JP2014140152A5 - - Google Patents

Description

本発明は上記の課題を鑑みて為されたものであり、一の態様は、画素信号を出力する画素と、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換部と、を有する撮像装置の駆動方法であって、前記ＡＤ変換部は、アナログ信号と、時間に依存して電位が変化する参照信号と、を比較した比較結果信号を出力する比較部と、クロック信号のカウントを行うことでカウント信号を生成するカウンタとを有し、前記カウンタが、第１の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、第１の信号値のアナログ信号と前記第１の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第１デジタル信号を生成し、前記カウンタが、第２の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量よりも大きい第２の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の信号値のアナログ信号と前記第２の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第２デジタル信号を生成し、前記カウンタが、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方の変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の前記少なくとも一方と、前記画素信号に基づく信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第３のデジタル信号を生成し、前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の一方の電位の変化を開始するタイミングと前記カウンタが前記カウントを開始するタイミングとの差によって生じる、前記第３の信号に含まれるオフセットを低減するように前記第３のデジタル信号を補正することを特徴とする撮像装置の駆動方法である。

また、一の態様は、ＡＤ変換部が、参照信号とアナログ信号との比較によって得られる比較結果信号を出力する比較部と、クロック信号をカウントするカウンタとを有し、前記ＡＤ変換部が前記アナログ信号をＡＤ変換して生成するデジタル信号の補正方法であって、前記カウンタが、第１の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始し、第１の信号値のアナログ信号と前記第１の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって第１デジタル信号を生成し、前記カウンタが、第２の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量よりも大きい第２の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始し、前記第１の信号値のアナログ信号と前記第２の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって第２デジタル信号を生成し、前記カウンタが、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方の変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始し、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の前記少なくとも一方と、前記アナログ信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって第３のデジタル信号を生成し、前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の一方の電位の変化を開始するタイミングと前記カウンタが前記カウントを開始するタイミングとの差によって生じる、前記第３の信号に含まれるオフセットを低減するように前記第３のデジタル信号を補正することを特徴とするデジタル信号の補正方法である。

また、一の態様は、画素信号を出力する画素と、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換部と、を有する撮像装置と、前記撮像装置から出力される信号を処理する信号処理部と、を有し、前記ＡＤ変換部が、アナログ信号と時間に依存して電位が変化する参照信号とを比較した比較結果信号を出力する比較部と、クロック信号のカウントを行うことでカウント信号を生成するカウンタとを有する撮像システムの駆動方法であって、前記カウンタが、第１の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、第１の信号値のアナログ信号と前記第１の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第１デジタル信号を生成し、前記カウンタが、第２の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量よりも大きい第２の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の信号値のアナログ信号と前記第２の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第２デジタル信号を生成し、前記カウンタが、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方の変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の前記少なくとも一方と、前記画素信号に基づく信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第３のデジタル信号を生成し、前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の一方の電位の変化を開始するタイミングと前記カウンタが前記カウントを開始するタイミングとの差によって生じる、前記第３の信号に含まれるオフセットを低減するように前記第３のデジタル信号を補正することを特徴とする撮像システムの駆動方法である。

また、一の態様は、画素信号を出力する画素と、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換部と、前記ＡＤ変換部に時間に依存して電位が変化する参照信号を供給する参照信号供給部と、を有する撮像装置であって、前記ＡＤ変換部は、アナログ信号と前記参照信号とを比較した比較結果信号を出力する比較部と、クロック信号のカウントを行うことでカウント信号を生成するカウンタと、メモリ部と、を有し、前記カウンタが、第１の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、第１の信号値のアナログ信号と前記第１の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって生成する第１のデジタル信号を前記メモリ部が保持し、前記カウンタが、第２の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量よりも大きい第２の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の信号値のアナログ信号と前記第２の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって生成する第２デジタル信号を前記メモリ部が保持し、前記カウンタが、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方の変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の前記少なくとも一方と、前記画素信号に基づく信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって生成する第３のデジタル信号を前記メモリ部が保持し、さらに前記撮像装置が、前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の一方の電位の変化を開始するタイミングと前記カウンタが前記カウントを開始するタイミングとの差によって生じる、前記第３の信号に含まれるオフセットを低減するように前記第３のデジタル信号を補正する補正部を有することを特徴とする撮像装置である。

