JP2014203964A - アンダーフィル用接着フィルム、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム、ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルム及び半導体装置 - Google Patents

Abstract

【課題】シート用アンダーフィル材において、可とう性を損なわずに、ガラス転移温度を高められるアンダーフィル用接着フィルムを提供する。【解決手段】数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂、数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂、及びエラストマーを含む樹脂成分を含み、前記樹脂成分中の前記エポキシ樹脂の含有量が５〜５０重量％であり、前記フェノール樹脂の含有量が５〜５０重量％であり、前記エラストマーの含有量が１０〜４０重量％であるアンダーフィル用接着フィルム。前記フェノール樹脂の水酸基当量が２００ｇ／ｅｑ以上である。【選択図】なし

Description

本発明は、アンダーフィル用接着フィルム、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム、ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルム及び半導体装置に関する。

フリップチップ実装の半導体パッケージの製造において、半導体チップと基板を電気的に接続した後に、半導体チップと基板の間の空間に液状のアンダーフィル材を充填することがある（特許文献１）。

しかしながら、近年、半導体チップのバンプ狭ピッチ化がすすみ、液状のアンダーフィル材を用いる充填方法では、バンプ形成面の凹凸を充填することが難しく、ボイド（気泡）が発生する場合がある。そこで、シート状のアンダーフィル材を用いて半導体チップと基板との間の空間を充填する技術が提案されている（特許文献２）。

特許第４４３８９７３号 特許第４８０２９８７号

シート状のアンダーフィル材には可とう性が要求されるが、可とう性を高めようとすると、ガラス転移温度が低下し、熱的信頼性が低下する。一方、アンダーフィル用接着フィルムの熱的信頼性を高めようとすると、可とう性が低下してしまい、加工性などが低下してしまう。

本発明は前記問題点に鑑みなされたものであり、可とう性を損なわずに、高い熱的信頼性を得ることができるアンダーフィル用接着フィルムを提供することを目的とする。

本発明は、数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂、数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂、及びエラストマーを含む樹脂成分を含み、前記樹脂成分中の前記エポキシ樹脂の含有量が５〜５０重量％であり、前記フェノール樹脂の含有量が５〜５０重量％であるアンダーフィル用接着フィルムに関する。

本発明では、数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂（比較的高分子量のフェノール樹脂）を特定量配合するためガラス転移温度を高めることができ、数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂（比較的低分子量のエポキシ樹脂）を特定量配合するため良好な可とう性が得られる。さらに、エラストマーを配合することにより、可とう性を保持しつつ、粘度を保持することができる。

前記フェノール樹脂の水酸基当量が２００ｇ／ｅｑ以上であることが好ましい。２００ｇ／ｅｑ以上であると、架橋点間の距離が大きくなり熱硬化による収縮が抑制され、半導体素子の熱的信頼性を向上させることができる。

前記フェノール樹脂が、式（Ｉ）で表される骨格を含むことが好ましい。

（式中、ｎは整数を表す。）
これにより、ガラス転移点を保持できるため、さらに熱的信頼性を向上できる。

前記エポキシ樹脂が、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂又はビスフェノールＦ型エポキシ樹脂であることが好ましい。これにより、可とう性を向上させつつ良好な熱的信頼性を得ることができる。

前記樹脂成分中の前記エラストマーの含有量が１０〜４０重量％であることが好ましい。エラストマーの含有量が前記範囲内であると、可とう性を保持しつつ、高い熱的信頼性を得ることができる。

前記エラストマーがアクリル樹脂であることが好ましい。これにより、電気的信頼性を保持しつつ、耐熱性と可とう性を向上させることができる。

前記アンダーフィル用接着フィルムについて４０〜１００℃において粘度を測定した場合に、２００００Ｐａ・ｓ以下となる温度があることが好ましい。２００００Ｐａ・ｓ以下となる温度があると、被着体の凹凸に対して空隙なく充填することが可能になる。また、１００〜２００℃における最低粘度が１００Ｐａ・ｓ以上であることが好ましい。１００Ｐａ・ｓ以上であると、接着フィルムからのアウトガスによるボイドの発生を抑制することができる。

前記アンダーフィル用接着フィルム中に無機充填剤を３０〜７０重量％含むことが好ましい。無機充填剤の含有量が３０重量％以上とすることにより、熱硬化物の特性を向上させ、熱的信頼性を向上させることができる。また、７０重量％以下とすることにより、良好な可とう性が得られるとともに、バンプ形成面の凹凸を良好に埋め込みできる。

本発明はまた、前記アンダーフィル用接着フィルム及び裏面研削用テープを備え、前記裏面研削用テープ上に前記アンダーフィル用接着フィルムが設けられている裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムに関する。アンダーフィル用接着フィルムと裏面研削用テープとを一体的に用いることにより、製造効率を向上できる。

本発明はまた、前記アンダーフィル用接着フィルム及びダイシングテープを備え、前記ダイシングテープ上に前記アンダーフィル用接着フィルムが設けられているダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルムに関する。アンダーフィル用接着フィルムとダイシングテープとを一体的に用いることにより、製造効率を向上できる。

本発明はまた、前記アンダーフィル用接着フィルムを用いて作製した半導体装置に関する。
本発明はまた、前記裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いて作製した半導体装置に関する。
本発明はまた、ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いて作製した半導体装置に関する。

裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムの断面模式図である。 裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法の一工程を示す図である。 裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法の一工程を示す図である。 裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法の一工程を示す図である。 裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法の一工程を示す図である。 裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法の一工程を示す図である。 裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法の一工程を示す図である。 裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法の一工程を示す図である。 ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルムの断面模式図である。 ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法の一工程を示す図である。 ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法の一工程を示す図である。 ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法の一工程を示す図である。 ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法の一工程を示す図である。

［アンダーフィル用接着フィルム］
本発明のアンダーフィル用接着フィルムは、数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂、数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂、及びエラストマーを含む樹脂成分を含む。

本発明では、数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂（比較的高分子量のフェノール樹脂）を特定量配合するためガラス転移温度を高めることができ、数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂（比較的低分子量のエポキシ樹脂）を特定量配合するため良好な可とう性が得られる。さらに、エラストマーを配合することにより、可とう性を保持しつつ、粘度を保持することができる。

エポキシ樹脂の数平均分子量は６００以下であり、５００以下が好ましく、４００以下がより好ましい。６００以下であるので、良好な可とう性が得られる。エポキシ樹脂の数平均分子量の下限は特に限定されず、例えば、３００以上である。

なお、数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロトマトグラフィー法（ＧＰＣ）による測定値を基に標準ポリスチレン換算により求めたものである。ゲルパーミエーションクロマトグラフィーは、ＴＳＫ Ｇ２０００Ｈ ＨＲ、Ｇ３０００Ｈ ＨＲ、Ｇ４０００Ｈ ＨＲ、及びＧＭＨ−Ｈ ＨＲの４本のカラム（いずれも東ソー株式会社製）を直列に接続して使用し、溶雛液にテトラヒドロフランを用いて、流速１ｍｌ／分、温度４０℃、サンプル濃度０．１重量％テトラヒドロフラン溶液、サンプル注入量５００μｌの条件で行い、検出器には示差屈折計を用いる。

