JP2014186775A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 電圧生成回路の不良を救済することが可能な半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】 第1のキャパシタC0は、第1、第2の端部を有し、第1の端部がクロック信号の入力端に接続されている。スペアとしての第2のキャパシタSC0は、第3、第4の端部を有し、入力端に接続されている。第1の選択ゲートX0は、第1のキャパシタの第2の端部と電圧生成回路の昇圧ノードとの間に接続されている。第2の選択ゲートSX0は、第2のキャパシタの第4の端部と電圧生成回路の昇圧ノードとの間に接続されている。第1、第2の選択ゲートは、電圧生成回路の出力電圧に基づき切り替えられる。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体記憶装置、例えば積層型NANDフラッシュメモリに関する。
NANDフラッシュメモリは、更なる微細化が困難となってきており、今までとは異なる方法でのコストダウン化が模索されてきている。その一つとして、積層型のNANDフラッシュメモリが開発されている。
Y. Komori, et al. 'Disturbless Flash Memory due to High Boost Efficiency on BiCS Structure and Optimal Memory Film Stack for Ultra High Density Storage Device', IEDM Technical Digest, pp851-854,2008
本実施形態は、電圧生成回路の不良を救済することが可能な半導体記憶装置を提供するものである。
本実施形態の半導体記憶装置は、第1、第2の端部を有し、第1の端部がクロック信号の入力端に接続された第1のキャパシタと、第3、第4の端部を有し、前記入力端に接続されたスペアとしての第2のキャパシタと、前記第1のキャパシタの前記第2の端部と前記電圧生成回路の昇圧ノードとの間に接続された第1の選択ゲートと、前記第2のキャパシタの前記第4の端部と前記電圧生成回路の昇圧ノードとの間に接続された第2の選択ゲートと、を具備し、前記第1、第2の選択ゲートは、前記電圧生成回路の出力電圧に基づき切り替えられることを特徴とする。
素子の微細化及び記憶容量の増大に伴い、三次元構造のBiCS((Bit-Cost Scalable)と称するNANDフラッシュメモリが開発されている。
NANDフラッシュメモリは、種々の電圧を必要とし、これら電圧は、電圧生成回路としてのチャージポンプ回路により生成される。チャージポンプ回路は、キャパシタをクロック信号により駆動し、電源電圧以上の電圧を出力するものである。
三次元構造のNANDフラッシュメモリは、ワード線を構成する複数の平板状の配線層が絶縁層を介在して配置されている。この複数の配線層をこのチャージポンプ回路のキャパシタに利用することが考えられている。
しかしながら、上記積層された複数の配線層は、配線層同士がショートし、不良が発生することがある。チャージポンプ回路に使われるキャパシタがショートし、不良が発生した場合、そのチャージポンプ回路は使用不可能となり致命的な欠陥となる。
そこで、本実施形態は、チャージポンプ回路の不良キャパシタを救済するため、キャパシタの冗長回路を提供する。
以下、実施の形態について、図面を参照して説明する。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係り、冗長回路を有するチャージポンプ回路11を示している。
図1は、第1の実施形態に係り、冗長回路を有するチャージポンプ回路11を示している。
このチャージポンプ回路11は、例えばレギュラーのキャパシタC0と、冗長回路を構成するスペアのキャパシタSC0と、これらキャパシタC0、SC0を切り替えるスイッチ、あるいは選択ゲートとしてのメモリセルX0とSX0を有している。
キャパシタC0とキャパシタSC0の各一端は、クロック信号CLKの供給ノードに接続されている。キャパシタC0の他端は、配線a0を介してメモリセルX0の一端に接続され、キャパシタSC0の他端は、配線sa0を介してメモリセルSX0の一端に接続されている。これらメモリセルX0、SX0の他端は、配線b0を介してチャージポンプ回路11の昇圧ノードN1に接続されている。
この昇圧ノードb0と電源Vddの供給ノードとの間には、例えばNMOSトランジスタT0が接続されている。このNMOSトランジスタT0のゲート電極は、電源Vddの供給ノードに接続されている。さらに、昇圧ノードb0とチャージポンプ回路11の出力ノードOUTとの間には、NMOSトランジスタT1が接続されている。このNMOSトランジスタT1のゲート電極は、昇圧ノードb0に接続されている。
(キャパシタとメモリセルの構成)
