RU159919U1 - Герметичный токоввод в кварцевое стекло оболочки газоразрядной лампы - Google Patents

Герметичный токоввод в кварцевое стекло оболочки газоразрядной лампы Download PDF

Info

Publication number
RU159919U1
RU159919U1 RU2015123241/15U RU2015123241U RU159919U1 RU 159919 U1 RU159919 U1 RU 159919U1 RU 2015123241/15 U RU2015123241/15 U RU 2015123241/15U RU 2015123241 U RU2015123241 U RU 2015123241U RU 159919 U1 RU159919 U1 RU 159919U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
quartz glass
shell
grl
metal
current lead
Prior art date
Application number
RU2015123241/15U
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Викторович Гавриш
Сергей Александрович Гаврилов
Светлана Викторовна Пучнина
Александр Валентинович Сурдо
Original Assignee
Акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ" filed Critical Акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ"
Priority to RU2015123241/15U priority Critical patent/RU159919U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU159919U1 publication Critical patent/RU159919U1/ru

Links

Images

Abstract

Герметичный токоввод в кварцевое стекло оболочки газоразрядной лампы, содержащий соединенный посредством сжатого спая с внутренней поверхностью оболочки из кварцевого стекла элемент обеспечения электрического контакта внешнего и внутреннего токоподводов, выполненный из имеющей форму ленты плоской молибденовой фольги, продольные стороны которой снабжены участками плавного уменьшения толщины с образованием лезвиеобразного края, отличающийся тем, что элемент обеспечения электрического контакта внешнего и внутреннего токоподводов снабжен металлическим покрытием из титана, толщина которого составляет от 1,5 до 2,0 мкм.

