JP2015013346A - シート研削装置および研削方法 - Google Patents
シート研削装置および研削方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015013346A JP2015013346A JP2013141826A JP2013141826A JP2015013346A JP 2015013346 A JP2015013346 A JP 2015013346A JP 2013141826 A JP2013141826 A JP 2013141826A JP 2013141826 A JP2013141826 A JP 2013141826A JP 2015013346 A JP2015013346 A JP 2015013346A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- adherend
- protruding portion
- sheet
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
Description
前記被着体を保持する保持手段と、
前記はみ出し部を研削する研削手段と、
前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる移動手段と、
前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる折曲手段とを備えることを特徴とする。
前記被着体を保持する工程と、
前記はみ出し部を研削する工程と、
前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる工程と、
前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる工程とを備えることを特徴とする。
なお、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸及びY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向であって、紙面に直交する手前方向、「後」がその逆方向とする。
なお、接着シートASは、基材と、当該基材におけるウエハWFに対向する面に積層された接着剤層とを備え、ウエハWFに貼付された状態で被着面WF1に当接した部分が接着部AS1とされる。また、ウエハWFは、被着面WF1に背向する他の面WF2と、被着面WF1と他の面WF2とを繋ぐ外周面WF3を備えている。
例えば、折曲手段50は、はみ出し部AS2に接触して当該はみ出し部AS2を折り曲げる棒状部材であってもよい。
また、折曲手段50は、研削手段30で構成してもよい。この場合、移動手段40が回動モータ41を駆動した後、研削手段30が回動モータ34を駆動し、砥石31を図2(B)中実線で示す角度に回動させた状態で、回動モータ32を駆動し、当該砥石31をはみ出し部AS2の上方から下降させることで、はみ出し部AS2をウエハWF側に折り曲げて当該はみ出し部AS2を研削することができる。なお、砥石31をはみ出し部AS2の上方から下降させるには、直動モータ35を昇降させる駆動機器を設けてもよいし、回動モータ34の駆動で、砥石31を図2(B)中実線で示す位置よりも反時計回転方向に回転させた状態から、当該砥石31を時計回転方向に回転させるようにしてもよい。
更に、折曲手段50は、ウエハWFと研削手段30との相対回転方向に関して研削手段30による研削位置のはみ出し部AS2を折り曲げ可能な相対回転方向上流および下流側に配置してもよいし、はみ出し部AS2の全周を折り曲げ可能なものとしてもよい。
また、折曲手段50は、はみ出し部AS2の接着剤層側に吸引力を付与して当該はみ出し部AS2をウエハWF側に折り曲げる減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段であってもよい。
更に、研削手段30は、回動モータ34を駆動することなく、砥石31をはみ出し部AS2に接触させてもよい。
更に、研削手段30は、前記実施形態のように、接着シートASにおけるウエハWFに接着された接着部AS1部分を研削しなくても良い。
また、砥石31の形状は、実施形態に示す円柱状に特に限定されず、円錐状、楕円球状等その他の形状であってもよい。
更に、シート研削装置は、複数の研削手段30を備えていてもよく、また、一つの研削手段30が複数の砥石31を備えていてもよい。
また、保持手段20は、接着シートASの接着部AS1を保持するものであってもよく、テーブル21の保持面21aで接着部AS1を保持する場合、折曲手段50は、はみ出し部AS2を下から上方向(ウエハWF側)に向かって折り曲げ可能となるようにウエハWF及び接着シートASの外周縁付近の下方に配置してもよい。
更に、テーブル21の平面形状は、ウエハWFと同様に略円形状であってもよいし、三角形状や四角形状等の多角形状であってもよい。ウエハWFの外形以上でもよい。
また、移動手段40は、ウエハWFが停止した状態で研削手段30をウエハWFの外周に沿って回転させてもよいし、ウエハWFが回転した状態で研削手段30をウエハWFの外周に沿って回転させてもよい。
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20…保持手段
30…研削手段
40…移動手段
50…折曲手段
AS…接着シート
AS2…はみ出し部
WF…ウエハ(被着体)
WF1…被着面
WF2…他の面
Claims (2)
- 被着体の被着面に貼付された接着シートの一部であって当該被着面からはみ出したはみ出し部を研削するシート研削装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記はみ出し部を研削する研削手段と、
前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる移動手段と、
前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる折曲手段とを備えることを特徴とするシート研削装置。 - 被着体の被着面に貼付された接着シートの一部であって当該被着面からはみ出したはみ出し部を研削するシート研削方法であって、
前記被着体を保持する工程と、
前記はみ出し部を研削する工程と、
前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる工程と、
前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる工程とを備えることを特徴とするシート研削方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013141826A JP2015013346A (ja) | 2013-07-05 | 2013-07-05 | シート研削装置および研削方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013141826A JP2015013346A (ja) | 2013-07-05 | 2013-07-05 | シート研削装置および研削方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015013346A true JP2015013346A (ja) | 2015-01-22 |
Family
ID=52435533
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013141826A Pending JP2015013346A (ja) | 2013-07-05 | 2013-07-05 | シート研削装置および研削方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015013346A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009104614A1 (ja) * | 2008-02-22 | 2009-08-27 | 日本ミクロコーティング株式会社 | 半導体ウェーハ外周端部の研削方法及び研削装置 |
-
2013
- 2013-07-05 JP JP2013141826A patent/JP2015013346A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009104614A1 (ja) * | 2008-02-22 | 2009-08-27 | 日本ミクロコーティング株式会社 | 半導体ウェーハ外周端部の研削方法及び研削装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6234161B2 (ja) | 粘着テープ貼着装置 | |
JP6473359B2 (ja) | シート剥離装置 | |
TW201835994A (zh) | 薄片貼附裝置及貼附方法 | |
JP3196099U (ja) | 離間装置 | |
JP2014229636A (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法 | |
JP2015013346A (ja) | シート研削装置および研削方法 | |
JP7067963B2 (ja) | シート供給装置およびシート供給方法、並びに、シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6292554B2 (ja) | シート供給装置 | |
JP2020176986A (ja) | 厚み測定装置および厚み測定方法 | |
JP2016050034A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6445882B2 (ja) | シート転写装置および転写方法 | |
JP6243144B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6476027B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 | |
JP7329958B2 (ja) | 支持装置および支持方法 | |
JP6078352B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6823921B2 (ja) | シート製造装置および製造方法並びにシート貼付装置および貼付方法 | |
JP5296604B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP7346177B2 (ja) | シート切断装置およびシート切断方法 | |
JP6145330B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2016139755A (ja) | シート転写装置、並びに、シート切断装置および切断方法 | |
JP6097604B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
WO2021193060A1 (ja) | 薄化ウエハの製造方法および薄化ウエハの製造装置 | |
JP7133432B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6027399B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP2023050392A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160408 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170124 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170321 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170523 |