JP2015013346A - シート研削装置および研削方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】はみ出し部を形成しつつ被着体に貼り付けられた接着シートを適切に研削し得るシート研削装置および研削方法を提供する。【解決手段】被着体WFの被着面WF1に貼付された接着シートASの一部であって当該被着面からはみ出したはみ出し部AS2を研削するシート研削装置10は、前記被着体を保持する保持手段20と、前記はみ出し部を研削する研削手段30と、前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる移動手段40と、前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる折曲手段50とを備える。【選択図】図1

Description

本発明は、接着シートのはみ出し部を研削するシート研削装置および研削方法に関する。
シートが貼付された半導体ウエハ等の被着体を研削する装置として、被着体を回転させ、回転する被着体の外周端部に研削ヘッドを押し当てて研削する技術が提案されている。
国際公開第2009/104614号
しかしながら、特許文献1のような従来技術では、被着体の被着面からはみ出したシートのはみ出し部を研削する場合、研削ヘッドをはみ出し部に押し当てると、はみ出し部がめくれ上がってしまい、はみ出し部に研削力を適切に付与することができず、シートのはみ出し部を研削できないという不都合がある。
本発明の目的は、被着体に貼り付けられた接着シートのはみ出し部を確実に研削することができるシート研削装置および研削方法を提供することである。
このような目的を達成するために、本発明に係るシート研削装置は、被着体の被着面に貼付された接着シートの一部であって当該被着面からはみ出したはみ出し部を研削するシート研削装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記はみ出し部を研削する研削手段と、
前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる移動手段と、
前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる折曲手段とを備えることを特徴とする。
本発明に係るシート接着方法は、被着体の被着面に貼付された接着シートの一部であって当該被着面からはみ出したはみ出し部を研削するシート研削方法であって、
前記被着体を保持する工程と、
前記はみ出し部を研削する工程と、
前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる工程と、
前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる工程とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、はみ出し部を被着体側に折り曲げるので、研削手段をはみ出し部に押し当ててもはみ出し部がめくれ上がってしまうことを抑制でき、被着体に貼付された接着シートのはみ出し部を確実に研削することができる。
シート研削装置の側面図。 シート研削装置の動作説明図。
以下、本発明の一実施形態に係るシート研削装置10を図1および図2に基づいて説明する。
なお、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸及びY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向であって、紙面に直交する手前方向、「後」がその逆方向とする。
図1に示すように、本発明のシート研削装置10は、被着体としてのウエハWFの被着面WF1に貼付された接着シートASの一部であって当該被着面WF1からはみ出したはみ出し部AS2を研削するものであって、ウエハWFを保持する保持手段20と、はみ出し部AS2を研削する研削手段30と、ウエハWFと研削手段30とをウエハWFの外周に沿って相対移動させる移動手段40と、研削手段30が研削するはみ出し部AS2をウエハWF側に折り曲げる折曲手段50とを備えている。
なお、接着シートASは、基材と、当該基材におけるウエハWFに対向する面に積層された接着剤層とを備え、ウエハWFに貼付された状態で被着面WF1に当接した部分が接着部AS1とされる。また、ウエハWFは、被着面WF1に背向する他の面WF2と、被着面WF1と他の面WF2とを繋ぐ外周面WF3を備えている。
保持手段20は、ウエハWFを他の面WF2側から保持する保持面21aが形成されたテーブル21と、保持面21aに連通する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備えている。