Description

Полезная модель относится к элементам конструкции газоразрядной лампы (ГРЛ), а именно к токовводу, и может быть использована в производстве ГРЛ с оболочками из кварцевого стекла, предназначенных для применения в светосигнальных устройствах различного назначения, функционирование которых осуществляется в условиях воздействия повышенных виброударных нагрузок.
В самом общем случае ГРЛ является устройством преобразования электрической энергии в оптическое излучение при прохождении электрического тока через плазмообразующую среду и конструктивно представляет собой заполненную плазмообразующей средой герметически замкнутую и оптически прозрачную оболочку, внутри которой установлены электроды - анод и катод. Основное назначение оболочки ГРЛ состоит в изоляции плазмообразующей среды, в которой осуществляется электрический разряд, от воздействия внешней среды. В настоящее время одним из наиболее широко используемых материалов для изготовления оболочек ГРЛ является кварцевое (кремнеземное) стекло, поскольку оно обладает прозрачностью в широком диапазоне длин волн оптического спектра, высокой термической стойкостью и высокими электроизоляционными свойствами. Наряду с обеспечением указанной выше функции герметизации рабочей полости ГРЛ оболочка является конструктивным остовом ГРЛ, определяющим пространственное размещение электродов и токовводов, каждый из которых является конструктивным элементом ГРЛ, предназначенным для подвода электрического тока от внешнего источника электропитания к электродам, расположенным внутри оболочки. Совершенно очевидно, что для обеспечения штатного функционирования ГРЛ входящий в ее состав токоввод должен обладать достаточной механической и электрической прочностью и, одновременно, обеспечивать герметичность рабочей полости ГРЛ в зоне соединения с оболочкой. Именно поэтому токоввод, как правило, состоит из трех элементов - внутреннего токоподвода, соединенного с соответствующим электродом, внешнего токоподвода, предназначенного для подсоединения ГРЛ к источнику электропитания, и элемента, обеспечивающего электрический контакт внешнего и внутреннего токоподводов, который одновременно выполняет (в ряде случаев) функцию герметизации токоввода за счет соединения с кварцевым стеклом оболочки ГРЛ.
Известно [1] несколько вариантов исполнения соединения кварцевого стекла с металлом - в частности соединение размягченного, почти расплавленного, кварцевого стекла с металлом, температура плавления которого выше температуры стекла в состоянии расплава. Благодаря достаточно прочному “прилипанию” (адгезии) стекла к металлу без посредства третьего вещества осуществляется соединение двух деталей из разнородных материалов в одно целое. Такие “стекло-металлические” узлы, которые принято называть “спаями металла со стеклом”, являются наиболее распространенными при изготовлении ГРЛ. В настоящее время освоены спаи с кварцевым стеклом в виде ленточных токовых вводов из тугоплавких металлов (вольфрам, молибден, тантал), причем непосредственно спаивание стекла и металла производится в вакууме [1].
Так, известен герметичный токоввод в кварцевое стекло оболочки ГРЛ [2], содержащий соединенный посредством сжатого спая с внутренней поверхностью оболочки из кварцевого стекла элемент обеспечения электрического контакта внешнего и внутреннего токоподводов, выполненный из имеющей форму ленты плоской молибденовой фольги, продольные стороны которой снабжены участками плавного уменьшения толщины с образованием лезвиеобразного края, или, как указано в некоторых источниках, имеющей поперечное сечение в форме двояковыпуклой линзы. Указанный герметичный токоввод ГРЛ, выбранный в качестве прототипа, выполнен на основе спая, который относится к категории так называемых “несогласованных спаев”, поскольку температурные коэффициенты линейного расширения кварцевого стекла в 10 раз ниже, чем у находящейся с ним в непосредственном контакте молибденовой фольги [1]. Возможность осуществления такого спая основана на использовании эффекта пластической деформации фольги из молибдена в направлении плоскости ленты за счет ее малой толщины, которая в средней части не превосходит 30-35 мкм [3].
