JP2016090451A - 電子部品の異常個所検出装置、及び電子部品の異常個所検出方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子部品の破壊を伴うことなく、動作不良等の電子部品内部の電気的な異常箇所を容易かつ短時間で検出できるようにする。【解決手段】所定のパルス幅Δt1で積層セラミックコンデンサの劣化品2にパルス電圧V1を印加する電圧印加手段3と、パルス電圧V1の印加中に劣化品2から発生する磁場強度を取り込む磁場強度取込装置4と、磁場強度取込装置によって取り込まれた磁場強度から磁場分布を作成し、該磁場分布に基づいて劣化品の異常個所を検出する演算処理部14とを備えている。そして、所定のパルス幅Δt1で劣化品2にパルス電圧V1を印加し、パルス電圧V1の印加中に劣化品2の磁場強度を取り込み、磁場強度から磁場分布を作成し、該磁場分布に基づいて劣化品2の異常個所を検出する。【選択図】図1
Description
本発明は電子部品の異常個所検出装置、及び電子部品の異常個所検出方法に関し、より詳しくは積層セラミックコンデンサやリチウムイオンキャパシタ等の各種電子部品の内部に生じた異常個所を検出する電子部品の異常個所検出装置、及び電子部品の異常個所検出方法に関する。
近年、携帯電話、ノートパソコン、デジタルカメラ等の通信端末機器の小型化・記録媒体の大容量化に伴い、電子部品のより一層の小型化や微細化が求められている。
一方、製造工程や使用時に動作不良が生じた電子部品では、上述したように電子部品が小型化・微細化してくると、異常発生個所を特定するのが困難となる。特に電子部品の内部に異常が生じた場合は、その異常個所を適切に検出するのは極めて難しい。
例えば、電子部品を表面研磨して故障予想箇所を露出させ、露出部分を光学顕微鏡や走査型電子顕微鏡等で表面観察し、これにより故障個所の検出を行うことは可能である。しかしながら、このような破壊検査では、故障箇所を研磨してしまうことも多く、故障個所を精度よく高効率で検出するのは困難である。
また、X線CT等の非破壊検査では、電子部品の亀裂等、構造的な不具合個所を検出するのには適しているが、電子部品の断線や短絡等、電気的な動作不良に起因した異常個所の検出には適していない。
そこで、非特許文献1には、電磁場再構成法と走査型のトンネル磁気抵抗効果顕微鏡を使用し、電子部品内部の電流経路を可視化しようとした検査技術が提案されている。
この非特許文献1では、図13に示すように、トンネル磁気抵抗(Tunneling Magnetoresistance)効果顕微鏡(以下、「TMRセンサ」という。)101を被測定物102のXY平面上で走査させ、Z軸成分の磁場強度を検出し、これにより被測定物102の電流経路の可視化を可能にしている。すなわち、非特許文献1では、被測定物102から適切かつ安定した漏れ磁場を発生させるために、該被測定物102に所定電圧を印加して定電流制御により一定電流を流し、TMRセンサ101の走査により、被測定物102から発生する磁場強度を検出している。具体的には、TMRセンサ101は、定電流制御下、矢印aに示すように、XY平面上を測定領域の一方の端部から他方の端部まで走査し、次いでTMRセンサ101を矢印b方向に移動させ、他方の端部から一定距離だけY軸方向に変位させ、再びTMRセンサ101を矢印a方向に走査している。
このように非特許文献1では、被測定物102を定電流制御しながらTMRセンサ101で測定領域を走査し、被測定物102からの距離が異なる2つのZ軸位置について、被測定物102から漏れ出した磁場強度を検出し、これにより2つの磁場ベクトルZ成分の二次元磁場データマトリックスを得ている。そして、この非特許文献1では、上記二次元磁場データマトリックスに基づいて被測定物102内部の磁場分布を再構成し、任意高さの磁場分布を取得し、パソコン上で前記磁場分布に基づいた電流経路の可視化を行っている。
このように非特許文献1では、電子部品内部の電流経路を可視化することにより、電子部品の破壊を伴うこともなく、電子部品内部の短絡箇所等、異常個所の検出が可能と考えられる。
木村建次郎等、「電磁場再構成法と走査型トンネル磁気抵抗効果顕微鏡の開発〜電子部品内部の非破壊検査への応用〜」、エレクトロニクス実装技術 Electro Packaging Technology、Gichoビジネスコミュニケーションズ株式会社、2012年1月、vol.28、No.2、pp.16−20
非特許文献1では、プリント基板の短絡品のような場合は、上述したように電圧を印加することにより大きな電流を流し続けることができることから、適切かつ安定した磁場強度を検出することが可能である。
しかしながら、電圧を印加しても十分に大きな電流を流すことができない電子部品の不良品や劣化品の場合は、漏れ出す磁場が非常に小さいことから、適切かつ安定した磁場強度を検出するのは困難である。
例えば、電子部品として積層セラミックコンデンサを被測定物とした場合、良品では1010〜1011Ω程度の絶縁抵抗を有しているが、絶縁抵抗が107Ω程度に低抵抗化すると動作不良が生じ、このため未出荷の場合は検査段階で不良品と判断され、使用中の場合は劣化品と判断される。
したがって、このような積層セラミックコンデンサの不良品や劣化品を被測定物とした場合、被測定物の絶縁抵抗が大きいことから被測定物に直流電圧を印加し定電流制御したとしても、例えば、4Vの電圧を印加しても10nA程度の微弱な電流しか流れず、このため適切かつ安定した磁場強度を取り込むのは困難である。
この場合、積層セラミックコンデンサに数百V程度の高電圧を印加して一定電流を流し続けることにより、積層セラミックコンデンサから磁場を発生させ、TMRセンサで磁場強度を取り込むことは可能である。
しかしながら、積層セラミックコンデンサに高電圧を印加すると、異常個所を検出する前に積層セラミックコンデンサが発熱して絶縁破壊を起こすおそれがある。
このように非特許文献1では、不良品や劣化品を被測定物とした場合、電子部品を破壊することなく、異常個所を検出するのは困難である。
しかも、非特許文献1では、Z軸方向の距離が異なる2つの位置で磁場ベクトルを取得し、これらの磁場ベクトルに基づいて磁場分布を再構成し、任意の高さの磁場分布を得ていることから、磁場強度の取り込みから磁場分布の再構成までの一連のプロセスが煩雑である。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、電子部品の破壊を伴うことなく、動作不良等の電子部品内部の電気的な異常箇所を容易かつ短時間で検出できる電子部品の異常個所検出装置、及び電子部品の異常個所検出方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明に係る電子部品の異常個所検出装置は、所定のパルス幅で電子部品にパルス電圧を印加する電圧印加手段と、前記パルス電圧の印加中に前記電子部品から発生する磁場強度を取り込む磁場強度取込手段と、該磁場強度取込手段によって取り込まれた磁場強度から磁場分布を作成し、該磁場分布に基づいて前記電子部品の異常個所を検出する検出手段とを備えていることを特徴としている。
すなわち、電子部品にパルス電圧を印加すると、異常個所には大きな電流が流れることから、パルス電圧印加中に磁場強度を取り込むことができる。したがって、定常状態では大きな電流が流れない積層セラミックコンデンサの不良品や劣化品であっても、磁場強度を取り込めることから、斯かる磁場強度に基づいて作成された磁場分布から電流経路が分かり、これにより電子部品の破壊を伴うことなく、動作不良等の電子部品内部の電気的な異常箇所を容易かつ短時間で検出することが可能となる。
また、本発明の電子部品の異常個所検出装置は、前記電圧印加手段が、前記パルス幅を制御するパルス幅制御手段を備えているのが好ましい。
これにより所望のパルス幅でパルス電圧を印加することができる。
また、本発明の電子部品の異常個所検出装置は、前記パルス幅が、時間に換算して0.1〜100msecであるのが好ましい。
これにより電圧印加後の大きな電流が流れる期間に磁場強度を取り込むことが可能となり、しかも充電が過度に進むこともない。
また、本発明の電子部品の異常個所検出装置は、前記磁場強度取込手段が、三次元空間を移動する移動機構を有し、前記移動機構は、前記三次元空間をXYZ直交座標系で表したときのXY平面上で測定点が順次移動するように構成されると共に、前記磁場強度取込手段は、前記各測定点におけるZ成分の磁場強度を取り込むのが好ましい。
また、本発明の電子部品の異常個所検出装置は、前記磁場強度取込手段が、絶縁層と該絶縁層の両主面に形成された強磁性体とを有する磁気センサを備えているのが好ましく、さらに前記磁気センサが、TMRセンサであるのが好ましい。
これにより外部磁場により磁化方向が変化しない強磁性体と、外部磁場により磁化方向が変化する強磁性体とが絶縁層を介して対向していることから、二つの強磁性体で磁化方向が平行な場合と、反平行な場合とで電気抵抗に差異が生じ、磁気センサは斯かる抵抗変化を磁場強度として取り込むことができる。