図2は、キャパシタC0、SC0と、メモリセルX0、SX0の構成を概略的に示しており、図1と同一部分には同一符号を付している。
図2は、キャパシタC0、SC0と、メモリセルX0、SX0の構成を概略的に示しており、図1と同一部分には同一符号を付している。
キャパシタC0、SC0は、メモリセルX0、SX0のワード線を構成する配線層(以下、ワード線とも言う)(WL0、WL7)と、(WL1、WL6)と、(WL2、WL5)と、(WL3、WL4)と、同層の配線層W01〜W33により構成されている。これら配線層(WL0、WL7)〜(WL3、WL4)3と、配線層W01〜W33は、それぞれ平板状であり、図示せぬ絶縁層を介在して積層されている。
キャパシタC0は配線層W01、W11により構成され、キャパシタSC0は配線層W21、W31により構成されている。この例において、配線層は4つのみを示しているが、これに限定されるものではなく、キャパシタC0、SC0として使用される配線層は、複数の配線層から選択可能である。
メモリセルC0、SC0は、後述するメモリセルアレイ内のメモリセルと同様に、ワード線(WL0、WL7)〜(WL3、WL4)を貫通する貫通孔内に形成されている。この例の場合、2つの貫通孔の底部が連結されたU字状とされている。2つの貫通孔に8つのワード線WL0〜WL7が配置されているため、8つのメモリセルを含むNANDストリングが構成されている。以下、このNANDストリングをそれぞれメモリセルC0、SC0と呼ぶ。
(メモリセルアレイの構成)
図3は、不揮発性半導体記憶装置としてのNANDフラッシュメモリ10の平面図を概略的に示している。
図3は、不揮発性半導体記憶装置としてのNANDフラッシュメモリ10の平面図を概略的に示している。
NANDフラッシュメモリ10は、メモリセルアレイ1、ロウデコーダ2、キャッシュ及びセンスアンプ3、周辺回路部4を含んでいる。ロウデコーダ2、キャッシュ及びセンスアンプ3、周辺回路部4は、後述する基板内に形成され、メモリセルアレイ1は、例えばキャッシュ及びセンスアンプ3の上方に形成されている。
チャージポンプ回路11は、例えばメモリセルアレイ1と周辺回路4に形成される。この場合、キャパシタC0、SC0は、例えばメモリセルアレイ1と周辺回路4との境界に位置する積層配線層が利用され、メモリセルX0、SX0は、メモリセルアレイ1内のメモリセルを利用することができる。トランジスタT0、T1は、周辺回路4内に形成される。
しかし、チャージポンプ回路11の形成位置は、これに限定されるものではない。例えばチャージポンプ回路11専用のメモリセルX0、SX0を形成する場合、キャパシタC0、SC0、及びメモリセルX0、SX0をメモリセルアレイ11の外部で、例えばロウデコーダ2の近傍に形成することも可能である。
積層された配線層は、メモリセルアレイ1を形成する場合、その周辺にも形成されている。すなわち、リソグラフィの干渉を防止するため、ダミーの配線層が形成されている。この配線層を用いてキャパシタC0、SC0、及びメモリセルX0、SX0を形成することができる。メモリセルX0、SX0は、メモリセルアレイ11のメモリセルと同一のサイズ、構成に限定されるものではなく、チャージポンプ回路専用のサイズ、構成とすることも可能である。
図4は、メモリセルアレイ1の概略構成を示している。メモリセルX0、SX0をメモリセルアレイ1内に形成する場合、図4に示すNANDストリングにより、メモリセルX0、SX0を構成することができる。
図4は、4層分だけ積層されたメモリセルMCを下端で折り返し、8個のメモリセルMCを直列接続することでNANDストリングNSを形成している。しかし、メモリセルの積層数、メモリセルの数は、これに限定されるものではない。
図3において、半導体基板SBには回路領域RAが設けられ、回路領域RA上にはメモリ領域RBが設けられている。
回路領域RAにおいて、半導体基板SB上には回路層CUが形成されている。回路層CUには、図3に示すロウデコーダ2、キャッシュ及びセンスアンプ3、周辺回路部4を構成する回路のうち全部又は一部を形成することができる。メモリセル領域RBには、図3のメモリセルアレイ1が形成される。
また、メモリセル領域RBにおいて、回路層CU上にはバックゲート層BGが形成され、バックゲート層BGには接続層CPが形成されている。接続層CP上には、柱状体MP1、MP2が隣接して配置され、柱状体MP1、MP2の下端は接続層CPを介して互いに接続されている。
また、接続層CP上には、4層分のワード線WL3〜WL0が順次積層されるとともに、ワード線WL3〜WL0にそれぞれ隣接するように4層分のワード線WL4〜WL7が順次積層されている。ワード線WL4〜WL7が柱状体MP1により貫かれるとともに、ワード線WL0〜WL3が柱状体MP2により貫かれることで、NANDストリングNSが構成されている。
また、柱状体MP1、MP2上には柱状体SP1、SP2がそれぞれ形成されている。
