JP2015019101A - 陽極接合気相セル内の圧力均一性を増強する製造技術 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部表面領域306および外周部308を備える第1ウェハに複数の気相セルダイ302を形成するステップと、第1ウェハに複数の相互接続される通気チャネル304を形成するステップと、を有する。通気チャネル304は、各気相セルダイ302からのガスが、第1ウェハの外周部308の外側に移動するための少なくとも1つの通路を提供する。さらに、第2ウェハを第1ウェハの一方の側部に陽極接合するステップと、第1ウェハの反対側の側部に第3ウェハを陽極接合するステップと、を有する。通気チャネル304は、第1ウェハの内部表面領域に向かうガスが、第1ウェハに第2ウェハおよび第3ウェハを陽極接合するときに、第1ウェハの外周部308の外側のガスと実質的に連続的に圧力平衡状態になることを可能にする。
【選択図】図3
Description
主張し、この出願内容は参照により本願明細書に組み込まれる。
米国空軍とのFA8650−01−C−1125による政府との契約条項により与えら
れるように、米国政府は本発明に関して一定の権利を有する。
Rb)のようなアルカリ金属の蒸気を含む気相セルを有する。また、気相セルは、典型的
には、アルゴン−窒素バッファガスブレンドのようなバッファガスを含む。気相セルを製
造する標準的な技術は、キャビティを画定する複数のセル構造を備えるシリコンウェハの
両側に2つのガラスウェハを陽極接合することを含む。アルカリ金属蒸気およびバッファ
ガスは、2つのガラスウェハの間のセル構造のキャビティ内にトラップされる。
面を合わせるように広がる。1つの領域から次の領域への接合フロントの遅れは、気相セ
ル内の圧力差を生じさせ得る。さらに、Rbのような低い沸点の金属の存在は、できるだ
け低い温度で接合することを必要とする。さもなくば、発生する蒸気が接合表面を汚すこ
とになり得る。したがって、できるだけ迅速に接合を形成するために、ウェハが加熱され
ているときに高い電圧を付与する必要がある。これは、気相セルが異なる時間で、そのた
め異なる温度で、シールされることを生じさせる。これは、同一のウェハ上で隣り合って
製造されるセルの場合にでも、気相セル内に圧力差を生じさせ得る。
ウェハセット上の他の気相セルより前に溶接シールされる原因となる。この問題は、さら
に、接合装置内で温度が徐々に上昇し、いくらかのトラップされたガスが遅く接合される
気相セルから追い出される、というように問題を悪化させる。さらに、遅く接合される領
域にトラップされたバッファガスの容易な脱出通路がなく、これは、気相セル内の圧力差
を生じさせ得る。
相セルダイを形成するステップと、第1ウェハ内に相互接続される複数の通気チャネルを
形成するステップと、を有する。通気チャネルは、ガスが各気相セルダイから第1ウェハ
の外周部の外側へ移動するための少なくとも1つの通路を提供する。本方法は、さらに、
第1ウェハの一方の側部に第2ウェハを陽極接合するステップと、第1ウェハの反対の側
部に第3のウェハを陽極接合するステップと、を有する。通気チャネルは、第1ウェハの
内部表面に向かうガスが、第2ウェハおよび第3ウェハを第1ウェハに陽極接合するとき
に、実質的に第1ウェハの外周部の外側のガスと連続的な圧力平衡になることを可能にす
る。
図面は典型的な実施形態だけを示したものであり、本発明を限定する意図ではないことを
理解されたい。本発明が追加的な具体例とともに添付図面を利用して詳細に説明される。
添付図面は以下の通りである。
に説明される。本発明の範囲から逸脱することなく他の実施形態を利用できることを理解
されたい。それゆえ、以下の詳細な説明は限定する意図であると解釈されるべきではない
。
接合される気相セルにおいて、ガス圧力均一性を増強するための製造技術が提供される。
一般に、気相セルは、複数のセル構造を備えるシリコンウェハのような基板の両側に陽極
接合される光学的に澄んだ一対のガラスウェハから製造される。気相セルは、CSACの
ための物理パッケージ内に組み立てられる前に製造される。
ハ内の各気相セルダイからウェハの外周部への通路を提供する、相互接続される通気チャ
ネル、を形成するという設計特徴をウェハ表面に導入する。通気チャネルは、ウェハの内
部に近接するガスが、陽極接合中にウェハの外側のガスと実質的に連続的な圧力平衡にな
ることを可能にする。圧力均一性を増強する他のアプローチにおいて、陽極接合プロセス
は、温度が上昇するときに圧力を連続的に上昇させるように修正される。
用し、それとともに、圧力を上昇させることで、プロセス中に高い温度で後にシールされ
る気相セルが高いガスを備えることを可能にする。室温に冷却されたとき、高い温度でシ
ールされた気相セルは、低い温度でシールされた気相セルよりも圧力が下がるであろう。
高いガス圧を用いることで、後にシールされる気相セルが、気相セルの最終圧力が室温に
おいてほぼ同一となるように補償することができる。
図1は、一実施形態によるCSAC100を示し、これは、本アプローチにより製造さ
れた気相セルを採用することができる。CSAC100は物理パッケージ102を含み、
物理パッケージ102は、CSAC100の様々な機械的および電子的部品を収容する。
これらの部品は、物理パッケージ102を組み立てる前に、ウェハレベルで微小電気機械
システム(MEMS)装置として製造できる。一般に、パッケージ102内のCSAC部
