JP2014175320A - 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表面に絶縁膜が形成された基板に対して所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給することで、絶縁膜の表面をトリートメントする工程と、基板に対して所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する工程と、基板に対して第3の原料を供給する工程と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われた絶縁膜の表面上に、所定元素を含む薄膜を形成する工程と、を有する。
【選択図】 図4
Description
表面に絶縁膜が形成された基板に対して所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給することで、前記絶縁膜の表面をトリートメントする工程と、
前記基板に対して前記所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する工程と、前記基板に対して第3の原料を供給する工程と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、前記トリートメントが行われた前記絶縁膜の表面上に、前記所定元素を含む薄膜を形成する工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給する第1原料供給系と、
前記処理室内へ前記所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する第2原料供給系と、
前記処理室内へ第3の原料を供給する第3原料供給系と、
前記処理室内の表面に絶縁膜が形成された基板に対して前記第1の原料を供給することで、前記絶縁膜の表面をトリートメントする処理と、
前記処理室内の前記基板に対して前記第2の原料を供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記第3の原料を供給する処理と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、前記トリートメントが行われた前記絶縁膜の表面上に、前記所定元素を含む薄膜を形成する処理と、
を行うように、前記第1原料供給系、前記第2原料供給系および前記第3原料供給系を制御する制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
基板処理装置の処理室内の表面に絶縁膜が形成された基板に対して所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給することで、前記絶縁膜の表面をトリートメントする手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する手順と、前記基板に対して第3の原料を供給する手順と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、前記トリートメントが行われた前記絶縁膜の表面上に、前記所定元素を含む薄膜を形成する手順と、
をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
以下に、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本実施形態で好適に用いられる基板処理装置の縦型処理炉の概略構成図であり、処理炉202部分を縦断面図で示している。図2は、本実施形態で好適に用いられる縦型処理炉の概略構成図であり、処理炉202部分を図1のA−A線断面図で示している。
次に、上述の基板処理装置の処理炉を用い、半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、基板の表面に形成された絶縁膜の表面をトリートメントした後、トリートメントが行われた絶縁膜の表面上に、所定元素を含む薄膜を成膜するシーケンス例について、図4、図5(a)を参照しながら説明する。図4は、本実施形態の成膜シーケンスにおける成膜フローを示す図である。図5(a)は、本実施形態の成膜シーケンスにおけるガス供給のタイミングを示す図である。尚、以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
表面に絶縁膜が形成された基板に対して所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給することで、絶縁膜の表面をトリートメントする工程と、
基板に対して所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する工程と、基板に対して第3の原料を供給する工程と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われた絶縁膜の表面上に、所定元素を含む薄膜を形成する工程を実施する。
複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、図1に示されているように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内に搬入(ボートロード)される。この状態で、シールキャップ219はOリング220を介して反応管203の下端をシールした状態となる。
処理室201内の圧力、すなわち、ウエハ200が存在する空間の圧力が所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244がフィードバック制御される(圧力調整)。なお、真空ポンプ246は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室201内が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合がフィードバック制御される(温度調整)。なお、ヒータ207による処理室201内の加熱は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は継続して行われる。続いて、回転機構267によるボート217及びウエハ200の回転を開始する。なお、回転機構267によるボート217及びウエハ200の回転は、少なくとも、ウエハ200に対する処理が完了するまでの間は継続して行われる。
その後、ウエハ200表面に形成されたSiO膜の表面に対し、トリートメント処理(前処理)を行う。この処理では、SiO膜の表面上に、初期層として、ハロゲン基としてのClと、所定元素としてのSiと、を含むシード層を形成することとなる。
