JP2015075568A - 光学部品 - Google Patents
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Abstract
Description
支持基板、
光学材料基板、
支持基板上に設けられている電極、および
電極と光学材料基板とを接着する樹脂接着層を備えており、
電極が、樹脂接着層に接するクロム膜、およびクロム膜と支持基板との間に設けられている金膜を含むことを特徴とする。
図1、図3(a)および図4は、本発明の一実施形態にかかる光学部品20Aを示すものである。
本例では、支持基板1の表面1a上に、電極5、樹脂接着層4、バッファ層3を介して光学材料基板2の主面2bが接合されている。光学材料基板2の支持基板1とは反対側の主面2a上に上側電極15が形成されている。光学材料基板2内にチャンネル型光導波路13が形成されている。
本例では、支持基板1の表面1a上に、電極6、樹脂接着層4、バッファ層3を介して光学材料基板2の主面2bが接合されている。光学材料基板2の支持基板1とは反対側の主面2a上に上側電極15が形成されている。光学材料基板2内にチャンネル型光導波路13が形成されている。
光学部品の種類は特に限定されず、光学的機能を果たせばよい。具体的には、波長変換素子、光変調素子、光スイッチング素子などを例示できる。光変調素子は、光の特性に変調を加えるものであれば限定されず、光強度変調器、光位相変調器であってよい。光強度変調器は、マッハツェンダー型光導波路を利用した光振幅変調器であってよい。光位相変調器とは、入射光に対して位相変調を加え、出射光から位相変調信号を取り出すものを意味する。また、光学材料基板中に周期分極反転構造を形成することもできる。
有機溶剤でスクラブ洗浄を行い、次いで、有機溶剤による超音波洗浄、純水による超音波洗浄、純水フロー洗浄を行う。
図1、図3(a)、図4に示すような形態の光学部品20Aを作製した。
具体的には、厚さ500μmのMgO5%molドープのz板ニオブ酸リチウム単結晶基板の上面に、スパッタリング法にてSiO2からなるバッファ膜3を、厚さ0.5μm成膜した。
実施例1と同様にして、図7に示すような形態の光学部品10Aを作製した。ただし、実施例1とは異なり、三層からなる電極7は設けず、その代わりに、クロム膜単層からなる電極6を、スパッタリング法によって形成した。
実施例1と同様にして、図7に示すような形態の光学部品10Aを作製した。ただし、実施例1とは異なり、三層からなる電極7は設けず、その代わりに、クロム膜単層からなる電極6を、スパッタリング法によって形成した。
クロム膜だけでは、抵抗が大きく、反りが大きくなってしまう。このため、実施例1と同様にして、図6に示すような形態の光学部品10を作製した。ただし、実施例1とは異なり、三層からなる電極7は設けず、その代わりに、クロム膜からなる下地膜5aと金膜5bとからなる電極5を、スパッタリング法によって形成した。クロム膜5aの膜厚を0.05μmとし、金膜5bの膜厚を0.1μmとした。
実施例1と同様にして、図6に示すような形態の光学部品10を作製した。ただし、実施例1とは異なり、三層からなる電極7は設けず、その代わりに、クロム膜からなる下地膜5aと金膜5bとからなる電極5を、スパッタリング法によって形成した。クロム膜5aの膜厚を0.05μmとし、金膜5bの膜厚を0.1μmとした。
Claims (7)
- 支持基板、
光学材料基板、
前記支持基板上に設けられている電極、および
前記電極と前記光学材料基板とを接着する樹脂接着層を備えており、
前記電極が、前記樹脂接着層に接するクロム膜、および前記クロム膜と前記支持基板との間に設けられている金膜を含むことを特徴とする、光学部品。 - 前記金膜と前記支持基板との間に設けられた金属下地膜を有することを特徴とする、請求項1記載の光学部品。
- 前記金属下地膜がクロムからなることを特徴とする、請求項2記載の光学部品。
- 前記電極が、前記金膜と前記金属下地膜との間に中間膜を更に備えていることを特徴とする、請求項2または3記載の光学部品。
- 前記光学材料基板に光導波路が形成されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の光学部品。
- 光変調部品であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一つの請求項に記載の光学部品。
- 前記光学材料基板に形成された周期分極反転構造を有することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一つの請求項に記載の光学部品。
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