JP2014183194A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置の製造方法は、(a)半導体基板上に、第1の絶縁膜を形成し、第1の絶縁膜に第1の開口部を形成する工程と、(b)半導体基板の主成分を成す元素とは異なる元素をその一部に含む半導体犠牲層を第1の開口部内に選択的にエピタキシャル成長する工程と、(c)半導体犠牲層と半導体犠牲層直下の半導体基板の一部をエッチングガスによる気相エッチングにて除去し、第1の開口部に第1の絶縁膜からなる庇を有する第1の溝を形成する工程を有し、工程(b)および工程(c)が同一装置内で連続して行われる。
【選択図】図1E
Description
半導体装置の製造方法は、半導体基板上に、第1の絶縁膜を形成し、第1の絶縁膜に第1の開口部を形成する工程と、半導体基板の主成分を成す元素とは異なる元素をその一部に含む半導体犠牲層を第1の開口部内に選択的にエピタキシャル成長する工程と、半導体犠牲層と半導体犠牲層直下の前記半導体基板の一部をエッチングガスによる気相エッチングにて除去し、第1の開口部に第1の絶縁膜からなる庇を有する第1の溝を形成する工程を有する。
(D)より好適な例として、上記(A)、(B)および(C)のいずれか1つは、さらに、(e)第1の溝(6)内に、半導体基板(1、104、204、303)の主成分を成す元素とは異なる元素をその一部に含む第1の半導体層(4、108、207、309、310)を選択的にエピタキシャル成長する工程を有し、第1の半導体層(4、108、207、309,310)は第1の溝(6)の内部において半導体基板(1、104、204、303)の側壁の全面と第1の絶縁膜(2、107、206、307)の下部表面の少なくとも一部を覆うように成膜条件が調整され、工程(c)、工程(d)および工程(e)が同一装置内で連続して行われる。
また、Ge光吸収層上部へのイオン注入及び金属電極の形成をGe光吸収層に対して自己整合的に形成することが出来る為、従来のButt−Joint型Ge受光素子の作製工程に対して溝形成の為のエッチング工程とGeの表面平坦化処理工程とイオン注入の為のパターニング工程と電極形成の為のパターニング工程が不要となり、工程数の削減が可能となる。Geを用いた発光素子に関しても、上記受光素子と同様の効果が期待出来る。
また、歪みSi−MOSFETのSiGeソース・ドレイン領域の形成に本手法を適用すると、濃縮酸化法で上記領域を形成する場合に比べて熱負荷を大幅に低減することが可能であり、他の素子との集積化を容易にすることが出来る。また、SiGeソース・ドレイン領域を埋め込み形成する際に不純物を添加してエピタキシャル成長することが出来る為、ソース・ドレイン領域を精度良く規定することが可能となり、トランジスタの高性能化・高速化を実現出来る。
図1A〜図1Eは第1の実施例に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。以下、順を追って具体的な製造方法について説明する。
まず、(100)面を表面に持つSi基板1を準備し、Si基板1上にSiO2層2を堆積する。図1AはSi基板上にSiO2層を堆積した後の断面図である。SiO2層2は熱CVD、またはプラズマCVD法により堆積しても良いし、熱酸化法にて形成しても良い。SiO2層2の膜厚は10nm〜1μmの範囲に設定すると良い。
次に、レジストを用いてSiO2層2上にパターニングを行い、ドライエッチングまたはフッ化水素酸(HF)水溶液を用いたウェットエッチングによってSiO2層2を加工し、Si基板1が一部開口された図1Bの構造を得る。本実施例では、開口部5の平面形状は矩形形状を有しており、上記矩形の一辺が[110]方向に配向することとした。
上記開口部内のSi基板1上にGe単結晶層3を選択的に成長し、図1Cの構造を得る。Ge層3の形成は、露出したSi基板1の表面をフッ化水素酸(HF)水溶液によって洗浄し、Si基板1の表面の自然酸化膜及びSiと結合したOH基を除去し、Si基板1の表面のダングリングボンドを水素終端させた後、化学気相成長(Chemical Vapor Deposition:CVD)法等を用いたエピタキシャル成長により行う。エピタキシャル成長前には成膜装置にて800℃〜900℃のアニールを水素雰囲気下で行い、装置導入までの間にSi基板1の表面に形成された自然酸化膜を除去する。Ge層3の原料ガスにはモノゲルマン(GeH4)を用いる。成膜時の温度及び圧力を調整することで、Ge層3をSi基板1の表面上のみに選択的に成膜することが出来る。本実施例では成長圧力を5Torr〜100Torr、成長温度を350℃〜700℃に設定することで、約10nm〜1000nmの膜厚を有するGe層3を開口内のSi基板1表面のみに選択的に成膜することを確認した。上記選択成長の際、Ge層3は(111)面を有するファセットを形成する。
Ge層3の成膜後、その成膜を行った装置と同一装置内で連続してGe層3とSi基板1を気相エッチングし、図1Dに示す構造を得る。本構造はSi基板1内に形成された溝6から成り、溝6は(111)面を有する側壁と、(100)面を有する底部を持ち、またSiO2層2は溝6の周辺部において庇構造を成している。SiO2層2の下に溝6が存在する部分を庇2aという。本実施例では、上記気相エッチングの具体的な条件として、エッチングガスに塩化水素(HCl)を用い、エッチング圧力を5Torr〜100Torr、エッチング温度を600℃〜800℃に設定した。図9に上記条件で溝を形成したSi基板断面の走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscopy:SEM)像を示す。SiO2層から成る庇を有し、約600nmの深さを持つ溝の形成が確認された。Ge層を形成せず、SiO2層の開口部にSi基板を露出させた場合と、SiO2層の開口部のSi基板上にSiを選択成長した場合には、図9の場合と同一条件のエッチングを施してもSiはエッチングされなかった。従って、Si基板のエッチングには選択成長したGe層が寄与していることが判った。Ge選択成長層を有するSi基板の想定されるエッチング機構は下記の通りである。まず、HClガスを用いた気相エッチングにおいて、Geのエッチング速度はSiのエッチング速度よりも早い為、GeはSiがエッチングされない低温領域においてもエッチングされる。本実施例では、Siがエッチングされない低温領域でGeをエッチングした。図1Cにおいて、Ge層3をHClガスで気相エッチングする場合、Ge層3の(111)面から成る側壁は、Ge層3の上部表面である(100)面よりもエッチング速度が速く、Ge層3のエッチングは側壁部から進行する。従って、エッチングの進行に伴い、まずSiO2層2の開口部端近傍のSi基板1の表面が露出する。上記開口部端近傍のSi基板1の表面が露出した後は、Ge層3とSi基板1の界面がHClガスに曝される為、Ge原子がHClガスとの反応によりSi原子と相互拡散しながらSi基板1中に拡散し、SiGe層を形成する。SiGe層もHClガスに対するエッチング速度が速い為、低温においてもエッチング除去される。また、上記GeとSiの相互拡散は[110]方向にも進行する為、Si基板1は[110]方向にサイドエッチングされ、SiO2層2からなる庇2aが形成される。このようにしてSi基板1はエッチング除去され、図1Dに示す溝構造を得ることが出来る。エッチングは上記メカニズムを有している為、Siがエッチングされない低温領域にてエッチングする場合はGe原子が無くなると同時にエッチングが止まる。発明者らは溝6の深さの制御をGe層3の膜厚によって行うことが出来ることを確認した。また、庇2aの水平方向の長さは、発明者らが行ったエッチング条件の範囲内では、少なくとも溝深さの10分の1以上になることを確認した。発明者らは、本エッチング手法の名称を、ゲルマニウム・ファセット・アシステッド・エッチング(Germanium Facet Assisted Etching:GFAE)とし、Ge層3をその役割からGe犠牲層と呼ぶことにする。
上記気相エッチングを行った後、そのエッチングを行った装置と同一装置内で連続してSiGe層4の選択成長を行い、図1Eに示す構造を得る。本実施例では、SiとGeの原料ガスにはそれぞれモノシラン(SiH4)とGeH4を用い、成長時の圧力を5Torr〜80Torrに設定し、下記に示す手順によりSiGe層4の選択成長を行った。まず、SiGe層4を受光素子の光吸収層とする場合、及び発光素子の発光層とする場合について、特にGe組成が100%の場合を例にとって説明する。Geを350℃程度の低温で約50nmエピタキシャル成長し、次いで550℃〜700℃に温度を上昇させた後、庇2aの下部表面と同等となるまでGe層4を成膜する。低温で成膜したGe層4は結晶に不完全性を有している為、歪緩和の際に発生する欠陥は上記低温成膜層内に優先的に発生し、上部の高温成長層の結晶性は良好に保たれる。Ge層4の成膜後には800℃〜900℃程度の熱処理を1分〜10分行うことでGe層4内に存在する欠陥を修復し、結晶性を回復させた。上記成膜条件下では(111)面におけるGeの成長速度は(100)表面の成長速度に比べて遅い為、GeはSi基板1に形成された溝6を埋めるように成長する。この際、SiO2層2から成る庇2aが存在する為、溝6の側壁から成長したGeは庇2aの下部表面で成長が止められ、溝6の周辺部において凸形状が出現することは無い。また、庇2aの下部表面が全てGeにて覆われた段階では、Ge層4の側壁は既に(111)面よりも浅いファセット面を有し、より(100)表面に近い表面を有している為、SiO2層2の開口部端においても凸形状の形成は抑制される。発明者らは、上記成長条件を用い、且つ庇2aの水平方向の長さを溝5の深さの10分の1倍以上且つ1倍以下とすることで、溝6をGe層4でほぼ平坦に埋め込むことが出来ることを確認した。図9に上記条件で溝を埋め込んだGe層の断面SEM像を示す。Ge層の表面の高さがSiO2層の庇下部表面の高さとほぼ一致しており、またGe層の表面が平坦な(100)面を示していることから、Ge層がSi基板の溝内に理想的に埋め込まれていることが確認された。歪みSi−MOSFETのソース・ドレイン領域を形成する為のSiGe層4の選択成長を行う際は、例えば550℃〜700℃の成長温度にて成膜し、ガス流量比を調整してGe組成を10%〜50%に設計する。Si基板1中に形成する溝6の深さは10nm〜50nmの範囲とし、SiGe層4は溝6を埋め込むか、或いは溝6を埋め込んだ後に10nm〜50nm連続して成膜しても良い。尚、溝6の深さは、前述のようにGe犠牲層3の膜厚を合わせ込むことで調整する。SiGe層4はSiチャネルに歪みを印加する目的の為、Si層1に格子整合させた状態で成膜することが望ましい。従って、歪み緩和を起こさないよう、Ge組成と膜厚を調整する。
本実施例では、基板にSOI(Silicon on Insulator)基板を用いた。図11A、図12A、図13Aは受光素子の作製前におけるSOI基板である。Si基板101の表面上及び裏面に約1μm〜3μmの膜厚を有するそれぞれ埋め込みSiO2層103及び裏面SiO2層102が形成されており、埋め込みSiO2層103上にSOI層104が約200nm形成されている。ここで、SOI層104は光導波路にもなる為、SOI層104の膜厚及び埋め込みSiO2膜103の膜厚は光を効率的に閉じ込められるように光の波長に応じて設計する。
次に、レジストを用いてSOI層104上にパターニングを行い、ウェットエッチングまたはドライエッチングによってSOI層104をエッチングし、光導波路状に加工し、図11B、図12B、図13Bの構造を得る。
次いで、レジストを用いたパターニングによりSOI層104上の一部領域を開口し、上記領域のみに高濃度のp型不純物をイオン注入し、高濃度p型Si電極105を形成する。更に再度レジストを用いたパターニングを施す事により受光部下部領域に低濃度のp型不純物をイオン注入し、低濃度p型Si領域106を形成し、図11C、図12C、図13Cの構造を得る。ここで、p型不純物にはIII族の元素を用いる。本実施例ではボロン(B)のイオン注入を行ったが、二フッ化ボロン(BF2)をイオン注入しても良い。高濃度p型Si電極105中へのイオン注入量は、高濃度p型Si電極105中の不純物濃度が1×1020cm−3程度とすれば低抵抗のコンタクトを得ることが可能となる。低濃度p型Si領域106中へのイオン注入条件は、下記に記すように設計する。低濃度p型Si領域106は、Si光導波路となるSOI層104に埋め込むGe光吸収層108の底部と接合を形成する為、Ge光吸収層108の底部付近で十分な不純物濃度を得られるようにイオン注入深さを設定する。本実施例では、Ge光吸収層108底部での不純物濃度が5×1018cm−3から5×1019cm−3程度となるようにイオン注入量を設定した。ここで、本実施例における低濃度p型Si領域106へのイオン注入量は、従来のButt−Joint型受光素子に比べて高く設定することが可能になっている。これは、下記理由に因る。Si光導波路中への溝形成をドライエッチングまたはウェットエッチングで行っていた特許文献1および非特許文献3においては、p型Si領域106の表面が露出する為、Ge光吸収層をエピタキシャル成長する前にHF水溶液を用いて洗浄する必要があるが、上記Si領域106中のp型不純物濃度が高い場合、HF水溶液による洗浄を行ってもSi表面に存在するOH基を十分に除去することが出来ず、良好な結晶性を有するGe光吸収層をエピタキシャル成長することが困難になる。実施例1で示したGFAE法を用いることにより、溝形成の為のエッチングとGe光吸収層の成長を連続して行うことが可能となる為、Si表面へのOH基の介在を伴うこと無くGe光吸収層をエピタキシャル成長することが出来る為、特許文献1に比べて低濃度p型Si領域106の不純物濃度を高くすることが可能となる。高濃度p型Si電極105と低濃度p型Si領域106へのイオン注入後は、1000℃程度の温度で約1秒〜10秒程度のアニールを施すことで不純物の活性化を行う。
次いで、全面にSiO2層107を堆積する。更にレジストを用いて受光部形成領域をパターニングし、ウェットエッチングまたはドライエッチングによってGe光吸収層形成領域を開口して図11D、図12D、図13Dの構造を得る。
次に、CVD装置を用い、実施例1で示したGFAE法にて、Si光導波路104中への溝形成とGe光吸収層108の埋め込み選択成長を同一装置内で連続して行い、図11E、図12E、図13Eの構造を得る。本実施例では、溝の深さを約200nm〜700nmの範囲で設計した。溝の深さは実施例1で述べたように、Ge犠牲層の膜厚を調整することによって制御した。Ge光吸収層108の選択成長は、実施例1と同様の条件を用いた。成長工程も実施例1同様、低温でGeを約50nm成長した後、550℃〜700℃に昇温させて再びGeを成膜し、欠陥低減の為の熱処理を800℃〜900℃程度で1分〜10分行った。
Ge光吸収層108の成長後、SiO2層107で囲まれた開口パターンをそのままマスクとして、n型不純物をイオン注入する。その後不純物の活性化アニールを行うことによりGe光吸収層108中にn型Ge領域109を形成して、図11F、図12F、図13Fの構造を得る。上記イオン注入を行うn型不純物にはヒ素(As)、燐(P)またはその他のV族元素を用いる。イオン注入条件は、打込み量を5×1014cm−3〜5×1015cm−3とし、イオン注入エネルギーを10KeV〜30KeVの範囲に設定すると良い。活性化アニールは、500℃〜700℃の温度範囲で約10秒間の条件で行う。
上記埋め込み成長工程に続いては、高濃度p型Si領域105上にレジストを用いたパターニングを行い上記領域上のSiO2層107をドライエッチングまたはウェットエッチングによりエッチング除去してp型Si領域105を露出させ、図11G、図12G、図13Gの構造を得る。
最後にTiN層110とAl層111の積層金属膜を堆積し、レジストを用いてパターニングを施した後にウェットエッチングまたはドライエッチングを行い、電極を形成して図11H、図12H、図13Hに示す受光素子構造を得る。
Si支持基板301上に埋め込みSiO2層302とSOI層303を有するSOI基板上に、ゲート絶縁膜304と多結晶Si層305とSiO2層306を順に堆積し、レジストを用いたパターニングを行った後にドライエッチングを行ってSOI層303を露出することで、図15に示す構造を得る。ここで、SOI基板はSOI層303の膜厚が10nm〜50nm程度である基板を用いる。本実施例では、ゲート絶縁膜304として熱酸化或いはCVD法を用いて堆積したSiO2とする例を示すが、酸化ハフニウム(HfO2)等の高誘電率膜を用いても良い。
次いで、図15に示す構造上に全面にSiO2層307と酸窒化シリコン(SiON)等の絶縁膜308を堆積し、異方性のドライエッチングを行い、SOI層303の表面を露出させる。上記工程により、多結晶Si層305の側壁絶縁膜が形成され、図16の構造を得る。
次に、CVD装置を用い、実施例1で示したGFAE法にて、SOI層303中への溝形成とSiGe層309,310の埋め込み選択成長を同一装置内で連続して行い、図17の構造を得る。ここで、SiGe層309,310の成長時にp型不純物のドーピングを行い、SiGe層309,310がそれぞれソース領域とドレイン領域を形成するようにする。SiGe層309,310の成長条件は、実施例1に示した条件と同様、例えば550℃〜700℃の成長温度にて成膜し、ガス流量比を調整してGe組成を10%〜50%に設計する。Si中に形成する溝の深さは10nm〜50nmの範囲となるようにGe犠牲層の膜厚を調整する。本実施例では、溝底でのSOI層303の残膜が少なくとも5nm以上残るように溝深さの調整を行った。尚、この場合のSiO2側壁307下部における水平方向のサイドエッチング量は溝深さに対して少なくとも10分の1倍以上かつ1倍以下となることを確認した。本実施例では、SiGe層309,310は溝を平坦に埋め込んだ場合を図17に示したが、溝を埋め込んだ後にSiGe層を10nm〜50nm連続して成膜しても良い。p型不純物のドーピングは水素希釈されたジボラン(B2H6)を用い、SiGe層の原料ガスであるSiH4とGeH4と同時に装置内に流入した。p型不純物であるボロン(B)の濃度は約1×1019cm−3〜1×1020cm−3となるようにガス流量を調整する。