品は、垂直共振器面発光レーザー(vertical-cavity surface-emitting laser, VCSE
L)のようなレーザーダイ110、レーザーダイ110に光学連通する4分の1波プレー
ト(quarter wave plate, QWP)120、QWP120に光学連通する気相セル130
、および気相セル130に光学連通する光学検出器140を有する。
ル130を通って光学検出器140に導かれる。図1に示すように、QWP120、気相
セル130、および光学検出器140は、レーザービーム104の光学通路に対して様々
な傾き角度でパッケージ102内に取り付けられる。これらの部品を傾けることで、VC
SELへの戻り反射カップリングを低減し、CSACの安定性を増強する。
はシリコンウェハ136のような基板の両側に陽極接合される。例示的なガラスウェハは
パイレックス(登録商標)ガラスまたはそれ類似のガラスを含む。気相セル130内に画
定される少なくとも1つのチャンバ138は、レーザーダイ110と光学検出器140と
の間にレーザービーム104のための光学通路139を提供する。
いて、ガラスウェハ132が最初に基板136のベース側に陽極接合され、その後、ルビ
ジウムまたは他のアルカリ金属(液体または固体の状態)がチャンバ138内に入れられ
る。ガラスウェハ134が、シリコンウェハ136の反対側に陽極接合されて気相セル1
30を形成する。このような接合は典型的には、約250℃から約400℃の温度で行わ
れる。接合プロセスは、高真空化でまたはアルゴン−窒素混合ガスのようなバッファガス
の存在下でウェハ132、134、136に関して行われる。バッファガスが用いられる
場合、気相セル130の部品を含む製造装置は排気され、その後、バッファガスがチャン
バ138内に導入される。接合が完成して気相セル130がシールされると、アルカリ金
属および補助的なバッファガスがチャンバ138内にトラップされる。
ンウェハと接触させられ、ガラスウェハとシリコンウェハとの両者の電気接続がなされる
。ガラスウェハおよびシリコンウェハの両者は、少なくとも約200℃に加熱され、ガラ
スウェハ電極はシリコンウェハに対して少なくとも約200Vで負にされる。これは、ガ
ラス内のナトリウムを負電極に向かって移動させ、ガラスとシリコンとの間のギャップに
わたる電圧がより落ちることを可能にし、より緊密な接触をもたらす。同時に、酸素イオ
ンがガラスから解放されてシリコンに向かって流れ、ガラス内のシリコンとシリコンウェ
ハ内のシリコンとの間のブリッジを形成するのを助け、これが非常に強い接合を形成する
。陽極接合プロセスは、大気圧よりかなり上から高真空までの広範囲なバックグラウンド
ガスおよび圧力とともに実行できる。高いガス圧は、熱伝達を改善し、プロセスを迅速に
する。Rb気相セルの場合、バッファガスの存在下でできるだけ低い温度で接合を形成す
ることが望ましい。
されている。気相セルダイ200は、シリコン基板205を含み、シリコン基板205に
は、第1チャンバ210、第2チャンバ220、および少なくとも1つの接続通路215
が形成されている。チャンバ210、220、および通路215は、気相セルダイ200
内で、上述の陽極接合用いて(ガラスウェハ132、234のような)ガラスウェハの間
にシールされる。
部を有し、汚染および沈殿などが生じないように維持される必要がある。ルビジウムまた
は他のアルカリ金属(符号235で全体を示す)が、液体または固定としてチャンバ22
0内に入れられる。接続通路215は、アルカリ金属気相分子が第2チャンバ220から
第1チャンバ210へ移動するための「曲がりくねった経路」(符号230で全体を示す
)を確立する。ガス分子のダイナミクスにより、アルカリ金属気相分子は、経路215を
通って円滑に流れず、通路215の壁ではね返り、またしばしば壁にくっつく。一実施形
態において、第2チャンバ220は、狭い溝245を除いて経路215から隔離され、第
2チャンバ220からアルカリ金属気相の移動をさらに遅くする。
日に出願された「APPARATUS AND METHOD FOR ALKALI VALOR CELLS」という表題の米国特
許出願第12/873441号明細書に記載されており、この開示内容は参照により本明
細書に組み込まれる。
テンシャルが表面を結合するとともに広がる。この1つの領域から次の領域への接合フロ
ントの時間差は、ウェハ間でガスが移動するための経路が無いならば、接合フロントが移
動するときに圧力差を生じさせることがある。これは、製造される気相セル内のバッファ
ガスの不十分な均一性を生じさせることがある。
とを必要とし、さもなくば、発生した蒸気が接合表面を汚すことになり得る。したがって
、できるだけ迅速に接合を形成するために、ウェハを加熱しているときに高電圧が適用さ
れる必要がある。これにより、気相セルが異なる時間で、したがって異なる温度でシール
されることになり、製造される気相セル無いの圧力差を生じさせる。
る技術を用いて解決し得る。
1つのアプローチにおいて、陽極接合中にガスがウェハの外周へ逃げるための通路を提
供するために、シリコンウェハの表面に通気チャネルが形成される。このアプローチは、
図3に示されており、図3は、CSACで使用される気相セルを製造するためのウェハ3
00を示している。ウェハ300は、複数の気相セルダイ302を含み、気相セルダイ3
02を囲む通気チャネル304に相互接続される。気相セルダイ302および通気チャネ
ル304は、ウェハ300の内側表面領域306に位置する。通気チャネル304は、気