研削手段30は、接着シートASを研削する砥石31と、砥石31を支持する出力軸32aを備えた駆動機器としての回動モータ32と、回動モータ32を支持する出力軸33aを備えた駆動機器としての直動モータ33と、直動モータ33を支持する出力軸34aを備えた駆動機器としての回動モータ34と、回動モータ34を支持する出力軸35aを備えた駆動機器としての直動モータ35とを備えている。
移動手段40は、研削手段30に対してテーブル21を相対回転可能に支持する出力軸41aを有する駆動機器としての回動モータ41を備えている。
折曲手段50は、加圧ポンプやタービン等の図示しない気体供給手段から気体を噴出するノズル51を備えている。折曲手段50は、ウエハWF及び接着シートASの外周縁付近の上方に配置されており、ウエハWFと研削手段30との相対回転方向に関して研削手段30による研削位置と同位置若しくは研削手段30による研削位置のはみ出し部AS2を折り曲げ可能な相対回転方向上流側に配置されている。
次に、シート研削装置10の動作について説明する。まず、図1に示すように、人手や図示しない搬送手段によって、被着面WF1に接着シートASが貼付されたウエハWFがテーブル21の保持面21a上に載置されると、保持手段20が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハWFを吸着保持する。このとき、ウエハWFは、ウエハWFの面中心と回動モータ41の出力軸41aの回転軸とが一致するように載置される。その後、移動手段40が回動モータ41を駆動し、テーブル21を出力軸41aの回転軸を中心に回転させる。
その後、折曲手段50が図示しない気体供給手段を駆動し、ノズル51から気体を噴出させ、接着シートASのはみ出し部AS2に対して上方から気体を吹き付け、図1中二点鎖線で示すように、外周面WF3を覆うようにはみ出し部AS2を折り曲げ、当該はみ出し部AS2を外周面WF3に押し当てる。
次いで、研削手段30が回動モータ32を駆動し、砥石31を回転させた後、直動モータ35を駆動し、図2(A)中実線で示すように、砥石31を研削位置まで移動させ、折り曲げられたはみ出し部AS2を研削する。そして、図2(B)中二点鎖線で示すように、砥石31がウエハWFの外周面WF3に当接すると、研削手段30が回動モータ34、直動モータ35を駆動し、砥石31を図2(B)に示すように、砥石31を反時計回転方向に移動させつつ、左方へ移動させることではみ出し部AS2を研削する。このとき、接着部AS1の外縁上方が外縁下方に比べてウエハWFの中心方向に位置するまで研削するとよい。なお、砥石31での研削中は、研削手段30が直動モータ33を駆動し、砥石31の回転軸方向に当該砥石31を往復移動させる。これにより、砥石31が目詰まりをする頻度を抑制し、砥石31の交換頻度を低下させることができる。
はみ出し部AS2を所定の領域まで研削した後、研削手段30が回動モータ32の駆動を停止するとともに、回動モータ34、直動モータ35を駆動し、砥石31を図1中実線で示す位置に移動させる。また、移動手段40が回動モータ41の駆動を停止した後、折曲手段50が図示しない気体供給手段の駆動を停止するとともに、保持手段20が図示しない減圧手段の駆動を停止する。そして、はみ出し部AS2が研削された接着シートAS及びウエハWFは、図示しない搬送手段によって次工程に搬送され、以後、上記同様の動作を繰り返す。
以上のような実施形態によれば、はみ出し部AS2をウエハWF側に折り曲げるので、研削手段30をはみ出し部AS2に押し当ててもはみ出し部AS2がめくれ上がってしまうことを抑制でき、ウエハWFに貼付された接着シートASのはみ出し部AS2を確実に研削することができる。
以上、本発明の実施形態を説明してきたが、本発明は上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々なる態様で実施し得ることは勿論である。
例えば、折曲手段50は、はみ出し部AS2に接触して当該はみ出し部AS2を折り曲げる棒状部材であってもよい。
また、折曲手段50は、研削手段30で構成してもよい。この場合、移動手段40が回動モータ41を駆動した後、研削手段30が回動モータ34を駆動し、砥石31を図2(B)中実線で示す角度に回動させた状態で、回動モータ32を駆動し、当該砥石31をはみ出し部AS2の上方から下降させることで、はみ出し部AS2をウエハWF側に折り曲げて当該はみ出し部AS2を研削することができる。なお、砥石31をはみ出し部AS2の上方から下降させるには、直動モータ35を昇降させる駆動機器を設けてもよいし、回動モータ34の駆動で、砥石31を図2(B)中実線で示す位置よりも反時計回転方向に回転させた状態から、当該砥石31を時計回転方向に回転させるようにしてもよい。
更に、折曲手段50は、ウエハWFと研削手段30との相対回転方向に関して研削手段30による研削位置のはみ出し部AS2を折り曲げ可能な相対回転方向上流および下流側に配置してもよいし、はみ出し部AS2の全周を折り曲げ可能なものとしてもよい。
また、折曲手段50は、はみ出し部AS2の接着剤層側に吸引力を付与して当該はみ出し部AS2をウエハWF側に折り曲げる減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段であってもよい。