数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂のエポキシ当量は特に限定されないが、１００ｇ／ｅｑ以上が好ましく、１５０ｇ／ｅｑ以上がより好ましい。１００ｇ／ｅｑ未満であると、架橋点が密になることにより、硬化収縮により熱的信頼性が得られなくなる可能性がある。エポキシ当量の上限は、５００ｇ／ｅｑ以下が好ましく、３００ｇ／ｅｑ以下がより好ましい。１０００ｇ／ｅｑを超えると、架橋点が疎になることにより、十分な熱的信頼性が得られなくなる可能性がある。

数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型、臭素化ビスフェノールＡ型、水添ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＡＦ型、ビフェニル型、ナフタレン型、フルオンレン型、フェノールノボラック型、オルソクレゾールノボラック型、トリスヒドロキシフェニルメタン型、テトラフェニロールエタン型などの二官能エポキシ樹脂や多官能エポキシ樹脂、又はヒダントイン型、トリスグリシジルイソシアヌレート型若しくはグリシジルアミン型などのエポキシ樹脂が用いられる。これらは単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。なかでも、常温での粘度が低く取扱い性が良好であるという理由から、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂が好ましい。

樹脂成分中の数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂の含有量は、５重量％以上であり、好ましくは６重量％以上である。５重量％以上であるので、良好な可とう性が得られる。一方、樹脂成分中の数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂の含有量は、５０重量％以下であり、好ましくは２０重量％以下、より好ましくは１０重量％以下である。５０重量％以下であるので、シートのタックが抑制され取扱い性が向上する。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムは、数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂を含む。フェノール樹脂の数平均分子量は、１０００以上が好ましく、１２００以上がより好ましい。一方、フェノール樹脂の数平均分子量の上限は特に限定されないが、１００００以下が好ましい。１００００以下であると、有機溶剤に対して溶解性が向上し、生産性を向上させることができる。

数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂の水酸基当量は特に限定されないが、好ましくは２００ｇ／ｅｑ以上である。２００ｇ／ｅｑ以上であると、架橋点間の距離が大きくなり熱硬化による収縮が抑制され、半導体素子の熱的信頼性を向上させることができる。水酸基当量の上限は特に限定されないが、５００ｇ／ｅｑ以下が好ましい。

数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ｔｅｒｔ−ブチルフェノールノボラック樹脂、ノニルフェノールノボラック樹脂などのノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、ポリパラオキシスチレンなどのポリオキシスチレンなどが挙げられる。これらは単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。なかでも、熱的信頼性という点からフェノールアラルキル樹脂が好ましく、式（Ｉ）で表される骨格を含むものがより好ましい。
い。

（式中、ｎは整数を表す。）

樹脂成分中の数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂の含有量は、５重量％以上であり、好ましくは１０重量％以上、さらに好ましくは２０重量％以上である。５重量％以上であるので、高い熱的信頼性が得られる。一方、樹脂成分中の数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂の含有量は、５０重量％以下であり、好ましくは４０重量％以下である。５０重量％以下であるので、良好な可とう性が得られる。

エラストマーとしては特に限定されないが、電気信頼性と耐熱性という点から、アクリル樹脂が好ましい。

アクリル樹脂としては、特に限定されるものではなく、炭素数３０以下、特に炭素数４〜１８の直鎖若しくは分岐のアルキル基を有するアクリル酸又はメタクリル酸のエステルの１種又は２種以上を成分とする重合体などが挙げられる。前記アルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、イソブチル基、アミル基、イソアミル基、へキシル基、へプチル基、シクロヘキシル基、２−エチルヘキシル基、オクチル基、イソオクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ラウリル基、トリデシル基、テトラデシル基、ステアリル基、オクタデシル基、又はドデシル基などが挙げられる。

また、前記重合体を形成する他のモノマーとしては、特に限定されるものではなく、例えばアクリロニトリルのようなシアノ基含有モノマー、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマール酸若しくはクロトン酸などの様なカルボキシル基含有モノマー、無水マレイン酸若しくは無水イタコン酸などの様な酸無水物モノマー、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル若しくは（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）−メチルアクリレートなどの様なヒドロキシル基含有モノマー、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート若しくは（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などの様なスルホン酸基含有モノマー、又は２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどの様な燐酸基含有モノマーが挙げられる。

エラストマーの重量平均分子量は特に限定されないが、好ましくは１０万以上、より好ましくは３０万以上である。１０万以上であると、良好な可とう性を付与できる。一方、エラストマーの重量平均分子量は、好ましくは８０万以下、より好ましくは５０万以下である。

樹脂成分中のエラストマーの含有量は、好ましくは１０重量％以上であり、より好ましくは１５重量％以上である。１０重量％以上であると、良好な可とう性が得られる。一方、樹脂成分中のエラストマーの含有量は、好ましくは５０重量％以下であり、より好ましくは４０重量％以下であり、さらに好ましくは３５重量％以下である。４０重量％以下であると、良好な熱的信頼性が得られる。

数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂、数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂、及びエラストマー以外に、他の樹脂成分を配合してもよい。他の樹脂成分としては、例えば、数平均分子量が６００を超えるエポキシ樹脂、数平均分子量が５００以下のフェノール樹脂などが挙げられる。なかでも、数平均分子量が１０００以上のエポキシ樹脂が好ましい。数平均分子量が１０００以上のエポキシ樹脂を配合することにより、硬化物物性が向上し、熱的信頼性が向上する。

数平均分子量が１０００以上のエポキシ樹脂としては、数平均分子量が１５００以上のエポキシ樹脂好ましい。一方、数平均分子量の上限は特に限定されないが、１００００以下が好ましい。１００００以下であると、有機溶剤に対する溶解性が向上し、生産性を向上させることができる。

数平均分子量が１０００以上のエポキシ樹脂としては、数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂で例示したタイプのエポキシ樹脂を使用できる。

樹脂成分中の数平均分子量が１０００以上のエポキシ樹脂の含有量は、好ましくは１０重量％以上、より好ましくは２０重量％以上である。１０重量％以上であるので、硬化物物性が向上し、熱的信頼性が向上する。一方、樹脂成分中の数平均分子量が１０００以上のエポキシ樹脂の含有量は、好ましくは４０重量％以下、より好ましくは３０重量％以下である。４０重量％以下であるので、可とう性が保持できる。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムは、硬化促進触媒を含むことが好ましい。これにより、エポキシ樹脂（数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂、数平均分子量が６００を超えるエポキシ樹脂など）とフェノール樹脂（数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂、数平均分子量が５００以下のフェノール樹脂など）の硬化を促進できる。硬化促進触媒としては、特に制限されず、公知の硬化促進触媒の中から適宜選択して用いることができる。硬化促進触媒としては、例えば、アミン系硬化促進剤、リン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、ホウ素系硬化促進剤、リン−ホウ素系硬化促進剤などを用いることができる。なかでも、イミダゾール系硬化促進剤が好ましく、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾールがより好ましい。

硬化促進触媒の含有量は、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂の合計含有量１００重量部に対して、好ましくは０．１重量部以上である。０．１重量部以上であると、熱処理による硬化時間が短くなり生産性を向上させることができる。また、熱硬化促進触媒の含有量は、好ましくは５重量部以下である。５重量部以下であると、熱硬化性樹脂の保存性が向上させることができる。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムは、無機充填剤を含むことが好ましい。これにより、耐熱性を向上できる。無機充填剤としては、石英ガラス、タルク、シリカ（溶融シリカや結晶性シリカなど）、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素、窒化ホウ素の粉末などが挙げられる。なかでも、絶縁性に優れ、熱膨張率が小さいという点から、シリカが好ましく、溶融シリカがより好ましい。