相セル302を形成するのに用いたプロセスと同様のプロセスで形成することができる。
側に移動するための少なくとも1つの通路を提供する。通気チャネル304は、ガラスウ
ェハをウェハ300の両側部に陽極接合しているときに、内側表面領域306に向かうガ
スが、外周部308の外側のガスと、実質的に連続的な圧力平衡状態になることを可能に
する。
ビンまたは絶対温度で測定される)が上昇するとともに、圧力を連続的に上昇させるよう
に修正される。このアプローチにおいて、シリコンウェハのような第1ウェハの陽極接合
は、第1ウェハをガラスウェハのような第2ウェハに陽極接合するときに、第1ウェハの
温度を所定の速度で上昇させることにより実行される。シリコンウェハは、それぞれが少
なくとも1つのチャンバを備える複数のダイを備える。第1ウェハと第2ウェハとの間の
ガス圧も、陽極接合中に温度が増加するときに、所定の速度で上昇させる。
350℃(623°K)まで上昇するときに、圧力は約296torrから約436to
rrまで上昇させる。
もに圧力を上昇させることで、後のプロセスでシールされる気相セルが、高い温度におい
て、高いガス圧を備えることになる。室温に冷却されると、高温でシールされた気相セル
は、低温でシールされた気相セルの場合よりもより圧力が下がる。高いガス圧において、
後でシールされる気相セルは、室温において全ての気相セルの最終的な圧力が同一になる
ように補償される。圧力と温度の比を一定に維持することにより、理想気体の法則は、n
(セル内のガスのモル密度)がウェハにわたって一定のままであることを確保する。
る。説明された実施形態は、説明的なものであり限定するものではないことを理解された
い。それゆえ、本発明の範囲は、上述の説明ではなく、添付の特許請求の範囲により示さ
れる。請求項の趣旨および均等の範囲内において生じるあらゆる変形は、該請求項の範囲
内にあるとされる。
Claims (3)
- 気相セルを製造する方法であって、
内部表面領域および外周部を備える第1ウェハに複数の気相セルダイを形成するステッ
プと、
前記第1ウェハに複数の相互接続される通気チャネルを形成するステップと、を有し、
前記通気チャネルは、各気相セルダイからのガスが前記第1ウェハの前記外周部の外側に
移動するための、少なくとも1つの通路を提供し、
前記方法はさらに、前記第1ウェハの一方の側部に第2ウェハを陽極接合するステップ
と、
前記第1ウェハの反対の側部に第3ウェハを陽極接合するステップと、を有し、前記通
気チャネルは、前記第1ウェハの前記内部表面領域に向かうガスが、前記第1ウェハに前
記第2ウェハおよび前記第3ウェハを陽極接合するときに、前記第1ウェハの前記外周部
の外側のガスと、実質的に連続的に圧力平衡状態になることを可能にする、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、陽極接合の間、前記第1ウェハの温度を所定の速度で
上昇させ、温度が上昇するときにガス圧を所定の速度で上昇させる、方法。 - それぞれが少なくとも1つのチャンバを備える複数のダイを備える第1ウェハを陽極接
合するときに、ガス圧の均一性を増強する方法であって、前記方法は、
前記第1ウェハを第2ウェハに陽極接合するときに、第1ウェハの温度を所定の速度で
上昇させるステップと、
温度が上昇するときに、前記第1ウェハと前記第2ウェハとの間のガス圧を所定の速度
で上昇させるステップと、を有する方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9551602B2 (en) | 2015-02-03 | 2017-01-24 | Azbil Corporation | Electromagnetic flow meter and magnetic excitation control method |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8299860B2 (en) * | 2010-02-04 | 2012-10-30 | Honeywell International Inc. | Fabrication techniques to enhance pressure uniformity in anodically bonded vapor cells |
US8941442B2 (en) | 2010-02-04 | 2015-01-27 | Honeywell International Inc. | Fabrication techniques to enhance pressure uniformity in anodically bonded vapor cells |
JP5821439B2 (ja) * | 2011-02-16 | 2015-11-24 | セイコーエプソン株式会社 | ガスセルの製造方法 |
US8624682B2 (en) | 2011-06-13 | 2014-01-07 | Honeywell International Inc. | Vapor cell atomic clock physics package |
US8837540B2 (en) * | 2011-06-29 | 2014-09-16 | Honeywell International Inc. | Simple, low power microsystem for saturation spectroscopy |
