DE102006040352B3 - Verfahren zum Aufbringen von elektrischen Kontakten auf halbleitende Substrate, halbleitendes Substrat und Verwendung des Verfahrens - Google Patents

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufbringen von mindestens einem elektrischen Kontakt auf ein halbleitendes Substrat, insbesondere Solarzellen, durch ein Lasersinterverfahren. Weiterhin betrifft vorliegende Erfindung ein derart hergestelltes halbleitendes Substrat, insbesondere eine Solarzelle sowie eine Verwendung des Verfahrens.

Description

  • Vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufbringen von mindestens einem elektrischen Kontakt auf ein halbleitendes Substrat, insbesondere Solarzellen, durch ein Lasersinterverfahren. Weiterhin betrifft vorliegende Erfindung ein derart hergestelltes halbleitendes Substrat, insbesondere eine Solarzelle sowie eine Verwendung des Verfahrens.
  • Die elektrischen Kontakte der Solarzelle dienen dazu, die unter Beleuchtung erzeugten Ladungsträger von der Solarzelle abzuleiten. Dafür müssen sie einen guten Kontakt zum Halbleiter/Silicium, eine gute Leitfähigkeit und eine ausreichend große mechanische Haftung besitzen.
  • In der Industrie werden die Kontakte meistens mit Hilfe von Siebdruckverfahren mit metallischen Pasten gefertigt. Die metallischen Linien werden auf die Vorderseite der Solarzelle durch ein strukturiertes Sieb gedruckt. In einem so genannten Feuerschritt ätzt die in der Paste vorhandene Glasfritte die Antireflexbeschichtung (SiO2, SiNx, SiC) der Solarzelle bei hoher Temperatur durch. Dadurch wird der eigentliche Kontakt zwischen Halbleiter und Metall hergestellt [J. Nijs, E. Demesmaeker, J. Szlufcik, J. Poortmans, L. Frisson, K. De Clercq, M. Ghannam, R. Mertens, R. Van Overstraeten, 1st WCPEC, p. 1242, Hawaii, 1994]. Aufgrund der notwendigen Unreinheiten in der Paste sowie den technologischen Grenzen des Verfahrens (z.B. das Auseinanderlaufen der Paste nach dem Drucken oder der minimal möglichen Strukturbreite im Bereich von ~60–100 μm) sind sowohl die elektrischen Eigenschaften als auch das Aspektverhältnis (Höhe zu Breite) der siebgedruckten Kontakte nicht optimal.
  • Die DE 100 46 170 A1 beschreibt das Feuern von aufgedruckter AL-Paste durch ARC-Schichten mittels RTP, und alternativ das Einbringen von Gräben in die ARC-Schichten mittels Laserablation. Demnach wird eine reine AL-Metallschicht (11) durch eine ARC-Schicht (12) mittels Laserpulsen (10) gefeuert, wobei auch ein Vergleich zum Verwenden einer Paste angestellt wird, jedoch nicht um diese Paste anstelle der reinen AL-Metallschicht zu verwenden.
  • Grohe et al., "Boundary conditions for the industrial production of LFC cells", in: Conference Record of the 2006 IEEE 4th World Conference on Photovoltaic Energy Conversion, Waikoloa, 7–12 May 2006, ISBN 1 4244 0016 3, (Cat No 06CH37747), 2006, p 1032–1035, sowie Schneiderlöchner et al., "Investigations on Laser-Fired Contacts for passivated rear Solar Cells", in: Conference Record of the 29th IEEE Photovoltaic Specialists Conference 2002, New Orleans, 19–24 May 2002, ISBN 0 7803 7471 1, 2002, p. 300–303, behandeln jeweils die Herstellung von Solarzellen, wobei in beiden Fällen ein „Laser-Fired-Contact (LFC)" Verfahren zur Herstellung des Rückseitenkontaktes verwendet wird, wozu jedoch reine Metallschichten aus Aluminium aufgebracht werden. Daneben wird in Schneiderlöchner et al. als Alternative zum LFC ein AL-BSF erwähnt, wozu AL-Paste aufgedruckt wird.
  • Die US 5,468,652 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung der Kontakte (26, 28) mit den Merkmalen: aufgedruckte AL-Paste und durchfeuern dieser Paste durch eine dielektrische Schicht aus SiN oder SiO, ohne dabei die Art der Wärmeeinbringung klarzustellen
  • Die US 6,429,037 B1 bildet dotierte Gebiete für Solarzellen durch das Eintreiben von Dotierstoffen aus einer Schicht mittels eines Lasers, wobei die Schicht auch aus einer Mehrzahl von Schichten aufgebaut sein kann, und nur eine oberste dieser Schichten Dotierstoffe tragen kann, wobei dann durch die unteren „durchgefeuert" wird. Nachfolgend werden an den bestrahlten Stellen Metallelektroden stromlos galvanisch angebracht.
