JP2015005701A - 発光素子 - Google Patents
発光素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015005701A JP2015005701A JP2013131687A JP2013131687A JP2015005701A JP 2015005701 A JP2015005701 A JP 2015005701A JP 2013131687 A JP2013131687 A JP 2013131687A JP 2013131687 A JP2013131687 A JP 2013131687A JP 2015005701 A JP2015005701 A JP 2015005701A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trench
- electrode
- region
- light emitting
- semiconductor structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Led Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】第1の主面12の第1の電極14と第2の電極15との間の電極間領域11Aから半導体構造層11の電極間領域11Aに対向する第2の主面13に向かって、第1の主面12の第2の電極15形成領域を囲むように形成され、発光層19を貫通する深さの第1トレンチ16及び第2トレンチ17を有し、半導体構造層11内の電極間の電流方向は、半導体構造層11面内方向の相対的に低い電気抵抗の電流方向の低抵抗方向LDと相対的に高い電気抵抗の電流方向の高抵抗方向HDとの2つに区別され、半導体構造層11は、低抵抗方向LDに沿った低抵抗方向領域と高抵抗方向HDに沿った高抵抗方向領域との2つに区画され、第1トレンチ16は低抵抗方向領域に亘って形成され、第2トレンチ17は高抵抗方向領域に亘って形成され、第2トレンチ17は第1トレンチ16よりも浅い。
【選択図】図1
Description
11、31、51 半導体構造層
19 発光層
14、34、54 p電極
15、35、55 n電極
16、36、56 第1トレンチ
17、37、57 第2トレンチ
38、58 第3トレンチ
39、59 第4トレンチ
60 第5トレンチ
61 第6トレンチ
HD 高抵抗方向
LD 低抵抗方向
11H、11AH 高抵抗方向領域
11L、11AL 低抵抗方向領域
Claims (6)
- 発光層を含む半導体構造層と、前記半導体構造層の第1の主面側に形成された第1の電極及び第2の電極と、を有する発光素子であって、
前記第1の主面における前記第1の電極と前記第2の電極との間の電極間領域から前記半導体構造層の前記電極間領域に対向する第2の主面に向かって、全体として前記第1の主面における前記第2の電極の形成領域を囲むように形成され、前記発光層を貫通する深さを有する第1トレンチ及び第2トレンチを有し、
前記半導体構造層内における前記第1の電極及び前記第2の電極間の電流の方向は、前記半導体構造層の面内方向において相対的に低い電気抵抗を有する電流方向である低抵抗方向と、相対的に高い電気抵抗を有する電流方向である高抵抗方向との少なくとも2つに区別され、
前記半導体構造層は、前記低抵抗方向に沿った領域である低抵抗方向領域と、前記高抵抗方向に沿った領域である高抵抗方向領域との少なくとも2つに区画され、
前記第1トレンチは前記低抵抗方向領域に亘って形成され、前記第2トレンチは前記高抵抗方向領域に亘って形成され、
前記第2トレンチは前記第1トレンチよりも浅く形成されていることを特徴とする発光素子。 - 前記半導体構造層の上面視において前記第1の電極に重ならないように前記第2の主面から前記第1の主面に向かって形成された第3トレンチ及び第4トレンチを有し、
前記第3トレンチは前記低抵抗方向領域に亘って形成され、前記第4トレンチは前記高抵抗方向領域に亘って形成され、
前記第3トレンチ及び前記第4トレンチは、前記第1トレンチ及び前記第3トレンチによって形成される前記低抵抗方向領域の電流路の開口における電気抵抗値が、前記第2トレンチ及び前記第4トレンチによって形成される前記高抵抗方向領域の電流路の開口における電気抵抗値よりも大きくなるような位置及び深さで形成されていることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。 - 前記第3トレンチは、前記半導体構造層の上面視において前記第1トレンチに重なるように、又は前記第1トレンチよりも第1の電極に近い位置に形成され、
前記第4トレンチは、前記半導体構造層の上面視において前記第2トレンチに重なるように、又は前記第2トレンチよりも第1の電極に近い位置に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の発光素子。 - 前記電極間領域の前記面内方向においてそれぞれ前記第3トレンチと前記第1の電極との間及び前記第4トレンチと前記第1の電極の領域から第2の主面に向かって形成され、前記発光層を貫通する深さを有する第5トレンチ及び第6トレンチを有し、
前記第5トレンチは前記低抵抗方向領域に亘って形成され、前記第6トレンチは前記高抵抗方向領域において前記第1の主面に亘って形成されていることを特徴とする請求項3に記載の発光素子。 - 前記第1の主面及び前記第2の主面は、矩形形状を有していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つに記載の発光素子。
- 前記第1トレンチ、前記第2トレンチ、前記第3トレンチ、前記第4トレンチ、前記第5トレンチ及び前記第6トレンチには絶縁材料が充填されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1つに記載の発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013131687A JP6185769B2 (ja) | 2013-06-24 | 2013-06-24 | 発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013131687A JP6185769B2 (ja) | 2013-06-24 | 2013-06-24 | 発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015005701A true JP2015005701A (ja) | 2015-01-08 |
JP6185769B2 JP6185769B2 (ja) | 2017-08-23 |
Family
ID=52301340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013131687A Active JP6185769B2 (ja) | 2013-06-24 | 2013-06-24 | 発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6185769B2 (ja) |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10341038A (ja) * | 1997-06-09 | 1998-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP2002026386A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-01-25 | Toyoda Gosei Co Ltd | Iii族窒化物系化合物半導体発光素子 |
JP2003124514A (ja) * | 2001-10-17 | 2003-04-25 | Sony Corp | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2004087930A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体発光素子 |
JP2004165590A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-06-10 | Epitech Technology Corp | 横電流遮断発光ダイオードおよびその製造方法 |