また、本発明の電子部品の異常個所検出装置は、抵抗体が、前記電子部品と並列に接続されているのが好ましい。
これによりパルス電圧の印加後に電子部品内部に電荷が残存していても、電圧非印加時には電子部品と抵抗体との間が閉ループになることから、前記電荷は熱となって抵抗体を介して放出される。したがって、測定点を移動させた場合でも0V電位を基準電位にパルス電圧を印加して電流を流すことにより、適切かつ安定した磁場強度を取り込むことができる。
すなわち、本発明の電子部品の異常個所検出装置は、前記電圧印加手段が、0V電位を基準電位として前記パルス電圧を印加するのが好ましい。
この場合、前記電子部品は、内部電極を有する積層型セラミック電子部品に好適である。
また、本発明の電子部品の異常個所検出装置は、前記電圧印加手段が、前記電子部品の有する電位状態を基準電位として前記パルス電圧を印加するのが好ましい。
これにより、通常、電荷(充電電流)が残存した状態で充電過程に移行する電子部品、例えば、リチウムイオンキャパシタ、電気二重層キャパシタ、ポリアセンキャパシタ等の電子部品であっても、充電過程での磁場分布を測定することが可能となり、斯かる磁場分布から異常個所を容易に検出することが可能となる。
すなわち、本発明の電子部品の異常個所検出装置は、前記電子部品が、リチウムイオンキャパシタ、電気二重層キャパシタ、及びポリアセンキャパシタの場合にも好適である。
また、本発明に係る電子部品の異常個所検出方法は、所定のパルス幅で電子部品にパルス電圧を印加し、前記パルス電圧の印加中に前記電子部品の磁場強度を取り込み、前記磁場強度から磁場分布を作成し、該磁場分布に基づいて前記電子部品の異常個所を検出することを特徴としている。
これにより上述したように異常個所には大きな電流が流れることから、パルス電圧印加中に磁場強度を取り込むことができる。したがって、定常状態では大きな電流が流れない積層セラミックコンデンサの不良品や劣化品であっても、磁場強度を取り込めることから、斯かる磁場強度に基づいて作成された磁場分布から電流経路が分かり、これにより電子部品の破壊を伴うことなく、動作不良等の電子部品内部の電気的な異常箇所を容易に検出することが可能となる。
また、本発明の電子部品の異常個所検出方法は、前記パルス幅を時間に換算して0.1〜100msecの間で制御するのが好ましい。
また、本発明の電子部品の異常個所検出方法は、三次元空間をXYZ直交座標系で表したときのXY平面上で測定点が順次移動し、前記各測定点におけるZ成分の磁場強度を取り込むのが好ましい。
さらに、本発明の電子部品の異常個所検出方法は、前記パルス電圧が、0V電位を基準電位として印加するのが好ましい。
また、本発明の電子部品の異常個所検出方法は、前記パルス電圧が、前記電子部品の有する電位状態を基準電位として印加するのも好ましい。
上記電子部品の異常個所検出装置、及び電子部品の異常個所検出方法によれば、異常個所には大きな電流が流れることから、パルス電圧印加中に磁場強度を取り込むことができる。したがって、定常状態では大きな電流が流れない積層セラミックコンデンサの不良品や劣化品であっても、磁場強度を取り込めることから、斯かる磁場強度に基づいて作成された磁場分布から電流経路が分かり、これにより電子部品の破壊を伴うことなく、動作不良等の電子部品内部の電気的な異常箇所を容易かつ短時間で検出することが可能となる。
次に、本発明の実施の形態を詳説する。
図1は、本発明に係る電子部品の異常個所検出装置の一実施の形態(第1の実施の形態)を模式的に示すシステム構成図である。
本実施の形態では、製造時の検査段階で動作不良が生じた不良品或いは使用中に動作不良となった劣化品(以下、これら不良品及び劣化品を単に「劣化品」と記す。)の積層セラミックコンデンサ(電子部品)を被測定物としている。
この異常個所検出装置は、台座1に載置された劣化品2に所定のパルス幅Δt1でパルス電圧を印加する電圧印加手段3と、パルス電圧の印加時に劣化品2から発生する磁場強度を取り込む磁場強度取込装置(磁場強度取込手段)4と、該磁場強度取込装置4によって取り込まれた磁場強度から磁場分布を作成し、該磁場分布に基づいて前記電子部品の異常個所を検出する制御部(検出手段)5とを主要部として構成されている。
制御部5にはデータ入力を行うキーボードやマウス等の入力部6と、検出結果を画像データとして出力するディスプレイ等の出力部7が接続されている。
制御部5と磁場強度取込装置4との間にはモータドライバ8が介在され、該モータドライバ8により磁場強度取込装置4の駆動が制御される。
電圧印加手段3は、パルス電圧のパルス幅Δt1を制御する電子負荷装置(パルス幅制御手段)9と、該電子負荷装置9で制御されたパルス幅Δt1でもって劣化品2に電圧V1を印加する直流電源装置10とを備えている。電子負荷装置9は、トランジスタ等のアクティブ素子が内蔵されており、該アクティブ素子を負荷(電子負荷)として作用させることにより、直流電源装置10から一定電圧が印加されていてもパルス幅Δt1を所望幅に制御することができ、これにより劣化品2に流れる充電電流を生じさせている。
また、電圧印加手段3と劣化品2との間には劣化品2と並列に抵抗体11が接続されている。
すなわち、本実施の形態では、1つの測定点に対しでパルス電圧を1回印加し、このパルス電圧の印加中に劣化品2から発生する磁場強度を磁場強度取込装置4に取り込み、その後、後述するようにマトリックス状に設けられた測定点を順次移動して同様の処理を行っている。したがって、パルス電圧の印加が終了した後にも劣化品2には電荷が残存するおそれがある。このような状態で、次測定点でパルス電圧を印加すると、電荷が残存した状態でパルス電圧が印加されることから、正確な磁場強度を検出できなくなるおそれがある。
そこで、本実施の形態では、劣化品2と並列に抵抗体11を接続することにより、劣化品2へのパルス電圧の印加が終了して非印加状態になった場合、劣化品2と抵抗体11との間で閉ループを形成するようにし、これにより劣化品2に残存している電荷を熱として抵抗体11から放出し、次測定点においても、0V電位を基準電位としてパルス電圧が印加されるように構成されている。
制御部5は、アナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換器12と、モータドライバ8にパルス列信号を出力するモーションコントローラ13と、システム全体の制御を司る演算処理部14とを有している。また、この演算処理部14は、所定の演算プログラムや自動運転プログラム等が格納されたROM14aと、磁場強度取込装置4で取り込まれた磁場強度や演算結果を一時的に記憶したりワークエリアとして使用されるRAM14bと、各種演算処理を行うCPU14cとを備えている。
磁場強度取込装置4は、劣化品2から発生する漏れ磁場を検出するTMRセンサ15と、TMRセンサ15に装着されると共に可変抵抗を備えたブリッジ回路や差動アンプが内蔵されたプリアンプ16と、TMRセンサ15を三次元空間で移動可能とする移動機構17と、該移動機構17とプリアンプ16とを接続するアーム部18とを備えている。
移動機構17は、具体的にはTMRセンサ15をX軸方向(図中、水平方向)に移動させる第1のステッピングモータを備えたX軸ステージ部17aと、TMRセンサ15をY軸方向(図中、紙面に垂直方向)に移動させる第2のステッピングモータを備えたY軸ステージ部17bと、TMRセンサ15をZ軸方向(図中、上下方向)に移動させる第3のステッピングモータを備えたZ軸ステージ部17cとを有している。これらX軸ステージ部17a、Y軸ステージ部17b、及びZ軸ステージ部17cは、モータドライバ8に接続され、モーションコントローラ13から出力されるパルス列信号がモータドライバ8を介して移動機構17に送信され、移動機構17の動作が制御される。
TMRセンサ15は、図2に示すように、Al2O3やMgO等からなる絶縁層19の一方の主面にFe等の強磁性体金属からなるピン層20aが形成されると共に、他方の主面にはピン層20aと同様、Fe等の強磁性体金属からなるソフト層20bが形成されている。そして、これらピン層20a、絶縁層19、及びソフト層20bで積層体21を構成し、該積層体21は基板22上に形成されると共に、該基板22はプリアンプ16に装着されている。ピン層20aは、外部磁場により磁化の方向が変化しない固定層を形成し、ソフト層20bは前記外部磁場によって磁化の方向が変化する自由層を形成する。そして、劣化品2に電流を流すと、外部に磁気が放出されソフト層20bの磁区に影響を与えることから、ピン層20aとソフト層20bとの間に電圧を印加するとトンネル効果により電流が流れる。この場合、矢印A及び矢印Bに示すように、ソフト層20bの磁化の方向がピン層20aの磁化の方向と平行の場合は抵抗が低くなる。一方、矢印A及び矢印Cに示すように、ソフト層20bの磁化の方向がピン層20aの磁化の方向と反平行の場合は抵抗が高くなる。
このようにTMRセンサ15では、ピン層20aとソフト層20bの磁化方向の相対的な向きの相違によって抵抗値が変化することから、これら抵抗変化を磁場強度として検出している。
