JP2014143310A - 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014143310A JP2014143310A JP2013011168A JP2013011168A JP2014143310A JP 2014143310 A JP2014143310 A JP 2014143310A JP 2013011168 A JP2013011168 A JP 2013011168A JP 2013011168 A JP2013011168 A JP 2013011168A JP 2014143310 A JP2014143310 A JP 2014143310A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- liquid
- ammonia
- chemical
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】基板処理装置において、基板保持部10は、筐体41内に配置され、基板Wを水平に保持し、ノズル51は基板Wの表面にアンモニアを含む薬液を供給する。アンモニア吸収部61は、前記筐体内に拡散したアンモニアを吸収する酸性の吸収液を貯溜し、吸収液供給部505は、アンモニア吸収部61に、酸性の吸収液を供給する。
【選択図】図1
Description
前記基板の表面にアンモニアを含む薬液を供給する薬液ノズルと、
前記筐体内に設けられ、当該筐体内に拡散したアンモニアを吸収する酸性の吸収液を貯溜するアンモニア吸収部と、
前記アンモニア吸収部に、酸性の吸収液を供給する吸収液供給部と、を備えたことを特徴とする。
(a)前記アンモニア吸収部は、前記基板保持部に保持された基板よりも高い位置に設けられていること。
(b)前記アンモニア吸収部に貯溜された液体を排出するための排出部と、前記薬液ノズルから基板の表面にアンモニアを含む薬液を供給するとき、アンモニア吸収部に酸性の吸収液を供給することと、前記基板の乾燥を開始する前に、前記排出部から前記アンモニア吸収部の吸収液を排出することとを実行するように制御信号を出力する制御部と、を備えたこと。
(c)前記基板に、薬液をリンス洗浄するためのリンス液を供給するリンス液ノズルと、有機溶媒を含む乾燥用の液体を供給する乾燥液ノズルと、を備え、前記制御部は、前記リンス液の供給停止後、前記基板に乾燥液ノズルから前記乾燥用の液体を供給した後、前記基板の乾燥を行い、前記乾燥用の液体の供給を開始する前に、前記排出部から前記アンモニア吸収部の吸収液を排出することを実行するように制御信号を出力すること。
(d)前記薬液ノズルを第1薬液ノズルとしたとき、前記基板の表面に、前記アンモニアを含む薬液とは異なる他の薬液を供給する第2薬液ノズルを備え、前記制御部は、前記基板へのアンモニアを含む薬液の供給とその後のリンス液の供給が行われた後、当該基板の乾燥を開始するまでの期間中に、前記第2の薬液ノズルからの他の薬液の供給と、前記他の薬液に替えて、前記リンス液ノズルからのリンス液の供給と、を行うことを実行するように制御信号を出力すること。
(e)前記薬液ノズルを第1薬液ノズルとしたとき、前記基板の表面に、前記アンモニアを含む薬液とは異なる他の薬液を供給する第2薬液ノズルと、前記筐体内を流れる気流の流量を調節する流量調節部と、を備え、第1の薬液ノズルからアンモニアを含む薬液が供給される期間中は、第2の薬液ノズルからの他の薬液が供給される期間よりも前記筐体内を流れる気流の流量を増大させるように制御信号を出力する前記制御部を備えたこと。
(f)前記酸性の吸収液は、硫酸、塩酸、フッ酸からなる群から選択された少なくとも一つの酸の溶液を含むこと。
このときカップ部30は、次に実行されるSC1処理に対応して第2カップ32を上昇させる一方、第3カップ33を降下させ、カップ部30に進入した気流やウエハWから振り切られた液体が第2流路321を通過する位置設定となっている。また、流路切替弁701はカップ排気路36の接続先としてアルカリ性排気ライン72を選択している。
ウエハWを乾燥させたら、ノズル51〜53を退避位置に退避させ、外部の搬送アームを筐体41内に進入させて、処理済みのウエハWを搬出する。
10 ウエハ保持部
30 カップ部
35 カップ排気口
41 筐体
45 FFU(ファンフィルタユニット)
501 DIW供給部
502 SC1供給部
503 DHF供給部
504 IPA供給部
505 硫酸供給部
51 第1ノズル
52 第2ノズル
53 第3ノズル
61 アンモニア吸収部
63 吸収液
64 洗浄液
8 制御部
Claims (16)
- 筐体内に配置され、基板を水平に保持する基板保持部と、
前記基板の表面にアンモニアを含む薬液を供給する薬液ノズルと、
前記筐体内に設けられ、当該筐体内に拡散したアンモニアを吸収する酸性の吸収液を貯溜するアンモニア吸収部と、
前記アンモニア吸収部に、酸性の吸収液を供給する吸収液供給部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記アンモニア吸収部は、前記基板保持部に保持された基板よりも高い位置に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記アンモニア吸収部に貯溜された液体を排出するための排出部と、
前記薬液ノズルから基板の表面にアンモニアを含む薬液を供給するとき、アンモニア吸収部に酸性の吸収液を供給することと、前記基板の乾燥を開始する前に、前記排出部から前記アンモニア吸収部の吸収液を排出することとを実行するように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 前記基板に、薬液をリンス洗浄するためのリンス液を供給するリンス液ノズルと、有機溶媒を含む乾燥用の液体を供給する乾燥液ノズルと、を備え、
前記制御部は、前記リンス液の供給停止後、前記基板に乾燥液ノズルから前記乾燥用の液体を供給した後、前記基板の乾燥を行い、前記乾燥用の液体の供給を開始する前に、前記排出部から前記アンモニア吸収部の吸収液を排出することを実行するように制御信号を出力することを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記薬液ノズルを第1薬液ノズルとしたとき、前記基板の表面に、前記アンモニアを含む薬液とは異なる他の薬液を供給する第2薬液ノズルを備え、
前記制御部は、前記基板へのアンモニアを含む薬液の供給とその後のリンス液の供給が行われた後、当該基板の乾燥を開始するまでの期間中に、前記第2の薬液ノズルからの他の薬液の供給と、前記他の薬液に替えて、前記リンス液ノズルからのリンス液の供給と、を行うことを実行するように制御信号を出力することを特徴とする請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記アンモニア吸収部は、上面側から見て、前記酸性の吸収液と筐体内の雰囲気との接触領域が、前記基板保持部に保持された基板を周方向に囲むように配置されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記基板保持部の周囲に配設され、回転する基板から振り切られた液体を受けるカップと、
前記筐体の天井部側から当該筐体内に清浄な気体を供給する給気部と、
前記筐体の底面部側であって、前記カップを介して、前記筐体内の排気を行う排気部と、を備えたことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記薬液ノズルを第1薬液ノズルとしたとき、前記基板の表面に、前記アンモニアを含む薬液とは異なる他の薬液を供給する第2薬液ノズルと、
前記筐体内を流れる気流の流量を調節する流量調節部と、を備え、
第1の薬液ノズルからアンモニアを含む薬液が供給される期間中は、第2の薬液ノズルからの他の薬液が供給される期間よりも前記筐体内を流れる気流の流量を増大させるように制御信号を出力する前記制御部を備えたことを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。 - 前記酸性の吸収液は、硫酸、塩酸、フッ酸からなる群から選択された少なくとも一つの酸の溶液を含むことを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 筐体内で水平に保持された基板の表面に、アンモニアを含む薬液を供給する工程と、
前記筐体内に配置されたアンモニア吸収部に貯溜された酸性の吸収液に、前記筐体内に拡散したアンモニアを吸収させる工程と、を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 前記薬液ノズルから基板の表面にアンモニアを含む薬液を供給するとき、アンモニア吸収部に酸性の吸収液を供給する工程と、
前記基板の乾燥を開始する前に、前記アンモニア吸収部の酸性の吸収液を排出する工程と、を含むことを特徴とする請求項10に記載の基板処理方法。 - 前記基板に、薬液をリンス洗浄するためのリンス液を供給する工程と、
前記リンス液の供給停止後、前記基板に乾燥液ノズルから前記乾燥用の液体を供給した後、前記基板の乾燥を行う工程と、
前記乾燥用の液体の供給を開始する前に、前記排出部から前記アンモニア吸収部の吸収液を排出する工程と、を含むことを特徴とする請求項11に記載の基板処理方法。 - 前記基板へのアンモニアを含む薬液の供給とその後のリンス液の供給が行われた後、当該基板の乾燥を開始するまでの期間中に、前記アンモニアを含む薬液とは異なる他の薬液の供給と、前記他の薬液に替えてリンス液の供給と、を行う工程を含むことを特徴とする請求項12に記載の基板処理方法。
- 前記アンモニアを含む薬液が供給される期間中は、他の薬液が供給される期間よりも前記筐体内を流れる気流の流量を増大させる工程を含むことを特徴とする請求項13に記載の基板処理方法。
- 前記酸性の吸収液は硫酸、塩酸、フッ酸からなる群から選択された少なくとも一つの酸の溶液を含むことを特徴とする請求項10ないし14のいずれか一つに記載の基板処理方法。
- 水平に保持された基板の表面に、アンモニアを含む薬液を供給することにより当該基板の処理を行う基板処理装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記プログラムは請求項10ないし15のいずれか一つに記載された基板処理方法を実行するためにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013011168A JP5954195B2 (ja) | 2013-01-24 | 2013-01-24 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013011168A JP5954195B2 (ja) | 2013-01-24 | 2013-01-24 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014143310A true JP2014143310A (ja) | 2014-08-07 |
JP5954195B2 JP5954195B2 (ja) | 2016-07-20 |
Family
ID=51424385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013011168A Expired - Fee Related JP5954195B2 (ja) | 2013-01-24 | 2013-01-24 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5954195B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107785292A (zh) * | 2016-08-24 | 2018-03-09 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和基板处理方法 |
CN110047778A (zh) * | 2018-01-15 | 2019-07-23 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置、基片处理方法和存储介质 |
CN110073472A (zh) * | 2016-12-19 | 2019-07-30 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理方法、送液方法以及基板处理装置 |
CN110197800A (zh) * | 2018-02-27 | 2019-09-03 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置、基片处理方法和计算机可读取的存储介质 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001239130A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-09-04 | Ishikawajima Plant Construction Co Ltd | アンモニア除害装置 |
JP2009267145A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2012119722A (ja) * | 2012-02-13 | 2012-06-21 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
-
2013
- 2013-01-24 JP JP2013011168A patent/JP5954195B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001239130A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-09-04 | Ishikawajima Plant Construction Co Ltd | アンモニア除害装置 |