JP2006310785A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Epitech Technology Corp | 横電流抑止の発光ダイオードおよびその製造方法 |
JP2007073590A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Kyocera Corp | 発光素子 |
JP2007134700A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-31 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 半導体発光素子 |
US20090179211A1 (en) * | 2005-07-14 | 2009-07-16 | Tae-Kyung Yoo | Light emitting device |
JP2009283984A (ja) * | 2005-05-03 | 2009-12-03 | Samsung Electro Mech Co Ltd | フリップチップ発光ダイオード及びその製造方法 |
US20110062487A1 (en) * | 2008-05-15 | 2011-03-17 | Epivalley Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device |
JP2012124330A (ja) * | 2010-12-08 | 2012-06-28 | Stanley Electric Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP2013012555A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Toshiba Corp | 半導体発光素子 |
-
2013
- 2013-06-24 JP JP2013131687A patent/JP6185769B2/ja active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10341038A (ja) * | 1997-06-09 | 1998-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP2002026386A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-01-25 | Toyoda Gosei Co Ltd | Iii族窒化物系化合物半導体発光素子 |
JP2003124514A (ja) * | 2001-10-17 | 2003-04-25 | Sony Corp | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2004087930A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体発光素子 |
JP2004165590A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-06-10 | Epitech Technology Corp | 横電流遮断発光ダイオードおよびその製造方法 |
JP2006310785A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Epitech Technology Corp | 横電流抑止の発光ダイオードおよびその製造方法 |
JP2009283984A (ja) * | 2005-05-03 | 2009-12-03 | Samsung Electro Mech Co Ltd | フリップチップ発光ダイオード及びその製造方法 |
US20090179211A1 (en) * | 2005-07-14 | 2009-07-16 | Tae-Kyung Yoo | Light emitting device |
JP2007073590A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Kyocera Corp | 発光素子 |
JP2007134700A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-31 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 半導体発光素子 |
US20110062487A1 (en) * | 2008-05-15 | 2011-03-17 | Epivalley Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device |
JP2012124330A (ja) * | 2010-12-08 | 2012-06-28 | Stanley Electric Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP2013012555A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Toshiba Corp | 半導体発光素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6185769B2 (ja) | 2017-08-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4714122B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
KR101237538B1 (ko) | 발광 디바이스 | |
JP5630582B2 (ja) | 半導体装置 | |
KR101220130B1 (ko) | 발광소자 | |
JP6262036B2 (ja) | 発光装置 | |
KR20130111792A (ko) | 전류 분산 효과가 우수한 고휘도 질화물 발광소자 | |
JP6165517B2 (ja) | 発光素子 | |
JP6185769B2 (ja) | 発光素子 | |
JP2014022736A (ja) | 多重量子井戸構造及びそれを有する発光ダイオード | |
TW201637239A (zh) | 半導體發光元件 | |
TWI411134B (zh) | 發光二極體晶粒及其製造方法 | |
JP6042238B2 (ja) | 発光素子 | |
KR101539430B1 (ko) | 발광 다이오드 및 그 제조 방법 | |
JP6292956B2 (ja) | 発光素子 | |
TWI539625B (zh) | 半導體發光元件及其製造方法 | |
KR20220028944A (ko) | 나노 막대 발광 소자 및 그 제조 방법 | |
TWI548116B (zh) | 發光二極體晶粒及其製造方法 | |
JP6704699B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
CN105098010A (zh) | 半导体发光元件及其制造方法 | |
KR101712519B1 (ko) | 전극패드들을 갖는 발광 다이오드 | |
JP6262037B2 (ja) | 発光装置 | |
KR101615277B1 (ko) | 전극패드들을 갖는 발광 다이오드 | |
KR20100129048A (ko) | 고효율 발광 다이오드 구조 | |
TWI442598B (zh) | 發光二極體晶粒製造方法 | |
JP2015177031A (ja) | 発光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160512 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170308 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170711 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170728 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6185769 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |