JP2011166287A - 固体撮像装置および固体撮像装置の駆動方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ＴＡＤが出力するデジタル信号の線形性を補正するための補正式の算出処理を軽減することができる。
【解決手段】第２の補正計算部２１０は、Ａ／Ｄ変換器２０が出力するデジタル信号に基づいて、Ａ／Ｄ変換器２０が出力するデジタル信号の線形性を補正するための第２の補正式を算出する。判定部２２０は、第２の補正計算部２１０が算出した第２の補正式の係数と、この第２の補正式よりも前に算出した第２の補正式の係数とを比較した結果に基づいて、第１の補正式を算出するか否かを判定する。アップデート信号出力部２３０は、第１の補正式を算出すると判定された場合、第１の補正計算部１１０に第１の補正式を算出させるための信号を出力する。
【選択図】図１

Description

本発明は、固体撮像装置および固体撮像装置の駆動方法に関する。

近年、デジタルスチルカメラ、カムコーダ、内視鏡に代表される撮像装置には、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ、電荷結合素子）イメージセンサ（以下、ＣＣＤと称する）や、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ、相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ（以下、ＣＭＯＳと称する）に代表される固体撮像装置が搭載されている。これらの撮像装置は国内外で普及しており、さらなる小型化、低消費電力化への要求が高まっている。

また、時間軸計測（Ｔｉｍｅ ｔｏ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）（以下、ＴＤＣと称する）型Ａ／Ｄ（アナログ−デジタル）変換器を複数搭載した固体撮像装置がある。このＴＤＣ型Ａ／Ｄ変換器（以下、ＴＡＤと称する）は、画素から出力された電圧（以下、画素信号と称する）に応じた周波数のパルスを出力し、このパルスをカウンタがカウントすることで、画素信号をＡ／Ｄ変換することができる。２次元の行列状に画素を配置した領域（以下、画素ブロックと称する）に、このＴＡＤを配置することによって、ＴＡＤが画素信号を高Ｓ／Ｎ（信号対雑音比）にＡ／Ｄ変換する固体撮像装置が知られている（例えば、特許文献１参照)。

しかしながら、ＴＡＤは非直線の入出力特性を有するため、出力値に対して、入出力特性が直線となるように補正を行うことが必要である。そのため従来は、画素信号を例えば相関二重サンプリング（Ｃｏｒｒｅｌａｔｅｄ Ｄｏｕｂｌｅ Ｓａｍｐｌｉｎｇ）（以下、ＣＤＳと称する）処理し、その処理結果である電圧が、電圧領域を分割した高電圧領域と低電圧領域のどちらの分割領域に属するのかに応じて、各分割範囲に対する補正式を用いてＴＡＤの出力値を補正していた（例えば、特許文献２参照)。

特開２００６−２８７８７９号公報 特開２００４−２７４１５７号公報

しかしながら、固体撮像装置が備える複数のＴＡＤの出力を補正するにはＴＡＤ毎に補正式（補正係数）を算出する必要がある。また、固体撮像装置の温度や基準電圧など、動作環境が変動すると補正式も変化する。そのため、固体撮像装置は、各ＴＡＤの補正式の算出を繰り返し行う必要がある。従って、固体撮像装置は、各ＴＡＤの補正式を算出するための処理が増大するという問題がある。また、従来は、ＴＡＤの出力値を補正する固体撮像装置に好適な構成例も示されたことがなかった。

本発明は、前記の諸点に鑑みてなされたものであり、ＴＡＤの補正式の算出処理を軽減することができる固体撮像装置および固体撮像装置の駆動方法を提供することを目的とする。

本発明は、行列状に配置された複数の画素と、前記複数の画素の各列の出力信号が入力され、当該出力信号をデジタル信号に変換して出力する複数の第１のＡ／Ｄ変換器と、補正用信号が入力され、当該補正用信号をデジタル信号に変換して出力する第２のＡ／Ｄ変換器と、前記第１のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号の線形性を補正するための第１の補正式を算出する第１の補正計算部と、前記第２のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号に基づいて、当該第２のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号の線形性を補正するための第２の補正式を算出する第２の補正計算部と、前記第２の補正計算部が算出した前記第２の補正式の係数と、当該第２の補正式よりも前に算出した前記第２の補正式の係数とを比較した結果に基づいて、前記第１の補正式を算出するか否かを判定する判定部と、前記第１の補正式を算出すると判定された場合、前記第１の補正計算部に前記第１の補正式を算出させるための信号を出力する信号出力部と、を備えたことを特徴とする固体撮像装置である。