JP2009267145A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2012119722A (ja) * | 2012-02-13 | 2012-06-21 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107785292A (zh) * | 2016-08-24 | 2018-03-09 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和基板处理方法 |
CN107785292B (zh) * | 2016-08-24 | 2024-01-05 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和基板处理方法 |
CN110073472A (zh) * | 2016-12-19 | 2019-07-30 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理方法、送液方法以及基板处理装置 |
CN110073472B (zh) * | 2016-12-19 | 2023-02-28 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理方法、送液方法以及基板处理装置 |
CN110047778A (zh) * | 2018-01-15 | 2019-07-23 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置、基片处理方法和存储介质 |
CN110047778B (zh) * | 2018-01-15 | 2024-03-22 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置、基片处理方法和存储介质 |
CN110197800A (zh) * | 2018-02-27 | 2019-09-03 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置、基片处理方法和计算机可读取的存储介质 |
CN110197800B (zh) * | 2018-02-27 | 2024-03-22 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置、基片处理方法和计算机可读取的存储介质 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5954195B2 (ja) | 2016-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7181764B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP5472169B2 (ja) | 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 | |
US8371318B2 (en) | Liquid processing apparatus, liquid processing method, and storage medium | |
US20140137893A1 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method and storage medium | |
KR102009613B1 (ko) | 기판 처리 방법 | |
KR102605399B1 (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
US10643865B2 (en) | Substrate cleaning apparatus | |
US9764345B2 (en) | Substrate processing apparatus and nozzle cleaning method | |
TWI654705B (zh) | 基板處理裝置 | |
JP5980704B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP6618113B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP7149087B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP7220537B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP5954195B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | |
CN109564862A (zh) | 基板处理装置及基板处理方法 | |
JP2017005107A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP6489524B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP6184890B2 (ja) | 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 | |
TWI718458B (zh) | 處理液吐出配管以及基板處理裝置 | |
KR102664177B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
KR102632159B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP5667592B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP7055658B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2016072383A (ja) | 基板処理装置 | |
JP6184892B2 (ja) | 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150204 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160216 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160415 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5954195 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |