JP2015040785A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施形態に係る走査型プローブ顕微鏡を示す概略図である。この走査型プローブ顕微鏡は、プローブ1を試料3の表面の走査領域32に接触させた状態で走査しながら試料3の抵抗値を測定し、測定結果に基づく解析結果を出力する。この走査型プローブ顕微鏡は、試料3の抵抗値以外の特性(電気的特性や表面形状)を測定してもよい。走査型プローブ顕微鏡は、試料3の表面の走査領域32を走査するプローブ1と、試料3を搭載するステージ2と、試料3に流れる電流(又は電圧)を測定する測定回路4と、測定回路4で測定した電流(又は電圧)の測定値に基づいて解析して抵抗値を得る解析手段5と、解析手段5による解析結果が表示されるモニター6とを備えている。
次に、本発明の第2実施形態に係る走査型プローブ顕微鏡について説明する。走査型プローブ顕微鏡の構成は、第1実施形態と共通であるため説明を省略し、第1実施形態との相違点である走査軌道について説明する。
次に、本発明の第3実施形態に係る走査型プローブ顕微鏡について説明する。走査型プローブ顕微鏡の構成は、第1実施形態及び第2実施形態と共通であるため説明を省略し、第1実施形態及び第2実施形態との相違点である測定軌道について説明する。
図7は、第3実施形態に係る測定軌道の変形例である。この測定軌道において、プローブ1は、まず試料3の走査領域32の外周部の始点aに配置され、点aから点bまで直線状に走査領域32を走査し、測定軌道abを形成する。
図8は、第3実施形態に係る測定軌道のさらなる変形例である。この測定軌道は、複数の直線状部分からなる波状(蛇腹状,ジグザグ状)の測定軌道の始点と終点を連結して環状にしたものである。
Claims (6)
- 試料を搭載するステージと、
前記試料の表面の走査領域を走査して、前記試料の特性を測定するプローブと、
前記試料の特性の測定中における前記プローブの走査軌道の少なくとも一部を直角又は鋭角に屈曲させるように前記プローブと前記ステージとを相対的に移動させるコントローラとを備えた走査型プローブ顕微鏡。 - 前記試料の特性の測定中における前記プローブの走査軌道である測定軌道の始点は、前記プローブの走査軌道の始点と一致する請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記測定軌道は、一筆書き可能である請求項1又は請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記測定軌道は、交差しない請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記測定軌道は、内側から外側へ向かう渦巻き状である請求項1〜請求項4に記載のいずれか1項に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記測定軌道は、外側から内側へ向かう渦巻き状である請求項1〜請求項4に記載のいずれか1項に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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