また、本発明の固体撮像装置において、前記補正用信号は、基準となる定電圧であることを特徴とする。

また、本発明の固体撮像装置において、前記補正用信号は、光が入射しないようにマスクされた前記画素の出力であることを特徴とする。

また、本発明の固体撮像装置において、前記第１の補正計算部は、前記第１の補正式を算出する際に、前記第２の補正式の係数の変化量に基づいて、前記第１の補正式の係数を補正することを特徴とする。

また、本発明の固体撮像装置において、前記複数の第１のＡ／Ｄ変換器は、前記補正用信号が入力され、当該信号をデジタル信号に変換して出力し、前記第１の補正計算部は、前記補正用信号が入力された前記第１のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号に基づいて、前記第１の補正式を算出することを特徴とする。

また、本発明は、行列状に配置された複数の画素の各列の出力信号が複数の第１のＡ／Ｄ変換器に入力され、当該複数の第１のＡ／Ｄ変換器が当該出力信号をデジタル信号に変換して出力するステップと、補正用信号が第２のＡ／Ｄ変換器に入力され、当該第２のＡ／Ｄ変換器が当該補正用信号をデジタル信号に変換して出力するステップと、第１の補正計算部が、前記第１のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号の線形性を補正するための第１の補正式を算出するステップと、第２の補正計算部が、前記第２のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号に基づいて、当該第２のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号の線形性を補正するための第２の補正式を算出するステップと、判定部が、前記第２の補正計算部が算出した前記第２の補正式の係数と、当該第２の補正式よりも前に算出した前記第２の補正式の係数とを比較した結果に基づいて、前記第１の補正式を算出するか否かを判定するステップと、信号出力部が、前記第１の補正式を算出すると判定された場合、前記第１の補正計算部に前記第１の補正式を算出させるための信号を出力するステップと、を有することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法である。

また、本発明の固体撮像装置の駆動方法において、前記補正用信号は、基準となる定電圧であることを特徴とする。

また、本発明の固体撮像装置の駆動方法において、前記補正用信号は、光が入射しないようにマスクされた前記画素の出力であることを特徴とする。

また、本発明の固体撮像装置の駆動方法において、前記第１の補正計算部が、前記第１のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号の線形性を補正するための第１の補正式を算出するステップでは、前記第１の補正計算部が、前記第１の補正式を算出する際に、前記第２の補正式の係数の変化量に基づいて、前記第１の補正式の係数を補正することを特徴とする。

また、本発明は、前記補正用信号が前記複数の第１のＡ／Ｄ変換器に入力され、前記複数の第１のＡ／Ｄ変換器が、当該信号をデジタル信号に変換して出力するステップを有し、前記第１の補正計算部が、前記補正用信号が入力された前記第１のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号の線形性を補正するための第１の補正式を算出するステップでは、前記第１の補正計算部が、前記第１のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号に基づいて、前記第１の補正式を算出することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法である。

本発明によれば、第２の補正計算部が算出した第２の補正式の係数と、当該第２の補正式よりも前に算出した第２の補正式の係数とを比較した結果に基づいて、第１の補正式を算出すると判定部が判定した場合、信号出力部は第１の補正計算部に第１の補正式を算出させるための信号を出力する。これにより、第１の補正計算部は、判定部が第１の補正式を算出すると判定した場合にのみ第１の補正式を算出する。そのため、固体撮像装置は、第１のＡ／Ｄ変換器が出力するデジタル信号の線形性を補正するための第１の補正式の算出処理を軽減することができる。

本発明の第１の実施形態における固体撮像装置の概略構成を示したブロック図である。 本発明の第１の実施形態におけるＡ／Ｄ変換器の概略構成を示したブロック図である。 本発明の第１の実施形態における第１の補正式の補正手順を示したフローチャートである。 本発明の第２の実施形態における固体撮像装置の概略構成を示すブロック図である。

（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態について図面を参照して説明する。図１は、本実施形態における固体撮像装置の概略構成を示したブロック図である。図示する例では、固体撮像装置は、複数の画素２が行列状に配置された画素部１と、アナログ信号処理部３と、切替部４と、補正用電圧生成部５と、垂直駆動部６と、水平駆動部７と、制御部８と、補正部９と、パルス遅延回路１１を備えたＡ／Ｄ変換器１０（第１のＡ／Ｄ変換器）と，パルス遅延回路１１を備えたＡ／Ｄ変換器２０（第２のＡ／Ｄ変換器）とを備えている。

画素２は、入射光量に応じた光信号を出力する。アナログ信号処理部３は、各画素２から出力されたリセット時の信号と入射光量に応じた光信号との差を演算することによって、リセット時のノイズを抑圧した画素信号を生成する。また、アナログ信号処理部３は、生成した画素信号を入力信号Ｖｉｎとして出力する。切替部４は、Ａ／Ｄ変換器１０，２０に入力される信号を切り替える。補正用電圧生成部５は、電圧Ｖｒｅｆ３を生成する第１の電圧回路５１と、電圧Ｖｒｅｆ２を生成する第２の電圧回路５２と、電圧Ｖｒｅｆ１を生成する第３の電圧回路５３とを備え、補正式を算出する際に基準となる電圧Ｖｒｅｆ１とＶｒｅｆ２とＶｒｅｆ３とを切り替えて出力する。なお、電圧は、Ｖｒｅｆ１が一番小さく、Ｖｒｅｆ２が２番目に小さく、Ｖｒｅｆ３が一番大きい（Ｖｒｅｆ１＜Ｖｒｅｆ２＜Ｖｒｅｆ３）。

垂直駆動部６は、行列状に配置されている画素２のうち、信号を出力させる画素２を行毎に選択する。水平駆動部７は、Ａ／Ｄ変換器１０，２０を制御し、出力デジタル信号φＤを順次出力させる。制御部８は、固体撮像装置が備える各部の制御を行う。補正部９は、Ａ／Ｄ変換器１０，２０が出力する出力デジタル信号φＤの補正を行う。Ａ／Ｄ変換器１０，２０は、時間軸計測（Ｔｉｍｅ ｔｏ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）型Ａ／Ｄ（アナログ−デジタル）変換器（ＴＡＤ）であり、入力されたアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する。

また、補正部９は、Ａ／Ｄ変換器１０の出力の線形性を補正する第１の補正式を算出する第１の補正計算部１１０と、Ａ／Ｄ変換器２０の出力の線形性を補正する第２の補正式を算出する第２の補正計算部２１０と、第２の補正式に変化があるか否かを判定する判定部２２０と、第１の補正計算部１１０に第１の補正式を算出させるためのアップデート信号を出力するアップデート信号出力部２３０（信号出力部）とを備えている。

次に、Ａ／Ｄ変換器１０とＡ／Ｄ変換器２０の構成について説明する。なお、Ａ／Ｄ変換器１０とＡ／Ｄ変換器２０の構成は同様の構成である。図２は、本実施形態におけるＡ／Ｄ変換器１０，２０の概略構成を示したブロック図である。図示する例では、Ａ／Ｄ変換器１０，２０は、パルス遅延回路１１と、カウンタ１２と、ラッチ回路１３と、ラッチ＆エンコーダ回路１４と、信号処理回路１５とを備える。なお、カウンタ１２と、ラッチ回路１３と、ラッチ＆エンコーダ回路１４と、信号処理回路１５とを併せて、パルス通過段数検出回路と呼ぶ。

パルス遅延回路１１は、リング状に接続された複数の遅延素子（１つの遅延素子ＡＮＤ１と複数の遅延素子ＤＵ１）によって構成される。パルス遅延回路１１内の各遅延素子には、アナログ信号処理部３から出力される画素信号または補正用電圧生成部５から出力される補正用電圧が、入力信号Ｖｉｎとして供給される。パルス遅延回路１１内の各遅延素子は、供給された入力信号Ｖｉｎを電源電圧として、その信号レベルに応じた遅延時間で入力パルスφＰＬを遅延させる。そして、パルス遅延回路１１は、各遅延素子の遅延時間に応じた周波数を有するパルス信号φＣＫを発生する。

