JP2015088743A5 - - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 97
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 91
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 19
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014195518A JP2015088743A (ja) | 2013-09-27 | 2014-09-25 | 静電チャック |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013201240 | 2013-09-27 | ||
| JP2013201240 | 2013-09-27 | ||
| JP2014195518A JP2015088743A (ja) | 2013-09-27 | 2014-09-25 | 静電チャック |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015088743A JP2015088743A (ja) | 2015-05-07 |
| JP2015088743A5 true JP2015088743A5 (enExample) | 2017-11-02 |
Family
ID=53051172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014195518A Pending JP2015088743A (ja) | 2013-09-27 | 2014-09-25 | 静電チャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2015088743A (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6124156B2 (ja) * | 2015-04-21 | 2017-05-10 | Toto株式会社 | 静電チャックおよびウェーハ処理装置 |
| KR102543933B1 (ko) | 2018-04-05 | 2023-06-14 | 램 리써치 코포레이션 | 냉각제 가스 존들 및 대응하는 그루브 및 단극성 정전 클램핑 전극 패턴들을 갖는 정전 척들 |
| CN119678251A (zh) | 2022-08-16 | 2025-03-21 | 东京毅力科创株式会社 | 静电吸盘和基片处理装置 |
| WO2025070517A1 (ja) * | 2023-09-29 | 2025-04-03 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ターゲットの接合状態検出方法及び成膜装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001219331A (ja) * | 2000-02-07 | 2001-08-14 | Ibiden Co Ltd | 静電チャック |
| JP4646461B2 (ja) * | 2001-08-10 | 2011-03-09 | 京セラ株式会社 | 電極内蔵セラミック部材及びその製造方法 |
| JP4061131B2 (ja) * | 2002-06-18 | 2008-03-12 | キヤノンアネルバ株式会社 | 静電吸着装置 |
| JP4031419B2 (ja) * | 2003-09-19 | 2008-01-09 | 日本碍子株式会社 | 静電チャック及びその製造方法 |
| JP4879929B2 (ja) * | 2008-03-26 | 2012-02-22 | 日本碍子株式会社 | 静電チャック及びその製造方法 |
| JP5189928B2 (ja) * | 2008-08-18 | 2013-04-24 | 日本碍子株式会社 | セラミックス部材の作成方法及び静電チャック |
| JP5969488B2 (ja) * | 2011-10-05 | 2016-08-17 | 京セラ株式会社 | 試料保持具 |
-
2014
- 2014-09-25 JP JP2014195518A patent/JP2015088743A/ja active Pending