JP2014509076A - ドープされたシリコンインクから形成されたドープされた表面接点を有するシリコン基体及び相応する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、“Silicon Substrates With Doped Surface Contacts Formed From Doped Silicon Inks and Corresponding Processes”と題する、2011年1月31日付けで出願されたLiu他による米国仮出願第61/438,064号、及び“Silicon Substrates With Doped Surface Contacts Formed From Doped Silicon Inks and Corresponding Processes”と題する、2011年5月23日付けで出願されたLiu他による米国仮出願第13/113,287号の優先権を主張する。これら双方は参照することによって本明細書中に組み込まれる。
具体的な対象となるソーラーセルは、結晶シリコン光吸収層を含む。ドープされた接点が光電流の収集を可能にするためにシリコン基体表面内に延びており、ドープされた接点は表面から少なくともある程度外方に向かって延びていてよい。ドープされた接点はソーラーセルの前面及び背面の両方に沿って、又はソーラーセルの背面だけに沿って位置することができる。本明細書中に記載された、ドープされたシリコンインク又は他の液体ドーパント源を使用したドープされた接点の形成は、ドープされた接点の所望の配置に適合させることができる。ソーラーセル作業効率の低下を招き得る再結合イベントを低減するために、ドープされた接点上のシリコン基体表面に沿って、不動態化層として無機誘電材料が一般に配置される。ソーラーセルのドープされた接点と外部回路との接続を可能にするために、導電性電流コレクタが適切に配置されている。電流コレクタの部分は一般にそれぞれの誘電層を貫通することによって、ドープされたシリコン接点との電気的接続を形成する。フロント受光面を保護するために透明なフロント保護層が一般に使用される。残りのソーラーセル部分はポリマーなどに封入することによって、ソーラーセルを環境攻撃から防護することができ、これとともに、それぞれの対向極性の電流コレクタに通じる導電性リードを介してセルと外部回路とを接続することを適切に許容する。
電子及び正孔の移動の結果、外部回路に導くことができる有用な電流が収集される。好適なn型ドーパントは例えばP,Sb及び/又はAsを含み、そして好適なp型ドーパントは例えばB,Al,Ga及び/又はInを含む。一般に、ドープされた接点内部の平均ドーパントレベルは、1立方センチメートル(cc)当たりの原子数が約1.0〜1018〜約5x1020、さらなる態様では、約2.5〜1018〜約1.0x1020、そして他の態様では5.0〜1018〜約5.0x1019であってよい。当業者には明らかなように、上記明示的な範囲内の追加のドーパントレベル範囲が考えられ、そしてこれらも本開示内容に含まれる。しかしながらドープされた接点内のドーパント濃度は、さらに下述するように、ドープされた接点をより具体的に特徴づける深さに対するプロフィールを有している。ドーパント・プロフィールは一般に、インクから基体内へドーパントをドライブインするために用いられるアプローチの関数であり得る。
いくつかの態様において、ドープされた接点及び他のドープされた半導体構造を形成するためのドーパントを供給するために、シリコンナノ粒子インクを堆積することができる。いくつかの態様では、他の液体ドーパント源、例えばドープされたシリカインクを使用することができ、これらの他の液体ドーパント源についてさらに下述する。シリコンインクの調製は、適切な堆積、例えばインクの印刷、並びにインクから形成された堆積物から所望の構造を形成するための堆積されたシリコンナノ粒子の所望の処理を可能にするように選択することができる。ここで具体的に対象となるシリコンインクは、分散液と、必用に応じて添加剤と一緒に液体中に分散されたシリコンナノ粒子とを含む。一般に、シリコンナノ粒子、例えばドープされたシリコンナノ粒子は粉末として収集される。この粉末は、インクを形成する際の1工程として分散される。分散体は、さらに混合することなしに妥当な時間にわたって、一般には少なくとも1時間にわたって沈降を回避することに関して安定であり得る。分散体の特性はこの場合好適なインクを形成するように調節することができる。すなわち分散体は印刷に適している。より具体的には、インクの特性は特定の印刷法に合わせて調節することができる。例えば、インクの粘度は具体的な用途、例えばインクジェット印刷又はスクリーン印刷に合わせて調節することができ、そして粒子濃度及び添加剤は、粘度及びその他の特性を調節するためにいくつかの追加のパラメータを提供する。小さな二次粒径を有する安定分散体を形成できることにより、さもなければ可能ではない特定のインクを形成することができる。