EP2746876B1 (en) * | 2012-10-29 | 2019-04-10 | Honeywell International Inc. | Fabrication techniques to enhance pressure uniformity in anodically bonded vapor cells and corresponding wafer structure |
JP6036230B2 (ja) * | 2012-11-30 | 2016-11-30 | 株式会社リコー | アルカリ金属セルの製造方法及び原子発振器の製造方法 |
CN103864007B (zh) * | 2014-02-27 | 2016-03-30 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 在片实现芯片级原子钟吸收泡的高纯度碱金属填充方法 |
JP6488599B2 (ja) | 2014-09-08 | 2019-03-27 | セイコーエプソン株式会社 | 量子干渉装置、原子セルの製造方法および電子機器 |
JP2016207695A (ja) | 2015-04-15 | 2016-12-08 | セイコーエプソン株式会社 | 原子セル、原子セルの製造方法、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 |
FR3038892B1 (fr) | 2015-07-16 | 2017-08-11 | Centre Nat Rech Scient | Cellule a gaz pour un capteur atomique et procede de remplissage d'une cellule a gaz |
JP2017183377A (ja) | 2016-03-29 | 2017-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 |
US10347806B2 (en) * | 2017-04-12 | 2019-07-09 | Luminus, Inc. | Packaged UV-LED device with anodic bonded silica lens and no UV-degradable adhesive |
CN108287461A (zh) * | 2017-12-22 | 2018-07-17 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种铯束管用钛离子泵阳极筒加固装置 |
US10749539B2 (en) | 2018-03-26 | 2020-08-18 | Honeywell International Inc. | Apparatus and method for a vapor cell atomic frequency reference |
US11180844B2 (en) | 2018-07-02 | 2021-11-23 | Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Commerce | Process for making alkali metal vapor cells |
US10676350B2 (en) | 2018-09-21 | 2020-06-09 | ColdQuanta, Inc. | Reversible anodic bonding |
US11899406B2 (en) | 2020-01-07 | 2024-02-13 | The Regents Of The University Of Colorado, A Body Corporate | Devices, systems, and methods for fabricating alkali vapor cells |
EP4120905A4 (en) * | 2020-03-19 | 2024-04-03 | Stanford Res Inst Int | QUANTUM ELECTROMAGNETIC FIELD SENSOR AND IMAGER |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050184815A1 (en) * | 2004-01-06 | 2005-08-25 | Lipp Steven A. | Anodically bonded cell, method for making same and systems incorporating same |
EP1591846A2 (en) * | 2004-04-26 | 2005-11-02 | Northrop Grumman Corporation | Middle layer of die structure that comprises a cavity that holds an alkali metal |
JP2012013670A (ja) * | 2010-02-04 | 2012-01-19 | Honeywell Internatl Inc | 陽極接合気相セル内の圧力均一性を増強する製造技術 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2527834B2 (ja) * | 1990-07-20 | 1996-08-28 | 三菱電機株式会社 | 陽極接合法 |
