JP2015046388A - 放電ランプ - Google Patents
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Description
これならば、前記光透過領域内で放電を生じさせることができ、放電ランプの長手方向端部から照射される光量を更に増加させることができる。
こうすることで、前記光透過領域内で放電を生じさせて発生した光を前記板状電極によって前記開口部方向に反射させることができるため、放電ランプの長手方向端部から照射される光量を更に増加させることができる。
これならば、放電ランプから照射される光量をコントロールすることができるし、光モニタ用窓を形成するための専用スペースを新たに設ける必要もないので、設計が容易になる。
本実施形態に係る放電ランプ100は、図1〜図4に示すように、直管状の放電管2及びこの放電管2の外面において長手方向に沿って対向して設けられた一対の外部電極31、32を有する誘電体バリア放電ランプである。なお、以下の説明において、放電管2の長手方向を左右方向とし、前記放電管2の長手方向に直交する2方向を前後方向及び上下方向(以下、併せて、短手方向ともいう。)とする。
このような放電ランプであれば、放電ランプの長手方向端部から照射される光量を増加させることができる。
また、石英ブロックを溶着してなる放電ランプにおいては、放電ランプの使用に伴って当該溶着部分に紫外線が当たることにより、当該溶着部分の劣化又はクラックが発生しやすいため、放電管の長手方向両端部に遮光膜(光吸収膜)が形成されている(図8)。
しかしながら、放電管の長手方向両端部に設けられた遮光膜は反射機能を殆ど有さないので、光射出部の長手方向端部から射出される光量が一層低下してしまい、被照射面における長手方向の光量分布(光量均斉度)が悪くなってしまう問題がある(図8)。
本発明は、このように、放電管の長手方向両端部を石英ブロックで溶着してなる放電ランプであっても、放電ランプの長手方向端部から照射される光量を増加させることができる。
つまり、一対の外部電極31、32がワーク方向の光透過領域Rxの一部又は全部を覆って対向して設けられている(図2及び図4参照:図中では全部)。これにより、反射膜4を設けていない部分(端部発光領域)においても放電させることができる。また、これにより、ワーク方向の光透過領域Rxから照射される紫外線の光量を増加させることができる。
こうすることで、端部発光領域で放電を生じさせて発生した光を板状電極31によって光射出部方向に反射させることができるため、ワーク方向の光透過領域Rxから照射される光量を更に増加させることができる。
また、ワーク方向の光透過領域Rxを放電管を長手方向と平行な面HS(図3参照)で二分割した時の放電管のワーク側外周部の領域内全域とすることでこの効果を更に高めることができる。
これならば、放電ランプから照射される光量をコントロールすることができるし、光モニタ用窓を形成するための専用スペースを新たに設ける必要もないので、設計が容易になる。
このようにすることにより、遮光膜6近傍での光の発生を少なくすることができるため、遮光膜6の劣化、ひいては、溶着部分の劣化又はクラックの発生を抑制することができる。
例えば、前記実施形態では、放電管2の長手方向両端部2a、2bにワーク方向の光透過領域Rxを形成しているが、放電管2の長手方向両端部2a、2bの何れか一方にワーク方向の光透過領域Rxを形成したものであっても良い。
2・・・放電管
2a・・・長手方向一端部
2b・・・長手方向他端部
2c・・・長手方向中央部
31、32・・・一対の電極
4・・・反射膜
5・・・開口部
6・・・遮光膜
Rx・・・光透過領域
Claims (4)
- 放電管と、
前記放電管の長手方向に沿って前記放電管に設けられた一対の電極と、
前記放電管の長手方向に沿って前記放電管に開口部を有して設けられた反射膜と、
前記放電管の少なくとも一方の端部において、前記反射膜の長手方向端部よりも外側の領域を挟むように前記一対の電極が配置されることで前記反射膜の長手方向端部よりも外側に形成された端部発光領域と、を備え、
前記放電管の長手方向における前記端部発光領域が存在する領域の少なくとも一部におけるワーク方向の光透過領域が、前記放電管の長手方向中央部における前記ワーク方向の光透過領域よりも広い放電ランプ。 - 前記一対の電極が、前記放電管の外面において前記光透過領域を含む長手方向に沿って対向して設けられている請求項1に記載の放電ランプ。
- 前記一対の電極は、一方が開口部側に設けられた網状電極であり、他方が板状電極である請求項2に記載の放電ランプ。
- 前記反射膜の長手方向端部よりも外側の領域を挟むように配置された前記一対の電極の一部が、光モニタ用の窓として使用する請求項1乃至3のいずれかに記載の放電ランプ。
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