Следует отметить, что процесс спая металла со стеклом можно с определенной степенью условности разделить на две стадии. При достижении вязкости расплава кварцевого стекла, при которой стекло обеспечивает смачивание металла, происходит первая (подготовительная) стадия образования прочных связей между стеклом и металлом - стадия физического контакта, т.е. осуществляется сближение соединяемых веществ (материалов) на расстояние, требуемое для межатомного взаимодействия. Процесс образования собственно соединения образующих спай веществ является второй (конечной) стадией. Объяснению механизма взаимодействия стекла и металла посвящено много разных гипотез [1] - окисная, электролитная, электронная и др. Важно только отметить, что результатом второй стадии получения спая является образование прочных преимущественно координатно-ковалентных связей [1]. Благодаря этому состав и свойства примыкающих в зоне спая веществ (стекла и металла) изменяются, т.е. возникает так называемый переходный слой. Поскольку все металлы имеют кристаллическую структуру, а стекло (в соответствии с современными представлениями) рассматривается как сплав микрокристаллических образований различных силикатов и кремнезема [1], то с очевидностью можно утверждать, что переходный слой также должен иметь кристаллическую структуру, т.е. переходный слой имеет структуру ионной кристаллической решетки, которая построена из анионов кислорода и катионов двух различных видов - катиона кремния в стекле и катиона металла в окисле, которые образуются в результате термообработки при температуре свыше 1000°C при взаимодействии металла (в данном случае Mo) и кварцевого стекла, а поскольку кварцевое стекло содержит низшие окислы (SiO2), а поэтому, склонно к присоединению кислорода (химическая сорбция) с образованием высших окислов, разложение которых и, следовательно, выделение кислорода происходит лишь при высоких температурах (не менее 1000°C) [4]. Силы взаимодействия между элементами ионной кристаллической решетки переходного слоя проявляются благодаря их сближению в результате плотного контакта кварцевого стекла и молибдена при осуществлении спая (сжатый спай). Ионы, которые условно можно представить в виде упругих шаров различных радиусов, группируются при построении ионной решетки переходного слоя в наиболее устойчивые образования, соответствующие минимуму потенциальной энергии [1]. Этому требованию удовлетворяют группировки с максимальным сближением разноименных ионов и максимальным удалением одноименных, насколько это допускается отношением радиусов и числом зарядов ионов. Связь определяется равнодействующей двух сил - силы притяжения разноименных ионов и силы отталкивания одноименных ионов. Соответственно, при физическом контакте расплавленного стекла с металлом (молибденом) анионы кислорода, связанные с катионами кремния, будут испытывать притяжение к катионам металла, равно как и анионы окисла металла, связанные с катионами металла, будут притягиваться катионами кремния, причем на силы притяжения при этом накладываются силы отталкивания. В результате на поверхности металла (молибдена) возникают зародыши окисла толщиной порядка нескольких атомных слоев, а благодаря туннельному эффекту электроны металла выходят на наружную поверхность окисной пленки и размещаются на свободных энергетических уровнях атомов кислорода, т.е. внешняя поверхность окисной пленки заряжается отрицательно, а внутренняя - положительно. Таким образом, в окисной пленке возникает электрическое поле (величина напряженности поля составляет порядка 107 в/см [5]), способное вызвать перемещение ионов через пленку - отрицательных ионов (анионов) кислорода к металлу, а положительных ионов (катионов) металла на поверхность. По мере увеличения толщины окисной пленки градиент электрического поля на ней уменьшается и, следовательно, уменьшается количество ионизированных атомов кислорода, достигающих поверхности металла, примыкающей к окисной пленке, что практически приводит к полному прекращению процесса окисления металла (молибдена), из которого изготовлен элемент обеспечения электрического контакта внешнего и внутреннего токоподводов токоввода в ГРЛ с оболочкой из кварцевого стекла. Таким образом между кварцевым стеклом и молибденовой фольгой в зоне сжатого спая возникает достаточно прочное соединение (адгезия), которое сохраняется и после их совместного охлаждения, обеспечивая, тем самым, герметичность рабочей полости ГРЛ.
Электрический разряд в плазмообразующей среде, ограниченной оболочкой ГРЛ, является не только источником оптического излучения, но и источником тепловой энергии, которая передается внутренним токоподводом и материалом оболочки в зону сжатого спая, что приводит к нагреву элемента обеспечения электрического контакта внутреннего и внешнего токоподводов. При эксплуатации ГРЛ в режимах повышенных энергетических нагрузок элементы токоввода могут разогреться до температуры порядка 450-500°C [2]. При этом диффузия ионов молибдена через окисный слой вновь усиливается за счет тепловой активации процесса и окисление молибденовой фольги может продолжиться, хотя и с меньшей интенсивностью, поскольку время транспортировки катионов в зону их взаимодействия возрастает с увеличением толщины окисной пленки [5]. Известно, что особенность окисных пленок состоит в том, что объем окисла всех конструктивных материалов превосходит объем чистого металла, перешедшего в окисел. Так, для молибдена, атомный объем которого составляет 9,4 [5], молекулярный объем окисла MoO2 составляет 19,7, а MоO3 - 31,3 [5], т.