JP2015099271A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2015099271A5
JP2015099271A5 JP2013239231A JP2013239231A JP2015099271A5 JP 2015099271 A5 JP2015099271 A5 JP 2015099271A5 JP 2013239231 A JP2013239231 A JP 2013239231A JP 2013239231 A JP2013239231 A JP 2013239231A JP 2015099271 A5 JP2015099271 A5 JP 2015099271A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
torsion beams
metal torsion
drive current
frequency
vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013239231A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6224432B2 (ja
JP2015099271A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2013239231A priority Critical patent/JP6224432B2/ja
Priority claimed from JP2013239231A external-priority patent/JP6224432B2/ja
Publication of JP2015099271A publication Critical patent/JP2015099271A/ja
Publication of JP2015099271A5 publication Critical patent/JP2015099271A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6224432B2 publication Critical patent/JP6224432B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2013239231A 2013-11-19 2013-11-19 振動装置、光走査装置、それを用いた画像形成装置および映像投射装置 Expired - Fee Related JP6224432B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013239231A JP6224432B2 (ja) 2013-11-19 2013-11-19 振動装置、光走査装置、それを用いた画像形成装置および映像投射装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013239231A JP6224432B2 (ja) 2013-11-19 2013-11-19 振動装置、光走査装置、それを用いた画像形成装置および映像投射装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2015099271A JP2015099271A (ja) 2015-05-28
JP2015099271A5 true JP2015099271A5 (enExample) 2017-01-05
JP6224432B2 JP6224432B2 (ja) 2017-11-01

Family

ID=53375916

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013239231A Expired - Fee Related JP6224432B2 (ja) 2013-11-19 2013-11-19 振動装置、光走査装置、それを用いた画像形成装置および映像投射装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6224432B2 (enExample)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115210626B (zh) * 2020-03-12 2024-04-16 三菱电机株式会社 光扫描装置、测距装置以及光扫描装置的制造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007171929A (ja) * 2005-11-22 2007-07-05 Canon Inc 揺動体装置、光偏向器、及びそれを用いた光学機器
US8508098B2 (en) * 2006-12-03 2013-08-13 Maradin Technologies Ltd. Gimbaled scanning micro-mirror actuation scheme and architecture
CN103180772A (zh) * 2010-11-24 2013-06-26 日本电气株式会社 光学扫描设备
WO2013161271A1 (ja) * 2012-04-23 2013-10-31 キヤノン電子株式会社 光走査装置及び画像読取装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5391579B2 (ja) 振動素子
US20170219039A1 (en) Characteristic value variable dynamic vibration absorber and characteristic value variable vibration isolator
JP6803722B2 (ja) リニア振動モータ
JP2009240047A (ja) 電磁アクチュエータの駆動方法
JP2019201486A (ja) リニア振動モータ及び電子機器
JP6935401B2 (ja) 可動コイルフレームを備えた高い動特性を有するアクチュエータ
US10627617B2 (en) Micromechanical constituent and method for adjusting an adjustable element
JP5798653B2 (ja) 振動発電機
KR101846866B1 (ko) 능동 동흡진기
JP2015099271A5 (enExample)
WO2019098250A1 (ja) 振動発生装置
JP5447411B2 (ja) ２次元光走査装置及び画像投影装置
JP5650904B2 (ja) プレーナ型アクチュエータ
JP5936514B2 (ja) 発電ユニット
JP2014199326A (ja) 駆動装置
JP4223328B2 (ja) 電磁アクチュエータ及びその駆動方法
JP2015099270A (ja) 振動装置、光走査装置、それを用いた画像形成装置および映像投射装置
JP2008501451A (ja) 揺動自在な毛剃りヘッドを備えた電気毛剃り装置
JP5066986B2 (ja) 制振装置及び制振装置のオフセット補正方法
JP2016101550A (ja) 振動子付ホルダ及び振動発生器
JP2012121649A (ja) 振動式ボウルフィーダ
JP2014197959A (ja) 発電装置
WO2021065399A1 (ja) 光学デバイス
JP2012121658A (ja) 振動式ボウルフィーダ
JP6224432B2 (ja) 振動装置、光走査装置、それを用いた画像形成装置および映像投射装置