無機充填剤の平均粒子径は、好ましくは０．０１μｍ以上であり、より好ましくは０．０５μｍ以上、さらに好ましくは０．５μｍ以上である。０．０１μｍ以上であると、フィラーの表面積による可とう性への影響を抑制することができる。無機充填剤の平均粒子径は好ましくは１０μｍ以下であり、より好ましくは１μｍ以下である。１０μｍ以下であると、半導体素子と基板の間のギャップに良好に充填できる。
なお、平均粒子径は、光度式の粒度分布計（ＨＯＲＩＢＡ製、装置名；ＬＡ−９１０）により求めた値である。

アンダーフィル用接着フィルム中の無機充填剤の含有量は、好ましくは３０重量％以上、さらに好ましくは３５重量％以上である。３０重量％以上であると、高温時のフィルム粘度を良好な範囲に調整できる。また、アンダーフィル用接着フィルム中の無機充填剤の含有量は、好ましくは７０重量％以下、より好ましくは５０重量％以下である。７０重量％以下であると、良好な可とう性が得られるとともに、バンプ形成面の凹凸を良好に埋め込みできる。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムには、はんだバンプの表面の酸化膜を除去して半導体素子の実装を容易にするために、フラックスを添加してもよい。フラックスとしては特に限定されず、従来公知のフラックス作用を有する化合物を用いることができ、例えば、オルトアニス酸、ジフェノール酸、アジピン酸、アセチルサリチル酸、安息香酸、ベンジル酸、アゼライン酸、ベンジル安息香酸、マロン酸、２，２−ビス（ヒドロキシメチル）プロピオン酸、サリチル酸、ｏ−メトキシ安息香酸、ｍ−ヒドロキシ安息香酸、コハク酸、２，６−ジメトキシメチルパラクレゾール、安息香酸ヒドラジド、カルボヒドラジド、マロン酸ジヒドラジド、コハク酸ジヒドラジド、グルタル酸ジヒドラジド、サリチル酸ヒドラジド、イミノジ酢酸ジヒドラジド、イタコン酸ジヒドラジド、クエン酸トリヒドラジド、チオカルボヒドラジド、ベンゾフェノンヒドラゾン、４，４’−オキシビスベンゼンスルホニルヒドラジド及びアジピン酸ジヒドラジドなどが挙げられる。フラックスの添加量はフラックス作用が発揮される程度であればよく、通常、アンダーフィル用接着フィルムに含まれる樹脂成分１００重量部に対して０．１〜２０重量部程度である。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムは、必要に応じて着色されていても良い。着色により呈している色としては特に制限されないが、例えば、黒色、青色、赤色、緑色などが好ましい。着色に際しては、顔料、染料などの公知の着色剤の中から適宜選択して用いることができる。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムを予めある程度架橋をさせておく場合には、作製に際し、重合体の分子鎖末端の官能基などと反応する多官能性化合物を架橋剤として添加させておいてもよい。架橋剤としては、例えば、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ｐ−フェニレンジイソシアネート、１，５−ナフタレンジイソシアネート、多価アルコールとジイソシアネートの付加物などのポリイソシアネート化合物などが挙げられる。

なお、本発明のアンダーフィル用接着フィルムには、必要に応じて他の添加剤を適宜に配合することができる。他の添加剤としては、例えば難燃剤、シランカップリング剤、イオントラップ剤などが挙げられる。難燃剤としては、例えば、三酸化アンチモン、五酸化アンチモン、臭素化エポキシ樹脂などが挙げられる。シランカップリング剤としては、例えば、β−（３、４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシランなどが挙げられる。イオントラップ剤としては、例えばハイドロタルサイト類、水酸化ビスマスなどが挙げられる。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムは、例えば、以下のようにして作製される。まず、アンダーフィル用接着フィルムの形成材料である前記各成分を配合し、溶媒（例えば、メチルエチルケトン、酢酸エチルなど）に溶解ないし分散させて塗布液を調製する。次に、調製した塗布液を基材セパレータ上に所定厚みとなる様に塗布して塗布膜を形成した後、該塗布膜を乾燥させ、アンダーフィル用接着フィルムを形成する。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムの厚さは、半導体素子と被着体との間のギャップや接続部材の高さを考慮して適宜設定すればよい。厚さは１０〜１００μｍが好ましい。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムは、４０〜１００℃において粘度を測定した場合に、２００００Ｐａ・ｓ以下となる温度がある。２００００Ｐａ・ｓ以下となる温度があると、半導体素子や被着体に対する埋まり性が向上し、ボイドのない半導体素子を得ることができる。

２００００Ｐａ・ｓ以下となる温度は、数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂の含有量、数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂の含有量、エラストマーの種類、エラストマーの含有量、エラストマーの分子量、無機充填剤の含有量などによりコントロールできる。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムは、１００〜２００℃における最低粘度が１００Ｐａ・ｓ以上が好ましく、５００Ｐａ・ｓ以上がより好ましい。１００Ｐａ・ｓ以上であると、フィルムのアウトガスによるボイドの発生を抑制することができる。１００〜２００℃における最低粘度の上限は特に限定されないが、好ましくは１００００Ｐａ・ｓ以下である。１００００Ｐａ・ｓ以下であると、被着体の凹凸に対する埋まり性が向上する。

１００〜２００℃における最低粘度は、数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂の含有量、数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂の含有量、エラストマーの含有量、無機充填剤の含有量などによりコントロールできる。例えば、エラストマーの含有量を増大すること、無機充填剤の含有量を増大することにより、１００〜２００℃における最低粘度を高められる。

なお、粘度は、レオメーターを用いて測定できる。具体的には、実施例に記載の方法により測定できる。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムは、セパレータにより保護されていることが好ましい。セパレータは、実用に供するまでアンダーフィル用接着フィルムを保護する保護材としての機能を有している。セパレータはアンダーフィル用接着フィルム上に半導体素子を貼着する際に剥がされる。セパレータとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン、ポリプロピレンや、フッ素系剥離剤、長鎖アルキルアクリレート系剥離剤などの剥離剤により表面コートされたプラスチックフィルムや紙なども使用可能である。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムで半導体素子と被着体との間の空間を充填することにより、半導体素子の接続部材と被着体の導電材との接合部を保護できる。半導体素子としては、半導体ウェハ、半導体チップ、半導体パッケージなどが挙げられる。被着体としては、配線回路基板、フレキシブル基板、インターポーザー、半導体ウェハ、半導体素子などが挙げられる。接続部材の材質としては、錫−鉛系金属材、錫−銀系金属材、錫−銀−銅系金属材、錫−亜鉛系金属材、錫−亜鉛−ビスマス系金属材などのはんだ類（合金）、金系金属材、銅系金属材などが挙げられる。導電材の材質としては、導電性のあるものであれば特に限定されず、例えば、銅などが挙げられる。