е. величина объемного отношения (при равных количествах металла) составляет 2,1 и 3,3, соответственно. Именно поэтому, в окисной пленке (переходном слое от молибдена к кварцевому стеклу) из-за положительного объемного отношения возникают сильные сжимающие напряжения [5]. Величина этих напряжений при достижении окисной пленки “критической” толщины при эксплуатации ГРЛ в условиях воздействия повышенных виброударных нагрузок начинает превосходить предел прочности окислов, что неминуемо приводит к растрескиванию окисной пленки, оголению участков металлической поверхности и, следовательно, ее дальнейшему окислению, что, в конечном итоге, может привести к нарушению герметичности спая и выходу ГРЛ из строя.
Таким образом, недостаток герметичного токоввода в кварцевое стекло оболочки ГРЛ, выбранного в качестве прототипа, заключается в том, что спай входящего в его состав элемента обеспечения электрического контакта внутреннего и внешнего токоподводов с оболочкой из кварцевого стекла не обладает необходимой прочностью для обеспечения эксплуатации ГРЛ в режимах повышенных энергетических нагрузок в условиях воздействия повышенных виброударных нагрузок.
Задача, на решение которой направлена полезная модель, заключается в повышении долговечности токоввода за счет увеличения стойкости к окислению входящего в состав токоввода выполненного из молибденовой фольги элемента обеспечения электрического контакта внешнего и внутреннего токоподводов во время работы лампы.
Технический результат, достигаемый при использовании предлагаемой конструкции герметичного токоввода в кварцевое стекло оболочки ГРЛ, заключается в повышении эксплуатационной надежности ГРЛ, в частности при ее функционировании в режимах повышенных энергетических нагрузок при воздействии виброударных нагрузок.
Заявляемый герметичный токоввод в кварцевое стекло оболочки ГРЛ, как и токоввод, выбранный в качестве прототипа, содержит соединенный посредством сжатого спая с внутренней поверхностью оболочки из кварцевого стекла элемент обеспечения электрического контакта внешнего и внутреннего токоподводов, выполненный из имеющей форму ленты плоской молибденовой фольги, продольные стороны которой снабжены участками плавного уменьшения толщины с образованием лезвиеобразного края.
Отличие заявляемого токоввода от прототипа состоит в том, что элемент обеспечения электрического контакта внешнего и внутреннего токоподводов снабжен металлическим покрытием из титана, толщина которого составляет от 1,5 до 2,0 мкм.
На фиг. 1 приведено схематическое изображение поперечного сечения заявляемого токоввода в зоне сжатого спая элемента обеспечения электрического контакта внешнего и внутреннего токоподводов с оболочкой из кварцевого стекла.
ГРЛ содержит оболочку 1 из кварцевого стекла. Элемент обеспечения электрического контакта 2 токоввода в ГРЛ выполнен из имеющей форму ленты плоской молибденовой фольги, продольные стороны которой снабжены участками плавного уменьшения толщины с образованием лезвиеобразного края (на фиг.1 не обозначены) параллельно продольной оси 3 оболочки 1 ГРЛ. Элемент обеспечения электрического контакта 2 снабжен металлическим покрытием 4 из титана. Герметичное (т.е. вакуумно-плотное) соединение оболочки 1 ГРЛ с элементом 2 токоввода в ГРЛ выполнено посредством сжатого спая внутренней поверхности оболочки 1 ГРЛ с обращенной к ней внешней поверхностью металлического покрытия 4 элемента 2 токоввода. Нанесение металлического покрытия 4 из титана на поверхность элемента 2 токоввода может быть осуществлено одним из известных способов, например за счет дугового напыления в вакууме или распылением металлов ионной бомбардировкой [6, 7]. Такой способ выполнения металлического покрытия обеспечивает, во-первых, хорошую адгезию материала покрытия (титана) к материалу элемента 2 (молибдену), что фактически гарантирует герметичность соединения на границе “титан-молибден”, а, во-вторых, формирование равномерно по толщине сплошного слоя титана. В данной конструкции токоввода металлическое покрытие 4 из титана является переходным слоем для обеспечения спая оболочки 1 ГРЛ с элементом 2 токоввода в ГРЛ и определяет качество спая в целом.