所望のドーパント元素を供給し、また自己キャッピング材料を形成する材料として、ドープされたシリコンインク又はドープされたシリカインクを有する複合材料中に、ガラス/セラミック前駆体、例えばスピンオンガラス又はゾルゲルを配合することができる。本明細書中に記載されているように、ガラス/セラミック前駆体を無機キャッピング材料として使用して、可能な限りドーパント元素の蒸発を低減することによりドーパントドライブインプロセスを容易にすることができる。シリコンインク又はシリカインクとガラス/セラミック前駆体との複合材料を使用して、ドーパントドライブインを単一の堆積工程で支援するのに適した堆積物を形成することができる。一般に、ガラス/セラミック前駆体を、前駆体組成物を相応のガラス又はセラミック材料に実質的に変化させるのに適した温度まで加熱することができる。複合材料は前駆体組成物と、ドープされたシリコンナノ粒子、ドープされたシリカナノ粒子、又はこれらの組み合わせを含むドープされたインク組成物との組み合わせによって形成することができる。
ドープされた粒子分散体/インクは選択されたアプローチ、例えば被覆プロセス又は印刷プロセスを用いて堆積することができる。堆積アプローチは、所望のドープされたインク堆積物を基体上に得るように選択することができる。具体的には、分散体/インクで基体を被覆するには被覆技術が望ましく、そして具体的には分散体/インクを基体上にパターンを成して堆積するには、印刷技術が望ましい。堆積に続いて、堆積された材料をさらに処理することができる。例えば堆積されたドープされたナノ粒子インクに由来するドーパントをシリコン基体内にドライブインすることができる。これらの堆積アプローチのうちの少なくともいくつか、例えば被覆アプローチ及び/又はスクリーン印刷で、選択されたドープされた複合材料を堆積することができる。
ドーパントインク、例えばドープされたシリコンインクの堆積物を適切にキャッピングすることによって、ドーパントドライブインの成功が可能になることが判っている。具体的な対象となるドーパントドライブインは、シリコン基体と、ドーパント源としてのドープされたシリコン及び/又はシリカナノ粒子を伴う。ドーパント源は例えばドープされたナノ粒子を使用して堆積することができる。ドーパントドライブインは結果として、シリコン基体上に高ドープされた表面領域をもたらすことができる。ドーパント源材料堆積物上の結晶シリコン表面上に設けられた好適なキャップは例えば、表面上に配置されたスラブ、表面の一部と接触するカバー、表面には触れないカバー、又は表面上の無機被膜を含む。キャップは明らかに、ドーパントドライブインを実施するための加熱中のドーパント原子の蒸発を抑制する。具体的には、無機キャップ層は、キャッピング層によってもたらされる物理的制約によって、シリコンインクから形成された堆積物からのドーパント元素の損失を低減又は排除することができる。ドーパントドライブイン部位近くのドーパント元素の捕捉は、その領域の完全なシーリングに基づく必要はなく、ドーパントドライブインのためのドライブイン力が結果として、ドーパント源材料堆積物の個所でシリコン基体内への所望のドーパントドライブイン度をもたらすことで十分である。ドーパントドライブインは加熱工程を用いて行うことができ、所望のドーパントドライブインレベルは、好適なキャップを有するドープされたシリコンインク又は他のドーパント源材料の堆積物から達成することができる。
下記例は、高ドープされたシリコンナノ粒子からシリコン基体内への望ましいドーパントドライブインレベルを提供する能力を実証する。ドープされたシリコンナノ粒子はシリコン粒子のインク/分散体の形態で堆積される。