本発明のアンダーフィル用接着フィルムは、裏面研削用テープ又はダイシングテープと一体化して使用できる。これにより、半導体装置を効率よく製造できる。

［裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム］
本発明の裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムは、裏面研削用テープと、前述のアンダーフィル用接着フィルムとを備える。

図１は、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０の断面模式図である。図１に示すように、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０は、裏面研削用テープ１と、アンダーフィル用接着フィルム２とを備える。裏面研削用テープ１は、基材１ａ及び粘着剤層１ｂを備え、粘着剤層１ｂは基材１ａ上に設けられている。アンダーフィルフィルム２は粘着剤層１ｂ上に設けられている。
なお、アンダーフィル用接着フィルム２は、図１に示したように裏面研削用テープ１の全面に積層されていなくてもよく、半導体ウェハ３（図２Ａ参照）との貼り合わせに十分なサイズで設けられていればよい。

（裏面研削用テープ）
裏面研削用テープ１は、基材１ａと、基材１ａ上に積層された粘着剤層１ｂとを備えている。

上記基材１ａは裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０の強度母体となるものである。例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロレン、ポリブテン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル（ランダム、交互）共重合体、エチレン−ブテン共重合体、エチレン−ヘキセン共重合体、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミド、全芳香族ポリアミド、ポリフェニルスルフイド、アラミド（紙）、ガラス、ガラスクロス、フッ素樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、セルロース系樹脂、シリコーン樹脂、金属（箔）、紙などが挙げられる。粘着剤層１ｂが紫外線硬化型である場合、基材１ａは紫外線に対し透過性を有するものが好ましい。

上記基材１ａは、同種又は異種のものを適宜に選択して使用することができ、必要に応じて数種をブレンドしたものを用いることができる。基材１ａの表面には、慣用の表面処理を施すことができる。基材１ａには、帯電防止能を付与するため、上記の基材１ａ上に金属、合金、これらの酸化物などからなる厚さが３０〜５００Å程度の導電性物質の蒸着層を設けることができる。基材１ａは単層又は２種以上の複層でもよい。

基材１ａの厚さは適宜に決定でき、一般的には５μｍ以上２００μｍ以下程度であり、好ましくは３５μｍ以上１２０μｍ以下である。

なお、基材１ａには、各種添加剤（例えば、着色剤、充填剤、可塑剤、老化防止剤、酸化防止剤、界面活性剤、難燃剤など）が含まれていてもよい。

粘着剤層１ｂの形成に用いる粘着剤は、半導体ウェハの裏面研削時に半導体ウェハを保持でき、裏面研削後に半導体ウェハから剥離できるものであれば特に制限されない。例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤などの一般的な感圧性接着剤を用いることができる。上記感圧性接着剤としては、半導体ウェハやガラスなどの汚染をきらう電子部品の超純水やアルコールなどの有機溶剤による清浄洗浄性などの点から、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤が好ましい。

上記アクリル系ポリマーとしては、アクリル酸エステルを主モノマー成分として用いたものが挙げられる。上記アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル（例えば、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ−ブチルエステル、ｔ−ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、２−エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、エイコシルエステルなどのアルキル基の炭素数１〜３０、特に炭素数４〜１８の直鎖状又は分岐鎖状のアルキルエステルなど）及び（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル（例えば、シクロペンチルエステル、シクロヘキシルエステルなど）の１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマーなどが挙げられる。なお、（メタ）アクリル酸エステルとはアクリル酸エステル及び／又はメタクリル酸エステルをいい、本発明の（メタ）とは全て同様の意味である。

上記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性などの改質を目的として、必要に応じ、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル又はシクロアルキルエステルと共重合可能な他のモノマー成分に対応する単位を含んでいてもよい。このようなモノマー成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸などの酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー；アクリルアミド、アクリロニトリルなどがあげられる。これら共重合可能なモノマー成分は、１種又は２種以上使用できる。これら共重合可能なモノマーの使用量は、全モノマー成分の４０重量％以下が好ましい。

さらに、上記アクリル系ポリマーは、架橋させるため、多官能性モノマーなども、必要に応じて共重合用モノマー成分として含むことができる。このような多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレートなどがあげられる。これらの多官能性モノマーも１種又は２種以上用いることができる。多官能性モノマーの使用量は、粘着特性などの点から、全モノマー成分の３０重量％以下が好ましい。

上記アクリル系ポリマーは、単一モノマー又は２種以上のモノマー混合物を重合に付すことにより得られる。重合は、溶液重合、乳化重合、塊状重合、懸濁重合などの何れの方式で行うこともできる。清浄な被着体への汚染防止などの点から、低分子量物質の含有量が小さいのが好ましい。この点から、アクリル系ポリマーの数平均分子量は、好ましくは３０万以上、さらに好ましくは４０万〜３００万程度である。

また、上記粘着剤には、ベースポリマーであるアクリル系ポリマーなどの数平均分子量を高めるため、外部架橋剤を適宜に採用することもできる。外部架橋方法の具体的手段としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン系架橋剤などのいわゆる架橋剤を添加し反応させる方法があげられる。外部架橋剤を使用する場合、その使用量は、架橋すべきベースポリマーとのバランスにより、さらには、粘着剤としての使用用途によって適宜決定される。一般的には、上記ベースポリマー１００重量部に対して、５重量部程度以下、さらには０．１〜５重量部配合するのが好ましい。さらに、粘着剤には、必要により、上記成分のほかに、従来公知の各種の粘着付与剤、老化防止剤などの添加剤を用いてもよい。

粘着剤層１ｂは放射線硬化型粘着剤により形成することができる。放射線硬化型粘着剤は、紫外線などの放射線の照射により架橋度を増大させてその粘着力を容易に低下させることができ、ピックアップを容易に行うことができる。放射線としては、Ｘ線、紫外線、電子線、α線、β線、中性子線などが挙げられる。

放射線硬化型粘着剤は、炭素−炭素二重結合などの放射線硬化性の官能基を有し、かつ粘着性を示すものを特に制限なく使用することができる。放射線硬化型粘着剤としては、例えば、上記アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤などの一般的な感圧性粘着剤に、放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合した添加型の放射線硬化性粘着剤を例示できる。

配合する放射線硬化性のモノマー成分としては、例えば、ウレタンオリゴマー、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリストールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレートなどがあげられる。また放射線硬化性のオリゴマー成分はウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系など種々のオリゴマーがあげられ、その重量平均分子量が１００〜３００００程度の範囲のものが適当である。放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分の配合量は、上記粘着剤層の種類に応じて、粘着剤層の粘着力を低下できる量を、適宜に決定することができる。一般的には、粘着剤を構成するアクリル系ポリマーなどのベースポリマー１００重量部に対して、例えば５〜５００重量部、好ましくは４０〜１５０重量部程度である。

また、放射線硬化型粘着剤としては、上記説明した添加型の放射線硬化性粘着剤のほかに、ベースポリマーとして、炭素−炭素二重結合をポリマー側鎖または主鎖中もしくは主鎖末端に有するものを用いた内在型の放射線硬化性粘着剤があげられる。内在型の放射線硬化性粘着剤は、低分子成分であるオリゴマー成分などを含有する必要がなく、または多くは含まないため、経時的にオリゴマー成分などが粘着剤在中を移動することなく、安定した層構造の粘着剤層を形成することができるため好ましい。