また、一の態様は、画素信号を出力する画素と、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換部と、前記ＡＤ変換部に時間に依存して電位が変化する参照信号を供給する参照信号供給部と、を有する撮像装置と、前記撮像装置から出力される信号を処理する信号処理部と、を有する撮像システムであって、前記ＡＤ変換部は、アナログ信号と前記参照信号とを比較した比較結果信号を出力する比較部と、クロック信号のカウントを行うことでカウント信号を生成するカウンタと、メモリ部と、を有し、前記カウンタが、第１の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、第１の信号値のアナログ信号と前記第１の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって生成する第１のデジタル信号を前記メモリ部が保持し、前記カウンタが、第２の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量よりも大きい第２の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の信号値のアナログ信号と前記第２の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって生成する第２デジタル信号を前記メモリ部が保持し、前記カウンタが、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方の変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の前記少なくとも一方と、前記画素信号に基づく信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって生成する第３のデジタル信号を前記メモリ部が保持し、さらに前記撮像システムが、前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の一方の電位の変化を開始するタイミングと前記カウンタが前記カウントを開始するタイミングとの差によって生じる、前記第３の信号に含まれるオフセットを低減するように前記第３のデジタル信号を補正する補正部を有することを特徴とする撮像システムである。

Claims (23)

1. 画素信号を出力する画素と、
   アナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換部と、を有する撮像装置の駆動方法であって、
   前記ＡＤ変換部は、アナログ信号と、時間に依存して電位が変化する参照信号と、を比較した比較結果信号を出力する比較部と、クロック信号のカウントを行うことでカウント信号を生成するカウンタとを有し、
   前記カウンタが、第１の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、第１の信号値のアナログ信号と前記第１の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第１デジタル信号を生成し、
   前記カウンタが、第２の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量よりも大きい第２の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の信号値のアナログ信号と前記第２の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第２デジタル信号を生成し、
   前記カウンタが、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方の変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の前記少なくとも一方と、前記画素信号に基づく信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第３のデジタル信号を生成し、
   前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の一方の電位の変化を開始するタイミングと前記カウンタが前記カウントを開始するタイミングとの差によって生じる、前記第３の信号に含まれるオフセットを低減するように前記第３のデジタル信号を補正することを特徴とする撮像装置の駆動方法。
2. さらに、前記カウンタが、前記第１の参照信号の電位が変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の信号値とは異なる第２の信号値のアナログ信号と前記第１の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第４デジタル信号を生成し、
   前記カウンタが、前記第２の参照信号の電位が変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第２の信号値のアナログ信号と前記第２の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第５デジタル信号を生成し、
   前記第１のデジタル信号と前記第４のデジタル信号との信号値の差と、前記第２のデジタル信号と前記第５のデジタル信号との信号値の差と、に基づいて、前記第３のデジタル信号の補正を行うことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置の駆動方法。
3. 前記ＡＤ変換部が、
   前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号を生成した後、
   前記第４のデジタル信号と前記第５のデジタル信号を生成することを特徴とする請求項２に記載の撮像装置の駆動方法。
4. 前記第１のデジタル信号の信号値をＤＮ１、前記第２のデジタル信号の信号値をＤＮ２、前記第４のデジタル信号の信号値をＤＳ１、前記第５のデジタル信号の信号値をＤＳ２、前記第１の変化量に対する前記第２の変化量の比をＧとして、以下の式で求められる補正値αおよびβを用いて、前記第３のデジタル信号を補正することを特徴とする請求項２または３に記載の撮像装置の駆動方法。
   α＝ＤＳ１−Ｇ×β×ＤＳ２
   

   
5. 前記第１のデジタル信号の信号値をＤＮ１、前記第２のデジタル信号の信号値をＤＮ２、前記第１の変化量に対する前記第２の変化量の比をＧとして、以下の式で求められる補正値αを用いて、前記第３のデジタル信号を補正することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の撮像装置の駆動方法。
   α＝ＤＮ１−Ｇ×ＤＮ２
6. 前記撮像装置は、複数行に設けられた複数の前記画素と、
   前記複数の画素を走査する垂直走査回路と、を有し、
   前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とを生成して前記補正値αを取得する動作を、垂直走査回路が前記画素の走査を行わない期間、あるいは、前記画素から前記比較部にノイズ信号が出力されている期間に行うことを特徴とする請求項４または５に記載の撮像装置の駆動方法。
7. 前記ＡＤ変換部が前記第１のデジタル信号を生成した後、
   前記画素信号に基づく信号の電位と閾値信号の電位とを前記比較部が比較し、前記第３のデジタル信号の生成に用いる前記参照信号を、前記閾値信号の電位の方が大きい場合には前記第１の参照信号とし、前記閾値信号の電位の方が小さい場合には前記第２の参照信号とすることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の撮像装置の駆動方法。
8. 前記撮像装置は、複数の前記画素と、複数の前記ＡＤ変換部と、を有し、
   前記複数の画素は、前記画素が複数列設けられ、
   前記複数のＡＤ変換部は、それぞれが、前記画素が設けられた列に対応して設けられ、前記複数のＡＤ変換部の各々の、前記第２のデジタル信号と前記第１のデジタル信号との差の信号値の平均値を得て、
   前記平均値に基づいて、前記複数のＡＤ変換部の各々が生成した前記第３のデジタル信号の補正を行うことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の撮像装置の駆動方法。
9. 前記撮像装置は、複数の前記画素と、複数の前記ＡＤ変換部と、を有し、
   前記複数の画素は、前記画素が複数列設けられ、
   前記複数のＡＤ変換部は、それぞれが、前記画素が設けられた列に対応して設けられ、前記複数のＡＤ変換部の各々の前記第２のデジタル信号の平均値と各々の前記第１のデジタル信号の平均値との差に基づいて、前記複数のＡＤ変換部の各々が生成した前記第３のデジタル信号の補正を行うことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の撮像装置の駆動方法。
10. 前記撮像装置はさらに増幅部を有し、
    前記画素信号に基づく信号が、前記増幅部が前記画素信号を増幅して出力した信号であることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の撮像装置の駆動方法。
11. 前記増幅部の入力ノードに前記画素信号が与えられ、
    前記第１のアナログ信号が、前記増幅部の前記入力ノードのリセットされた電位に基づいて前記増幅部が出力する信号であることを特徴とする請求項１０に記載の撮像装置の駆動方法。
12. 前記第１のアナログ信号が、前記画素の出力するノイズ信号に基づく信号であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の撮像装置の駆動方法。
13. ＡＤ変換部が、参照信号とアナログ信号との比較によって得られる比較結果信号を出力する比較部と、クロック信号をカウントするカウンタとを有し、
    前記ＡＤ変換部が前記アナログ信号をＡＤ変換して生成するデジタル信号の補正方法であって、
    前記カウンタが、第１の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始し、第１の信号値のアナログ信号と前記第１の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって第１デジタル信号を生成し、
    前記カウンタが、第２の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量よりも大きい第２の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始し、前記第１の信号値のアナログ信号と前記第２の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって第２デジタル信号を生成し、
    前記カウンタが、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方の変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始し、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の前記少なくとも一方と、前記アナログ信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって第３のデジタル信号を生成し、
    前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の一方の電位の変化を開始するタイミングと前記カウンタが前記カウントを開始するタイミングとの差によって生じる、前記第３の信号に含まれるオフセットを低減するように前記第３のデジタル信号を補正することを特徴とするデジタル信号の補正方法。
14. 画素信号を出力する画素と、
    アナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換部と、を有する撮像装置と、
    前記撮像装置から出力される信号を処理する信号処理部と、を有し、
    前記ＡＤ変換部が、アナログ信号と時間に依存して電位が変化する参照信号とを比較した比較結果信号を出力する比較部と、クロック信号のカウントを行うことでカウント信号を生成するカウンタとを有する撮像システムの駆動方法であって、
    前記カウンタが、第１の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、第１の信号値のアナログ信号と前記第１の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第１デジタル信号を生成し、
    前記カウンタが、第２の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量よりも大きい第２の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の信号値のアナログ信号と前記第２の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第２デジタル信号を生成し、
    前記カウンタが、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方の変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の前記少なくとも一方と、前記画素信号に基づく信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって第３のデジタル信号を生成し、