  • Die US 4,931,323 bildet Kupferleiter auf Substraten mittels flächig aufgedruckter Kupferpaste und Lasersintern.
  • Ausgehend von den Nachteilen des Standes der Technik ist es somit Aufgabe vorliegender Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, das die wirtschaftliche Auf bringung von Metallkontakten auf halbleitenden Substraten ermöglicht und dabei die im Stand der Technik beschriebenen Nachteile umgeht.
  • Diese Aufgabe wird durch das Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Patentanspruch 32 gibt ein halbleitendes Substrat an, das erfindungsgemäß hergestellt werden kann. Einen möglichen Verwendungszweck des Verfahrens wird in Patentanspruch 34 beschrieben. Die abhängigen Ansprüche stellen vorteilhafte Weiterbildungen dar.
  • Erfindungsgemäß wird ein Verfahren zum Aufbringen von mindestens einem elektrischen Kontakt auf ein halbleitendes Substrat bereitgestellt, wobei sukzessiv folgende Schritte ausgeführt werden:
    • a) Aufbringen einer Schicht eines metallischen Pulvers auf das Substrat,
    • b) Führen eines Laserstrahls über das Substrat zum lokalen Versintern und/oder Verschmelzen des metallischen Pulvers,
    • c) Entfernen des nicht versinterten und/oder verschmolzenen metallischen Pulvers.
  • Erfindungsgemäß wird unter dem Begriff eines metallischen Pulvers selbstverständlich sowohl einzelne Metalle als auch Legierungen aus mehreren Metallen verstanden.
  • Besonders geeignet ist das Verfahren zum Aufbringen von elektrischen Kontakten auf Solarzellen.
  • In einer vorteilhaften Ausführungsform besitzen die erfindungsgemäß auf dem Substrat aufgebrachten Kontakte eine Dicke von 10 nm bis 20 μm, bevorzugt zwischen 10 nm und 3 μm und ganz besonders bevorzugt zwischen 80 nm und 200 nm.
  • Um während des Versinterns eine Oxidation bzw. ein Verbrennen des metallischen Pulvers zu vermeiden, ist es bevorzugt, dass in einer inerten Atmosphäre bzw. im Vakuum gearbeitet wird. Hierzu ist es günstig, wenn das Inertgas ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Stickstoff, Argon, N2H2 (Formiergas) und/oder Mischungen hieraus.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist das zu beschichtende Substrat vor Aufbringen eines elektrischen Kontakts bereits beschichtet. Insbesondere im Fall von Solarzellen können dies beispielsweise isolierende Schichten oder Antireflexschichten sein.
  • Dabei ist es selbstverständlich auch möglich, dass die Beschichtung des Substrats selbst aus der Abfolge mehrerer Schichten, sog. Schichtfolgen, aufgebaut ist. Dabei sind die Materialien der Beschichtung und/oder die einzelnen Schichtfolgen der Beschichtung bevorzugt ausgewählt aus der Gruppe aus Materialien bestehend aus Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Siliziumcarbid und/oder Mischungen hieraus.
  • Ein wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es, dass bei der Verwendung von bereits beschichteten Substraten die Möglichkeit eröffnet wird, dass im Verfahrensschritt b) die Beschichtung während des Versinterns und/oder Verschmelzens des metallischen Pulvers durchbrochen wird und somit der elektrische Kontakt auf das halbleitende Substrat aufgebracht werden kann. Somit ist in einem Verfahrensschritt (Schritt b)) die Herstellung eines schlüssigen elektrischen Kontakts und zugleich die Durchbrechung einer isolierenden oder Antireflex schicht gegeben.
  • Das metallische Pulver enthält dabei vorzugsweise mindestens ein Metall, das aus der Gruppe bestehend aus Nickel, Wolfram, Chrom, Molybdän, Magnesium, Silber, Kobalt, Kadmium, Titan, Palladium und/oder Mischungen hieraus ausgewählt ist.
  • Vorzugsweise beträgt dabei die Partikelgröße des metallischen Pulvers von 1 nm bis 100 μm, bevorzugt zwischen 100 nm und 10 μm, ganz besonders bevorzugt zwischen 500 nm und 2 μm.
  • In einer weiteren günstigen Ausgestaltungsform wird die metallische Pulverschicht in Schritt a) in einer Dicke von 1 μm und 1 mm, bevorzugt zwischen 200 μm und 800 μm, ganz besonders bevorzugt zwischen 500 μm und 800 μm aufgetragen.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn dem Metallpulver mindestens ein Zusatzstoff zugesetzt ist.
  • Dadurch wird der Einlegierungsprozess unterstützt. Dies wird dadurch bedingt, dass die Zusatzstoffe ein Auflösen der Beschichtung und/oder eine Verbesserung der Haftung des metallischen Kontakts bedingen.
  • Vorzugsweise sind die Zusatzstoffe ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Glasfritten, wie z.B. Bleiborsilikat oder Glas; organischen Verbindungen; Dotierstoffe für n- oder p-Typ dotierte Bereiche, wie z.B. Phosphor- oder Borpulvern und/oder Mischungen hieraus.
  • Der erfindungsgemäß eingesetzte Laser unterliegt dabei keiner speziellen Beschränkung, maßgeblich ist jedoch, dass gewährleistet ist, dass durch die Laserstrahlung eine Versinterung und/oder Verschmelzung des Metallpulvers gewährleistet wird. Der Laser kann generell im infraroten, sichtbaren und/oder ultravioletten Bereich des elektromagnetischen Spektrums emittieren.
  • Vorzugsweise wird jedoch ein Festkörperlaser eingesetzt, insbesondere ein Nd:YAG-Laser. Selbstverständlich kann der verwendetet Laser sowohl gepulst als auch kontinuierlich betrieben werden.
  • Der Laser kann dabei bevorzugt mit einer Leistung im Bereich von 1 W bis 60 W, bevorzugt 1 W bis 20 W, ganz besonders bevorzugt 2 W bis 6 W betrieben werden.
  • Dabei ist es bevorzugt, wenn der Laserstrahl mit einer Geschwindigkeit von 10 mm/s bis 10 m/s, bevorzugt 100 mm/s bis 2 m/s, ganz besonders bevorzugt 200 mm/s bis 600 mm/s über das Substrat geführt wird.
  • Dabei muss die Laserenergie so gewählt und mit der Geschwindigkeit des Laserstrahls über das Substrat so kombiniert werden, dass einerseits das Pulver ausreichend gesintert wird, so dass ein ausreichender Kontakt entsteht und andererseits keine signifikante Schädigung der darunterliegenden Solarzellenstruktur eintritt.
  • Ein weiterer Vorteil des Verfahrens ist darin zu sehen, dass das nicht versinterte Material in Schritt c) wieder eingesammelt werden kann, beispielsweise durch Absaugen, Einsammeln, Abspülen oder Abschütteln. Somit garantiert das Verfahren eine hohe Materialeffizienz sowie die Möglichkeit von Recycling von nicht verwendeten Materialien. Dies ist sowohl unter ökologischem als auch ökonomischem Aspekt als vorteilhaft anzusehen.
  • Um eine bessere Leitfähigkeit zu erreichen, ist es vorteilhaft, wenn im Anschluss an Verfahrensschritt c) eine Verstärkung der elektrischen Kontakte durch weitere Auftragung von Metall erfolgt.
  • Dabei ist es günstig, wenn die Auftragung durch ein galvanisches Verfahren erfolgt. Besonders vorteilhaft ist es dabei, wenn das galvanisch aufgetragene Metall ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Kupfer, Silber und/oder Mischungen hieraus.
  • Auf diese Art und Weise entsteht die Möglichkeit, elektrische Kontakte auf ein halbleitendes Substrat aufzubringen, welche einen guten elektrischen Kontakt zum jeweiligen halbleitenden Element, beispielsweise Silizium, aufweisen, aber eine nicht so hohe Leitfähigkeit besitzen. Somit ist es weiterhin möglich, die mittels Laser gesinterten elektrischen Kontakte im Hinblick auf Kontaktwiderstand und Haftfestigkeit zu optimieren, während die darauf aufgalvanisierte Schicht für eine hohe Leitfähigkeit sorgt. Vorteilhafterweise werden die galvanisierten Kontakte im Anschluss bei Temperaturen von beispielsweise 250 bis 400°C gesintert, um den Kontaktwiderstand weiter abzusenken.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn nach abgeschlossener Herstellung der elektrischen Kontakte, was ggf. auch eine galvanische Auftragung von weiteren Metallen auf die Kontakte beinhaltet, das halbleitende Substrat mit einer Beschichtung überzogen wird.
