JP6531975B2 - 微小物電気特性計測装置及び微小物電気特性計測方法 - Google Patents
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Description
以下に、第1実施形態を図1〜図6に基づいて説明する。図1及び図2には、第1実施形態に係る微小物電気特性計測装置としての微小物電気抵抗計測装置100の概略構成が示されている。以下では、図1等に示されるZ軸方向を鉛直方向とするXYZ3次元直交座標系を適宜用いて説明する。
この結果、低抵抗(数十kΩ以下)の微小物の電気特性を精度良く計測できる。
この場合、低抵抗(数十kΩ以下)の微小物の電気特性を精度良く計測できる。
Claims (13)
- 微小物を狭持可能な導電性を有する一対のアームと、
前記微小物を狭持する一対のアームに前記微小物を介して接続される2つの電極と、
前記一対のアーム及び前記2つの電極のいずれか2つの間に接続される電源部と、
前記一対のアーム及び前記2つの電極のうち前記電源部に接続されない2つの間に接続される電圧計と、
前記2つの電極が表面に設けられたカンチレバーと、を備え、
前記カンチレバーは、前記2つの電極が設けられる部位間に切り欠き部又は開口部を有する微小物電気特性計測装置。 - 前記カンチレバーは、前記2つの電極が設けられる部位間に凹部を有することを特徴とする請求項1に記載の微小物電気特性計測装置。
- 前記2つの電極は、前記カンチレバーの表面に薄膜形成された導電性材料からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の微小物電気特性計測装置。
- 前記カンチレバーは、導電性を有する一対のカンチレバーであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の微小物電気特性計測装置。
- 前記カンチレバーの変位を測定する測定装置を更に備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の微小物電気特性計測装置。
- 前記測定装置は、前記カンチレバーに光を照射し、その反射光を検出して前記カンチレバーの変位を計測し、
前記カンチレバーにおける前記測定装置からの光スポットが照射される部分の面積は、該光スポットのサイズよりも大きいことを特徴とする請求項5に記載の微小物電気特性計測装置。 - 前記測定装置は、レーザ変位計であることを特徴とする請求項6に記載の微小物電気特性計測装置。
- 前記測定装置は、
前記カンチレバーに向けてレーザ光を射出する光源と、
前記光源から射出され前記カンチレバーで反射された光を検出するN分割ディテクタ(Nは2以上)と、を含むことを特徴とする請求項6に記載の微小物電気特性計測装置。 - 前記カンチレバーは、原子間力顕微鏡用のカンチレバーであることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の微小物電気特性計測装置。
- 前記2つの電極の間隔は、前記微小物の粒径よりも狭いことを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の微小物電気特性計測装置。
- 前記一対のアーム及び前記2つの電極は、前記電源部及び前記電圧計に選択的に接続可能であることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の微小物電気特性計測装置。
- 請求項1〜11のいずれか一項に記載の微小物電気特性計測装置を用いる微小物電気特性計測方法であって、
導電性を有する一対のアームで微小物を狭持する工程と、
前記一対のアームで狭持された前記微小物と2つの電極とを接触させる工程と、
前記一対のアーム及び前記2つの電極のいずれか2つの間に電圧を印加する工程と、
前記一対のアーム及び前記2つの電極のうち前記電圧が印加されていない2つの間の電圧降下を計測する工程と、を含む微小物電気特性計測方法。 - 前記電極の変形量を測定し、その測定結果に基づいて、前記一対のアームで狭持された前記微小物と前記2つの電極との接触状態を管理する工程を更に含む請求項12に記載の微小物電気特性計測方法。
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