    前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の一方の電位の変化を開始するタイミングと前記カウンタが前記カウントを開始するタイミングとの差によって生じる、前記第３の信号に含まれるオフセットを低減するように前記第３のデジタル信号を補正することを特徴とする撮像システムの駆動方法。
15. 前記撮像装置がさらに補正演算部を有し、
    前記信号処理部が、前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて補正値を生成するとともに前記補正値を前記補正演算部に出力し、
    前記補正演算部が、前記補正値に基づいて前記第３のデジタル信号の補正を行うことを特徴とする請求項１４に記載の撮像システムの駆動方法。
16. 前記信号処理部が、前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて、前記第３のデジタル信号の補正を行うことを特徴とする請求項１４に記載の撮像システムの駆動方法。
17. 画素信号を出力する画素と、
    アナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換部と、前記ＡＤ変換部に時間に依存して電位が変化する参照信号を供給する参照信号供給部と、を有する撮像装置であって、
    前記ＡＤ変換部は、アナログ信号と前記参照信号とを比較した比較結果信号を出力する比較部と、クロック信号のカウントを行うことでカウント信号を生成するカウンタと、メモリ部と、を有し、
    前記カウンタが、第１の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、第１の信号値のアナログ信号と前記第１の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって生成する第１のデジタル信号を前記メモリ部が保持し、
    前記カウンタが、第２の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量よりも大きい第２の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の信号値のアナログ信号と前記第２の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって生成する第２デジタル信号を前記メモリ部が保持し、
    前記カウンタが、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方の変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の前記少なくとも一方と、前記画素信号に基づく信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって生成する第３のデジタル信号を前記メモリ部が保持し、
    さらに前記撮像装置が、
    前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の一方の電位の変化を開始するタイミングと前記カウンタが前記カウントを開始するタイミングとの差によって生じる、前記第３の信号に含まれるオフセットを低減するように前記第３のデジタル信号を補正する補正部を有することを特徴とする撮像装置。
18. 前記撮像装置は、前記比較部に電気的に接続されたテスト信号供給部をさらに有し、
    前記第１のアナログ信号が、前記テスト信号供給部が前記比較部に出力する信号に基づく信号であることを特徴とする請求項１７に記載の撮像装置。
19. 前記撮像装置はさらに、前記画素と前記比較部との間の電気的経路に増幅部を有し、
    前記画素信号に基づく信号が、前記増幅部が前記画素信号を増幅して出力した信号であることを特徴とする請求項１７または１８に記載の撮像装置。
20. 請求項１７〜１９のいずれかに記載の撮像装置と、
    前記撮像装置から出力される信号を処理する信号処理部と、を有することを特徴とする撮像システム。
21. 画素信号を出力する画素と、
    アナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換部と、前記ＡＤ変換部に時間に依存して電位が変化する参照信号を供給する参照信号供給部と、を有する撮像装置と、
    前記撮像装置から出力される信号を処理する信号処理部と、を有する撮像システムであって、
    前記ＡＤ変換部は、アナログ信号と前記参照信号とを比較した比較結果信号を出力する比較部と、クロック信号のカウントを行うことでカウント信号を生成するカウンタと、メモリ部と、を有し、
    前記カウンタが、第１の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、第１の信号値のアナログ信号と前記第１の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって生成する第１のデジタル信号を前記メモリ部が保持し、
    前記カウンタが、第２の参照信号の電位が単位時間あたり第１の変化量よりも大きい第２の変化量で変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の信号値のアナログ信号と前記第２の参照信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって生成する第２デジタル信号を前記メモリ部が保持し、
    前記カウンタが、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方の変化を開始するタイミングに対応して前記カウントを開始してから、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の前記少なくとも一方と、前記画素信号に基づく信号との比較によって前記比較部が出力する比較結果信号の信号値が変化するタイミングまで前記カウントを行うことによって生成する前記カウント信号によって生成する第３のデジタル信号を前記メモリ部が保持し、
    さらに前記撮像システムが、前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の一方の電位の変化を開始するタイミングと前記カウンタが前記カウントを開始するタイミングとの差によって生じる、前記第３の信号に含まれるオフセットを低減するように前記第３のデジタル信号を補正する補正部を有することを特徴とする撮像システム。
22. 前記撮像装置と前記補正部が同一の半導体基板に設けられており、
    前記撮像システムは、前記半導体基板とは別の半導体基板に設けられた補正値取得部を有し、
    前記補正値取得部が、前記第１のデジタル信号と前記第２のデジタル信号とに基づいて補正値を生成するとともに前記補正値を前記補正部に出力し、
    前記補正部が、前記補正値に基づいて前記第３のデジタル信号の補正を行うことを特徴とする請求項２１に記載の撮像システム。
23. 前記第１のアナログ信号とは異なる信号値の第２のアナログ信号と前記第１の参照信号とを前記比較部が比較して出力する前記比較結果信号に基づいて、前記メモリ部は第４のデジタル信号を保持し、
    前記第２のアナログ信号と前記第２の参照信号とを前記比較部が比較して出力する前記比較結果信号に基づいて、前記メモリ部は第５のデジタル信号を保持し、
    前記補正部が、
    前記第１のデジタル信号と前記第４のデジタル信号との信号値の差と、前記第２のデジタル信号と前記第５のデジタル信号との信号値の差と、に基づいて、前記第３のデジタル信号の補正を行うことを特徴とする請求項２１に記載の撮像システム。