JP7448924B2 - 半導体デバイス - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 104
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims description 159
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 140
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 41
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 8
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- KAJBHOLJPAFYGK-UHFFFAOYSA-N [Sn].[Ge].[Si] Chemical compound [Sn].[Ge].[Si] KAJBHOLJPAFYGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 95
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 70
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 40
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 28
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 23
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 15
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 14
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical compound Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 11
- 229910052990 silicon hydride Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 6
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 2
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 4-(3,5-dimethylphenyl)-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C=2N=C(N)SC=2)=C1 MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N chlorosilicon Chemical compound Cl[Si] SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- RAABOESOVLLHRU-UHFFFAOYSA-N diazene Chemical compound N=N RAABOESOVLLHRU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000071 diazene Inorganic materials 0.000 description 1
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002147 dimethylamino group Chemical group [H]C([H])([H])N(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWKFQWAGPHVFRF-UHFFFAOYSA-N n-(diethylaminosilyl)-n-ethylethanamine Chemical compound CCN(CC)[SiH2]N(CC)CC OWKFQWAGPHVFRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYIRVGYSUZPNLF-UHFFFAOYSA-N n-(tert-butylamino)silyl-2-methylpropan-2-amine Chemical compound CC(C)(C)N[SiH2]NC(C)(C)C VYIRVGYSUZPNLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N nitrogen dioxide Inorganic materials O=[N]=O JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001272 nitrous oxide Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- NFHFRUOZVGFOOS-UHFFFAOYSA-N palladium;triphenylphosphane Chemical compound [Pd].C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 NFHFRUOZVGFOOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical compound [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N silicon tetrachloride Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)Cl FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N trichloro(trichlorosilyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZKOFHKJGUNVTM-UHFFFAOYSA-N trichloro-[dichloro(trichlorosilyl)silyl]silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl PZKOFHKJGUNVTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- GIRKRMUMWJFNRI-UHFFFAOYSA-N tris(dimethylamino)silicon Chemical compound CN(C)[Si](N(C)C)N(C)C GIRKRMUMWJFNRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEDJZFSRVVQBIL-UHFFFAOYSA-N trisilane Chemical compound [SiH3][SiH2][SiH3] VEDJZFSRVVQBIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPGXUAIFQMJJFB-UHFFFAOYSA-H tungsten hexachloride Chemical compound Cl[W](Cl)(Cl)(Cl)(Cl)Cl KPGXUAIFQMJJFB-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H tungsten hexafluoride Chemical compound F[W](F)(F)(F)(F)F NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/40—Oxides
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
