JP2015021969A - テスト装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テスト装置は、扇形搬送部3と、移動部2と、テスト部4とを備える。扇形搬送部3は、電子部品を搬送するために使用される複数のソーキングバッファを有し、回動軸により回動可能に設けられ、テスト位置40と移動位置20との間で移動する。移動部2は、移動位置20に対応して設けられ、複数の電子部品を扇形搬送部3の中へ、または、扇形搬送部3の中から移動するために使用される。テスト部4は、テスト位置に対応して設けられ、電子部品をテストし、その電子部品はテスト後に扇形搬送部3の中へ移動される。
【選択図】図2
Description
20、20’ 移動位置
21’ シャトル
22、22’ 移動アーム
3、3’ 扇形搬送部
30’ スタンディングバッファ
32、32’ 熱交換器モジュール
31、31’ ソーキングバッファ
4 テスト部
40、40’ テスト位置
41 テストベース
42 ロボットアーム
5 回動軸
6、6’ IC
90 断熱室
91 テスト部
92 温度調節部
Claims (6)
- 回動軸により回動可能に設けられ、複数の電子部品を運ぶために用いられる複数のソーキングバッファを有する扇形搬送部であって、テスト位置または移動位置に向かって前記回動軸を介して回動する扇形搬送部と、
前記移動位置に対応して設けられ、前記各電子部品を前記扇形搬送部の中へ、または、前記扇形搬送部の中から移動させる移動部と、
前記テスト位置に対応して設けられ、前記電子部品のうち、前記扇形搬送部から持ち上げられた1つの電子部品を前記テスト位置でテストし、テストされた後の前記1つの電子部品を前記扇形搬送部内に戻すテスト部と、
を備え、
前記1つの電子部品がテストされた後、前記テスト部がテスト対象の次の電子部品をテストしている期間中に、前記扇形搬送部は、前記テスト位置から前記移動位置まで回動し、前記テストされた1つの電子部品は、前記移動部によって前記扇形搬送部から移動され、新たな電子部品が前記移動部によって前記扇形搬送部内に移動されることを特徴とするテスト装置。 - 前記扇形搬送部は、前記ソーキングバッファの温度調節を行う機能を有する熱交換器モジュールを備えることを特徴とする請求項1に記載のテスト装置。
- 前記移動部は、前記電子部品を運ぶシャトル、及び前記電子部品を前記シャトルから前記扇形搬送部へ、または、前記扇形搬送部から前記シャトルへ移動する移動アームを備えることを特徴とする請求項1に記載のテスト装置。
- 前記テスト部は、少なくとも1つのテストベースと、少なくとも1つのロボットアームとを備え、
前記少なくとも1つのテストベース及び前記少なくとも1つのロボットアームは、前記テスト位置に位置し、
前記少なくとも1つのロボットアームは、前記1つの電子部品を前記扇形搬送部から前記テストベースに移動させて、前記1つの電子部品を前記テストベースにしっかりと嵌合させるように、または、前記1つの電子部品を前記テストベースから切り離して、前記1つの電子部品を前記テストベースから前記扇形搬送部に移動させるように設けられていることを特徴とする請求項1に記載のテスト装置。 - 前記扇形搬送部は、前記テストされた1つの電子部品を収容するように設けられた少なくとも1つのスタンディングバッファをさらに備え、前記テストされた1つの電子部品が前記少なくとも1つのスタンディングバッファに収容されている場合には、前記回動軸を介して前記扇形搬送部を回動させることによって、前記少なくとも1つのスタンディングバッファは前記移動位置に移動されることを特徴とする請求項1に記載のテスト装置。
- 前記少なくとも1つのテスト対象の新たな電子部品が前記扇形搬送部へと移動された後、前記スタンディングバッファが前記テスト位置に位置し、前記テスト部から前記テストされた1つの電子部品を受け取るように、前記扇形搬送部は前記移動位置から回動することを特徴とする請求項5に記載のテスト装置。
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---|---|---|---|---|
CN106269584B (zh) * | 2015-06-10 | 2019-05-24 | 鸿劲科技股份有限公司 | 电子元件作业单元及其应用的作业设备 |
CN106269542B (zh) * | 2015-06-11 | 2018-05-22 | 鸿劲科技股份有限公司 | 电子元件预热预冷装置及其应用的作业设备 |
CN106771388B (zh) * | 2016-12-06 | 2019-08-16 | 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 | 一种电磁窗测试用八轴转台 |
TWI638170B (zh) * | 2017-12-29 | 2018-10-11 | 鴻勁精密股份有限公司 | Electronic component working machine |
EP3816642B1 (en) * | 2018-06-29 | 2022-12-21 | Beijing Huafeng Test & Control Technology Co., Ltd. | Multi-station concurrent testing method, control station and multi-station concurrent testing apparatus |
US11592477B2 (en) * | 2019-04-29 | 2023-02-28 | Asmpt Singapore Pte. Ltd. | Test handler having multiple testing sectors |
CN110596574B (zh) * | 2019-10-15 | 2022-06-21 | 枝江亿硕半导体有限公司 | 一种可测三种温度的芯片测试设备 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6370152U (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-11 | ||
JPH01184476A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-24 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | Icハンドラの予熱・分類装置 |
US20050162151A1 (en) * | 2004-01-22 | 2005-07-28 | Asm Assembly Automation Ltd | Device transfer mechanism for a test handler |
US20070080700A1 (en) * | 2005-10-07 | 2007-04-12 | Kolman Robert S | Carousel device, system and method for electronic circuit tester |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5310039A (en) * | 1992-08-19 | 1994-05-10 | Intel Corporation | Apparatus for efficient transfer of electronic devices |
TW366549B (en) * | 1998-05-28 | 1999-08-11 | Vanguard Int Semiconduct Corp | Wafer ring chuck inspection device |
AU2001257279A1 (en) * | 2000-04-28 | 2001-11-20 | Dataplay, Inc. | Magnetic hub assembly for data storage disk |
US6709877B2 (en) * | 2001-07-23 | 2004-03-23 | Asm Assembly Automation Limited | Apparatus and method for testing semiconductor devices |
JP2008170179A (ja) * | 2007-01-09 | 2008-07-24 | Elpida Memory Inc | オートハンドラ |
US8338006B2 (en) * | 2008-06-10 | 2012-12-25 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic recording disk having pre-patterned surface features and planarized surface |
JP5724526B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2015-05-27 | ソニー株式会社 | 記録及び/又は再生装置 |
TWI411779B (zh) * | 2011-05-18 | 2013-10-11 | Univ Nat Sun Yat Sen | 微流體生物晶片及其自動化反應偵測系統 |
JP5942459B2 (ja) * | 2012-02-14 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | ハンドラー、及び部品検査装置 |
US9766285B2 (en) * | 2012-06-29 | 2017-09-19 | Eles Semiconductor Equipment S.P.A. | Test board with local thermal conditioning elements |
-
2013
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6370152U (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-11 | ||
JPH01184476A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-24 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | Icハンドラの予熱・分類装置 |
US20050162151A1 (en) * | 2004-01-22 | 2005-07-28 | Asm Assembly Automation Ltd | Device transfer mechanism for a test handler |
US20070080700A1 (en) * | 2005-10-07 | 2007-04-12 | Kolman Robert S | Carousel device, system and method for electronic circuit tester |
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---|---|
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