このように構成された異常個所検出装置では、所定のパルス幅で劣化品2にパルス電圧V1を印加し、パルス電圧V1の印加中に磁場強度を取り込み、磁場強度から磁場分布を作成し、磁場分布に基づいて劣化品2の異常個所を検出し、これにより破壊を伴いことなく劣化品2の異常個所を容易かつ短時間で検出している。
以下、劣化品2の異常個所検出方法を詳述する。
図3は、劣化品2と磁場強度の測定点との関係を示している。
劣化品2である積層セラミックコンデンサは、内部電極(不図示)が埋設されたセラミック素体23の両端部に一対の外部電極24a、24bが形成されている。
磁場強度の測定領域は、劣化品2の長さL及び幅Wで規定される平面寸法(L×W)よりも若干大きく設定されており、X軸方向にm個(N11〜N1m)、Y軸方向にn個(N11〜Nn1)の総計m×n個の測定点が、マトリックス状に等分割に設けられている。そして、XY平面上の各測定点でZ方向成分の磁場強度HzをTMRセンサ15で検出する。
すなわち、まず、TMRセンサ15と対向するように劣化品2を台座1に載置する。そして、モータドライバ8を介してZ軸ステージ部17cの第3のステッピングモータを駆動させ、TMRセンサ15の先端を劣化品2に近接させる。TMRセンサ15の先端と劣化品2との間隔ΔZは、最近接させるのが好ましく、入力部6に設けられたジョグ送りボタンを操作し、目視でZ軸方向の位置調整を行う。具体的には、前記ジョグ送りボタンを操作してモーションコントローラ13からパルス列信号を発生させる。該パルス列信号を受信したモータドライバ8は前記第3のステッピングモータを駆動させ、TMRセンサ15の先端と劣化品2とを最近接させ、例えば間隔ΔZを0〜0.5mmに設定する。
また、Z軸方向の位置設定と同様、ジョグ送りボタンを操作し、TMRセンサ15の先端が劣化品2の中心部分に位置するようにTMRセンサ15をXY平面上で移動させ、この位置を測定開始位置とする。
その後、ROM14aに格納された自動運転プログラムに従い、以下のようにしてTMRセンサ15を走査し、磁場分布を測定する。
具体的には、まず、モーションコントローラ13からの指示に基づき、モータドライバ8を介してX軸ステージ部17a及びY軸ステージ部17bに内蔵されている第1及び第2のステッピングモータを駆動させ、TMRセンサ15がXY平面上の測定点N11の位置となるようにセットする。
次に、演算処理部14は、A/D変換器12を介してトリガー信号Tを電子負荷装置9に送信する。電子負荷装置9は直流電源装置10より出力された一定電圧をパルス幅の電圧に制御し、劣化品2にパルス電圧を印加する。これにより劣化品2には適切かつ安定した磁場が発生する程度の大きな電流が流れることから、TMRセンサ15でパルス電圧印加中の磁場強度Hzを取り込む。
図4は、TMRセンサ15による磁場強度の取込時のタイムチャートを示している。
TMRセンサ15が測定点N11にセットされると、図4(a)に示すように、制御部14から電子負荷装置9にはA/D変換器12を介してトリガー信号Tが入力される。トリガー信号Tを受信した電子負荷装置9は演算処理部14からの指令に基づき所定のパルス幅Δt1で劣化品2にパルス電圧V1を印加する。これにより図4(b)に示すように、劣化品2には前記トリガー信号Tの後、所定時間Δt2経過後にパルス幅Δt1のパルス電圧V1が印加される。
そして、TMRセンサ15は、図4(c)に示すように、パルス電圧V1の印加後、所定時間Δt3が経過した後、パルス電圧V1の印加が終了するまでの所定時間Δt4の間に、Z方向成分の磁場強度Hzを取り込む。
すなわち、数式(1)が成立するようにパルス電圧V1が印加されるパルス幅Δt1中、所定のサンプリング周波数毎にTMRセンサ15で検出される抵抗変化を磁場強度Hzとして取り込む。抵抗変化はプリアンプ16で電圧に変換されてA/D変換器12に送信され、磁場強度の平均値がRAM14bに格納される。
Δt1>Δt3+Δt4 ...(1)
このように本実施の形態では、定常状態では大きな電流が流れない劣化品2であっても電圧印加時には大量の電流が流れることから、極短時間のパルス電圧を印加し、パルス電圧V1の印加中に磁場強度を取り込んでいる。
ここで、パルス電圧V1のパルス幅Δt1は、特に限定されるものではないが、時間に換算して0.1〜100msec程度が好ましい。パルス幅Δt1は、適切かつ安定した磁場強度を検出するためには0.1msec程度は必要である。一方、パルス幅Δt1が100msecを超えて長くなると劣化品2に蓄積される電荷が低下し、適切で安定した磁場強度を取り込めなくなるおそれがある。
