JP2011107505A - 2次元光スキャナ駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】負帰還制御手段1は、2軸を中心として回動させる回動機構15に、駆動回路8により生成された駆動信号を与えることにより、当該2軸のそれぞれを中心として被駆動体を周期的に回動させ、光束の2次元的走査を行わせる走査駆動手段5と、当該回動機構15の速度を検出して速度検出信号(Uy+ax)を生成する検出手段3と、当該速度検出信号(Uy+ax)から非共振速度信号(Uy)を抽出する抽出手段6とが設けられ、当該走査駆動手段5への速度負帰還信号(VD−Uy)を生成する負帰還信号生成手段4がさらに設けられる。
【選択図】図19
Description
この明細書において、
「回動量」とは、「回動位置」および「回動角度」の総称であり、
「回動速度」とは、「回動位置速度」および「回動角速度」の総称であり、
「回動加速度」とは、「回動位置加速度」および「回動角加速度」の総称であり、
「回動状態」とは、「回動量」、「回動速度」および「回動加速度」の総称である。
「有効周波数帯域」としては、所定の基本周波数とその高調波とを含んだ信号帯域において、当該基本周波数成分と、基本周波数成分との比率で所定以上のレベル(たとえば基本周波数成分の1%以上のレベル)を持つ高調波成分とによって形成される帯域として定義することができる。
<1−1.画像投影装置の概要>
図1は、本発明の第1実施形態に係る2次元光スキャナ駆動装置を組み込んだ画像投影装置100の機能構成を示すブロック図である。画像投影装置100は、動画像を被投影面であるスクリーンSCに対して投影する装置であり、主に入力画像処理部110、駆動制御部120、および光学機構部130を備えて構成される。
図2は、光スキャナ132の構成を例示する正面図であり、以下、図2を参照しつつ、光スキャナ132の具体的な構成について説明する。図2および図2以降では、方位関係を明確化するために、相互に直交するXYZの3軸が付されている。
図3は、図2のIII−III位置から見た断面図である。図3で示すように、圧電素子51は、表面に上部電極511が設けられ、裏面に下部電極512が設けられている。圧電素子52は、表面に上部電極521が設けられ、裏面に下部電極522が設けられている。圧電素子53は、表面に上部電極531が設けられ、裏面に下部電極532が設けられている。圧電素子54は、表面に上部電極541が設けられ、裏面に下部電極542が設けられている。
図8は、画像投影装置100によって光スキャナ132を用いてスクリーンSCに画像を投影する態様を説明する図である。
図9および図10は、ラスタ走査を実現するための垂直走査に係る駆動信号(垂直駆動信号)の波形を例示する図である。図9では、圧電素子51,53にそれぞれ付与される垂直駆動信号V1,V3の波形が示され、図10では、圧電素子52,54にそれぞれ付与される垂直駆動信号V2,V4の波形が示されている。
Vp52=Vv2+Vh2=−Vv1+Vh1・・・・・・・・・・(2)
Vp53=Vv3+Vh3= Vv1−Vh1・・・・・・・・・・(3)
Vp54=Vv4+Vh4=−Vv1−Vh1・・・・・・・・・・(4)
このように、垂直駆動信号V1〜V4の電圧Vv1〜Vv4と、水平駆動信号H1〜H4の電圧Vh1〜Vh4とを加算回路を用いて適宜重畳するように加算する。
しかしながら、可動枠30の質量成分(慣性モーメント)や、ユニモルフ部61〜64から可動枠30へつながる間の要素(細連結部30a〜30d近傍)のバネ成分が、機械共振の要素として働くため、従来の2次元走査ミラー駆動装置の垂直駆動信号には、非共振駆動ではあるものの、本来存在する垂直共振特性のため、垂直走査特性の劣化の問題が生じる。
そこで、この実施形態の装置では、上述の機械共振(垂直共振)の影響を抑制するために、速度負帰還による共振制動の原理が採用されている。後述するように、そのような速度負帰還を行うと、今度は、水平共振周波数との干渉という新たな問題が生じる。この実施形態の装置では、この問題にも対処するために、速度負帰還のための速度検出信号から非共振速度信号を抽出するという特徴的改良がなされている。以下では、説明の便宜上、「非共振速度信号の抽出」を行わない速度負帰還の場合(以下「単純速度負帰還」)についてまず説明し、本発明の特徴に対応して「非共振速度信号の抽出」のための手段を組み込んだ速度負帰還(以下「改良速度負帰還」)についてはその後で説明を行う。
=1/(2ζ)
ここで、SQRT(x)は、xの平方根を表す。機械共振のQ(またはζ)の設計は、式(6)に基づいて機械構成要素(m、k、μ)の設定で可能である。
式(6)と式(8)とを比較すると、粘性抵抗要素μに速度負帰還による要素A・Bが加算され、式(8)はA・Bの分だけ粘性抵抗要素が増加する。すなわち、電気的に粘性抵抗要素を付加することで制動が可能なことを示している。以上の手法を2次元走査ミラーの垂直走査駆動に適用することで機械共振のQの制動が可能となる。因みに、直流、低周波域での応答は、式(5)、式(7)から、X/V=Xv/Vv=A/kで示され、速度負帰還の有無で変化はない。
図19は、第1実施形態に係る偏向制御回路122の負帰還制御手段1について説明するブロック図である。図19で示されるように、偏向制御回路122の負帰還制御手段1は、ミラー部10をX軸とY軸との2軸を中心として回動させる回動機構15に、駆動回路8により生成された駆動信号を与えることにより、当該2軸のそれぞれを中心として当該ミラー部10を周期的に回動させ、光束の2次元的走査を行わせる走査駆動手段5を備える。また、当該回動機構15の速度を検出して速度検出信号(Uy+ax)を生成する検出手段3と、当該速度検出信号(Uy+ax)から非共振速度信号(Uy)を抽出する抽出手段6とが設けられ、さらには、当該走査駆動手段5への速度負帰還信号(VD−Uy)を生成する負帰還信号生成手段4が設けられる。以下、図19を参照しながら、各手段について順に説明する。
図21は、非共振速度信号の抽出のための第2の構成例としての、偏向制御回路122Aの負帰還制御手段1Aについて説明するブロック図である。図19では、検出手段3による検出信号はミラー部10の「回動速度と混入信号(Uy+ax)」であったが、図21では、検出手段3Aによる当該検出信号は「回動量と混入信号(Y+ax)」(または「回動加速度と混入信号(dUy/dt+ax)」)となる。すなわち、偏向制御回路122Aの負帰還制御手段1Aは、回動量(または回動加速度)に係る検出信号を生成し、当該検出信号に基づいて走査駆動手段5へ速度負帰還信号(VD−Uy)を入力する。
図22は、上記のような改良速度負帰還と組み合わせて用いられる走査駆動手段5の内部構成を説明する図である。
続いて、抽出手段6(6A)における、非共振信号成分(Uy,YまたはdUy/dt)を抽出するための周波数分離手段について説明する。
このように抽出手段6(6A)では、混入する水平走査に係る信号は共振駆動によりその周波数(数10kHz)や周波数成分が判明しており、垂直共振周波数fv0(1kHz程度)とは10倍以上離れていることから、周波数分離手法により非共振速度信号Uyあるいは非共振信号成分(YまたはdUy/dt)を高性能で抽出可能とする。
図24は、本発明の第2実施形態における偏向制御回路122Bの負帰還制御手段1Bを示すブロック図である。残余の構成は第1実施形態の装置と同様である。この第2実施形態では、AD変換(アナログ−デジタル変換)の際の折り返しノイズの発生現象(これは周波数変換機能とみなせる)を利用して非共振成分の抽出が行われる。
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上記実施形態1,2に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
3,3A 検出手段
4 負帰還信号生成手段
5 走査駆動手段
6,6A,6B 抽出手段
8 駆動回路
10 ミラー部
15 回動機構
30 可動枠
51〜54 圧電素子
81〜84 回路内演算部
100 画像投影装置
101,101A 演算手段
104 AD変換器
120 駆動制御部
122,122A,122B 偏向制御回路
132 2次元偏向部(光スキャナ)
fh0 水平共振周波数
fv0 垂直共振周波数
BV 垂直走査駆動信号の有効周波数帯域
Claims (8)
- 光源部から発せられた光束のラスタ走査を行う2次元光スキャナ駆動装置であって、
前記光束の偏向を行う被駆動素子を、互いに異なる第1軸と第2軸との2軸を中心として回動させる回動機構と、
前記回動機構に駆動信号を与えることにより、前記2軸のそれぞれを中心として前記被駆動素子を周期的に回動させて、前記光束の2次元的走査を行わせる走査駆動手段と、
前記被駆動素子の速度を検出して速度検出信号を生成し、前記速度検出信号に基づいて前記走査駆動手段への速度負帰還信号を生成する負帰還制御手段と、
を備え、
前記第1軸を中心とする周期的回動は、前記被駆動素子の機械的共振に関して、非共振駆動として行われるとともに、
前記負帰還制御手段には、前記速度検出信号から非共振速度信号を抽出する抽出手段が設けられ、前記速度負帰還信号が前記非共振速度信号に基づいて生成されることを特徴とする2次元光スキャナ駆動装置。 - 請求項1に記載の2次元光スキャナ駆動装置であって、
前記回動機構に結合した状態での前記被駆動素子は、機械的共振に関して、前記第1軸および前記第2軸まわりにそれぞれ第2共振周波数と第1共振周波数とを有しており、
前記第2軸を中心とする周期的回動は、前記第1共振周波数での共振駆動として行われるとともに、
前記第1軸を中心とする周期的回動の駆動は、前記第1共振周波数と前記第2共振周波数とのいずれとも異なる非共振駆動であるとともに、所定の基本周波数とその高調波とを含んだ有効周波数帯域を有する駆動信号に基づいて生成されており、
前記第1共振周波数は、前記有効周波数帯域外にあり、
前記第2共振周波数は、前記有効周波数帯域内にあることを特徴とする2次元光スキャナ駆動装置。 - 請求項1または請求項2に記載の2次元光スキャナ駆動装置であって、
前記速度検出信号は、前記被駆動素子の回動量の検出信号を時間微分して得られることを特徴とする2次元光スキャナ駆動装置。 - 請求項1または請求項2のいずれかに記載の2次元光スキャナ駆動装置であって、
前記速度検出信号は、前記被駆動素子の回動加速度の検出信号を時間積分して得られることを特徴とする2次元光スキャナ駆動装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の2次元光スキャナ駆動装置であって、
前記光束による2次元走査は画像形成のための走査であって、
前記第1軸および前記第2軸を中心とした前記被駆動素子のそれぞれの回動は、前記光束による副走査および主走査をそれぞれ生じさせるものであり、
前記抽出手段は、前記速度検出信号から前記非共振速度信号を抽出する周波数分離手段を備えることを特徴とする2次元光スキャナ駆動装置。 - 請求項5に記載の2次元光スキャナ駆動装置であって、
前記周波数分離手段として、帯域除去フィルタ回路または低減通過フィルタ回路を用いたことを特徴とする2次元光スキャナ駆動装置。 - 光源部から発せられた光束のラスタ走査を行う2次元光スキャナ駆動装置であって、
前記光束の偏向を行う被駆動素子を、互いに異なる第1軸と第2軸との2軸を中心として回動させる回動機構と、
前記回動機構に駆動信号を与えることにより、前記2軸のそれぞれを中心として前記被駆動素子を周期的に回動させて、前記光束の2次元的走査を行わせる走査駆動手段と、
前記被駆動素子の回動量または回動加速度を検出して検出信号を生成し、前記検出信号に基づいて前記走査駆動手段への速度負帰還信号を生成する負帰還制御手段と、
を備え、
前記第1軸を中心とする周期的回動は、前記被駆動素子の機械的共振に関して、非共振駆動として行われるとともに、
前記負帰還制御手段が、
前記検出信号から非共振信号成分を抽出する抽出手段と、
前記非共振信号成分を時間的に微分または積分して非共振速度信号を得る演算手段と、
前記非共振速度信号に基づいて、前記速度負帰還信号を生成する負帰還信号生成手段と
を備えることを特徴とする2次元光スキャナ駆動装置。 - 請求項7に記載の2次元光スキャナ駆動装置であって、
前記回動機構に結合した状態での前記被駆動素子は、機械的共振に関して、前記第1軸および前記第2軸まわりにそれぞれ第2共振周波数と第1共振周波数とを有しており、
前記第2軸を中心とする周期的回動は、前記第1共振周波数での共振駆動として行われるとともに、
前記第1軸を中心とする周期的回動の駆動は、前記第1共振周波数と前記第2共振周波数とのいずれとも異なる非共振駆動であるとともに、所定の基本周波数とその高調波とを含んだ有効周波数帯域を有する駆動信号に基づいて生成されており、
前記第1共振周波数は、前記有効周波数帯域外にあり、前記第2共振周波数は、前記有効周波数帯域内であるとともに、前記第1共振周波数は、前記第2共振周波数よりも大きな周波数であり、
前記抽出手段は、前記第2軸まわりの回動の駆動周波数の2倍未満のサンプリング周波数を用いて、回動量の前記検出信号をアナログ−デジタル変換するAD変換手段を備え、
回動量の前記検出信号のうち前記サンプリング周波数を越える成分を前記速度負帰還信号の周波数帯域外へと移す折り返し周波数変換を、前記AD変換手段を用いて行うことによって、回動量の前記検出信号から回動量の前記非共振信号成分を抽出することを特徴とする2次元光スキャナ駆動装置。
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