波路。
2. 前記光導波路の一方の面から前記支持部の表面までの距離は、前記光導波路の一方の面から前記レンズの表面までの距離よりも大きい請求項１に記載のレンズ付き光導波路。
3. 前記支持部は、前記光導波路の一方の面から表面までの距離が前記光導波路の一方の面から前記レンズの表面までの距離よりも小さい基部と、前記光導波路の一方の面から表面までの距離が前記光導波路の一方の面から前記レンズの表面までの距離よりも大きい突起部と、を備えており、
   前記光導波路の一方の面の法線方向から平面視されたとき、前記突起部が前記レンズを取り囲んでいる請求項２に記載のレンズ付き光導波路。
4. 前記支持部は、前記光導波路の一方の面から表面までの距離が前記光導波路の一方の面から前記レンズの表面までの距離よりも小さい基部と、前記光導波路の一方の面から表面までの距離が前記光導波路の一方の面から前記レンズの表面までの距離よりも大きい突起部と、を備えており、
   前記光導波路の一方の面の法線方向から平面視されたとき、前記突起部が前記レンズを介して対向する少なくとも２か所に設けられている請求項２に記載のレンズ付き光導波路。
5. 前記支持部は、前記光導波路の一方の面と平行な面で切断されたとき、前記光導波路側に向かうにつれて切断面の面積が大きくなるように構成されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載のレンズ付き光導波路。
6. 請求項１ないし５のいずれか１項に記載のレンズ付き光導波路と、
   電気回路を備え、前記接着層を介して前記光導波路と接着されている電気基板と、
   を有し、
   前記支持部と前記電気基板とが接触していることを特徴とする光電気混載基板。
7. 請求項６に記載の光電気混載基板と、
   前記電気基板に設けられ、前記電気回路と電気的に接続されているとともに、前記レンズと光学的に接続されている光素子と、
   を有することを特徴とする光モジュール。
8. 前記電気基板は、貫通孔を備えており、
   前記レンズと前記光素子との間は、前記貫通孔を介して光学的に接続されている請求項７に記載の光モジュール。
9. 請求項８に記載の光モジュールを備えることを特徴とする電子機器。

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