JP2014534460A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明による感光性樹脂組成物のアクリル系バインダー樹脂は、酸価が50mg(KOH)/g〜90mg(KOH)/g、重量平均分子量が8,000g/mol〜13,000g/molである第1アクリル系バインダー樹脂、及び酸価が100mg(KOH)/g〜150mg(KOH)/g、重量平均分子量が4,000g/mol〜7,000g/molである第2アクリル系バインダーを含む。
本発明による感光性樹脂組成物に含まれる顔料成分は、遮光性の面で、好ましくはカーボンブラック、チタンブラック、アセチレンブラック、アニリンブラック、ペリレンブラック、チタン酸ストロンチウム、酸化クロム及びセリアよりなる群から選ばれる1種以上であることができ、より好ましくは粒径が90〜110nmであるカーボンブラックを含むことができる。前記範囲の粒径を持つカーボンブラックを含む場合、スピンタイプ及びスピンレス(spinless)タイプのコーティングの際、流動性を付与し、プレベーク後の表面残渣及び突起防止に効果的であり、光学密度及び基板接着力の向上に効果的である。
本発明による感光性樹脂組成物に含まれる光重合開始剤は、アクリル系バインダー樹脂(第1アクリル系バインダー樹脂及び第2アクリル系バインダー樹脂)100重量部に対し、10〜15重量部を含むことが好ましい。この際、第1アクリル系バインダー樹脂及び第2アクリル系バインダー樹脂100重量部に対し、前記光重合開始剤が10重量部未満含まれる場合、ブラックマットリックスパターン形成の際、パターンの直進性及び安定したパターンプロファイルの形成に問題があり、15重量部を超える場合、パターンの線幅が過度に増大する問題がある。
本発明においては、感光性樹脂組成物の中には多官能性モノマーを含むことができる。光によってフォトレジスト像を形成する役目をする多官能性モノマーは、具体的にプロピレングリコールメタクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリトリトールアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールアクリレートテトラエチレングリコールメタクリレート、ビスフェノキシエチルアルコールジアクリレート、トリスヒドロキシエチルイソシアヌレートトリメタクリレート、トリメチルプロパントリメタクリレート、ペンタエリトリトールトリメタクリレート、ペンタエリトリトールテトラメタクリレート及びジペンタエリトリトールヘキサメタクリレートよりなる群から選ばれる1種または2種以上の混合物であることができる。
本発明においては、感光性樹脂組成物の中には溶媒を含むことができ、本発明で使われる溶媒は通常の感光性樹脂組成物に使われたものと同一の溶剤を使うことができ、溶媒の一例としては、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチルグリコールメチルアセテート、エチルエトキシプロピオネート、メチルエトキシプロピオネート、ブチルアセテート、エチルアセテート、シクロヘキサノン、アセトン、メチルイソブチルケトン、ジメチルホルムアミド、N,N’−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリジノン、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トルエン、メチルセロソルブ及びエチルセロソルブの中で選択して使うことができる。前記溶媒の含量は、本発明による感光性樹脂組成物を基準として、20〜90重量%、好ましくは60〜80重量%である。
冷却管と撹拌器を備えた反応容器内で溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部に対し、光重合開始剤の2,2’−アゾビスイソブチロニトリル10重量部を溶かした。ついで、重合用モノマーであるスチレン65重量部、メタアクリル酸15重量部、メタクリル酸グリシジル20重量部、及び(KBM503)20重量部を投入し、窒素置換した後、緩やかに撹拌を始めた。前記反応物の温度を70℃に上昇させ、この温度を4時間のうちに維持して共重合体を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は35重量%であった。これをアクリル系バインダー樹脂製造例1とした。
GMA:メタアクリル酸グリシジル、
Sty:スチレン
KBM503:3−(メタアクリルオキシプロピル)トリメトキシシラン(Shin−Etsu Chemical)
開始剤:2,2’−アゾビスイソブチロニトリル
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
2)重量平均分子量:Varian社のGPC(ゲル透過クロマトグラフィ)システムを用いて測定した。
前記製造例1〜4で製造されたアクリル系バインダー樹脂に、カーボンブラック(KLBK−9232、Tokushiki社製、粒径90nmのもの)を投入し、多官能性モノマー(ジペンタエリトリトールヘキサアクリレート)及び光重合開始剤(I−242、Irgacure社製)を入れ、溶媒(プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA))とその他の添加剤を入れ、3時間のうちに撹拌して感光性樹脂組成物を製造した。
DPHA:ジペンタエリトリトールヘキサアクリレート
PGMEA:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート
GPTMS:グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(シリコン系化合物)
BK−9232:TOKUSHIKI社カーボンブラック顔料分散液
前記比較例1及び実施例1〜3で製造された感光性樹脂組成物に対し、現像開始時間、現像パターン安定性、光学密度、マスク透過率別にコラムスペーサーの高さ測定、残渣などを次のような方法で測定したところ、その結果は下記表4のようである。
比較例1及び実施例1〜3で収得された感光性樹脂組成物から次のような方法で硬化膜パターンを形成した;清浄な表面を持つガラス基板上にスピンコーターによって300rpmでコートして樹脂塗布層を形成した。塗布の後、ホットプレートによって100℃の温度で100秒間乾燥させて塗膜の厚さが3.5μmとなるようにした。ついで、マスク(ギャップ250μm)を通じて紫外線などの活性線エネルギー線を照射エネルギー線量60mJ/cm2の範囲で露光した。露光して得た膜を現像液(0.04%KOH水溶液、25℃)で現像(現像時間60秒)して硬化膜パターンを形成した。現像の後、230℃の対流式オーブンに入れた後、30分間ポストベークを遂行した。
現像開始時間は、樹脂ブラックマトリックスをガラス基板にコーティング−プレベーク−露光工程を遂行した後、現像工程によって樹脂ブラックマトリックスが現像されてパターンが形成され始める時間を肉眼で確認した。
現像パターン安定性は、樹脂ブラックマットリックスをガラス基板にコーティング−プレベーク−露光工程を遂行した後、現像工程で樹脂ブラックマットリックスが現像されてパターンが形成され始めた後(現像開始時間)、一定時間別に現像を実行し、光学顕微鏡でパターンの線幅及びパターンの直進性などを確認した。現像時間を5秒単位にしてパターンの線幅が減少する程度が1μm以下である区間を確認した。
前記のように収得した硬化膜に対し、(株)大塚電子のPMT装備を使い、光学密度2.4のreferenceを使って光学密度を測定して下記表4に記載した。
SEMを用いて現像後の残渣有無を確認した。
コラムスペーサーの形成のための露光工程の際、透過率が100%であるマスクを適用した場合と透過率が10%であるマスクを適用した場合の2種類の工程を進めた。露光して得た膜を現像液(0.04%KOH水溶液、25℃)で現像(現像時間60秒)して硬化膜パターンを形成した。現像の後、230℃対流式オーブンに入れた後、30分間ポストベークを遂行した。前記のように収得した硬化膜に対し、3−D profilerを用いて、スペーサーの高さ差を比較した。
Claims (12)
- アクリル系バインダー樹脂100重量部に対し、顔料成分10〜20重量部及び光重合開始剤10〜15重量部を含み、
前記アクリル系バインダー樹脂は、酸価が50mg(KOH)/g〜90mg(KOH)/g、重量平均分子量が8,000g/mol〜13,000g/molである第1アクリル系バインダー樹脂、及び酸価が100mg(KOH)/g〜150mg(KOH)/g、重量平均分子量が4,000g/mol〜7,000g/molである第2アクリル系バインダー樹脂を含むことを特徴とする、感光性樹脂組成物。 - 前記第1アクリル系バインダー樹脂と第2アクリル系バインダー樹脂は3〜7:7〜3の重量比で含まれることを特徴とする、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記顔料成分は、カーボンブラック、チタンブラック、アセチレンブラック、アニリンブラック、ペリレンブラック、チタン酸ストロンチウム、及び酸化クロム及びセリアの中で選ばれる1種以上であることを特徴とする、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記顔料成分は、粒径が90〜110nmのカーボンブラックを含むことを特徴とする、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記光重合開始剤は、オキシムエステル系の化合物、ケトン類、ハロゲン化合物、過酸化物及びアシルホスフィンオキシド類の中で選ばれる1種以上であることを特徴とする、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記感光性樹脂組成物から硬化膜を形成するとき、単位厚さ1.0μm当たり光学密度(OD)が0.5〜1.0であることを特徴とする、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記感光性樹脂組成物に形成されたコラムスペーサーにおいて、露光器マスクの透過率が100%のものを適用して形成された前記コラムスペーサーの高さと露光器マスクの透過率が10%のものを適用して形成された前記コラムスペーサーの高さの差が0.5〜1μmであることを特徴とする、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1の感光性樹脂組成物を用いて形成されたブラックマットリックスを含むことを特徴とする、ディスプレイ用基板。
- 請求項1の感光性樹脂組成物を用いて形成されたコラムスペーサーを含むことを特徴とする、ディスプレイ用基板。
- 請求項1の感光性樹脂組成物を用いて形成されたブラックマットリックス一体型コラムスペーサーを含むことを特徴とする、ディスプレイ用基板。
- 請求項8〜10のいずれか一項のディスプレイ用基板を上部基板として含むことを特徴とする、液晶パネル。
- 請求項11の液晶パネルを含むことを特徴とする、液晶表示装置。
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