その後、上述と同様の操作により、X軸ステージ部17a及びY軸ステージ部17bを駆動させ、TMRセンサ15を次測定点N12にセットし、トリガー信号Tを電子負荷装置9に入力し、上述した一連の動作を繰り返し、取り込まれた磁場強度の平均値がRAM14bに格納される。
このようにして演算処理部14のRAM14bにはn×m個の磁場強度(平均値)が格納され、CPU14cは、斯かる磁場強度に基づいて磁場分布を作成し、検出結果を画像処理して出力部7に出力する。そして、後述する実施例から明らかなように、劣化品2の異常個所に流れる電流に由来して磁場分布が得られ、アンペールの法則により電流経路を検出することができる。
すなわち、異常個所以外の部分は電圧を印加しても電流は流れず、磁場は生じない。これに対し異常個所には電圧印加によって流れる電流に由来した磁場分布が形成され、磁場の極性が反転する箇所を繋ぐことにより漏れ電流の電流経路が得られ、劣化品2の異常個所(漏れ電流の発生個所、短絡箇所)を検出することができる。
このように本実施の形態によれば、所定のパルス幅で劣化品2にパルス電圧V1を印加し、パルス電圧V1の印加中に磁場強度Hzを取り込み、磁場強度Hzから磁場分布を作成し、磁場分布に基づいて劣化品2の異常個所を検出しているので、劣化品2へのパルス電圧V1の印加により、異常個所には大きな電流が流れることから、パルス電圧V1の印加中に磁場強度を取り込むことができる。したがって、定常状態では大きな電流が流れない劣化品2であっても、磁場強度Hzを取り込めることから、斯かる磁場強度Hzに基づいて作成された磁場分布により電流経路が分かり、これにより電子部品の破壊を伴うことなく、動作不良等の電子部品内部の電気的な異常箇所を容易かつ短時間で検出することが可能となる。
図5は、電子部品の異常個所検出装置の第2の実施の形態を模式的に示すシステム構成図である。
上記第1の実施の形態では、電圧印加手段3を、電子負荷装置9と直流電源装置10で構成しているが、本第2の実施の形態では、直流電源装置10のみで電圧印加手段3を構成している。
すなわち、電子負荷装置9を使用せずに直流電源装置10のオン・オフ制御のみで磁場強度が取り込めるような大電流を所定時間(例えば、100msec)流し、該所定時間に対応したパルス幅Δt1のパルス電圧V1を印加するようにしてもよい。
図6は、電子部品の異常個所検出装置の第3の実施の形態を模式的に示すシステム構成図である。
上記第1の実施の形態では、抵抗体11を劣化品2と並列に接続し、これによりパルス電圧印加後に劣化品2に残存している電荷を放電しているが、本第3の実施の形態では、抵抗体11が設けられていない。
この第3の実施の形態は、電荷が完全に放電されずに、若干の電荷(充電電流)が残存した状態で充電過程に移行する電子部品、例えばリチウムイオンキャパシタ、電気二重層キャパシタ、ポリアセンキャパシタ等に好適である。
すなわち、通常、若干の電荷が残存した状態で充電過程に移行する電子部品の場合は、電子部品の有する電位を基準電位としてパルス電圧を印加し、劣化品2に電流を流すことにより、充電途中における磁場強度を取り込むのが好ましい。
図7は、第3の実施の形態の磁場強度の取込時のタイムチャートを示している。
TMRセンサ15が測定点N11にセットされると、第1の実施の形態と同様、図7(a)に示すように、演算処理部14から電子負荷装置9にはA/D変換器12を介してトリガー信号Tが入力される。トリガー信号Tを受信した電子負荷装置9は、図7(b)に示すように、所定のパルス幅Δt1で劣化品2の電位V2を基準電位として電圧パルス電圧V1を印加する。
その後は第1の実施の形態と同様、TMRセンサ15は、図7(c)に示すように、パルス電圧V1の印加後所定時間Δt3が経過した後、パルス電圧の印加が終了するまでの所定時間Δt4の間に、Z方向成分の磁場強度Hzを取り込む。
このように第3の実施の形態では、電荷が残存した状態で劣化品2の有する電位V2を基準電位としてパルス電圧V1を印加することにより、充電過程における劣化品2の磁場分布を得ることができ、斯かる磁場分布に基づいて劣化品2の異常個所を検出することが可能となる。
尚、本第3の実施の形態は、上述したようにリチウムイオンキャパシタ、電気二重層キャパシタ、ポリアセンキャパシタ等の若干の電荷が残存した状態で充電過程に移行する電子部品に好適であるが、第1の実施の形態のような積層セラミックコンデンサ等の積層型セラミック電子部品にも適用可能である。
