JP2014182227A - 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ - Google Patents
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Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013055730A JP2014182227A (ja) | 2013-03-18 | 2013-03-18 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
| CN201410095268.8A CN104062756A (zh) | 2013-03-18 | 2014-03-14 | 光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器 |
| EP14159822.7A EP2781949A1 (en) | 2013-03-18 | 2014-03-14 | Optical scanner, image display apparatus, and head mounted display |
| US14/215,607 US20140268266A1 (en) | 2013-03-18 | 2014-03-17 | Optical scanner, image display apparatus, and head mounted display |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013055730A JP2014182227A (ja) | 2013-03-18 | 2013-03-18 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014182227A true JP2014182227A (ja) | 2014-09-29 |
| JP2014182227A5 JP2014182227A5 (enExample) | 2016-04-28 |
Family
ID=50389803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013055730A Pending JP2014182227A (ja) | 2013-03-18 | 2013-03-18 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20140268266A1 (enExample) |
| EP (1) | EP2781949A1 (enExample) |
| JP (1) | JP2014182227A (enExample) |
| CN (1) | CN104062756A (enExample) |
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- 2013-03-18 JP JP2013055730A patent/JP2014182227A/ja active Pending
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- 2014-03-14 CN CN201410095268.8A patent/CN104062756A/zh active Pending
- 2014-03-14 EP EP14159822.7A patent/EP2781949A1/en not_active Withdrawn
- 2014-03-17 US US14/215,607 patent/US20140268266A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2781949A1 (en) | 2014-09-24 |
| US20140268266A1 (en) | 2014-09-18 |
| CN104062756A (zh) | 2014-09-24 |
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