上記炭素−炭素二重結合を有するベースポリマーは、炭素−炭素二重結合を有し、かつ粘着性を有するものを特に制限なく使用できる。このようなベースポリマーとしては、アクリル系ポリマーを基本骨格とするものが好ましい。アクリル系ポリマーの基本骨格としては、上記例示したアクリル系ポリマーがあげられる。

上記アクリル系ポリマーへの炭素−炭素二重結合の導入法は特に制限されず、様々な方法を採用できるが、炭素−炭素二重結合はポリマー側鎖に導入するのが分子設計が容易である。例えば、予め、アクリル系ポリマーに官能基を有するモノマーを共重合した後、この官能基と反応しうる官能基および炭素−炭素二重結合を有する化合物を、炭素−炭素二重結合の放射線硬化性を維持したまま縮合または付加反応させる方法があげられる。

これら官能基の組合せの例としては、カルボン酸基とエポキシ基、カルボン酸基とアジリジル基、ヒドロキシル基とイソシアネート基などがあげられる。これら官能基の組合せのなかでも反応追跡の容易さから、ヒドロキシル基とイソシアネート基との組合せが好適である。また、これら官能基の組み合わせにより、上記炭素−炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーを生成するような組合せであれば、官能基はアクリル系ポリマーと上記化合物のいずれの側にあってもよいが、上記の好ましい組み合わせでは、アクリル系ポリマーがヒドロキシル基を有し、上記化合物がイソシアネート基を有する場合が好適である。この場合、炭素−炭素二重結合を有するイソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネート、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、ｍ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネートなどがあげられる。また、アクリル系ポリマーとしては、上記例示のヒドロキシ基含有モノマーや２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルのエーテル系化合物などを共重合したものが用いられる。

上記内在型の放射線硬化性粘着剤は、上記炭素−炭素二重結合を有するベースポリマー（特にアクリル系ポリマー）を単独で使用することができるが、特性を悪化させない程度に上記放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合することもできる。放射線硬化性のオリゴマー成分などは、通常ベースポリマー１００重量部に対して３０重量部の範囲内であり、好ましくは０〜１０重量部の範囲である。

上記放射線硬化型粘着剤には、紫外線などにより硬化させる場合には光重合開始剤を含有させることが好ましい。光重合開始剤としては、例えば、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、α−ヒドロキシ−α，α´−ジメチルアセトフェノン、２−メチル−２−ヒドロキシプロピオフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどのα−ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフエノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）−フェニル］−２−モルホリノプロパン−１などのアセトフェノン系化合物；ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテルなどのベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタールなどのケタール系化合物；２−ナフタレンスルホニルクロリドなどの芳香族スルホニルクロリド系化合物；１−フェノン−１，１―プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシムなどの光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３′−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２−クロロチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２，４−ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジクロロチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソンなどのチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフィノキシド；アシルホスフォナートなどがあげられる。光重合開始剤の配合量は、粘着剤を構成するアクリル系ポリマーなどのベースポリマー１００重量部に対して、例えば０．０５〜２０重量部程度である。

なお、放射線照射の際に、酸素による硬化阻害が起こる場合は、放射線硬化型の粘着剤層１ｂの表面よりなんらかの方法で酸素（空気）を遮断するのが望ましい。例えば、上記粘着剤層１ｂの表面をセパレータで被覆する方法や、窒素ガス雰囲気中で紫外線などの放射線の照射を行う方法などが挙げられる。

なお、粘着剤層１ｂには、各種添加剤（例えば、着色剤、増粘剤、増量剤、充填剤、粘着付与剤、可塑剤、老化防止剤、酸化防止剤、界面活性剤、架橋剤など）が含まれていてもよい。

粘着剤層１ｂの厚さは特に限定されないが、チップ切断面の欠け防止、アンダーフィル用接着フィルム２の固定保持の両立性などの観点から１〜５０μｍ程度であるのが好ましい。好ましくは２〜３０μｍ、さらには好ましくは５〜２５μｍである。

（裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムの製造方法）
裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０は、例えば裏面研削用テープ１及びアンダーフィル用接着フィルム２を別々に作製しておき、最後にこれらを貼り合わせることにより作成することができる。

（裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法）
次に、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０を用いる半導体装置の製造方法について説明する。図２は、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０を用いる半導体装置の製造方法の各工程を示す図である。
具体的には、当該半導体装置の製造方法は、半導体ウェハ３の接続部材４が形成された回路面３ａと裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０のアンダーフィル用接着フィルム２とを貼り合わせる貼合せ工程、半導体ウェハ３の裏面３ｂを研削する研削工程、半導体ウェハ３の裏面３ｂにダイシングテープ１１を貼りつけるウェハ固定工程、裏面研削用テープ１を剥離する剥離工程、半導体ウェハ３をダイシングしてアンダーフィル用接着フィルム２付き半導体チップ５を形成するダイシング工程、及びアンダーフィル用接着フィルム２付き半導体チップ５をダイシングテープ１１から剥離するピックアップ工程、被着体６と半導体チップ５の間の空間をアンダーフィル用接着フィルム２で充填しつつ接続部材４を介して半導体チップ５と被着体６とを電気的に接続する接続工程、及びアンダーフィル用接着フィルム２を硬化させる硬化工程を含む。

＜貼合せ工程＞
貼合せ工程では、半導体ウェハ３の接続部材４が形成された回路面３ａと裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０のアンダーフィル用接着フィルム２とを貼り合わせる（図２Ａ参照）。

半導体ウェハ３の回路面３ａには、複数の接続部材４が形成されている（図２Ａ参照）。接続部材４の高さは用途に応じて定められ、一般的には１５〜１００μｍ程度である。もちろん、半導体ウェハ３における個々の接続部材４の高さは同一でも異なっていてもよい。

半導体ウェハ３表面に形成された接続部材４の高さＸ（μｍ）とアンダーフィル用接着フィルム２の厚さＹ（μｍ）とが、下記の関係を満たすことが好ましい。
０．５≦Ｙ／Ｘ≦２

接続部材４の高さＸ（μｍ）とアンダーフィル用接着フィルム２の厚さＹ（μｍ）とが上記関係を満たすことにより、半導体チップ５と被着体６との間の空間を十分に充填することができると共に、当該空間からのアンダーフィル用接着フィルム２の過剰のはみ出しを防止することができ、アンダーフィル用接着フィルム２による半導体チップ５の汚染などを防止することができる。なお、各接続部材４の高さが異なる場合は、最も高い接続部材４の高さを基準とする。

まず、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０のアンダーフィル用接着フィルム２上に任意に設けられたセパレータを適宜に剥離し、図２Ａに示すように、半導体ウェハ３の接続部材４が形成された回路面３ａとアンダーフィル用接着フィルム２とを対向させ、アンダーフィル用接着フィルム２と半導体ウェハ３とを貼り合わせる（マウント）。

貼り合わせの方法は特に限定されないが、圧着による方法が好ましい。圧着の圧力は、好ましくは０．１ＭＰａ以上、より好ましくは０．２ＭＰａ以上である。０．１ＭＰａ以上であると、半導体ウェハ３の回路面３ａの凹凸を良好に埋め込むことができる。また、圧着の圧力の上限は特に限定されないが、好ましくは１ＭＰａ以下、より好ましくは０．５ＭＰａ以下である。