SiO膜の表面上にシード層が形成された後、第1ガス供給管232aのバルブ243aを閉じ、HCDSガスの供給を停止する。このとき、排気管231のAPCバルブ244は開いたままとして、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくはシード層形成に寄与した後のHCDSガスを処理室201内から排除する。なお、このとき、バルブ243e〜243gは開いたままとして、不活性ガスとしてのN2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内に残留する未反応もしくはシード層形成に寄与した後のHCDSガスを処理室201内から排除する効果を高めることができる。
SiO膜の表面に対するトリートメント処理、すなわち、SiO膜の表面上へのシード層の形成が完了したら、次の2つのステップ、すなわち、ステップ1,2を実行する。
(HCDSガス供給)
ここでは、トリートメント工程と同様の処理手順により、ウエハ200に対して、第2の原料として、HCDSガスを供給する。
第1の層が形成された後、トリートメント工程と同様の手順により、処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくは第1の層形成に寄与した後のHCDSガスを処理室201内から排除する。
(SiH3Rガス供給)
ステップ1が終了し処理室201内の残留ガスを除去した後、第2ガス供給管232bのバルブ243bを開き、第2ガス供給管232b内に、第3の原料として、SiH3Rガスを流す。第2ガス供給管232b内を流れたSiH3Rガスは、MFC241bにより流量調整される。流量調整されたSiH3Rガスは、第2ノズル249bのガス供給孔250bから処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。このとき、ウエハ200に対してSiH3Rガスが供給されることとなる。このとき同時にバルブ243fを開き、第2不活性ガス供給管232f内に不活性ガスとしてのN2ガスを流す。第2不活性ガス供給管232f内を流れたN2ガスは、MFC241fにより流量調整される。流量調整されたN2ガスは、SiH3Rガスと一緒に処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。
Si層が形成された後、第2ガス供給管232bのバルブ243bを閉じ、SiH3Rガスの供給を停止する。このとき、排気管231のAPCバルブ244は開いたままとして、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくは第2の層形成に寄与した後のSiH3Rガスや反応副生成物を処理室201内から排除する。なお、このとき、バルブ243e〜243gは開いたままとして、不活性ガスとしてのN2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内に残留する未反応もしくは第2の層形成に寄与した後のSiH3Rガスや反応副生成物を処理室201内から排除する効果を高めることができる。
上述したステップ1,2を1サイクルとして、このサイクルを1回以上(所定回数)行うことにより、トリートメントが行われたSiO膜の表面上、すなわち、シード層上に、所定元素を含む膜として、ClやCやN等の不純物の含有量の極めて少ないSi単体で構成されるSi膜を成膜することができる。なお、このシード層は、Si膜の下地膜の一部として考えてもよいし、Si膜の一部として考えてもよい。このSi膜の結晶構造はアモルファス状態(非晶質)となり、このSi膜をアモルファスシリコン膜(a−Si膜)と称することもできる。なお、上述のサイクルは、複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、1サイクルあたりに形成するSi層の厚さを所望の膜厚よりも小さくして、上述のサイクルを所望の膜厚になるまで複数回繰り返すのが好ましい。
所定膜厚のSi膜を形成する成膜処理がなされると、バルブ243e〜243gを開き、第1不活性ガス供給管232e、第2不活性ガス供給管232f、第3不活性ガス供給管232gのそれぞれから不活性ガスとしてのN2ガスを処理室201内に供給し、排気管231から排気する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内が不活性ガスでパージされ、処理室201内に残留するガスや反応副生成物が処理室201内から除去される(パージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
その後、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降されて、反応管203の下端が開口されるとともに、処理済のウエハ200がボート217に支持された状態で反応管203の下端から反応管203の外部に搬出(ボートアンロード)される。その後、処理済のウエハ200はボート217より取出される(ウエハディスチャージ)。
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
図4、図5(a)に示した上述の成膜シーケンスでは、ウエハ200の表面に形成されたSiO膜の表面をトリートメントした後、ステップ1,2を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上、つまり、シード層上に、所定膜厚のSi膜を形成する例について説明したが、本実施形態に係る成膜シーケンスは係る態様に限定されず、以下に示すように変更してもよい。
例えば、図6に示すように、図4、図5(a)に示す成膜シーケンスのシード層形成ステップと、ステップ1,2を含むサイクルを所定回数(n回)行うことでSi層を形成するステップと、を実施した後、ウエハ200に対して無機シラン系原料ガス(例えばSiH4ガス)を供給するステップを行い、CVD(Chemical Vapor Deposition)法によりCVD−Si層を形成するようにしてもよい。これにより、トリートメントが行われたSiO膜の表面上、つまり、シード層上に、Si層、CVD−Si層がこの順に積層されてなるSi膜を形成することができる。
また例えば、図7に示すように、図4、図5(a)に示す成膜シーケンスのシード層形成ステップと、ステップ1,2を含むサイクルを所定回数(m回)行うことでSi層を形成するステップと、を実施した後、無機シラン系原料ガス(例えばSiH4ガス)を用いてCVD法によりCVD−Si層を形成し、その後、図4、図5(a)に示す成膜シーケンスのステップ1,2を含むサイクルを所定回数(n回)行うことでSi層を形成するようにしてもよい。これにより、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、つまり、シード層上に、Si層、CVD−Si層、Si層がこの順に積層されてなるSi膜を形成することができる。
また例えば、図8に示すように、図4、図5(a)に示す成膜シーケンスのシード層形成ステップと、ステップ1,2を含むサイクルを所定回数(m回)行うことでSi層を形成するステップと、を実施した後、ウエハ200に対してクロロシラン系原料ガス(例えばHCDSガス)を供給するステップ3と、ウエハ200に対してアミノシラン系原料ガス(例えば3DMASガス)を供給するステップ4と、を含むサイクルを所定回数(n回)行うことで、シリコン炭窒化層(SiCN層)を形成するようにしてもよい。これにより、トリートメントが行われたSiO膜の表面上、つまり、シード層上に、Si層とSiCN層がこの順に積層されてなる層、すなわち、Si膜とシリコン炭窒化膜(SiCN膜)とが積層されてなる積層膜を形成することができる。以下に、ステップ3,4について説明する。
(HCDSガス供給)
ウエハ200に対してHCDSガスを供給するステップ3は、図4、図5(a)に示す成膜シーケンスのステップ1と同様の手順及び処理条件で行う。但し、ウエハ200の温度は、例えば250〜700℃、好ましくは300〜650℃、より好ましくは350〜600℃の範囲内の温度とする。これにより、ウエハ200上に形成されたSi層上に、例えば1原子層未満から数原子層程度の厚さのClを含むSi含有層が形成される。
Clを含むSi含有層が形成された後、ステップ1と同様の手順及び処理条件により、処理室201内に残留する未反応もしくはClを含むSi含有層の形成に寄与した後のHCDSガスや反応副生成物を処理室201内から排除する。このとき、処理室201内に残留するガスを完全に排除しなくてもよく、処理室201内を完全にパージしなくてもよいのは、ステップ1と同様である。
(3DMASガス供給)
ステップ3が終了し処理室201内の残留ガスを除去した後、第4ガス供給管232dのバルブ243dを開き、第4ガス供給管232d内に、第5の原料として、3DMASガスを流す。第4ガス供給管232d内を流れた3DMASガスは、MFC241dにより流量調整される。流量調整された3DMASガスは、第3ガス供給管232c内を流れ、第3ノズル249cのガス供給孔250cから処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このとき、ウエハ200に対して3DMASガスが供給されることとなる。このとき同時にバルブ243gを開き、不活性ガス供給管232g内にN2ガス等の不活性ガスを流す。不活性ガス供給管232g内を流れたN2ガスは、MFC241gにより流量調整される。流量調整されたN2ガスは3DMASガスと一緒に処理室201内に供給され、排気管231から排気される。
SiCN層が形成された後、第4ガス供給管232dのバルブ243dを閉じ、3DMASガスの供給を停止する。このとき、排気管231のAPCバルブ244は開いたままとして、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくはSiCN層形成に寄与した後の3DMASガスを処理室201内から排除する。なお、このとき、バルブ243e〜243gは開いたままとして、不活性ガスとしてのN2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内に残留する未反応もしくはSiCN層形成に寄与した後のHCDSガスを処理室201内から排除する効果を高めることができる。このとき、処理室201内に残留するガスを完全に排除しなくてもよく、処理室201内を完全にパージしなくてもよいのは、ステップ3と同様である。
上述したステップ3,4を1サイクルとして、このサイクルを1回以上(所定回数)行うことにより、Si層上に、所定厚さのSiCN層を形成することができる。そして、トリートメントが行われたSiO膜の表面上、つまり、シード層上に、Si層、SiCN層が積層されてなる層、すなわち、Si膜とSiCN膜とが積層されてなる積層膜を形成することができる。
以上、本発明の実施の形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
クロロシラン系原料ガス供給工程、窒素含有ガス供給工程を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、SiN膜を形成する場合や、
クロロシラン系原料ガス供給工程、酸素含有ガス供給工程を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、SiO膜を形成する場合や、
クロロシラン系原料ガス供給工程、酸素含有ガスに水素含有ガスを添加したガスを供給する工程を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、SiO膜を形成する場合や、
クロロシラン系原料ガス供給工程、窒素含有ガス供給工程、酸素含有ガス供給工程を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、SiON膜を形成する場合にも適用することができる。
クロロシラン系原料ガス供給工程、炭素含有ガス供給工程、窒素含有ガス供給工程を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、SiCN膜を形成する場合や、
クロロシラン系原料ガス供給工程、炭素含有ガス供給工程、窒素含有ガス供給工程、酸素含有ガス供給工程を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、SiOCN膜を形成する場合にも適用することができる。
クロロシラン系原料ガス供給工程、アミン系ガス供給工程を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、SiCN膜を形成する場合や、
クロロシラン系原料ガス供給工程、アミン系ガス供給工程、酸素含有ガス供給工程を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、SiOCN膜またはSiOC膜を形成する場合にも適用することができる。
クロロシラン系原料ガス供給工程、硼素含有ガス供給工程、窒素含有ガス供給工程を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、SiBN膜を形成する場合や、
クロロシラン系原料ガス供給工程、炭素含有ガス供給工程、硼素含有ガス供給工程、窒素含有ガス供給工程を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、SiBCN膜を形成する場合にも適用することができる。
クロロシラン系原料ガス供給工程、有機ボラジン系ガス供給工程を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、ボラジン環骨格を有するSiBCN膜を形成する場合や、
クロロシラン系原料ガス供給工程、有機ボラジン系ガス供給工程、窒素含有ガス供給工程を含むサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われたSiO膜の表面上に、ボラジン環骨格を有するSiBCN膜またはSiBN膜を形成する場合にも適用することができる。
表面に絶縁膜が形成されたウエハ200に対して金属元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給することで、絶縁膜の表面をトリートメントする工程と、
ウエハ200に対して金属元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する工程と、ウエハ200に対して第3の原料を供給する工程と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、トリートメントが行われた絶縁膜の表面上に、金属元素を含む金属系薄膜を形成する工程を実施する。
以下、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、
表面に絶縁膜が形成された基板に対して所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給することで、前記絶縁膜の表面をトリートメントする工程と、
前記基板に対して前記所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する工程と、前記基板に対して第3の原料を供給する工程と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、前記トリートメントが行われた前記絶縁膜の表面上に、前記所定元素を含む薄膜を形成する工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
付記1の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第1の原料の供給時間を、前記1サイクルあたりの前記第2の原料の供給時間よりも長くする。
付記1または2の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第1の原料の供給時間を120秒以上1200秒以下とする。
付記1または2の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第1の原料の供給時間を300秒以上900秒以下とする。
付記1または2の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第1の原料の供給時間を600秒以上900秒以下とする。
付記1乃至5のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第1の原料の供給流量を前記第2の原料の供給流量よりも大きくする。
付記1乃至6のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第1の原料を供給する際の前記基板が存在する空間の圧力を、前記第2の原料を供給する際の前記基板が存在する空間の圧力よりも大きくする。
付記1乃至7のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第1の原料と前記第2の原料とは同じ物質で構成される。
付記1乃至8のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記絶縁膜の表面をトリートメントする工程では、前記絶縁膜の表面にシード層を形成する。
付記1乃至9のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記絶縁膜の表面をトリートメントする工程では、前記絶縁膜の表面に前記ハロゲン基を含むシード層を形成する。
付記1乃至10のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記絶縁膜の表面をトリートメントする工程では、前記絶縁膜の表面に前記ハロゲン基と前記所定元素とを含むシード層を形成する。
付記9乃至11のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記シード層の厚さが0.5〜2Åである。
付記1乃至12のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第3の原料は、前記所定元素およびアミノ基を含む。
付記1乃至13のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第3の原料は、前記所定元素およびアミノ基を含み、
前記薄膜は、前記所定元素単体で構成される薄膜である。
付記13または14の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第3の原料は、その組成式中に(1分子中に)1つのアミノ基を含む。
付記1乃至12のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第3の原料は、窒化ガス(窒素含有ガス)、酸化ガス(酸素含有ガス)、還元ガス(水素含有ガス)、炭素含有ガス(炭化水素系ガス)、炭素および窒素含有ガス(アミン系ガス、有機ヒドラジン系ガス)および硼素含有ガス(ハロゲン化ボロン系ガス、無機ボラジン系ガス、有機ボラジン系ガス)のうち少なくともいずれかを含む。
付記1乃至16のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記ハロゲン基はクロロ基またはフルオロ基を含む。
付記1乃至17のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記ハロゲン基は塩素またはフッ素を含む。
付記1乃至18のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記所定元素は半導体元素または金属元素を含む。
付記1乃至19のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記所定元素はシリコンを含む。
付記1乃至20のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記所定元素はシリコンを含み、前記薄膜はシリコン膜を含む。