この例は、ドープされたシリコンインクで被覆されたシリコンウエハーの形成を記述する。下記例はウエハー表面内へのこれらのインクのドーパントドライブインを記述する。シリコンナノ粒子を含む分散体からドープされたシリコンインクを形成した。Silicon/Germanium Nanoparticle Inks, Laser Pyrolysis Reactors for the Synthesis of Nanoparticles and Associated Methods”と題するChiruvolu他による同時係属中の米国特許出願第13/070,286号明細書(参照することによって本明細書中に組み込まれる)のExample 2に記載されているレーザー熱分解を用いて、高レベルのドーピングで結晶シリコン粒子を形成した。具体的には約7nm又は約20nmの平均一次粒径を有するように、n++ドープされた及びp++ドープされたシリコンナノ粒子を形成した。粒子は2〜4原子パーセントのドーパントを有した。次いで粒子を適量の低分子量アルコール、例えばイソプロパノールと配合することによって、分散体を形成した。次いで、結果として生じた混合物を超音波処理して遠心分離することによって、安定な分散体を形成した。この分散体はスピン被覆のためのインクとして使用した。こうして形成されたインクのシリコン粒子濃度は約3〜7重量パーセント(wt%)であった。
この例は、ナノ粒子インクからの熱ドーパントドライブインに対する、ウエハー形態及びプロセス温度の効果を実証する。具体的には、表面上に別のウエハーを有するキャップ、又は中央区分が除去されたウエハー及び構造上の石英スラブを備えたカバーを用意することができる。
この例はドーパントドライブインなしの基体性能特徴を実証する。具体的には、この例は、ドーピング特徴及び基体のシート抵抗を実証する。基体性能をベースラインとして確立することによって、シリコンインクから熱ドーパントドライブインの効果を分離する。
ウエハー形態の効果を実証するために、4つの試料を調製した。各試料はインク被覆ウエハーを含んだ。例1に記載したようにインク被覆ウエハーを形成した。シリコンインクは平均一次粒子直径が約20nm、そしてドーパント濃度が1.5 ×1021原子/cm3のシリコンナノ粒子を含んだ。乾燥インク層の平均厚は約0.5μmであった。基体はn型シリコンウエハーを含んだ。第1試料はさらに、いかなるインクもないカバーウエハーを含んだ。カバーウエハーは、インク被膜を有さないことを除けばインク被覆ウエハー基体と実質的に同一のn型シリコンを含んだ。試料2〜4に対してはマスクを使用した。マスクはウエハーから切り取った。マスクは概ね正方形の形状と、ウエハー中心領域の約1.5cm2の正方形開口とを有するように切り取った。
熱ドーパントドライブインに対する温度の効果を実証するために、実質的に同一の追加の4つの試料を調製した。各試料は、インク被覆ウエハーと、インクなしのカバーウエハーと、マスクとを含んだ。インク被覆ウエハーを例1において説明したように形成した。試料1に関しては、インクは、平均一次粒子直径が約7nmのp++ドープされたシリコンナノ粒子を含み、そして基体はp型シリコンウエハーを含んだ。試料2〜4に関しては、インクは、平均一次粒子直径が約20nmのn++ドープされたシリコンナノ粒子を含み、そして基体はn型シリコンウエハーを含んだ。カバーウエハーは、インク被膜なしのインク被覆ウエハーと実質的に同一のp型シリコンウエハーを含んだ。マスクは、試料1〜4との関連において上述した中心領域内に開口を有するスクエアカット・ウエハーを含んだ。
この例は、スタック型ウエハー形態による熱ドーパントドライブインのプロセス及び試料パラメータの変更の効果を実証する。
乾燥インク層に対する熱ドーパントドライブインの効果を実証するために、この例において上述したように6つの試料セットを調製した。試料は、7nm又は約20nmの平均一次粒径を有するように、n++ドープされたシリコンナノ粒子を含むインクから調製した。それぞれの試料の乾燥インク層の平均厚は約0.5μm、約1μm、又は約1.5μmであった。各試料の基体はn型シリコンウエハーを含んだ。セット1〜5の試料を900℃又は1050℃で約0.5時間、1時間、又は12時間にわたってスタック形態を成して加熱した。セット6の試料を単一ウエハー形態で加熱した。各試料の乾燥インク層を下向きにして石英板上に置いた。セット6の試料を1050℃で1時間にわたって加熱した。加熱に続いて、各試料のSEM画像を得た。次いで各試料を1時間にわたってBOE溶液中に入れ、そして各試料のSEM画像を再び得た。表Vはそれぞれの試料セットに対する試料及びプロセスのパラメータを表示する。