貼り合わせの温度は、好ましくは６０℃以上であり、より好ましくは７０℃以上である。６０℃以上であると、アンダーフィル用接着フィルム２の粘度が低下し、半導体ウェハ３の凹凸を空隙なく充填できる。また、貼り合わせの温度は、好ましくは１００℃以下であり、より好ましくは８０℃以下である。１００℃以下であると、アンダーフィル用接着フィルム２の硬化反応を抑制したまま貼り合わせが可能となる。

貼り合わせは、減圧下で行うことが好ましく、例えば、１０００Ｐａ以下、好ましくは５００Ｐａ以下である。下限は特に限定されず、例えば、１Ｐａ以上である。

＜研削工程＞
研削工程では、半導体ウェハ３の回路面３ａとは反対側の面（すなわち、裏面）３ｂを研削する（図２Ｂ参照）。半導体ウェハ３の裏面研削に用いる薄型加工機としては特に限定されず、例えば研削機（バックグラインダー）、研磨パッドなどを例示できる。また、エッチングなどの化学的方法にて裏面研削を行ってもよい。裏面研削は、半導体ウェハ３が所望の厚さ（例えば、７００〜２５μｍ）になるまで行われる。

＜ウェハ固定工程＞
研削工程後、半導体ウェハ３の裏面３ｂにダイシングテープ１１を貼りつける（図２Ｃ参照）。なお、ダイシングテープ１１は、基材１１ａ上に粘着剤層１１ｂが積層された構造を有する。基材１１ａ及び粘着剤層１１ｂとしては、裏面研削用テープ１の基材１ａ及び粘着剤層１ｂの項で示した成分及び製法を用いて好適に作製することができる。

＜剥離工程＞
次いで、裏面研削用テープ１を剥離する（図２Ｄ参照）。これにより、アンダーフィル用接着フィルム２が露出した状態となる。

裏面研削用テープ１を剥離する際、粘着剤層１ｂが放射線硬化性を有する場合には、粘着剤層１ｂに放射線を照射して粘着剤層１ｂを硬化させることで、剥離を容易に行うことができる。放射線の照射量は、用いる放射線の種類や粘着剤層の硬化度などを考慮して適宜設定すればよい。

＜ダイシング工程＞
ダイシング工程では、図２Ｅに示すように半導体ウェハ３及びアンダーフィル用接着フィルム２をダイシングしてダイシングされたアンダーフィル用接着フィルム２付き半導体チップ５を形成する。ダイシングは、半導体ウェハ３のアンダーフィル用接着フィルム２を貼り合わせた回路面３ａから常法に従い行われる。例えば、ダイシングテープ１１まで切込みを行うフルカットと呼ばれる切断方式などを採用できる。本工程で用いるダイシング装置としては特に限定されず、従来公知のものを用いることができる。

なお、ダイシング工程に続いてダイシングテープ１１のエキスパンドを行う場合、該エキスパンドは従来公知のエキスパンド装置を用いて行うことができる。

＜ピックアップ工程＞
図２Ｆに示すように、アンダーフィル用接着フィルム２付き半導体チップ５をダイシングテープ１１から剥離する（アンダーフィル用接着フィルム２付き半導体チップ５をピックアップする）。ピックアップの方法としては特に限定されず、従来公知の種々の方法を採用できる。

ここでピックアップは、ダイシングテープ１１の粘着剤層１１ｂが紫外線硬化型の場合、粘着剤層１１ｂに紫外線を照射した後に行う。これにより、粘着剤層１１ｂの半導体チップ５に対する粘着力が低下し、半導体チップ５の剥離が容易になる。

＜接続工程＞
接続工程では、被着体６と半導体チップ５の間の空間をアンダーフィル用接着フィルム２で充填しつつ接続部材４を介して半導体チップ５と被着体６とを電気的に接続する（図２Ｇ参照）。具体的には、半導体チップ５に形成されている接続部材４を、被着体６の接続パッドに被着された接合用の導電材７に接触させて押圧しながら導電材７を溶融させることにより、半導体チップ５と被着体６とを電気的に接続する。半導体チップ５の回路面３ａにはアンダーフィル用接着フィルム２が貼り付けられているので、半導体チップ５と被着体６との電気的接続と同時に、半導体チップ５と被着体６との間の空間がアンダーフィル用接着フィルム２により充填されることになる。

接続工程における加熱条件は特に限定されないが、通常、加熱条件は１００〜３００℃であり、加圧条件は０．５〜５００Ｎである。

なお、接続工程での熱圧着処理を多段階で行ってもよい。多段階で熱圧着処理を行うことにより、接続部材４と導電材７間の樹脂を効率よく除去し、より良好な金属間接合を得ることが出来る。

＜硬化工程＞
半導体チップ５と被着体６との電気的接続を行った後は、アンダーフィル用接着フィルム２を加熱により硬化させる。これにより、半導体チップ５と被着体６との間の接続信頼性を確保できる。アンダーフィル用接着フィルム２の硬化のための加熱温度としては特に限定されず、例えば、１５０〜２００℃で１０〜１２０分間である。なお、接続工程における加熱処理によりアンダーフィル用接着フィルムを硬化させてもよい。

＜封止工程＞
次に、実装された半導体チップ５を備える半導体装置３０全体を保護するために封止工程を行ってもよい。封止工程は、封止樹脂を用いて行われる。このときの封止条件としては特に限定されないが、通常、１７５℃で６０秒間〜９０秒間の加熱を行うことにより、封止樹脂の熱硬化が行われるが、本発明はこれに限定されず、例えば１６５℃〜１８５℃で、数分間キュアすることができる。

封止樹脂としては、絶縁性を有する樹脂（絶縁樹脂）が好ましく、公知の封止樹脂から適宜選択して用いることができる。

＜半導体装置＞
半導体装置３０では、半導体チップ５と被着体６とが、半導体チップ５上に形成された接続部材４及び被着体６上に設けられた導電材７を介して電気的に接続されている。また、半導体チップ５と被着体６との間には、その空間を充填するようにアンダーフィル用接着フィルム２が配置されている。

［ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルム］
本発明のダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルムは、ダイシングテープと、前述のアンダーフィル用接着フィルムとを備える。

図３は、ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルム５０の断面模式図である。図３に示すように、ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルム５０は、ダイシングテープ４１と、アンダーフィル用接着フィルム４２とを備える。
ダイシングテープ４１は基材４１ａ及び粘着剤層４１ｂを備え、粘着剤層４１ｂは基材４１ａ上に設けられている。アンダーフィルフィルム４２は粘着剤層４１ｂ上に設けられている。
なお、アンダーフィル用接着フィルム４２は、図３に示したようにダイシングテープ４１の全面に積層されていなくてもよく、半導体ウェハ４３（図４Ａ参照）との貼り合わせに十分なサイズで設けられていればよい。

ダイシングテープ４１は、基材４１ａと、基材４１ａ上に積層された粘着剤層４１ｂとを備えている。基材４１ａとしては、基材１ａで例示したものを使用できる。粘着剤層４１ｂとしては、粘着剤層１ｂで例示したものを使用できる。

（ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いる半導体装置の製造方法）
次に、ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルム５０を用いる半導体装置の製造方法について説明する。図４は、ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルム５０を用いる半導体装置の製造方法の各工程を示す図である。具体的には、当該半導体装置の製造方法は、接続部材４４を有する回路面が両面に形成された半導体ウェハ４３とダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルム５０のアンダーフィル用接着フィルム４２とを貼り合わせる貼合せ工程、半導体ウェハ４３をダイシングしてアンダーフィル用接着フィルム４２付き半導体チップ４５を形成するダイシング工程、アンダーフィル用接着フィルム４２付き半導体チップ４５をダイシングテープ４１から剥離するピックアップ工程、被着体４６と半導体チップ４５の間の空間をアンダーフィル用接着フィルム４２で充填しつつ接続部材４４を介して半導体チップ４５と被着体４６とを電気的に接続する接続工程、及びアンダーフィル用接着フィルム４２を硬化させる硬化工程を含む。

＜貼合せ工程＞
貼合せ工程では、図４Ａに示すように、接続部材４４を有する回路面が両面に形成された半導体ウェハ４３とダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルム５０のアンダーフィル用接着フィルム４２とを貼り合わせる。なお、通常、半導体ウェハ４３の強度は弱いことから、補強のために半導体ウェハ４３をサポートガラスなどの支持体に固定することがある（図示せず）。この場合は、半導体ウェハ４３とアンダーフィル用接着フィルム４２との貼り合わせ後に、支持体を剥離する工程を含んでいてもよい。半導体ウェハ４３のいずれの回路面とアンダーフィル用接着フィルム４２とを貼り合わせるかは、目的とする半導体装置の構造に応じて変更すればよい。

半導体ウェハ４３の両面の接続部材４４同士は電気的に接続されていてもよく、接続されていなくてもよい。接続部材４４同士の電気的接続には、ＴＳＶ形式と呼ばれるビアを介しての接続による接続などが挙げられる。貼り合わせ条件としては、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０の貼合せ工程で例示した条件を採用できる。

＜ダイシング工程＞
ダイシング工程では、半導体ウェハ４３及びアンダーフィル用接着フィルム４２をダイシングしてアンダーフィル用接着フィルム４２付き半導体チップ４５を形成する（図４Ｂ参照）。ダイシング条件としては、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０のダイシング工程で例示した条件を採用できる。

＜ピックアップ工程＞
ピックアップ工程では、アンダーフィル用接着フィルム４２付き半導体チップ４５をダイシングテープ４１から剥離する（図４Ｃ）。
ピックアップ条件としては、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０のピックアップ工程で例示した条件を採用できる。

＜接続工程＞
接続工程では、被着体４６と半導体チップ４５の間の空間をアンダーフィル用接着フィルム４２で充填しつつ接続部材４４を介して半導体チップ４５と被着体４６とを電気的に接続する（図４Ｄ参照）。具体的な接続方法は、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０の接続工程で説明した内容と同様である。接続工程の加熱条件としては、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０で例示した条件を採用できる。

＜硬化工程及び封止工程＞
硬化工程及び封止工程は、裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム１０の硬化工程及び封止工程で説明した内容と同様である。これにより、半導体装置６０を製造することができる。

以下に、この発明の好適な実施例を例示的に詳しく説明する。但し、この実施例に記載されている材料や配合量などは、特に限定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

以下、実施例及び比較例で使用した各種成分について、まとめて説明する。
アクリル樹脂：根上工業株式会社製のパラクロンＷ−１９７ＣＭ（アクリル酸エチル−メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー、Ｍｗ：４０００００）
エポキシ樹脂１：三菱化学株式会社製のｊＥＲ１００４（ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、Ｍｎ：１６５０、エポキシ当量：８７５〜９７５ｇ／ｅｑ）
エポキシ樹脂２：三菱化学株式会社製のｊＥＲ８２８（ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、Ｍｎ：３７０、エポキシ当量：１８４〜１９４ｇ／ｅｑ）
フェノール樹脂１：明和化成株式会社製のＭＥＨ−７８５１ＳＳ（式（Ｉ）で表される骨格を含む樹脂、Ｍn：５５０、水酸基当量：２０２ｇ／ｅｑ）
フェノール樹脂２：明和化成株式会社製のＭＥＨ−７８５１−４Ｈ（式（Ｉ）で表される骨格を含む樹脂、Ｍｎ：１２３０、水酸基当量：２４２ｇ／ｅｑ）
フェノール樹脂３：明和化成株式会社製のＭＥＨ−７５００（トリフェニルメタン型フェノール樹脂、Ｍｎ：４９０、水酸基当量：９７ｇ／ｅｑ）
シリカフィラー：球状シリカ（商品名「ＳＯ−２５Ｒ」、平均粒子径：５００ｎｍ（０．５μｍ）、株式会社アドマテックス製）
有機酸：東京化成株式会社製のオルトアニス酸
イミダゾール触媒：四国化成株式会社製の２ＰＨＺ−ＰＷ（２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール）

［接着フィルムの作製］
表１に示す配合比に従い、各成分をメチルエチルケトンに溶解して、固形分濃度が２３．６重量％となる接着剤組成物の溶液を調製した。

この接着剤組成物の溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させることにより、厚さ４５μｍの接着フィルムを作製した。

得られた接着フィルムについて、以下の評価を行った。結果を表１に示す。

［可とう性］
厚さ４５μｍの接着フィルムを長さ３ｍ、幅３３０ｍｍにスリットし、３インチ径のポリプロピレン製の巻き芯に巻きつけたときに、接着フィルムに割れが生じない場合を○と評価し、割れが生じた場合を×と評価した。

［ガラス転移温度（Ｔｇ）］
まず、接着フィルムを１７５℃で１時間の加熱処理により熱硬化させ、その後厚さ２００μｍ、長さ４０ｍｍ（測定長さ）、幅１０ｍｍの短冊状にカッターナイフで切り出し、固体粘弾性測定装置（ＲＳＡＩＩＩ、レオメトリックサイエンティフィック（株）製）を用いて、−５０〜３００℃における貯蔵弾性率及び損失弾性率を測定した。測定条件は、周波数１Ｈｚ、昇温速度１０℃／ｍｉｎとした。さらに、ｔａｎδ（Ｇ’’（損失弾性率）／Ｇ’（貯蔵弾性率））の値を算出することによりガラス転移温度を得た。

（粘度の測定）
接着フィルムの最低溶融粘度の測定は、レオメーター（ＨＡＡＫＥ社製、ＲＳ−１）を用いて、パラレルプレート法により測定した値である。より詳細には、ギャップ１００μｍ、回転プレート直径２０ｍｍ、回転速度５ｓ^−１、昇温速度１０℃／分の条件にて、４０℃から２００℃の範囲で溶融粘度を測定し、その際に得られる４０℃〜１００℃の範囲、及び１００℃〜２００℃の範囲での溶融粘度の最低値をそれぞれの温度範囲での最低溶融粘度とした。

［熱的信頼性］
（１）ダイシングテープ一体型接着フィルムの作製
接着フィルムを、ダイシングテープ（商品名「Ｖ−８−Ｔ」日東電工株式会社製）の粘着剤層上に、ハンドローラーを用いて貼り合せ、ダイシングテープ一体型接着フィルムを作製した。
（２）半導体パッケージの作製
片面にバンプが形成されている片面バンプ付き半導体ウェハを用意し、この片面バンプ付き半導体ウェハのバンプ形成面に、ダイシングテープ一体型接着フィルムを貼り付けた。片面バンプ付き半導体ウェハとしては、以下のものを用いた。また、貼り付け条件は以下の通りである。アンダーフィル材の厚さＹ（＝４５μｍ）の接続部材の高さＸ（＝４５μｍ）に対する比（Ｙ／Ｘ）は、１であった。