На основании вышеизложенного следует, что для устранения недостатка, свойственного прототипу, молибденовая фольга, из которой выполнен элемент 2 токоввода, при спаивании с кварцевым стеклом оболочки 1 ГРЛ должна быть защищена от окисления в процессе функционирования ГРЛ. Наиболее простым средством защиты от окисления является покрытие фольги (элемент 2) из молибдена каким-либо жаростойким металлом. Одним из металлов, который в виде тонкой пленки способен противостоять нагреву до температуры спаивания, при которой происходит размягчение кварцевого стекла (1200-1400°C, [1]), является титан, температура плавления которого составляет порядка 1670°C [1]. Титан относится к категории активных металлов, которые обладают акцепторными свойствами. Известно [8], что указанные свойства являются следствием незавершенности строения электронных оболочек элементов четных рядов 4-й группы периодической системы (Ti, Zr, Hf, Th). Атомы элементов подгруппы титана имеют в наружнем слое только два электрона и не способны присоединять электроны. Благодаря этому свойству активные металлы (в том числе и титан) вступают в химическое взаимодействие с окислами, в частности с тугоплавкими окислами, типичным представителем которых является кварцевое стекло (SiO2), что позволяет получить вакуумно-плотные и прочные соединения разнородных материалов, причем для нормального хода реакции достаточно присутствие активного металла в зоне спая в любом виде, но при проведении процесса спая в вакууме [8]. Экспериментальные данные, полученные методом рентгеноструктурного анализа продуктов взаимодействия титана с окисью кремния (кварцевым стеклом) показывают [9], что взаимодействие компонентов в вакууме имеет место с температуры 800°C. Результатом реакции является образование твердого раствора кислорода в титане и интерметаллидов в системе “титан-кремний” в виде силицида Ti5Si3. Было установлено [9], что в образцах, спай которых осуществлялся при температуре 800-1600°C, наблюдался рост интенсивности этой фазы, в то время как интенсивность линий твердого раствора кислорода в титане падала с повышением температуры спаивания до 1300°C. В образцах, спай которых осуществлялся при температуре 1400°C и выше, линии твердого раствора кислорода в титане отсутствовали. В работе [10] указано, что при спае титана с кварцевым стеклом в нем происходит образование сплошного переходного слоя из Ti5Si3, толщина которого составляет 1,0-1,5 мкм. Следует иметь в виду, что толщина (“Δ” - на фиг. 1) металлического покрытия 4 элемента 2 токоввода не должна превосходить определенный предел (не более 10% от толщины фольги) для сохранения свойственной элементу 2 токоввода пластической деформации в зоне спая с оболочкой 1 ГРЛ. Таким образом, надежность в отношении герметичности соединения металлического покрытия 4 элемента 2 токоввода с оболочкой 1 ГРЛ может быть обеспечена при условии, что толщина покрытия 4 (“Δ”) из титана составляет от 1,5 до 2,0 мкм.
Фактически предлагаемая конструкция герметичного токоввода в кварцевое стекло оболочки ГРЛ обеспечивает повышение стойкости к окислению выполненного из молибдена элемента обеспечения электрического контакта внешнего и внутреннего токоподводов в зоне сжатого спая. В результате может быть повышена долговечность токоввода при эксплуатации ГРЛ в режимах повышенных энергетических нагрузок при воздействии виброударных нагрузок.
Следует отметить, что сам принцип использования предварительной металлизации с применением титана, подготавливающий одну из сочленяемых деталей, известен. Однако, такой прием используется, как правило, при соединении кварцевого стекла, находящегося в твердой фазе, с токовводом посредством пайки с использованием промежуточного твердого металлического припоя [11, 12], а при изготовлении сжатого спая с плоским ленточным фольговым токовводом используется впервые.
Герметичный токоввод в соответствии с заявляемым решением разработан для серийного производства ГРЛ с использованием типовых технологий, материалов и стандартного оборудования.
Литература:
1. Любимов М.Л. Спаи металла со стеклом, М.: Энергия, 1968.
2. Рохлин Г.Н. Разрядные источники света, М.: Энергоатомиздат, 1991.
3. Сборник “Электронная техника”, М.: ЦНИИ “Электроника” МЭП СССР, 1967, вып. 43, стр. 12-22.
4. Черепнин Н.В. Вакуумные свойства материалов для электронных приборов, М.: Советское радио, 1966.
5. Черепнин Н.В. Сорбционные свойства материалов для электронных приборов, М.: Советское радио, 1973.
6. Кудинов В.В., Бобров Г.В. Нанесение покрытий напылением. Теория, технология, оборудование, М.: Металлургия, 1992.
7. Кузмичев А.И. Магнетронные распылительные системы, Киев: Аверс, 2003.
8. Рубашев М.А. и др. Термостойкие диэлектрики и их спаи с металлом в новой технике, М.: Атомиздат, 1980.
9. Батыгин Э.И., Шмелев А.Е. Спаи кварцевого стекла с металлами. Обзоры по электронной технике, М.: ЦНИИ “Электроника” МЭП СССР, выпуск 3 (155), 1970.
10. Сборник “Электронная техника”, серия "Материалы”, М.: ЦНИИ “Электроника” МЭП СССР, вып. 1 (126), 1976, с. 22-25.
11. А.С. СССР №292567, 08.01.73 Бюл. №6.
12. А.С. СССР №646384, 05.02.79 Бюл. №5.