更に、研削手段30は、回動モータ34を駆動することなく、砥石31をはみ出し部AS2に接触させてもよい。
更に、研削手段30は、前記実施形態のように、接着シートASにおけるウエハWFに接着された接着部AS1部分を研削しなくても良い。
また、砥石31の形状は、実施形態に示す円柱状に特に限定されず、円錐状、楕円球状等その他の形状であってもよい。
更に、シート研削装置は、複数の研削手段30を備えていてもよく、また、一つの研削手段30が複数の砥石31を備えていてもよい。
また、保持手段20は、接着シートASの接着部AS1を保持するものであってもよく、テーブル21の保持面21aで接着部AS1を保持する場合、折曲手段50は、はみ出し部AS2を下から上方向(ウエハWF側)に向かって折り曲げ可能となるようにウエハWF及び接着シートASの外周縁付近の下方に配置してもよい。
更に、テーブル21の平面形状は、ウエハWFと同様に略円形状であってもよいし、三角形状や四角形状等の多角形状であってもよい。ウエハWFの外形以上でもよい。
また、移動手段40は、ウエハWFが停止した状態で研削手段30をウエハWFの外周に沿って回転させてもよいし、ウエハWFが回転した状態で研削手段30をウエハWFの外周に沿って回転させてもよい。
更に、被着体の材質は特に限定されず、例えば、ガラス、鋼、陶器、紙、木または樹脂等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。また、被着体の平面形状は、三角や四角等の多角形状や楕円形状であってもよい。被着体が多角形状の場合、移動手段40は、被着体の外周に沿って砥石31を直線移動させるものでもよい。
更に、本発明における接着シートASの材質、種別、形状等も特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。また、例えば、接着シートASは接着剤層だけのもの、剥離シートRLと接着剤層との間に中間層を有するもの、剥離シートRLの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、剥離シートRLを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等の切断に用いることができる。
また、本発明における各手段は、それら手段について説明した動作または機能を果たすことができる限りなんら限定されるものではなく、まして、前記実施形態で示した単なる1実施形態の構成物に全く限定されるものではない。例えば、保持手段は、被着体を保持するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない(他の手段についての説明は省略する)。
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
10…シート研削装置
20…保持手段
30…研削手段
40…移動手段
50…折曲手段
AS…接着シート
AS2…はみ出し部
WF…ウエハ(被着体)
WF1…被着面
WF2…他の面

Claims (2)

  1. 被着体の被着面に貼付された接着シートの一部であって当該被着面からはみ出したはみ出し部を研削するシート研削装置であって、
    前記被着体を保持する保持手段と、
    前記はみ出し部を研削する研削手段と、
    前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる移動手段と、
    前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる折曲手段とを備えることを特徴とするシート研削装置。
  2. 被着体の被着面に貼付された接着シートの一部であって当該被着面からはみ出したはみ出し部を研削するシート研削方法であって、
    前記被着体を保持する工程と、
    前記はみ出し部を研削する工程と、
    前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる工程と、
    前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる工程とを備えることを特徴とするシート研削方法。
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2009104614A1 (ja) * 2008-02-22 2009-08-27 日本ミクロコーティング株式会社 半導体ウェーハ外周端部の研削方法及び研削装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2009104614A1 (ja) * 2008-02-22 2009-08-27 日本ミクロコーティング株式会社 半導体ウェーハ外周端部の研削方法及び研削装置

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