・片面バンプ付き半導体ウェハ
半導体ウェハの直径：８インチ
半導体ウェハの厚さ：０．２ｍｍ（研削装置「ＤＦＧ−８５６０ ディスコ株式会社製」を用いて０．７ｍｍから０．２ｍｍに裏面研削したもの）
バンプの高さ：４５μｍ
バンプのピッチ：５０μｍ
・貼り付け条件
貼り付け装置：商品名「ＤＳＡ８４０−ＷＳ」日東精機株式会社製
貼り付け速度：５ｍｍ／ｍｉｎ
貼り付け圧力：０．２５ＭＰａ
貼り付け時のステージ温度：８０℃
貼り付け時の真空度：１５０Ｐａ

貼り付け後、下記条件にて半導体ウェハのダイシングを行った。ダイシングは７．３ｍｍ角のチップサイズとなる様にフルカットした。
・ダイシング条件
ダイシング装置：商品名「ＤＦＤ−６３６１」ディスコ社製
ダイシングリング：「２−８−１」（ディスコ社製）
ダイシング速度：３０ｍｍ／ｓｅｃ
ダイシングブレード：
Ｚ１；ディスコ社製「２０３Ｏ−ＳＥ ２７ＨＣＤＤ」
Ｚ２；ディスコ社製「２０３Ｏ−ＳＥ ２７ＨＣＢＢ」
ダイシングブレード回転数：
Ｚ１；４０，０００ｒｐｍ
Ｚ２；４５，０００ｒｐｍ
カット方式：ステップカット
ウェハチップサイズ：７．３ｍｍ角

次に、ダイシングテープの基材側からニードルによる突き上げ方式で、接着フィルムと片面バンプ付き半導体チップとの積層体（接着フィルム付き半導体チップ）をピックアップした。
次いで、半導体チップのバンプ形成面とＢＧＡ基板とを対向させた状態で、半導体チップをＢＧＡ基板に熱圧着して半導体チップの実装を行った。なお、実装条件は以下の通りであり、実装条件１で処理した後、実装条件２で処理した。これにより、半導体チップがＢＧＡ基板に実装された半導体パッケージを得た。

・実装条件１
熱圧着装置：商品名「ＦＣＢ−３」パナソニック製
加熱温度：１５０℃
荷重：１０ｋｇ
保持時間：１０秒
・実装条件２
熱圧着装置：商品名「ＦＣＢ−３」パナソニック製
加熱温度：２６０℃
荷重：１０ｋｇ
保持時間：１０秒

（３）熱的信頼性の評価
以上の方法により、実施例及び比較例に係る半導体パッケージを各１０サンプル作成し、−５５℃〜１２５℃を３０分で１サイクルする熱サイクルを５００サイクル繰り返した後、半導体パッケージを包埋用エポキシ樹脂で包埋した。次いで、半導体パッケージをはんだ接合部が露出するように基板に垂直な方向で切断し、露出したはんだ接合部の断面を研磨した。その後、研磨したはんだ接合部の断面を光学顕微鏡（倍率：１０００倍）により観察し、はんだ接合部が破断していない場合を「○」、はんだ接合部が１サンプルでも破断していた場合を「×」として評価した。結果を表１に示す。

数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂（エポキシ樹脂２）、数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂（フェノール樹脂１、２）、及びアクリル樹脂を配合した実施例１、２では、良好な可とう性と、良好な熱的信頼性が得られた。
一方、エポキシ樹脂２を配合しなかった比較例２（実施例１のエポキシ樹脂２に代えてエポキシ樹脂１を配合した例）では、熱的信頼性が良好であったものの、可とう性が劣っていた。また、分子量が小さいフェノール樹脂３を配合した比較例１では、可とう性が良好であるものの、熱的信頼性が劣っていた。

１ 裏面研削用テープ
１ａ 基材
１ｂ 粘着剤層
２ アンダーフィル用接着フィルム
３ 半導体ウェハ
３ａ 半導体ウェハの回路面
３ｂ 半導体ウェハの回路面とは反対側の面
４ 接続部材（バンプ）
５ 半導体チップ
６ 被着体
７ 導通材
１０ 裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム
１１ ダイシングテープ
１１ａ 基材
１１ｂ 粘着剤層
３０ 半導体装置
４１ ダイシングテープ
４１ａ 基材
４１ｂ 粘着剤層
４２ アンダーフィル用接着フィルム
４３ 半導体ウェハ
４４ 接続部材（バンプ）
４５ 半導体チップ
４６ 被着体
４７ 導通材
５０ ダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルム
６０ 半導体装置

Claims (13)

1. 数平均分子量が６００以下のエポキシ樹脂、数平均分子量が５００を超えるフェノール樹脂、及びエラストマーを含む樹脂成分を含み、
   前記樹脂成分中の前記エポキシ樹脂の含有量が５〜５０重量％であり、前記フェノール樹脂の含有量が５〜５０重量％であるアンダーフィル用接着フィルム。
2. 前記フェノール樹脂の水酸基当量が２００ｇ／ｅｑ以上である請求項１に記載のアンダーフィル用接着フィルム。
3. 前記フェノール樹脂が、式（Ｉ）で表される骨格を含む請求項１又は２に記載のアンダーフィル用接着フィルム。
   

   

   
   （式中、ｎは整数を表す。）
4. 前記エポキシ樹脂が、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂又はビスフェノールＦ型エポキシ樹脂である請求項１〜３のいずれかに記載のアンダーフィル用接着フィルム。
5. 前記樹脂成分中の前記エラストマーの含有量が１０〜４０重量％である請求項１〜４のいずれかに記載のアンダーフィル用接着フィルム。
6. 前記エラストマーがアクリル樹脂である請求項１〜５のいずれかに記載のアンダーフィル用接着フィルム。
7. ４０〜１００℃において粘度を測定した場合に、２００００Ｐａ・ｓ以下となる温度があり、
   １００〜２００℃における最低粘度が１００Ｐａ・ｓ以上である請求項１〜６のいずれかに記載のアンダーフィル用接着フィルム。
8. 前記アンダーフィル用接着フィルム中に無機充填剤を３０〜７０重量％含む請求項１〜７のいずれかに記載のアンダーフィル用接着フィルム。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載のアンダーフィル用接着フィルム及び裏面研削用テープを備え、
   前記裏面研削用テープ上に前記アンダーフィル用接着フィルムが設けられている裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルム。
10. 請求項１〜８のいずれかに記載のアンダーフィル用接着フィルム及びダイシングテープを備え、
    前記ダイシングテープ上に前記アンダーフィル用接着フィルムが設けられているダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルム。
11. 請求項１〜８のいずれかに記載のアンダーフィル用接着フィルムを用いて作製した半導体装置。
12. 請求項９に記載の裏面研削用テープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いて作製した半導体装置。
13. 請求項１０に記載のダイシングテープ一体型アンダーフィル用接着フィルムを用いて作製した半導体装置。
    
    

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