SOI基板1001上に、実施例2に示したGe受光素子1002と、Siからなる光変調器1003と、実施例3で開示したGe発光素子1004が形成され、それぞれがSOI層からなる光導波路1005で結合されている。光導波路1005には光ファイバ1006が結合しており、SOI基板1001外部との光信号の送受信が可能な構造を成している。また、SOI基板1001上には、LSIチップ1008が搭載されている。LSIチップ1008はGe受光素子1002と光変調器1003、更にGe発光素子1004上の金属電極1007と接続されており、Ge発光素子1004と光変調器1003を駆動するドライバ回路、及びGe受光素子1002の信号を受ける増幅回路等が組み込まれている。
2…二酸化シリコン層
2a…庇
3…単結晶ゲルマニウム層
4…単結晶シリコン・ゲルマニウム層
5…開口部
6…溝
101…シリコン基板
102…二酸化シリコン層
103…二酸化シリコン層
104…単結晶シリコン層
105…高濃度p型単結晶シリコン領域
106…低濃度p型単結晶シリコン領域
107…二酸化シリコン層
108…単結晶ゲルマニウム層
109…n型単結晶ゲルマニウム層
110…窒化チタン層
111…アルミニウム層
201…シリコン基板
202…二酸化シリコン層
203…二酸化シリコン層
204…p型単結晶シリコン層
205…高濃度p型単結晶シリコン領域
206…二酸化シリコン層
207…n型単結晶ゲルマニウム層
208…n型多結晶シリコン層
209…窒化チタン層
210…アルミニウム層
301…シリコン基板
302…二酸化シリコン層
303…単結晶シリコン層
304…二酸化シリコン層
305…多結晶シリコン層
306…二酸化シリコン層
307…二酸化シリコン層
308…酸窒化シリコン層
309…p型単結晶シリコン・ゲルマニウム層
310…p型単結晶シリコン・ゲルマニウム層
311…シリコン・ゲルマニウム/金属混晶層
312…多結晶シリコン/金属混晶層
313…二酸化シリコン層
314…金属電極
401…シリコン基板
402…二酸化シリコン層
403…単結晶シリコン層
404…単結晶ゲルマニウム層
405…n型単結晶ゲルマニウム層
406…高濃度p型単結晶シリコン領域
407…二酸化シリコン層
408…金属電極
501…p型シリコン基板
502…二酸化シリコン層
503…n型単結晶ゲルマニウム層
504…高濃度n型多結晶シリコン層
505…チタン層
506…アルミニウム層
601…シリコン基板
602…二酸化シリコン層
603…単結晶シリコン層
604…単結晶ゲルマニウム層
605…二酸化シリコン層
606…p型単結晶ゲルマニウム領域
607…n型単結晶ゲルマニウム領域
608…金属電極
701…シリコン基板
702…p型単結晶シリコン領域
703…単結晶シリコン層
704…単結晶シリコン・ゲルマニウム層
705…単結晶ゲルマニウム層
706…n型単結晶シリコン層
707…二酸化シリコン層
708…二酸化シリコン層
709…n型多結晶シリコン層
710…金属電極
801…シリコン基板
802…二酸化シリコン層
803…単結晶シリコン層
804…二酸化シリコン層
805…多結晶シリコン層
806…二酸化シリコン層
807…酸窒化シリコン層
808…p型単結晶シリコン・ゲルマニウム層
809…p型単結晶シリコン・ゲルマニウム層
810…シリコン・ゲルマニウム/金属混晶層
811…多結晶シリコン/金属混晶層
812…二酸化シリコン層
813…金属電極
814…二酸化シリコン層
901…シリコン基板
902…二酸化シリコン層
903…単結晶ゲルマニウム層
1001…SOI(Silicon on Insulator)基板
1002…ゲルマニウム受光素子
1003…シリコン光変調器
1004…ゲルマニウム発光素子
1005…シリコン光導波路
1006…光ファイバ
1007…金属電極
1008…LSIチップ
Claims (12)
- 半導体装置の製造方法は、
(a)半導体基板を準備する工程と、
(b)前記半導体基板上に、第1の絶縁膜を形成し、前記第1の絶縁膜に第1の開口部を形成する工程と、
(c)前記半導体基板の主成分を成す元素とは異なる元素をその一部に含む半導体犠牲層を前記第1の開口部内に選択的にエピタキシャル成長する工程と、