最上層のワード線WL7の上方には、柱状体SP1により貫かれたセレクトゲート電極SG1が形成され、最上層のワード線WL0の上方には、柱状体SP2により貫かれたセレクトゲート電極SG2が形成されている。
また、セレクトゲート電極SG2の上方には、柱状体SP2に接続されたソース線SLが設けられ、セレクトゲート電極SG1上方には、プラグPGを介して柱状体SP1に接続されたビット線BL1〜BL6がカラムごとに形成されている。なお、柱状体MP1、MP2は、ビット線BL1〜BL6とワード線WL0〜WL7との交点に配置することができる。
図5は、図4に示す点線E部分を拡大して示す断面図である。
図5において、ワード線WL0〜WL3とワード線WL4〜WL7との間には絶縁体ILが埋め込まれている。
ワード線WL0〜WL3間及びワード線WL4〜WL7間には層間絶縁膜45が形成されている。
また、ワード線WL0〜WL3及び層間絶縁膜45には、それらを積層方向に貫通する貫通孔KA2が形成され、ワード線WL4〜WL7及び層間絶縁膜45には、それらを積層方向に貫通する貫通孔KA1が形成されている。貫通孔KA1内には柱状体MP1が形成されるとともに、貫通孔KA2内には柱状体MP2が形成されている。
柱状体MP1、MP2の中心には柱状半導体41が形成されている。貫通孔KA1、KA2の内面と柱状半導体41との間にはトンネル絶縁膜42が形成され、貫通孔KA1、KA2の内面とトンネル絶縁膜42との間にはチャージトラップ層43が形成され、貫通孔KA1、KA2の内面とチャージトラップ層43との間にはブロック絶縁膜44が形成されている。
柱状半導体41は、例えば、ポリシリコンなどの半導体を用いて形成することができる。トンネル絶縁膜42及びブロック絶縁膜44は、例えば、シリコン酸化膜を用いて形成することができる。チャージトラップ層43は、例えば、シリコン窒化膜又はONO膜(シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコン酸化膜の3層積層構造)を用いて形成することができる。
図6(a)は、図3に示すNANDフラッシュメモリの周辺回路部を概略的に示す断面図、図6(b)は、図3に示すNANDフラッシュメモリのワード線引き出し部を概略的に示す断面図、図6(c)は、図4に示すA−A線に沿った断面図、図6(d)は、図4のB−B線に沿った断面図である。
図6(a)〜図6(d)において、メモリ領域RBの周辺には周辺領域RCが設けられている。なお、周辺領域RCには回路領域RAを設けることができる。また、メモリ領域RBには、メモリセル領域RB1及び引き出し領域RB2が設けられている。回路領域RAにおいて、半導体基板SBには素子分離領域としてのSTI(shallow trench isolation)31が形成され、STI31により分離されたアクティブ領域には拡散層32が形成され、拡散層32間のチャネル領域上にゲート電極33が配置されることでトランジスタが形成されている。
また、トランジスタが形成された半導体基板SB上には層間絶縁膜34が形成され、層間絶縁膜34にはプラグ35及び配線36が埋め込まれている。配線36上には層間絶縁膜37、40が形成されている。
また、メモリセル領域RB1において、層間絶縁膜40上には、バックゲート層BGが形成され、バックゲート層BGには接続層CPが形成されている。ワード線WL3〜WL0が層間絶縁膜45を介して順次積層されるとともに、ワード線WL4〜WL7が層間絶縁膜45を介して順次積層されている。
さらに、ワード線WL0上には層間絶縁膜46を介してセレクトゲート電極SG2が形成され、ワード線WL7上には層間絶縁膜46を介してセレクトゲート電極SG1が形成されている。また、セレクトゲート電極SG1、SG2間には層間絶縁膜47が埋め込まれている。
さらに、セレクトゲート電極SG2上には層間絶縁膜48を介してソース線SLが形成され、ソース線SLは層間絶縁膜49にて埋め込まれている。また、セレクトゲート電極SG1及びソース線SL上には層間絶縁膜50を介してビット線BL1が形成されている。
メモリセル領域RB1において、ビット線BL1〜BL4が設けられ、引き出し領域RB2において、例えばワード線WL4、WL5、WL6、WL7に接続される配線51、プラグ52、配線35が設けられている。
また、周辺領域RCにおいて、層間絶縁膜40上には層間絶縁膜61,62,68が形成されている。層間絶縁膜37、40、61、62、68には、プラグ64、66及び配線65、67が埋め込まれている。
(チャージポンプ回路のテスト動作)
図7を参照して、図1に示すチャージポンプ回路11のテスト動作について説明する。
図7を参照して、図1に示すチャージポンプ回路11のテスト動作について説明する。
チャージポンプ回路11のテストは、例えばNANDフラッシュメモリの製造後、テスタを用いて実行される。しかし、これに限らず、NANDフラッシュメモリのコントローラにテスト機能を持たせ、出荷後、チャージポンプ回路の出力電圧に不良が発生した場合にテストすることも可能である。
図7に示すように、先ず、メモリセルX0、SX0が消去される(S11)。消去動作は、例えばソース線SLを共有するストリング単位で実行することが可能である。例えば全てのワード線を接地電位とした状態において、昇圧ノードN1nに消去電圧が一定時間供給される。この消去動作により、メモリセルX0、SX0はオン状態に設定される。
尚、消去動作は、メモリセルX0、SX0をオン状態に設定できればよいため、消去の閾値電圧を厳密に制御する必要がない。このため、消去のベリファイは不要であり、キャッシュ及びセンスアンプ3を動作させる必要はない。
次に、スペアのメモリセルSX0がプログラムされる(S12)。本実施形態において、メモリセルX0、SX0は、選択ゲートとして機能すればよいため、厳密な閾値電圧の制御は必要でない。このため、メモリセルSX0のプログラム時、プログラムベリファイは、不要である。したがって、メモリセルSX0のプログラム時、キャッシュ及びセンスアンプ3を駆動させる必要はなく、ロウデコーダ2によりメモリセルSX0を選択し、ワード線WL0〜WL7の少なくとも1つにプログラム電圧を一定時間供給すればよい。
このプログラム動作により、メモリセルSX0の閾値電圧が所定のレベルに設定され、メモリセルSX0は、オフ状態に設定される。このため、スペアのキャパシタSC0は、チャージポンプ回路11から切り離され、チャージポンプ回路11の昇圧ノードN1には、オン状態のメモリセルX0を介して、キャパシタC0が接続される。
メモリセルSX0のプログラムが終了した後、チャージポンプ回路11が駆動され、チャージポンプ回路11の出力ノードOUTから出力される電圧が規定の電圧以上かどうかが判別される(S13)。すなわち、電源の供給ノードに電源Vddが供給され、クロック信号の供給ノードにクロック信号が供給され、チャージポンプ回路11が駆動される。図示せぬテスタは、出力ノードOUTから出力される電圧が規定の電圧以上かどうかを判別する。この結果、出力電圧が規定の電圧以上である場合、キャパシタC0が正常に機能していると判断され、テストが終了される。
一方、ステップS13において、出力電圧が規定の電圧に達していない場合、キャパシタC0にショートなどの不良があると判断される。
キャパシタC0が不良であると判断された場合、メモリセルX0、SX0が再度消去される(S14)。
この後、メモリセルX0がプログラムされる(S15)。すなわち、メモリセルX0がロウデコーダ2により選択され、ワード線WL0〜WL7の少なくとも1つにプログラム電圧が一定時間供給される。このプログラム動作により、メモリセルX0の閾値電圧が所定のレベルに設定され、メモリセルX0は、オフ状態に設定される。このため、キャパシタC0は、チャージポンプ回路11から切り離され、チャージポンプ回路11の昇圧ノードN1には、オン状態のメモリセルSX0を介して、スペアのキャパシタSC0が接続される。
メモリセルX0のプログラムが終了した後、チャージポンプ回路11が駆動され、チャージポンプ回路11の出力ノードOUTから出力される電圧が規定の電圧以上かどうかが判別される(S16)。すなわち、電源の供給ノードに電源Vddが供給され、クロック信号の供給ノードにクロック信号が供給され、チャージポンプ回路11が駆動される。図示せぬテスタは、出力ノードOUTから出力される電圧が規定の電圧以上かどうかを判別する。この結果、出力電圧が規定の電圧以上である場合、スペアのキャパシタSC0が正常に機能していると判断され、テストが終了される。
一方、ステップS16において、出力電圧が規定の電圧に達していない場合、スペアのキャパシタSC0もショートなどの不良があると判断される。この場合、キャパシタC0、及びスペアのキャパシタSC0も不良であるため、このチャージポンプ回路11は、冗長回路で救済不可能であり、テストは終了する。
上記第1の実施形態によれば、レギュラーのキャパシタC0とスペアのキャパシタSC0を設け、これらキャパシタC0とスペアのキャパシタSC0をメモリセルX0とメモリセルSX0により切り替え可能としている。このため、レギュラーのキャパシタC0が不良である場合、スペアのキャパシタSC0に切り替えることができるため、キャパシタC0の不良を救済でき、チャージポンプ回路及び半導体記憶装置の歩留まりを向上させることができる。
また、複数のワード線を構成する配線WL0〜WL7と同層の配線W01〜W31により、チャージポンプ回路11のレギュラーのキャパシタC0とスペアのキャパシタSC0を三次元に積層して形成している。しかも、これら配線W01〜W31は、ワード線を形成する際、リソグラフィの干渉を防止するため、形成されるダミー配線を利用することができる。このため、別途、キャパシタを設ける必要がないため、チップ面積の増大を防止できる。
しかも、レギュラーのキャパシタC0とスペアのキャパシタSC0を切り替えるための選択ゲートとしてメモリセルX0とSX0を用いている。メモリセルの代わりにトランジスタを用いた場合、トランジスタを制御するためのデータを記憶するROM(Read Only Memory)と、ROMから読み出された制御データを保持するレジスタが必要である。しかし、本実施形態のように、メモリセルを用いる場合、別途ROM、及びレジスタを設ける必要がない。このため、チップ面積を削減することが可能である。
さらに、ROM、及びレジスタを用いる場合、半導体記憶装置の起動時、パワーオンリセット動作の後、ROMから制御データを読み出してレジスタにセットする必要がある。しかし、本実施形態の場合、メモリセルX0、又はSX0に予めデータが書き込まれているため、パワーオンリセット動作の後、設定動作が不要であり、半導体記憶装置の起動速度を向上することが可能である。
(第2の実施形態)
図8は、第2の実施形態を示しており、第1の実施形態と同一部分には、同一符号を付し異なる部分についてのみ説明する。
図8は、第2の実施形態を示しており、第1の実施形態と同一部分には、同一符号を付し異なる部分についてのみ説明する。
第2の実施形態は、常時、例えば3つのキャパシタが動作するチャージポンプ回路の例を示しており、3つのレギュラーのキャパシタC0、C1、C2と、スペアのキャパシタSC0、及びこれらキャパシタC0、C1、C2、SC0を切り替える選択ゲートとしてのメモリセルX0、X1、X2、SX0を有している。
図8において、レギュラーキャパシタC1、C2の各一端は、クロック信号CLKの供給ノードに接続されている。キャパシタC1、C2の各他端は、配線a1、a2を介してメモリセルX1、X2の各一端に接続されている。これらメモリセルX1、X2の他端は、配線b0を介してチャージポンプ回路11の昇圧ノードN1に接続されている。
(チャージポンプ回路のテスト動作)
図9は、図8に示すチャージポンプ回路11のテスト動作を示している。このテスト動作は、図7に示テスト動作とほぼ同様である。
図9は、図8に示すチャージポンプ回路11のテスト動作を示している。このテスト動作は、図7に示テスト動作とほぼ同様である。
先ず、全てのメモリセルX0〜X2、SX0が消去され(S21)、この後、スペアのメモリセルSX0がプログラムされる(S22)。
次いで、キャパシタC0、C1、C2をメモリセルX0、X1、X2により昇圧ノードN1に接続した状態で、チャージポンプ回路11が駆動され、チャージポンプ回路11の出力ノードOUTから出力される電圧が規定の電圧以上かどうかが判別される(S23)。この結果、出力電圧が規定の電圧以上である場合、キャパシタC0、C1、C2が正常に機能していると判断され、テストが終了される。
一方、ステップS23において、出力電圧が規定の電圧に達していない場合、キャパシタC0、C1、C2のいずれかにショートなどの不良があると判断される。
キャパシタC0、C1、C2のいずれかが不良であると判断された場合、全メモリセルX0、X1、X2、SX0が再度消去される(S24)。
この後、メモリセルX0がプログラムされる(S25)。
メモリセルX0のプログラムが終了した後、チャージポンプ回路11が駆動され、チャージポンプ回路11の出力ノードOUTから出力される電圧が規定の電圧以上かどうかが判別される(S26)。この結果、出力電圧が規定の電圧以上である場合、レギュラーのキャパシタC1、C2、及びスペアのキャパシタSC0が正常に機能していると判断され、テストが終了される。
一方、ステップS26において、出力電圧が規定の電圧に達していない場合、キャパシタC1、C2、及びスペアのキャパシタSC0の何れかに不良があると判断される。
この場合、全メモリセルX0、X1、X2、SX0が再度消去され(S241)、この後、メモリセルX1がプログラムされる(S251)。次いで、チャージポンプ回路11が駆動され、チャージポンプ回路11の出力ノードOUTから出力される電圧が規定の電圧以上かどうかが判別される(S261)。この結果、出力電圧が規定の電圧以上である場合、レギュラーのキャパシタC0、C2、及びスペアのキャパシタSC0が正常に機能していると判断され、テストが終了される。
一方、ステップS261において、出力電圧が規定の電圧に達していない場合、キャパシタC0、C2、及びスペアのキャパシタSC0の何れかに不良があると判断される。
この場合、全メモリセルX0、X1、X2、SX0が再度消去され(S242)、この後、メモリセルX2がプログラムされる(S252)。次いで、チャージポンプ回路11が駆動され、チャージポンプ回路11の出力ノードOUTから出力される電圧が規定の電圧以上かどうかが判別される(S262)。この結果、出力電圧が規定の電圧以上である場合、レギュラーのキャパシタC0、C1、及びスペアのキャパシタSC0が正常に機能していると判断され、テストが終了される。
一方、ステップS262において、出力電圧が規定の電圧に達していない場合、救済不可能であると判断される。
上記第2の実施形態によっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
しかも、レギュラーのキャパシタが増加した場合においても、これらキャパシタは、積層して形成できるため、チップ面積の増大を抑制することが可能である。また、この場合、選択ゲートとしてのメモリセルの数が増加するが、メモリセルがチップに占める面積は、僅かであるため、チップ面積に影響はない。
(第3の実施形態)
図10は、第3の実施形態を示している。
図10は、第3の実施形態を示している。
上述したように、選択ゲートとしてメモリセルを用いる場合、メモリセルの微細化に伴い、セル電流が減少する傾向にある。このようにセル電流が減少した場合、クロック信号に伴い昇圧ノードN1の電位を高速に変化させることできず、チャージポンプ回路11の能力が低下する。
そこで、第3の実施形態は、複数のメモリセルを並列接続し、実質的なセル電流を増加することにより、チャージポンプ回路11の能力低下を防止する。
図10に示すように、例えばキャパシタC0の他端と昇圧ノードN1との間に複数のメモリセルX00、X01…X0mが並列接続され、キャパシタC1の他端と昇圧ノードN1との間に複数のメモリセルX10、X11…X1mが並列接続されている。さらに、キャパシタSC0の他端と昇圧ノードN1との間に複数のメモリセルSX00、SX01…SX0mが並列接続されている。
(チャージポンプ回路のテスト動作)
図11は、図10に示すチャージポンプ回路11のテスト動作を示している。このテスト動作は、図9に示テスト動作とほぼ同様である。
図11は、図10に示すチャージポンプ回路11のテスト動作を示している。このテスト動作は、図9に示テスト動作とほぼ同様である。
先ず、全てのメモリセルX00、X01…X0m、X10、X11…X1m、SX00、SX01…SX0mが消去され(S31)、この後、スペアのメモリセルSX00、SX01…SX0mがプログラムされる(S32)。
次いで、キャパシタC0、C1をメモリセルX00、X01…X0m、X10、X11…X1mにより昇圧ノードN1に接続した状態で、チャージポンプ回路11が駆動され、チャージポンプ回路11の出力ノードOUTから出力される電圧が規定の電圧以上かどうかが判別される(S33)。この結果、出力電圧が規定の電圧以上である場合、キャパシタC0、C1が正常に機能していると判断され、テストが終了される。
一方、ステップS33において、出力電圧が規定の電圧に達していない場合、キャパシタC0、C1のいずれかにショートなどの不良があると判断される。
キャパシタC0、C1のいずれかが不良であると判断された場合、全メモリセルX00、X01…X0m、X10、X11…X1m、SX00、SX01…SX0mが再度消去される(S34)。
この後、メモリセルX00、X01…X0mがプログラムされる(S35)。
メモリセルX00、X01…X0mのプログラムが終了した後、チャージポンプ回路11が駆動され、チャージポンプ回路11の出力ノードOUTから出力される電圧が規定の電圧以上かどうかが判別される(S36)。この結果、出力電圧が規定の電圧以上である場合、レギュラーのキャパシタC1及びスペアのキャパシタSC0が正常に機能していると判断され、テストが終了される。
一方、ステップS36において、出力電圧が規定の電圧に達していない場合、キャパシタC1、及びスペアのキャパシタSC0の何れかに不良があると判断される。
この場合、全メモリセルX00、X01…X0m、X10、X11…X1m、SX00、SX01…SX0mが再度消去され(S341)、この後、メモリセルX10、X11…X1mがプログラムされる(S351)。次いで、チャージポンプ回路11が駆動され、チャージポンプ回路11の出力ノードOUTから出力される電圧が規定の電圧以上かどうかが判別される(S361)。この結果、出力電圧が規定の電圧以上である場合、レギュラーのキャパシタC0及びスペアのキャパシタSC0が正常に機能していると判断され、テストが終了される。
一方、ステップS361において、出力電圧が規定の電圧に達していない場合、救済不可能であると判断される。
上記第3の実施形態によっても、第1、第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。
しかも、各キャパシタC0、C1、SC0に、それぞれ複数のメモリセルを並列接続しているため、実質的なセル電流を増加することができる。したがって、昇圧ノードの電位を高速に変化させることが可能であり、チャージポンプ回路11の効力を向上させることが可能である。
また、この場合、選択ゲートとしてのメモリセルの数が増加するが、メモリセルがチップに占める面積は、僅かであるため、チップ面積に影響はない。
尚、第1乃至第3の実施形態において、チャージポンプ回路11に用いられるメモリセルは、メモリセルアレイ1に配置されたメモリセルを用いているが、これに限定されるものではなく、例えばメモリセルアレイ1のメモリセルと貫通孔の直径を変えることも可能である。すなわち、チャージポンプ回路11におけるメモリセルの貫通孔の直径を、メモリセルアレイ1におけるメモリセルの貫通孔の直径よりも大きくすることにより、チャージポンプ回路11用のメモリセルのセル電流を増大することができる。
また、キャパシタとメモリセルとの間の配線a0の長さと、メモリセルと昇圧ノードとの間の配線b0の長さが長いと、これらの配線抵抗が大きくなり、信号の立ち上がり、立ち下がり時間が長くなり、チャージポンプ回路が正常に動作しなくなる。このため、チャージポンプ回路11用のメモリセルを図3に示す周辺回路4の近傍の領域、又は、周辺回路4内に配置することにより、配線長a0、b0を短縮することが可能である。
尚、メモリセルアレイ1の構成については、例えば、“三次元積層不揮発性半導体メモリ”という2009年3月19日に出願された米国特許出願12/407,403号に記載されている。また、“三次元積層不揮発性半導体メモリ”という2009年3月18日に出願された米国特許出願12/406,524号、“不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法”という2010年3月25日に出願された米国特許出願12/679,991号“半導体メモリ及びその製造方法”という2009年3月23日に出願された米国特許出願12/532,030号に記載されている。これらの特許出願は、その全体が本願明細書において参照により援用されている。
その他、本発明は上記各実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
(付記)
(1) 第1、第2の端部を有し、第1の端部がクロック信号の入力端に接続された第1のキャパシタと、
第3、第4の端部を有し、前記入力端に接続されたスペアとしての第2のキャパシタと、
前記第1のキャパシタの前記第2の端部と前記電圧生成回路の昇圧ノードとの間に接続された第1の選択ゲートと、
前記第2のキャパシタの前記第4の端部と前記電圧生成回路の昇圧ノードとの間に接続された第2の選択ゲートと、
を具備し、前記第1、第2の選択ゲートは、前記電圧生成回路の出力電圧に基づき切り替えられることを特徴とする半導体記憶装置。
(1) 第1、第2の端部を有し、第1の端部がクロック信号の入力端に接続された第1のキャパシタと、
第3、第4の端部を有し、前記入力端に接続されたスペアとしての第2のキャパシタと、
前記第1のキャパシタの前記第2の端部と前記電圧生成回路の昇圧ノードとの間に接続された第1の選択ゲートと、
前記第2のキャパシタの前記第4の端部と前記電圧生成回路の昇圧ノードとの間に接続された第2の選択ゲートと、
を具備し、前記第1、第2の選択ゲートは、前記電圧生成回路の出力電圧に基づき切り替えられることを特徴とする半導体記憶装置。
(2) 前記第1、第2の選択ゲートは、不揮発性の第1、第2のメモリセルであることを特徴とする(1)記載の半導体記憶装置。
(3) 前記第1、第2のメモリセルは、三次元構造のメモリセルであることを特徴とする(2)記載の半導体記憶装置。
(4) 前記複数のワード線は、第1乃至第4のワード線を含み、
前記第1のキャパシタは、前記第1、第2のワード線と同層の第1、第2の配線層により構成され、前記第2のキャパシタは、前記第3、第4のワード線と同層の第3、第4の配線層により構成されることを特徴とする(3)記載の半導体記憶装置。
前記第1のキャパシタは、前記第1、第2のワード線と同層の第1、第2の配線層により構成され、前記第2のキャパシタは、前記第3、第4のワード線と同層の第3、第4の配線層により構成されることを特徴とする(3)記載の半導体記憶装置。
(5) 前記第1のキャパシタは、複数の第3のキャパシタにより構成され、
前記第1の選択ゲートは、複数の第3のメモリセルにより構成されることを特徴とする(3)記載の半導体記憶装置。
前記第1の選択ゲートは、複数の第3のメモリセルにより構成されることを特徴とする(3)記載の半導体記憶装置。
(6) 前記第1の選択ゲートは、複数の第4のメモリセルにより構成され、
前記第2の選択ゲートは、複数の第5のメモリセルにより構成されることを特徴とする(3)記載の半導体記憶装置。
前記第2の選択ゲートは、複数の第5のメモリセルにより構成されることを特徴とする(3)記載の半導体記憶装置。
(7) 前記第1、第2のメモリセルは消去され、その後、前記第2のメモリセルがプログラムされ、次いで、前記電圧生成回路の出力電圧が判別され、前記出力電圧が正常でない場合、前記第1、第2のメモリセルが消去され、その後、前記第1のメモリセルがプログラムされ、次いで、前記電圧生成回路の出力電圧が判別されることを特徴とする(3)記載の半導体記憶装置。
(8) 複数の前記第3のメモリセル、及び前記第2のメモリセルは消去され、その後、前記第2のメモリセルがプログラムされ、次いで、前記電圧生成回路の出力電圧が判別され、前記出力電圧が正常でない場合、複数の前記第3のメモリセル、及び前記第2のメモリセルが消去され、その後、複数の前記第3のメモリセルのうちの1つがプログラムされ、次いで、前記電圧生成回路の出力電圧が判別されることを特徴とする(5)記載の半導体記憶装置。