ドーパント・プロフィールに対するプロセス及び試料のパラメータの変化の効果を実証するために、この例において上述したように6つの試料セットを調製した。乾燥インク層は平均厚が約0.5μmであり、n++ドープされたシリコンナノ粒子を含むインクから形成した。乾燥インク層からのドーパントの拡散を容易にするために、各試料セットを炉内に入れ、温度1050℃で1時間又は12時間にわたって窒素雰囲気で加熱した。
熱ドーパントドライブインに対する炉タイプの変化の効果を実証するために、5つの試料セットを上記の通り調製した。各インク被覆ウエハーの乾燥インク層は平均厚が約0.5μmであり、n++ドープされたシリコンナノ粒子を含むインクから形成した。アニールされたインク層からの熱ドーパントドライブインを容易にするために、試料1及び2をNeytech(登録商標)炉(Qex, Degussa-Ney Dental, Inc.)内で加熱した(NTB)。試料1及び2を室温の炉内に入れ、次いで炉温度を勾配速度200℃/分で1050℃にもたらした。試料3〜5をMTI炉(GSL-1100X8, MTI Corporation)内で加熱した(MTI)。試料3〜5を室温の炉内に入れ、次いで炉温度を勾配率10℃/分で1050℃にもたらした。試料1〜5を1時間にわたって1050℃で加熱することによって、ドーパントドライブインを完了させた。セット1〜4の試料をこの例において上述したようにスタック形態で加熱するのに対して、セット5の試料は単一ウエハー形態で加熱した。この場合各試料の乾燥インク層を下向きにして石英板上に置いた。ドーパントドライブインに続いて、各試料の表面上の複数個所で4PP抵抗を測定した。試料を1時間にわたってBOE中に入れた。次いで各試料の表面上の複数個所で4PP抵抗を再び測定した。表VIIは各試料の特定の試料及びプロセス・パラメータを表示する。
n++ドープされたインクからの熱ドーパントドライブインによって得られるシート抵抗を実証するために、4つの試料セットを上述のように調製した。各試料の乾燥インク層を、n++ドープされたシリコンナノ粒子を含むインクから形成した。各試料の基体はn型シリコンウエハーを含んだ。試料セットをスタック形態で、1050℃で1時間にわたって加熱した。加熱に続いて、各試料の表面上の複数個所で4PP抵抗を測定した。次いで各試料を1時間にわたってBOE中に入れた。次いで各試料の表面上の複数個所で4PP抵抗を再び測定した。表VIIIは各試料の4PP抵抗及びパラメータを表示する。「試料パラメータ」と表示された行に提示されたデータは順番に、乾燥インク層を形成するために使用されるインク中のシリコンナノ粒子の平均一次粒径、及び乾燥インク層の厚さを表示する。
p++ドープされたインクからの熱ドーパントドライブインによって得られるシート抵抗を実証するために、4つの試料セットを上述のように調製した。それぞれが2つのインク被覆ウエハーを含む3つの試料セットをこの例において上述したように調製し、インク層はp++ドープされたシリコンナノ粒子を含んだ。第4試料セットはインク被覆ウエハーと裸のウエハーとを含んだ。インク被覆ウエハーを例1において上述したように調製した。インク被覆ウエハーの乾燥インク層の平均厚は約1μmであり、これは、平均一次粒径約7nmのp++ドープされたシリコンナノ粒子を含むインクから形成した。インク被覆ウエハーの基体はn型シリコンウエハーを含んだ。裸のウエハーはインク被覆ウエハーのウエハー基体と実質的に同一であった。
この例は、容易にされたドーパントドライブインにスピンオンガラス・バリア層を使用することの効果を実証する。バリア層を含むインク被覆ウエハーに対する熱ドーパントドライブイン中のプロセス及び試料のパラメータの変化の効果を実証するために、いくつかの試料を調製した。例1において上述したように、バリア層を有するインク被覆ウエハーを調製した。アニール前に、各試料の乾燥インク層は平均厚が約0.5μmであり、これは、平均一次粒径約7nm又は約20nmのn++又はp++ドープされたシリコンナノ粒子を含むインクから形成した。各試料の基体はn型又はp型シリコンウエハーを含んだ。
熱ドーパントドライブインに対するバリア層の効果を実証するために、2つの試料を調製した。試料1は、バリア層を有するインク被覆ウエハーを含み、そして試料2は、バリア層なしのインク被覆ウエハーを含んだ。試料1及び2は、平均一次粒径が約20nmのn++ドープされたシリコンナノ粒子を含むインクから形成した。各試料の基体はn型シリコンウエハーを含んだ。熱ドーパントドライブインに続いて、試料を約30分間にわたってBOE溶液中に入れた。次いで4PP抵抗を各試料の表面上の複数の個所で測定した。
バリア層を有するインク被覆ウエハーからの熱拡散に対するプロセス及び試料のパラメータの変化の効果を実証するために、この例において上述したように3つの試料を調製した。試料は、平均一次粒子径が約7nm(試料1)又は20nm(試料2及び3)のn++ドープされたシリコンナノ粒子を含むインクから形成した。各試料の基体はn型シリコンウエハーを含んだ。バリア層の平均厚は約0.1μm(試料1)又は0.2μm(試料2及び3)であった。熱ドーパントドライブインに続いて、試料を約1時間にわたってBOE溶液中に入れた。次いで、各試料の表面上の複数個所で4PP抵抗を測定した。
相応のバリア層を有する両面インク被覆ウエハーからの熱拡散に対するプロセス及び試料のパラメータの変化の効果を実証するために、実質的に同一の4つの試料を調製した。各試料は基体の前面上の第1層と、第1アニールされたインク層上に第1バリア層とを含んだ。各試料はさらに、基体の背面上の第2アニールされたインク層と、第2アニールされたインク層上の第2バリア層とを含んだ。図1において記載したように、アニールされたインク層は、平均一次粒径が約7nmのn++(第1のアニールされたインク層)及びp++(第2のアニールされたインク層)のドープシリコンナノ粒子を含むインクから形成され、そして基体は軽ドープされたp型シリコンウエハーを含んだ。
バリア層を有するインク被覆ウエハーからの熱拡散に対する、プロセス及び試料のパラメータの変化の効果を実証するために、この例において上述したように3つの試料セットを調製した。試料は、n++ドープされたシリコンナノ粒子を含むインクから調製した。バリア層の平均厚は約0.1μ又は約0.2μmであった。熱ドーパントドライブインに続いて、各試料のSEMを得た。次いで試料を約30秒〜約60秒間にわたってBOE溶液中に短時間浸すことによって、バリア層を除去し、そして次いで各試料の更なるSEM画像を得た。次いで3つの試料を0.5時間、1時間、又は2.5時間にわたってBOE溶液に戻し、続いて各試料のSEM画像を再び得た。各試料に関する試料及びプロセスのパラメータが表XIに記載されている。
Claims (34)
- シリコン基体をドープする方法であって、該方法は:
ドープされた堆積物を形成するために、該シリコン基体上にドーパント元素を含むドーパントインクを堆積し;
該シリコン基体上のドープされた堆積物上に無機キャッピング層を形成し;
そして
該シリコン基体内にドーパント原子をドライブインするために該シリコン基体を加熱する
ことを含む、シリコン基体をドープする方法。 - 該インクがインクジェット印刷によって堆積される、請求項1に記載の方法。
- 該インクがスクリーン印刷によって堆積される、請求項1に記載の方法。
- 該無機キャッピング層の形成が、スピンオンガラスを堆積し、そして該スピンオンガラスを硬化させるのに十分に該スピンオンガラスを加熱することを含む、請求項1に記載の方法。
- 該無機キャッピング層の形成が、ゾルゲル前駆体組成物を堆積することを含む、請求項1に記載の方法。
- 該インクが、ドープされたシリコンナノ粒子又はドープされたシリカナノ粒子を含む、請求項1に記載の方法。
- 複数のドープされた堆積物が該シリコン基体上にパターニングされ、そして該無機キャッピング層が、該シリコン基体上に連続層を形成することなしにパターニングされ、該ドープされた堆積物をカバーする、請求項1に記載の方法。
- ドーパント原子をシリコン基体内にドライブインするための加熱が、約650℃〜約1300℃の温度で行われる、請求項1に記載の方法。
- 該加熱が、実質的に無酸素の雰囲気中で行われる、請求項1に記載の方法。
- 溶媒配合物、ガラス/セラミック前駆体組成物、及びドープされたシリコンナノ粒子、ドープされたシリカナノ粒子又はこれらの組み合わせから成る群より選択されたドープされた粒子を含む、ドーパント源組成物。
- 該ガラス/セラミック前駆体組成物が、スピンオンガラス組成物を含む、請求項10に記載のドーパント源組成物。