Claims (1)

  1. Герметичный токоввод в кварцевое стекло оболочки газоразрядной лампы, содержащий соединенный посредством сжатого спая с внутренней поверхностью оболочки из кварцевого стекла элемент обеспечения электрического контакта внешнего и внутреннего токоподводов, выполненный из имеющей форму ленты плоской молибденовой фольги, продольные стороны которой снабжены участками плавного уменьшения толщины с образованием лезвиеобразного края, отличающийся тем, что элемент обеспечения электрического контакта внешнего и внутреннего токоподводов снабжен металлическим покрытием из титана, толщина которого составляет от 1,5 до 2,0 мкм.
    Figure 00000001
RU2015123241/15U 2015-06-17 2015-06-17 Герметичный токоввод в кварцевое стекло оболочки газоразрядной лампы RU159919U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015123241/15U RU159919U1 (ru) 2015-06-17 2015-06-17 Герметичный токоввод в кварцевое стекло оболочки газоразрядной лампы

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015123241/15U RU159919U1 (ru) 2015-06-17 2015-06-17 Герметичный токоввод в кварцевое стекло оболочки газоразрядной лампы

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU159919U1 true RU159919U1 (ru) 2016-02-20

Family

ID=55314400

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015123241/15U RU159919U1 (ru) 2015-06-17 2015-06-17 Герметичный токоввод в кварцевое стекло оболочки газоразрядной лампы

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU159919U1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU212190U1 (ru) * 2022-04-29 2022-07-11 Общество С Ограниченной Ответственностью "Научно-Производственное Предприятие "Мелитта" (Ооо "Нпп "Мелитта") Газоразрядная лампа

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU212190U1 (ru) * 2022-04-29 2022-07-11 Общество С Ограниченной Ответственностью "Научно-Производственное Предприятие "Мелитта" (Ооо "Нпп "Мелитта") Газоразрядная лампа

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101533263B1 (ko) 진공 밀착 유리-금속 밀봉을 구비한 진공 태양열 패널
JP5518833B2 (ja) 複合体および該複合体を製造する方法
JP6350127B2 (ja) 無鉛低融点ガラス組成物並びにこれを含む低温封止用ガラスフリット、低温封止用ガラスペースト、導電性材料及び導電性ガラスペースト並びにこれらを利用したガラス封止部品及び電気電子部品
CN102138100B (zh) 将液体密封于玻璃封装中的方法及所得到的玻璃封装
US3061664A (en) Glass-to-metal seals and method of fabricating same
US8299860B2 (en) Fabrication techniques to enhance pressure uniformity in anodically bonded vapor cells
CN101711438A (zh) 改进熔结密封的玻璃封装体的方法和装置
US3370874A (en) Hermetic metal-to-glass seal and application thereof
US4612647A (en) High performance laser and method of making same
CN103833236A (zh) 一种基于力热电耦合条件下的玻璃金属键合封接工艺
Memon et al. Design and development of lead-free glass-metallic vacuum materials for the construction and thermal performance of smart fusion edge-sealed vacuum glazing
WO2016105481A2 (en) Light emission from electrically biased graphene
US6197139B1 (en) Method for electrostatic thermal bonding of a pair of glass substrates by utilizing a silicon thin film
JP2013157161A (ja) 電子部品及びその製法、並びにそれに用いる封止材料ペースト
CN108022819A (zh) 一种高增益、高分辨力、大口径像增强管的制作方法
KR102328205B1 (ko) 알루미늄 복합재와 유리 절연 단자를 실링하는 데 사용되는 저온 글라스링의 제조 및 그 사용방법
RU159919U1 (ru) Герметичный токоввод в кварцевое стекло оболочки газоразрядной лампы
CN105551913A (zh) 一种条纹变像管的制备方法
Gasonoo et al. Metal Oxide Multi-Layer Color Glass by Radio Frequency Magnetron Sputtering for Building Integrated Photovoltaic System
CN103936293A (zh) 一种使用等离子体技术进行玻璃表面金属化的方法
US3239675A (en) Optically immersed photoconductive cells
JP2017527951A (ja) 板状の別個の要素を有する蓄電システム、板状の別個の要素、並びにその製造方法、及びその使用
Hu et al. Study on the mechanism of Si–glass–Si two step anodic bonding process
WO2008045382A2 (en) A sealed photovoltaic apparatus
Cheung Die-level glass frit vacuum packaging for a micro-fuel processor system

Legal Events

Date Code Title Description
PC91 Official registration of the transfer of exclusive right (utility model)

Effective date: 20180607

PD9K Change of name of utility model owner
QZ91 Changes in the licence of utility model

Effective date: 20180607