本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態では、磁気センサにTMRセンサを使用しているが、磁場強度を精度良く取り込める良好な感度を有するものであればよく、TMRセンサに限定されるものではない。
また、第1の実施の形態では、積層セラミックコンデンサの劣化品を被測定物としたが、積層型圧電部品等の他の積層型セラミック電子部品にも広く適用できるのはいうまでもない。
次に、本発明の実施例を具体的に説明する。
積層セラミックコンデンサの劣化品を使用し、図1に示す異常個所検出装置を使用して異常個所の検出を確認した。
ここで、TMRセンサにはマイクロマグネティックス社製STJ020、A/D変換器にはインターフェース社製PEX−320724、モーションコントローラにはインターフェース社製PEX−H7414Vをそれぞれ使用した。
電子負荷装置には菊水電子工業社製PLZ164Wを使用し、直流電源装置には菊水電子工業社製PMP25−2TRを使用した。また、劣化品に並列接続される抵抗体の抵抗値は、2kΩとした。
次に、長さ1.0mm、幅0.5mm、高さ0.5mmの1005サイズの積層セラミックコンデンサを用意した。
図8は、積層セラミックコンデンサの断面斜視図であり、セラミック素体51に内部電極52が埋設されると共に、前記セラミック素体51の両端部にはNiからなる外部電極53a、53bが形成されている。
この積層セラミックコンデンサに室温で90Vの直流電圧を長時間連続的に印加して該積層セラミックコンデンサを加速劣化させた。そして、4Vの直流電圧を印加したときに漏れ電流が2.3×10-7Aの劣化品を作製した。この劣化品の外部電極53a、53bを研磨処理して除去し、内部電極が埋設された状態にして両端部に消磁処理を施し、試験体試料を作製した。
また、図4において、試験体試料に印加されるパルス電圧V1が10V、パルス幅Δt1が3msec、パルス電圧V1の印加から磁場強度Hzの取込開始までの時間Δt3が60μsec、磁場強度Hzを取り込む所定時間Δt4が1msecとなるようにプログラム設定を行った。
そして、台座に試験体試料を載置し、XYZの各ステージ部を操作し、TMRセンサが所定位置にセットし、電子負荷装置にトリガー信号Tを入力した。次いで、所定時間後に3msecのパルス幅で10Vのパルス電圧V1を試験体試料に印加し、該試験体試料に電流を流した。次いで、パルス電圧V1の印加後、60μsecが経過してから1msecの間、1.536MHzのサンプリング周波数で2048個の磁場強度をTMRセンサで取り込み、平均値をRAMに格納した。
図9は、トリガー信号T、電子負荷装置に流れる電流I、及び磁場強度Hzの出力状態の一例を示すオシロスコープである。
この図9に示すように、トリガー信号Tが入力された後、電子負荷装置から電流Iが試験体試料に流れ、この電流Iに呼応し、Z方向成分の磁場強度Hzが生じていることが分かる。
このようにして全ての測定点で磁場強度を取り込み、各測定点の平均値に基づいて磁場分布を作成し、該磁場分布に基づいて画像処理し、出力した。
図10は、パルス電圧V1の非印加時における試験体試料を画像処理した図であり、図11はパルス電圧V1の印加時における試験体試料を画像処理した図である。
すなわち、パルス電圧V1の非印加時は、図10に示すように、外部電極53a、53bを形成するNiの残留磁場の影響を受け、外部電極53a、53bの輪郭が観察されたが、パルス電圧V1の非印加時は試験体試料に電流が流れないことから、磁場分布は観察されなかった。
一方、パルス電圧V1を印加した場合は、図11に示すように、内部電極に流れた電流によって磁場分布が得られ、アンペールの法則により電流経路が得られることが分かった。
すなわち、試験体試料では、10Vのパルス電圧V1の印加により、電流は内部電極52を媒体として外部電極53bから外部電極53bに流れ、内部電極の全長に一定強度の磁場が発生する。そして、セラミック素体52の表面から離れた深い位置で磁場の極性が反転しており、斯かる反転しているところを辿ることにより、電流経路が得られる。
図12は、試験体試料の漏れ電流の発生個所を示す図である。
すなわち、この図12に示すように、磁場の極性が反転しているセラミック素体52の表面から離れた深い位置にある内部電極であって外部電極53bに近い箇所で漏れ電流が発生し(図中、Rで示す。)、内部電極間が短絡していることが分かった。
電子部品の破壊を伴うことなく、動作不良等の電子部品内部の電気的な異常箇所を容易かつ短時間に検出できる。
2 劣化品(電子部品)
3 電圧印加手段
4 磁場強度取込装置(磁場強度取込手段)
5 制御部(検出手段)
9 電子負荷装置(パルス幅制御手段)
10 直流電源装置
11 抵抗体
15 磁気センサ
17 移動機構
19 絶縁層
20a、20b 強磁性体
3 電圧印加手段
4 磁場強度取込装置(磁場強度取込手段)
5 制御部(検出手段)
9 電子負荷装置(パルス幅制御手段)
10 直流電源装置
11 抵抗体
15 磁気センサ
17 移動機構
19 絶縁層
20a、20b 強磁性体
Claims (16)
- 所定のパルス幅で電子部品にパルス電圧を印加する電圧印加手段と、前記パルス電圧の印加中に前記電子部品から発生する磁場強度を取り込む磁場強度取込手段と、該磁場強度取込手段によって取り込まれた磁場強度から磁場分布を作成し、該磁場分布に基づいて前記電子部品の異常個所を検出する検出手段とを備えていることを特徴とする電子部品の異常個所検出装置。
- 前記電圧印加手段は、前記パルス幅を制御するパルス幅制御手段を備えていることを特徴とする請求項1記載の電子部品の異常個所検出装置。
- 前記パルス幅は、時間に換算して0.1〜100msecであることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の電子部品の異常個所検出装置。
- 前記磁場強度取込手段は、三次元空間を移動する移動機構を有し、
前記移動機構は、前記三次元空間をXYZ直交座標系で表したときのXY平面上で測定点が順次移動するように構成されると共に、
前記磁場強度取込手段は、前記各測定点におけるZ成分の磁場強度を取り込むことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の電子部品の異常個所検出装置。 - 前記磁場強度取込手段は、絶縁層と該絶縁層の両主面に形成された強磁性体とを有する磁気センサを備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の電子部品の異常個所検出装置。
- 前記磁気センサは、トンネル磁気抵抗効果センサであることを特徴とする請求項5記載の電子部品の異常個所検出装置。
- 抵抗体が、前記電子部品と並列に接続されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の電子部品の異常個所検出装置。
- 前記電圧印加手段は、0V電位を基準電位として前記パルス電圧を印加することを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の電子部品の異常個所検出装置。
- 前記電子部品は、内部電極を有する積層型セラミック電子部品であることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の電子部品の異常個所検出装置。
- 前記電圧印加手段は、前記電子部品の有する電位を基準電位として前記パルス電圧を印加することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の電子部品の異常個所検出装置。
- 前記電子部品は、リチウムイオンキャパシタ、電気二重層キャパシタ、及びポリアセンキャパシタを含むことを特徴とする請求項1乃至請求項6又は請求項10のいずれかに記載の電子部品の異常個所検出装置。
- 所定のパルス幅で電子部品にパルス電圧を印加し、前記パルス電圧の印加中に前記電子部品の磁場強度を取り込み、前記磁場強度から磁場分布を作成し、該磁場分布に基づいて前記電子部品の異常個所を検出することを特徴とする電子部品の異常個所検出方法。
- 前記パルス幅を時間に換算して0.1〜100msecの間で制御することを特徴とする請求項12記載の電子部品の異常個所検出方法。
- 三次元空間をXYZ直交座標系で表したときのXY平面上で測定点が順次移動し、前記各測定点におけるZ成分の磁場強度を取り込むことを特徴とする請求項12又は請求項13記載の電子部品の異常個所検出方法。
- 前記パルス電圧は、0V電位を基準電位として印加することを特徴とする請求項12乃至請求項14のいずれかに記載の電子部品の異常個所検出方法。
- 前記パルス電圧は、前記電子部品の有する電位を基準電位として印加することを特徴とする請求項12乃至請求項14のいずれかに記載の電子部品の異常個所検出方法。
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