JP2014164070A - カラーフィルター基板、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第2基材20aと、第2基材20a上に設けられたストッパー膜37と、ストッパー膜37上に設けられたカラーフィルター溝部42a1,42b1,42c1を有する絶縁膜38と、カラーフィルター溝部42a1,42b1,42c1を埋めるように設けられたカラーフィルター42a,42b,42cと、を備える。
【選択図】図5
Description
<液晶装置の構成>
図1は、液晶装置の構成を示す模式平面図である。図2は、図1に示す液晶装置のH−H’線に沿う模式断面図である。図3は、液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図である。以下、液晶装置の構成を、図1〜図3を参照しながら説明する。
図5は、液晶装置を構成する対向基板、及び対向基板を構成するカラーフィルター基板の構成を示す模式断面図である。以下、対向基板、及びカラーフィルター基板の構成について、図5を参照しながら説明する。
図6は、液晶装置の製造方法を工程順に示すフローチャートである。図7及び図8は、液晶装置の製造方法のうち一部の製造方法を示す模式断面図である。以下、液晶装置の製造方法を、図6〜図8を参照しながら説明する。
次に、本実施形態の電子機器としての投射型表示装置について、図9を参照して説明する。図9は、上記した液晶装置を備えた投射型表示装置の構成を示す概略図である。図9(a)は概略側断面図であり、図9(b)は上面から見た概略断面図である。
<対向基板、及びカラーフィルター基板の構成>
図10は、第2実施形態の液晶装置を構成する対向基板、及び対向基板を構成するカラーフィルター基板の構成を示す模式断面図である。以下、対向基板、及びカラーフィルター基板の構成について、図10を参照しながら説明する。
図11及び図12は、第2実施形態の対向基板の製造方法を工程順に示す模式断面図である。以下、対向基板の製造方法を、図11及び図12を参照しながら説明する。
上記したように、カラーフィルター溝部42a1,42b1,42c1の深さを、各色(赤色、緑色、青色)同じ深さに設定することに代えて、図13に示すカラーフィルター基板135のように、色に応じてカラーフィルター溝部の深さを異ならせるようにしてもよい。図13は、変形例のカラーフィルター基板の構成を示す模式断面図である。図13に示すカラーフィルター基板135は、第2基材20a側から順に、第1絶縁膜38a、第2絶縁膜38b、第3絶縁膜38c、遮光膜39、及びオーバーコート43が設けられている。
上記したように、対向基板20にカラーフィルター42a,42b,42cを備えることに限定されず、例えば、図14に示すように、素子基板110にカラーフィルター242を備える構造であってもよい。図14は、変形例の液晶装置200の構造を示す模式断面図である。なお、液晶装置200は、COA(Color filter On Array)構造である。
上記したように、電気光学装置として液晶装置100に適用することに限定されず、例えば、有機EL装置、プラズマディスプレイ、電子ペーパー等に適用するようにしてもよい。
Claims (13)
- 基板と、
前記基板上に設けられたストッパー膜と、
前記ストッパー膜上に設けられた開口孔を有する絶縁膜と、
前記開口孔を埋めるように設けられたカラーフィルターと、
を備えることを特徴とするカラーフィルター基板。 - 請求項1に記載のカラーフィルター基板であって、
前記カラーフィルターの色に対応して、前記基板の法線方向における前記基板と前記ストッパー膜の間隔が異なるように配置されていることを特徴とするカラーフィルター基板。 - 請求項1又は請求項2に記載のカラーフィルター基板であって、
前記ストッパー膜は、前記開口孔と平面視で重ならない領域に設けられていることを特徴とするカラーフィルター基板。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のカラーフィルター基板であって、
前記絶縁膜上に、遮光膜が設けられていることを特徴とするカラーフィルター基板。 - 第1基板と、
前記第1基板に対向配置された第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板とにより挟持された電気光学層と、
を含み、
前記第1基板又は前記第2基板上に設けられたストッパー膜と、
前記ストッパー膜上に設けられた開口孔を有する絶縁膜と、
前記開口孔を埋めるように設けられたカラーフィルターと、
を備えることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項5に記載の電気光学装置であって、
前記カラーフィルターの色に対応して、前記第1基板又は前記第2基板の法線方向における前記基板と前記ストッパー膜の間隔が異なるように配置されていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項5又は請求項6に記載の電気光学装置であって、
前記ストッパー膜は、前記開口孔と平面視で重ならない領域に設けられていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項5乃至請求項7のいずれか一項に記載の電気光学装置であって、
前記絶縁膜上に、遮光膜が設けられていることを特徴とする電気光学装置。 - 第1基板と、
前記第1基板に対向配置された第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板とにより挟持された電気光学層と、
を含む電気光学装置の製造方法であって、
前記第1基板又は前記第2基板上にストッパー膜を形成するストッパー膜形成工程と、
前記ストッパー膜上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
レジストパターンをマスクとして、前記ストッパー膜と平面視で重なる領域の前記絶縁膜にエッチング処理を施して開口孔を形成する開口孔形成工程と、
少なくとも前記開口孔と平面視で重なる領域の前記ストッパー膜を除去する除去工程と、
前記開口孔の中にカラーフィルターを埋め込むカラーフィルター形成工程と、
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項9に記載の電気光学装置の製造方法であって、
前記ストッパー膜形成工程は、前記開口孔と平面視で重なる領域に前記ストッパー膜をパターニングして形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項9又は請求項10に記載の電気光学装置の製造方法であって、
前記ストッパー膜形成工程は、前記カラーフィルターの色に対応して、前記第1基板又は前記第2基板の法線方向における前記第1基板又は前記第2基板と前記ストッパー膜との間隔が異なるように前記ストッパー膜を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項9乃至請求項11のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法であって、
前記絶縁膜形成工程の後、前記絶縁膜上に、遮光膜を形成する工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項5乃至請求項8のいずれか一項に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
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