JP3858537B2 (ja) * | 1999-11-02 | 2006-12-13 | 富士ゼロックス株式会社 | 基板接合方法、接合体、インクジェットヘッド、および画像形成装置 |
TW452866B (en) * | 2000-02-25 | 2001-09-01 | Lee Tien Hsi | Manufacturing method of thin film on a substrate |
US6570459B1 (en) | 2001-10-29 | 2003-05-27 | Northrop Grumman Corporation | Physics package apparatus for an atomic clock |
US20050007118A1 (en) | 2003-04-09 | 2005-01-13 | John Kitching | Micromachined alkali-atom vapor cells and method of fabrication |
WO2005054147A1 (ja) * | 2003-12-02 | 2005-06-16 | Bondtech Inc. | 接合方法及びこの方法により作成されるデバイス並びに接合装置 |
WO2006036268A2 (en) | 2004-07-16 | 2006-04-06 | Sarnoff Corporation | Chip-scale atomic clock (csac) and method for making same |
US7666485B2 (en) | 2005-06-06 | 2010-02-23 | Cornell University | Alkali metal-wax micropackets for alkali metal handling |
US7931794B2 (en) | 2005-11-03 | 2011-04-26 | Princeton University | Method and system for electrolytic fabrication of atomic clock cells |
JP4800851B2 (ja) * | 2006-06-07 | 2011-10-26 | 日本電信電話株式会社 | 薄膜形成方法及び装置 |
US20080164606A1 (en) * | 2007-01-08 | 2008-07-10 | Christoffer Graae Greisen | Spacers for wafer bonding |
US8151600B2 (en) * | 2007-05-03 | 2012-04-10 | The Regents Of The University Of California | Self-inflated micro-glass blowing |
EP2238614B1 (en) * | 2008-01-14 | 2020-03-11 | The Regents of The University of California | Vertical outgassing channels |
JP2009212416A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Epson Toyocom Corp | ガスセルの製造方法及びガスセル |
JP2009215099A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Konica Minolta Holdings Inc | 陽極接合方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
JP2009283526A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Epson Toyocom Corp | ガスセルの製造方法及びガスセル |
US7893780B2 (en) | 2008-06-17 | 2011-02-22 | Northrop Grumman Guidance And Electronic Company, Inc. | Reversible alkali beam cell |
US7902927B2 (en) | 2008-06-18 | 2011-03-08 | Sri International | System and method for modulating pressure in an alkali-vapor cell |
US8707734B2 (en) * | 2009-10-19 | 2014-04-29 | The Regents Of The University Of Michigan | Method of embedding material in a glass substrate |
WO2011072600A1 (zh) * | 2009-12-18 | 2011-06-23 | 东南大学 | 圆片级玻璃微腔的发泡成型制造方法 |
US8319156B2 (en) * | 2009-12-22 | 2012-11-27 | Teledyne Scientific & Imaging, Llc | System for heating a vapor cell |
US20110187464A1 (en) | 2010-02-04 | 2011-08-04 | Honeywell International Inc. | Apparatus and methods for alkali vapor cells |