(d)前記半導体犠牲層と前記半導体犠牲層直下の前記半導体基板の一部をエッチングガスによる気相エッチングにて除去し、前記第1の開口部に前記第1の絶縁膜からなる庇を有する第1の溝を形成する工程と、
を有し、
前記工程(c)および前記工程(d)が同一装置内で連続して行われる。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の溝の底部には前記半導体基板の(100)面が露出し、前記第1の溝の側壁は前記半導体基板の(111)面を含む面で構成されている、。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の絶縁膜から成る庇の水平方向の長さは、前記第1の溝の深さに対して10分の1倍以上且つ1倍以下である。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法は、さらに、
(e)前記第1の溝内に、前記半導体基板の主成分を成す元素とは異なる元素をその一部に含む第1の半導体層を選択的にエピタキシャル成長する工程
を有し、
前記第1の半導体層は前記第1の溝の内部において前記半導体基板の側壁の全面と前記第1の絶縁膜の下部表面の少なくとも一部を覆うように成膜条件が調整され、
前記工程(c)、前記工程(d)および前記工程(e)が同一装置内で連続して行われる。 - 請求項4に記載の半導体装置の製造方法は、さらに、
(f)前記工程(e)の後に、前記第1の開口部をマスクとして不純物のイオン注入を行い前記第1の半導体層の上部に第2導電型の第2の電極領域を形成する工程と、
(g)前記第2導電型の第2の電極領域上に金属層を堆積し、前記第1の開口部内に前記第2導電型の第2の電極領域と金属領域の接合を形成する工程と、
を有し、
前記工程(a)は、前記第1の溝形成時に溝底部に露出した表面が第1導電型となるように不純物を添加して第1導電型の第1の電極領域を形成する工程を含む。 - 請求項5に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の半導体層が受光機能を有し、前記半導体装置がフォトダイオードとなる。 - 請求項4に記載の半導体装置の製造方法は、さらに、
(h)前記第2導電型の第1の半導体層上に第2導電型の第1の半導体多結晶層を堆積する工程と、
(i)前記第1の開口部内の第1の半導体多結晶層上に金属電極を形成する工程と、
を有し、
前記工程(a)は、前記第1の溝を取り囲む部分が第1導電型となるように不純物を添加して第1導電型の第1の電極領域を形成する工程を含み、
前記工程(e)において、不純物を添加し、前記第1の半導体層を第2導電型とする。 - 請求項7に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の半導体層が発光機能を有し、前記半導体装置が発光ダイオードとなる。 - 請求項4に記載の半導体装置の製造方法は、さらに、
(j)前記第1の溝を形成する領域以外の領域において、第2の絶縁膜を前記半導体基板上に形成する工程と、
(k)第2の半導体多結晶層を前記第2の絶縁膜上に形成する工程と、
を有し、
前記工程(e)において、不純物を添加し、前記第1の半導体層を第1導電型とし、
前記第2の半導体多結晶層が金属酸化膜半導体電界効果トランジスタのゲートを成し、
前記第1の半導体層が電界効果型トランジスタのソース及びドレインとしての機能を有する。 - 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体犠牲層は単結晶ゲルマニウムまたは単結晶シリコン・ゲルマニウムから成り、前記第1の半導体層は単結晶ゲルマニウムまたは単結晶シリコン・ゲルマニウムから成る。 - 請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板は、シリコン支持基板と、前記シリコン支持基板上に形成された二酸化シリコン層と、前記二酸化シリコン上に形成されたシリコン層からなる。 - 請求項1から請求項3および請求項9のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板は、シリコン支持基板と、前記シリコン支持基板上に形成された二酸化シリコン層と、前記二酸化シリコン上に形成されたゲルマニウム層からなる。
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