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- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
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- H01L29/772—Field effect transistors
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/788—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating gate
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- H—ELECTRICITY
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
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Description
基板上に設けられた絶縁膜と、
前記絶縁膜に隣接して設けられた塩素含有半導体層と、
前記塩素含有半導体層に隣接して設けられた半導体領域と、
を有し、
前記塩素含有半導体層の塩素濃度が1.0×1020atoms/cm3以上1.0×1022atoms/cm3以下である半導体デバイスが提供される。
以下、本開示の一態様について図1を参照しつつ説明する。なお、以下の説明において用いられる図面は、いずれも模式的なものであり、図面上の各要素の寸法の関係、各要素の比率等は、現実のものとは必ずしも一致していない。また、複数の図面の相互間においても、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は必ずしも一致していない。
図1は、半導体デバイスの一つであるメモリデバイス300が備えるSONOS(Silicon-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon)構造の断面部分拡大図である。
次に、メモリデバイス300を製造する方法の一例について説明する。
ウエハ301上に、例えばCVD法によって、ブロック層としてのSiO膜と、チャージトラップ層としてのSiN膜と、トンネル層としてのSiO膜と、をこの順に形成する。トンネル層としてSiON膜を形成してもよいことは上述の通りである。
Si含有ガス供給流量:0.1~5slm
酸化ガス供給流量:0.1~10slm
各ガス供給時間:1~300分
処理温度:350~700℃、好ましくは350~650℃
処理圧力:133~4000Pa、好ましくは667~2666Pa
が例示される。
Si含有ガス供給流量:0.1~5slm
窒化ガス供給流量:0.1~10slm
が例示される。他の処理条件は、SiO膜を形成する工程における処理条件と同様とすることができる。
Si含有ガス供給流量:0.1~5slm
酸化ガス供給流量:0.1~10slm
窒化ガス供給流量:0.1~10slm
が例示される。他の処理条件は、SiO膜を形成する工程における処理条件と同様とすることができる。
ウエハ301上にONO膜を形成した後、ONO膜の最上層を構成するトンネル層としてのSiO膜上に、例えばCVD法によって、Clを高濃度に含むCl含有Si層を形成する。
クロロシラン系ガス供給流量:0.1~1slm
水素化ケイ素ガス供給流量:0~1slm
各ガス供給時間:0.5~2分
処理温度:350~450℃、好ましくは350~400℃
処理圧力:667~1333Pa
が例示される。
不活性ガス供給流量:0.5~20slm
不活性ガス供給時間:10~30秒
処理温度:350~450℃、好ましくは350~400℃
処理圧力:1~30Pa
が例示される。
ONO膜上にCl含有Si層を形成した後、Cl含有Si層上に、例えばCVD法によって、チャネル層としてpoly-Si膜を形成する。
水素化ケイ素ガス供給流量:0.1~5slm
水素化ケイ素ガス供給時間:1~300分
が例示される。他の処理条件は、SiO膜を形成する工程における処理条件と同様とすることができる。
(クロロシラン系ガス→不活性ガス→水素化ケイ素ガス→不活性ガス)×n
図2は、本態様における半導体デバイスの変形例であるトランジスタデバイス400が備えるMIS(Metal-Insulator-Semiconductor)構造の断面部分拡大図である。
メタル含有ガス供給流量:0.1~5slm
還元ガス供給流量:0.1~10slm
ガス供給時間:1~300分
処理温度:100~450℃、好ましくは200~400℃
処理圧力:1~4000Pa、好ましくは133~2666Pa
が例示される。
Si基板としてのウエハ上に、絶縁膜としてのClフリーなSiO膜を形成した。そして、SiO膜上に、塩素含有半導体層としてのCl含有Si層を、SiO膜と隣接するように形成した。そして、Cl含有Si層上に、半導体領域としての半導体膜であるClフリーなノンドープpoly-Si膜を、Cl含有Si層と隣接するように形成し、実施例1の評価サンプルを作製した。図3(a)に、実施例1における評価サンプルの断面部分拡大図を示す。評価サンプルが備える各膜や層を形成する際の処理手順、処理条件は、それぞれ、上述の態様の各工程における処理手順、処理条件と同様とした。評価サンプルとしては、Cl含有Si層におけるCl濃度を変化させたものを複数準備した。そして、それぞれの評価サンプルにおけるダングリングボンド密度を測定した。
Si基板としてのウエハ上に、絶縁膜(ゲート絶縁膜)としてのClフリーなSiO膜を、熱酸化方法により形成した。ウエハとしては、Pが高濃度に添加されたn型低抵抗基板を用いた。そして、SiO膜上に、塩素含有半導体層としてのCl含有Si層を、SiO膜と隣接するように形成した。そして、Cl含有Si層上に、チャネル層として機能する半導体領域として、半導体膜であるClフリーなpoly-Si膜を、Cl含有Si層と隣接するように形成した。また、チャネル層としてpoly-Si膜の延面方向における両端に、ソース電極およびドレイン電極をそれぞれ形成し、実施例2の評価サンプル(FETデバイス)を作製した。図3(b)に、実施例2における評価サンプルの断面部分拡大図を示す。熱酸化膜であるSiO膜を除き、評価サンプルが備える各膜や層を形成する際の処理手順、処理条件は、上述の態様の各工程における処理手順、処理条件と同様とした。評価サンプルとしては、Cl含有Si層におけるCl濃度を変化させたものを複数準備した。そして、それぞれの評価サンプルにおける電界効果移動度(FET移動度)を測定した。
以上、本開示の態様を具体的に説明した。しかしながら、本開示は上述の態様に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
301 ウエハ(基板)
400 トランジスタデバイス(半導体デバイス)
401 ウエハ(基板)
Claims (18)
- 基板上に設けられた絶縁膜と、
前記絶縁膜に隣接して設けられた塩素含有半導体層と、
前記塩素含有半導体層に隣接して設けられた半導体領域と、
を有し、
前記塩素含有半導体層の塩素濃度が1.0×1020atoms/cm3以上1.0×1022atoms/cm3以下であって、
前記絶縁膜および前記半導体領域のそれぞれが塩素フリーである半導体デバイス。 - 前記塩素含有半導体層の塩素濃度が3.0×1020atoms/cm3以上5.0×1021atoms/cm3以下である請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記塩素含有半導体層の厚さが1モノレイヤー以上30Å以下である請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記塩素含有半導体層の厚さが2.5Å以上30Å以下である請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記塩素含有半導体層の厚さが3Å以上20Å以下である請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記塩素含有半導体層の厚さは、前記絶縁膜および前記半導体領域のそれぞれの厚さよりも薄い請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記基板上に絶縁膜が設けられ、
前記絶縁膜上に前記塩素含有半導体層が設けられ、
前記塩素含有半導体層上に前記半導体領域として半導体膜が設けられる請求項1に記載の半導体デバイス。 - 前記基板の表面は前記半導体領域を含み、
前記半導体領域上に前記塩素含有半導体層が設けられ、
前記塩素含有半導体層上に前記絶縁膜が設けられる請求項1に記載の半導体デバイス。 - 前記絶縁膜は、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、およびシリコン酸窒化膜のうち少なくともいずれかを含む請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記塩素含有半導体層および前記半導体領域における半導体は、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、およびシリコンゲルマニウムスズのうち少なくともいずれかを含む請求項1に記載の半導体デバイス。
- 基板上に設けられた絶縁膜と、
前記絶縁膜上に設けられた塩素含有半導体層と、
前記塩素含有半導体層上に設けられた半導体領域としての半導体膜と、
を有し、
前記塩素含有半導体層の塩素濃度が1.0×1020atoms/cm3以上1.0×1022atoms/cm3以下であって、
前記絶縁膜および前記半導体領域のそれぞれが塩素フリーである半導体デバイス。 - 前記絶縁膜は、第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜上に形成された第2絶縁膜と、前記第2絶縁膜上に形成された第3絶縁膜と、を有し、
前記第1絶縁膜はシリコン酸化膜を含み、前記第2絶縁膜はシリコン窒化膜を含み、前記第3絶縁膜はシリコン酸化膜またはシリコン酸窒化膜を含む請求項7または11に記載の半導体デバイス。 - 前記塩素含有半導体層における半導体は、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、およびシリコンゲルマニウムスズのうち少なくともいずれかを含む請求項12に記載の半導体デバイス。
- 表面に半導体領域を含む基板の前記半導体領域上に設けられた塩素含有半導体層と、
前記塩素含有半導体層上に設けられた絶縁膜と、
を有し、
前記塩素含有半導体層の塩素濃度が1.0×1020atoms/cm3以上1.0×1022atoms/cm3以下であって、
前記絶縁膜および前記半導体領域のそれぞれが塩素フリーである半導体デバイス。 - 前記絶縁膜は、シリコン酸化膜を含む請求項7、8、11または14に記載の半導体デバイス。
- 前記塩素含有半導体層および前記半導体領域における半導体は、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、およびシリコンゲルマニウムスズのうち少なくともいずれかを含む請求項15に記載の半導体デバイス。
- 前記絶縁膜上に金属含有膜が設けられる請求項8または14に記載の半導体デバイス。
- 前記金属含有膜は、タングステン膜、ニッケル膜、およびコバルト膜のうち少なくともいずれかを含む請求項17に記載の半導体デバイス。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020094305 | 2020-05-29 | ||
JP2020094305 | 2020-05-29 | ||
PCT/JP2021/019402 WO2021241449A1 (ja) | 2020-05-29 | 2021-05-21 | 半導体デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021241449A1 JPWO2021241449A1 (ja) | 2021-12-02 |
JP7448924B2 true JP7448924B2 (ja) | 2024-03-13 |
Family
ID=78744659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022526994A Active JP7448924B2 (ja) | 2020-05-29 | 2021-05-21 | 半導体デバイス |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7448924B2 (ja) |
WO (1) | WO2021241449A1 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005197684A (ja) | 2004-12-21 | 2005-07-21 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JP2007287856A (ja) | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2014175320A (ja) | 2013-03-05 | 2014-09-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
WO2015115330A1 (ja) | 2014-01-31 | 2015-08-06 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 薄膜トランジスタ、酸化物半導体、およびその製造方法 |
JP2017168786A (ja) | 2016-03-18 | 2017-09-21 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
JP2019012822A (ja) | 2017-06-16 | 2019-01-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、および半導体装置の作製方法 |
-
2021
- 2021-05-21 WO PCT/JP2021/019402 patent/WO2021241449A1/ja active Application Filing
- 2021-05-21 JP JP2022526994A patent/JP7448924B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005197684A (ja) | 2004-12-21 | 2005-07-21 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JP2007287856A (ja) | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2014175320A (ja) | 2013-03-05 | 2014-09-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
WO2015115330A1 (ja) | 2014-01-31 | 2015-08-06 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 薄膜トランジスタ、酸化物半導体、およびその製造方法 |
JP2017168786A (ja) | 2016-03-18 | 2017-09-21 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
JP2019012822A (ja) | 2017-06-16 | 2019-01-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、および半導体装置の作製方法 |
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Publication number | Publication date |
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WO2021241449A1 (ja) | 2021-12-02 |
JPWO2021241449A1 (ja) | 2021-12-02 |
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