付記1乃至21のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記絶縁膜は、酸化膜、窒化膜および酸窒化膜のうち少なくともいずれかを含む。
本発明の他の態様によれば、
表面に絶縁膜が形成された基板に対して所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給することで、前記絶縁膜の表面をトリートメントする工程と、
前記基板に対して前記所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する工程と、前記基板に対して第3の原料を供給する工程と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、前記トリートメントが行われた前記絶縁膜の表面上に、前記所定元素を含む薄膜を形成する工程と、
を有する基板処理方法が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給する第1原料供給系と、
前記処理室内へ前記所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する第2原料供給系と、
前記処理室内へ第3の原料を供給する第3原料供給系と、
前記処理室内の表面に絶縁膜が形成された基板に対して前記第1の原料を供給することで、前記絶縁膜の表面をトリートメントする処理と、
前記処理室内の前記基板に対して前記第2の原料を供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記第3の原料を供給する処理と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、前記トリートメントが行われた前記絶縁膜の表面上に、前記所定元素を含む薄膜を形成する処理と、
を行うように、前記第1原料供給系、前記第2原料供給系および前記第3原料供給系を制御する制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板処理装置の処理室内の表面に絶縁膜が形成された基板に対して所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給することで、前記絶縁膜の表面をトリートメントする手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する手順と、前記基板に対して第3の原料を供給する手順と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、前記トリートメントが行われた前記絶縁膜の表面上に、前記所定元素を含む薄膜を形成する手順と、
をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板処理装置の処理室内の表面に絶縁膜が形成された基板に対して所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給することで、前記絶縁膜の表面をトリートメントする手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する手順と、前記基板に対して第3の原料を供給する手順と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、前記トリートメントが行われた前記絶縁膜の表面上に、前記所定元素を含む薄膜を形成する手順と、
をコンピュータに実行させるプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
200 ウエハ(基板)
201 処理室
202 処理炉
203 反応管
207 ヒータ
231 排気管
232a 第1ガス供給管
232b 第2ガス供給管
232c 第3ガス供給管
232d 第4ガス供給管
Claims (5)
- 表面に絶縁膜が形成された基板に対して所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給することで、前記絶縁膜の表面をトリートメントする工程と、
前記基板に対して前記所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する工程と、前記基板に対して第3の原料を供給する工程と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、前記トリートメントが行われた前記絶縁膜の表面上に、前記所定元素を含む薄膜を形成する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記第1の原料の供給時間を、前記1サイクルあたりの前記第2の原料の供給時間よりも長くする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の原料と前記第2の原料とは同じ物質で構成される請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給する第1原料供給系と、
前記処理室内へ前記所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する第2原料供給系と、
前記処理室内へ第3の原料を供給する第3原料供給系と、
前記処理室内の表面に絶縁膜が形成された基板に対して前記第1の原料を供給することで、前記絶縁膜の表面をトリートメントする処理と、
前記処理室内の前記基板に対して前記第2の原料を供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記第3の原料を供給する処理と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、前記トリートメントが行われた前記絶縁膜の表面上に、前記所定元素を含む薄膜を形成する処理と、
を行うように、前記第1原料供給系、前記第2原料供給系および前記第3原料供給系を制御する制御部と、
を有する基板処理装置。 - 基板処理装置の処理室内の表面に絶縁膜が形成された基板に対して所定元素およびハロゲン基を含む第1の原料を供給することで、前記絶縁膜の表面をトリートメントする手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素およびハロゲン基を含む第2の原料を供給する手順と、前記基板に対して第3の原料を供給する手順と、を含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数行うことで、前記トリートメントが行われた前記絶縁膜の表面上に、前記所定元素を含む薄膜を形成する手順と、
をコンピュータに実行させるプログラム。
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