US8941442B2 (en) * | 2010-02-04 | 2015-01-27 | Honeywell International Inc. | Fabrication techniques to enhance pressure uniformity in anodically bonded vapor cells |
US8067991B2 (en) | 2010-02-04 | 2011-11-29 | Honeywell International Inc. | Chip-scale atomic clock with two thermal zones |
US8218590B2 (en) | 2010-02-04 | 2012-07-10 | Honeywell International Inc. | Designs and processes for thermally stabilizing a vertical cavity surface emitting laser (vcsel) in a chip-scale atomic clock |
US8242851B2 (en) | 2010-02-04 | 2012-08-14 | Honeywell International Inc. | Processes for stabilizing a VCSEL in a chip-scale atomic clock |
DE102011110166A1 (de) * | 2011-08-12 | 2013-02-14 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Strukturieren eines aus glasartigem Material bestehenden Flächensubstrats sowie optisches Bauelement |
-
2010
- 2010-09-10 US US12/879,394 patent/US8299860B2/en active Active
- 2010-11-08 EP EP10190407A patent/EP2362281B1/en not_active Not-in-force
- 2010-11-11 IL IL209255A patent/IL209255A/en not_active IP Right Cessation
- 2010-11-11 JP JP2010252833A patent/JP5623876B2/ja active Active
-
2012
- 2012-08-09 US US13/570,363 patent/US9146540B2/en active Active
-
2014
- 2014-09-17 JP JP2014188488A patent/JP6049666B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050184815A1 (en) * | 2004-01-06 | 2005-08-25 | Lipp Steven A. | Anodically bonded cell, method for making same and systems incorporating same |
EP1591846A2 (en) * | 2004-04-26 | 2005-11-02 | Northrop Grumman Corporation | Middle layer of die structure that comprises a cavity that holds an alkali metal |
JP2012013670A (ja) * | 2010-02-04 | 2012-01-19 | Honeywell Internatl Inc | 陽極接合気相セル内の圧力均一性を増強する製造技術 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9551602B2 (en) | 2015-02-03 | 2017-01-24 | Azbil Corporation | Electromagnetic flow meter and magnetic excitation control method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120298295A1 (en) | 2012-11-29 |
JP6049666B2 (ja) | 2016-12-21 |
JP5623876B2 (ja) | 2014-11-12 |
IL209255A (en) | 2016-08-31 |
EP2362281B1 (en) | 2012-09-12 |
IL209255A0 (en) | 2011-02-28 |
US20110189429A1 (en) | 2011-08-04 |
US8299860B2 (en) | 2012-10-30 |
JP2012013670A (ja) | 2012-01-19 |
US9146540B2 (en) | 2015-09-29 |
EP2362281A3 (en) | 2011-11-02 |
EP2362281A2 (en) | 2011-08-31 |
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