  • Dabei ist die Beschichtung vorteilhafterweise eine Antireflexbeschichtung. Die Beschichtung kann selbstverständlich auch wiederum aus einzelnen Schichtfolgen aufgebaut sein.
  • Als vorteilhafte Materialien kommen dabei Materialien ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Siliziumcarbid und/oder Mischungen hieraus in Frage.
  • Erfindungsgemäß wird ebenso ein Substrat bereitgestellt, das nach dem erfindungsgemäßen Verfahren, wie im vorangegangenen beschrieben, hergestellt werden kann.
  • Insbesondere kann das Substrat eine Solarzelle sein.
  • Ebenso ist es erfindungsgemäß, das Verfahren zum Aufbringen von mindestens einem elektrischen Kontakt auf einem Substrat anzuwenden.
  • Das Verfahren wird im folgenden anhand der abgebildeten 1 bis 4 verdeutlicht, ohne das Verfahren auf die dort dargestellten speziellen Ausführungsformen einschränken zu wollen.
  • Dabei zeigen
  • 1 eine Solarzelle mit aufgetragener Pulverschicht 4, nach Ausführung von Verfahrensschritt a),
  • 2 eine Solarzelle mit auf gesinterten Kontakten 5 nach Ausführung von Verfahrensschritt b),
  • 3 eine Solarzelle mit aufgesinterten Kontakten nach Ausführung von Verfahrensschritt c) und
  • 4 eine Solarzelle mit aufgesinterten Kontakten 5 sowie aufgalvanisierten Kontakten 6.
  • In 1 ist eine Solarzelle dargestellt, die aus einer positiv dotierten Siliziumschicht (p-Schicht) 1, einer negativ dotierten Siliziumschicht (n-Schicht) 2 sowie einer Antireflexschicht 3 aufgebaut ist. Darauf aufgebracht ist ein metallisches Pulver 4. Somit entspricht das Bild dem Zustand, wie er nach dem Schritt a) des erfindungsgemäßen Verfahrens vorliegt.
  • In 2 ist die gleiche Solarzelle dargestellt, das Bild entspricht dem Zustand nach dem Verfahrensschritt b), in dem eine Laserversinterung und/oder Verschmelzen des metallischen Pulvers 4 zu metallischen Kontakten 5 erfolgt ist. Durch die Verwendung von Laserstrahlen ist somit eine äußerst präzise Versinterung bzw. ein Verschmelzen des metallischen Pulvers möglich. In 2 ist ebenso erkennbar, dass bei Durchführen des Verfahrensschritts b), der Laserversinterung, eine gleichzeitige Durchbrechung der Antireflexschicht 3 erfolgt, so dass in diesem Verfahrensschritt eine gleichzeitige Versinterung sowie eine in Kontaktbringung des elektrischen Kontakts 5 mit der negativ dotierten Schicht 2 der Solarzelle möglich ist. Somit können auch auf bereits durchgehend vorbeschichtete Substrate nachträglich äußerst effizient lokal begrenzte und beliebig strukturierte Leiterschichten, die mit einer darunterliegenden, elektrisch leitfähigen Schicht der Solarzelle in Kon takt gebracht werden können, aufgebracht werden.
  • 3 zeigt den Zustand der Solarzelle nach Durchführen des Verfahrensschrittes c), bei dem überschüssiges Metallpulver wieder von der Solarzelle abgetragen wurde.
  • 4 zeigt die zusätzlichen metallischen Kontakte 6, die in dieser Ausführungsform schlüssig über die durch das Lasersinterverfahren aufgebrachten metallischen Kontakte 5 in diesem Fall durch Galvanisierung aufgebracht wurden.

Claims (34)

  1. Verfahren zum Aufbringen von mindestens einem elektrischen Kontakt auf ein halbleitendes Substrat, wobei sukzessiv folgende Schritte ausgeführt werden: a) Aufbringen einer Schicht eines metallischen Pulvers auf das Substrat, b) Führen eines Laserstahls über das Substrat zum lokalen Versintern und/oder Verschmelzen des metallischen Pulvers c) Entfernen des nicht versinterten und/oder verschmolzenen metallischen Pulvers.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat eine Solarzelle ist.
  3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der aufgebrachte Kontakt eine Dicke von 10 nm bis 20 μm, bevorzugt von 10 nm und 3 μm, ganz besonders bevorzugt von 80 nm und 200 nm hat.
  4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest Schritt b) in einer inerten Atmosphäre oder im Vakuum ausgeführt wird.
  5. Verfahren nach vorhergehendem Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die inerte Atmosphäre Gase, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Stickstoff, Argon, N2H2 (Formiergas) und/oder Mischungen hieraus enthält.
  6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mit einem beschichteten Substrat gearbeitet wird.
  7. Verfahren nach vorhergehendem Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung eine Antireflexbeschichtung ist.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung aus einzelnen Schichtfolgen aufgebaut ist.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung und/oder die einzelnen Schichtfolgen der Beschichtung ausgewählt ist aus der Gruppe aus Materialien bestehend aus Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Siliziumcarbid und/oder Mischungen hieraus.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass in Verfahrensschritt b) die Beschichtung während des Versinterns und/oder Verschmelzens des metallischen Pulvers durchbrochen wird und der elektrische Kontakt somit auf das halbleitende Substrat aufgebracht wird.
  11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das metallische Pulver Metalle, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Nickel, Wolfram, Chrom, Molybdän, Magnesium, Silber, Kobalt, Cadmium, Titan, Palladium und/oder Mischungen hieraus enthält.
  12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Größe der Partikel des Pulvers von 1 nm bis 100 μm, bevor zugt von 100 nm bis 10 μm, ganz besonders bevorzugt von 500 nm bis 2 μm beträgt.
  13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Pulverschicht in Schritt a) von 1 μm bis 1 mm, bevorzugt zwischen 200 μm bis 800 μm, ganz besonders bevorzugt zwischen 500 μm bis 800 μm liegt.
  14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem Metallpulver mindestens ein Zusatzstoff zugesetzt ist.
  15. Verfahren nach vorhergehendem Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Zusatzstoff ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Glasfritten, wie z.B. Bleiborsilikat oder Glas; organischen Verbindungen; Dotierstoffe für n- oder p-Typ dotierte Bereiche, wie z.B. Phosphor- oder Borpulvern und/oder Mischungen hieraus.
  16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser im infraroten, sichtbaren und/oder ultravioletten Bereich des elektromagnetischen Spektrums emittiert.
  17. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser ein Festkörperlaser ist.
  18. Verfahren nach vorhergehendem Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Festkörperlaser ein Nd:YAG-Laser ist.
  19. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser mit einer Leistung in einem Bereich von 1 W bis 60 W, bevorzugt 1 W bis 20 W, ganz besonders bevorzugt 2 W bis 6 W betrieben wird.
  20. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dass der Laserstrahl mit einer Geschwindigkeit von 10 mm/s bis 10 m/s, bevorzugt 100 mm/s bis 2 m/s, ganz besonders bevorzugt 200 mm/s bis 600 mm/s über das Substrat geführt wird.
  21. Verfahren nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserleistung und/oder die Geschwindigkeit des Laserstrahls so ausgewählt werden, dass bei der Versinterung und/oder Verschmelzen eine Beschädigung des Substrates vermieden wird.
  22. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Entfernen des Pulvers durch Absaugen, Einsammeln, Abspülen und/oder Abschütten erfolgt.
  23. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Anschluss an die bisherigen Verfahrensschritte eine Verstärkung der elektrischen Kontakte durch weitere Auftragung von Metall erfolgt.
  24. Verfahren nach vorhergehendem Anspruch, dass die Auftragung galvanisch erfolgt.
  25. Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass das Metall ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Kupfer, Silber und/oder Mischungen hieraus.
  26. Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass das Metall nach Auftragung gesintert wird.
  27. Verfahren nach vorhergehendem Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass das Sintern bei Temperaturen von 250°C bis 400°C erfolgt.
  28. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass nach Schritt c) eine Beschichtung des Substrats erfolgt.
  29. Verfahren nach vorhergehendem Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung eine Antireflexbeschichtung ist.
  30. Verfahren nach einem der Ansprüche 28 bis 29, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung aus einzelnen Schichtfolgen aufgebaut ist.
  31. Verfahren nach einem der Ansprüche 28 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung ausgewählt ist aus der Gruppe aus Materialien bestehend aus Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Siliziumcarbid und/oder Mischungen hieraus.
  32. Halbleitendes Substrat, mit mindestens einem elektrischen Kontakt, hergestellt nach einem Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
  33. Substrat nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat eine Solarzelle ist.
  34. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 31 zum Aufbringen von mindestens einem elektrischen Kontakt auf einem Substrat.
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