(9) 複数の前記第4のメモリセル、及び複数の前記第5のメモリセルは消去され、その後、複数の前記第5のメモリセルがプログラムされ、次いで、前記電圧生成回路の出力電圧が判別され、前記出力電圧が正常でない場合、複数の前記第4のメモリセル、及び複数の前記第5のメモリセルが消去され、その後、複数の前記第4メモリセルがプログラムされ、次いで、前記電圧生成回路の出力電圧が判別されることを特徴とする(6)記載の半導体記憶装置。
(10)
前記第1乃至第5のメモリセルは、NANDフラッシュメモリのメモリセルアレイ内に配置されることを特徴とする(1)乃至(9)のいずれかに記載の半導体記憶装置。
前記第1乃至第5のメモリセルは、NANDフラッシュメモリのメモリセルアレイ内に配置されることを特徴とする(1)乃至(9)のいずれかに記載の半導体記憶装置。
(11)
前記第1乃至第5のメモリセルは、NANDフラッシュメモリの周辺回路領域内に配置されることを特徴とする(1)乃至(9)のいずれかに記載の半導体記憶装置。
前記第1乃至第5のメモリセルは、NANDフラッシュメモリの周辺回路領域内に配置されることを特徴とする(1)乃至(9)のいずれかに記載の半導体記憶装置。
11…チャージポンプ回路、C0、C1、C2…レギュラーのキャパシタ、SC0…スペアのキャパシタ、X0、X1、X2、X00〜X0m、X10〜X1m…レギュラーのメモリセル、SX0、SX00〜SX0m…スペアのメモリセル。
Claims (6)
- 第1、第2の端部を有し、第1の端部がクロック信号の入力端に接続された第1のキャパシタと、
第3、第4の端部を有し、前記入力端に接続されたスペアとしての第2のキャパシタと、
前記第1のキャパシタの前記第2の端部と前記電圧生成回路の昇圧ノードとの間に接続された第1の選択ゲートと、
前記第2のキャパシタの前記第4の端部と前記電圧生成回路の昇圧ノードとの間に接続された第2の選択ゲートと、
を具備し、前記第1、第2の選択ゲートは、前記電圧生成回路の出力電圧に基づき切り替えられることを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記第1、第2の選択ゲートは、不揮発性の第1、第2のメモリセルであり、
前記第1、第2のメモリセルは、三次元構造のメモリセルであることを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記複数のワード線は、第1乃至第4のワード線を含み、
前記第1のキャパシタは、前記第1、第2のワード線と同層の第1、第2の配線層により構成され、前記第2のキャパシタは、前記第3、第4のワード線と同層の第3、第4の配線層により構成されることを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。 - 前記第1、第2のメモリセルは消去され、その後、前記第2のメモリセルがプログラムされ、次いで、前記電圧生成回路の出力電圧が判別され、前記出力電圧が正常でない場合、前記第1、第2のメモリセルが消去され、その後、前記第1のメモリセルがプログラムされ、次いで、前記電圧生成回路の出力電圧が判別される
ことを特徴とする請求項3記載の半導体記憶装置。 - 前記第1のキャパシタは、複数の第3のキャパシタにより構成され、
前記第1の選択ゲートは、複数の第3のメモリセルにより構成され、
複数の前記第3のメモリセル、及び前記第2のメモリセルは消去され、その後、前記第2のメモリセルがプログラムされ、次いで、前記電圧生成回路の出力電圧が判別され、前記出力電圧が正常でない場合、複数の前記第3のメモリセル、及び前記第2のメモリセルが消去され、その後、複数の前記第3のメモリセルのうちの1つがプログラムされ、次いで、前記電圧生成回路の出力電圧が判別される
ことを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。 - 前記第1の選択ゲートは、複数の第4のメモリセルにより構成され、
前記第2の選択ゲートは、複数の第5のメモリセルにより構成され、
複数の前記第4のメモリセル、及び複数の前記第5のメモリセルは消去され、その後、複数の前記第5のメモリセルがプログラムされ、次いで、前記電圧生成回路の出力電圧が判別され、前記出力電圧が正常でない場合、複数の前記第4のメモリセル、及び複数の前記第5のメモリセルが消去され、その後、複数の前記第4メモリセルがプログラムされ、次いで、前記電圧生成回路の出力電圧が判別される
ことを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。
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