- 該ガラス/セラミック前駆体組成物が、金属/半金属酸化物に熱的に変換するゾルゲルを含む、請求項10に記載のドーパント源組成物。
- 約1重量パーセント〜約40重量パーセントのシリコンナノ粒子を含む、請求項10に記載のドーパント源組成物。
- 該溶媒がアルコールを含む、請求項10に記載のドーパント源組成物。
- 該ドープされた粒子がドープされたシリコン粒子を含む、請求項10に記載のドーパント源組成物。
- シリコン基体をドープする方法であって、該方法は:
該シリコン基体上にドープされた堆積物を形成するために、請求項10に記載のドーパント源組成物を堆積し;
該シリコン基体内にドーパント元素をドライブインするために該シリコン基体を加熱する
ことを含む、シリコン基体をドープする方法。 - 該ガラス/セラミック前駆体組成物を硬化させるために初期加熱ステップを実施することをさらに含む、請求項16に記載の方法。
- 残った消耗したドーパント源組成物を実質的に除去するために、該ドーパントドライブインを実施した後で該シリコン基体をエッチングすることをさらに含む、請求項16に記載の方法。
- シリコン基体をドープする方法であって、該方法は:
ベースラインバルク濃度を少なくとも100倍上回るドーパント濃度で、少なくとも約0.4ミクロンの平均深さまで燐ドーパントを該シリコン基体内にドライブインするために、キャッピングされた燐ドープされたシリコンナノ粒子堆積物を有するシリコン基体を加熱する
ことを含む、シリコン基体をドープする方法。 - 該キャッピングされた堆積物が、該シリコンナノ粒子の上側に配置された無機構造を含む、請求項19に記載の方法。
- 該キャッピングされた堆積物が、該シリコンナノ粒子を事実上キャッピングするカバーを含む、請求項19に記載の方法。
- 該キャッピングされた堆積物が、該シリコンナノ粒子上に配置された無機キャッピング層を含む、請求項19に記載の方法。
- 該加熱が実質的に無酸素の雰囲気中で実施される、請求項19に記載の方法。
- シリコン基体をドープする方法であって、該方法は:
シリコン基体内にドーパント原子をドライブインするために、実質的に非接触型のカバーを備えたドープされたシリコンナノ粒子堆積物を有するシリコン基体を加熱する、
ことを含む、シリコン基体をドープする方法。 - 該実質的に非接触型のカバーが、該シリコン基体に近接する表面上に載置されたエッジを有するセラミックカバーを含む、請求項24に記載の方法。
- 該シリコン基体を加熱した後、該カバーを除去し、そして残ったシリコンナノ粒子を除去するためにエッチングするか、又は残ったシリコンナノ粒子を高密度化することをさらに含む、請求項24に記載の方法。
- 実質的に無酸素の雰囲気中で行われる、請求項24に記載の方法。
- シリコン基体をドープする方法であって、該方法は:
シリコン基体内にドーパント原子をドライブインするために、ドープされたシリコンナノ粒子堆積物を有するシリコン基体を加熱し、そして
該ドープされたシリコンナノ粒子を焼結して、該シリコン基体の表面から延びる実質的に融合されたドープされたシリコン被膜を形成するために、高速熱処理を用いる、
ことを含む、シリコン基体をドープする方法。 - 該高速熱処理を用いることが、該ドープされたシリコンナノ粒子堆積物へ、ヒートランプから輻射線を向けることを含む、請求項28に記載の方法。
- 該高速熱処理を用いる工程が、該シリコン基体内へドーパント原子をドライブインするための加熱前に実施される、請求項28に記載の方法。
- 該高速熱処理を用いる工程が、該シリコン基体内へドーパント原子をドライブインするための加熱後に実施される、請求項28に記載の方法。
- 平均厚が少なくとも約5ミクロンのシリコン基体と;
バルク濃度を少なくとも100倍上回るドーパント濃度を有する、深さが少なくとも約0.25ミクロンのドープされた表面領域と;
該シリコン基体の表面から延びる実質的に融合されたドープされたシリコン被膜と
を含む半導体構造。 - 該実質的に融合されたドープされたシリコンがパターニングされている、請求項32に記載の半導体構造。
- 該実質的に融合されたドープされたシリコンのうちのいくらかが、p型ドーパントを含み、そして該実質的に融合されたドープされたシリコンのうちのいくらかが、n型ドーパントを含む、請求項33に記載の半導体構造。
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