カウンタ１２は、パルス遅延回路１１が発生したパルス信号φＣＫ、すなわち、入力パルスφＰＬの周回数を計数し、その計数結果をデジタル信号φＤ１として出力する。ラッチ回路１３は、カウンタ１２から出力されるデジタル信号φＤ１を保持し、保持したデジタル信号をデジタル信号φＤ２として出力する。ラッチ＆エンコーダ回路１４は、パルス遅延回路１１内の各遅延素子の出力を取り込み、入力パルスφＰＬが通過した遅延素子の通過段数であるパルス信号φＣＫの位置情報を検出し、その検出結果をデジタル信号φＤ３として出力する。

信号処理回路１５は、ラッチ回路１３の出力であるデジタル信号φＤ２と、ラッチ＆エンコーダ回路１４の出力であるデジタル信号φＤ３とを処理し、入力信号Ｖｉｎの信号レベル、すなわち、アナログ信号処理部３から出力された画素信号に応じたデジタル信号φＤ４を生成する。この信号処理回路４５が生成したデジタル信号φＤ４が、Ａ／Ｄ変換器１０，２０によってアナログ・デジタル変換された出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ）である。

次に、本実施形態における第１の補正計算部１１０が第１の補正式を算出する手順について説明する。第１の補正式は、Ａ／Ｄ変換器１０が出力するデジタル信号φＤを補正するための補正式である。第１の補正計算部１１０は、固体撮像装置が画像を撮像する前（例えば、起動直後）に以下の処理を行い、各Ａ／Ｄ変換器１０の第１の補正式を算出して記憶する。

初めに、制御部８は、補正用電圧生成部５が出力する補正用電圧が各Ａ／Ｄ変換器１０に入力されるように、切替部４の制御を行う。これにより、補正用電圧生成部５が出力する補正用電圧は、各Ａ／Ｄ変換器１０に入力される。

続いて、制御部８は、補正用電圧生成部５を制御して補正用電圧Ｖｒｅｆ１を出力させる。各Ａ／Ｄ変換器１０は、入力された補正用電圧Ｖｒｅｆ１に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）を第１の補正計算部１１０に出力する。続いて、制御部８は、補正用電圧生成部５を制御して補正用電圧Ｖｒｅｆ２を出力させる。各Ａ／Ｄ変換器１０は、入力された補正用電圧Ｖｒｅｆ２に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）を第１の補正計算部１１０に出力する。続いて、制御部８は、補正用電圧生成部５を制御して補正用電圧Ｖｒｅｆ３を出力させる。各Ａ／Ｄ変換器１０は、入力された補正用電圧Ｖｒｅｆ３に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）を第１の補正計算部１１０に出力する。これにより、第１の補正計算部１１０には各Ａ／Ｄ変換器１０の出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とが入力される。

続いて、第１の補正計算部１１０は、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とに基づいて、各Ａ／Ｄ変換器１０の第１の補正式を算出する。なお、第１の補正計算部１１０が算出する各Ａ／Ｄ変換器１０の第１の補正式は、Ａ／Ｄ変換器１０の出力を補正することができる補正式であればどのような補正式でもよい。

例えば、各Ａ／Ｄ変換器１０の第１の補正式として（１）式を用いる場合、第１の補正計算部１１０は、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とに基づいて、補正係数である（１）式の傾きと（１）式の切片とを算出、または（１）式のＭＩＮと、ＭＡＸと、Ｃの値を算出することで、Ａ／Ｄ変換器１０の第１の補正式を算出することができる。なお、式（１）において、Ｘは、Ａ／Ｄ変換器１０から入力される出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ）である。また、ＭＩＮは出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）であり、ＭＡＸは出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）であり、Ｃは出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）である。また、補正値Ｈは、第１の補正式に基づいて、Ａ／Ｄ変換器１０が出力する出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ）を補正した補正後デジタル信号φＤ（Ｈ）である。

次に、本実施形態における第２の補正計算部２１０が第２の補正式を算出する手順について説明する。第２の補正式は、Ａ／Ｄ変換器２０が出力する出力デジタル信号φＤを補正するための補正式である。第２の補正計算部２１０は、固体撮像装置が画像を撮像する前（例えば、起動直後）に以下の処理を行い、各Ａ／Ｄ変換器２０の第２の補正式を算出して記憶する。また、第２の補正計算部２１０は、固体撮像装置が撮像信号を外部に出力する際に以下の処理を行い、各Ａ／Ｄ変換器２０の第２の補正式を算出する。

初めに、制御部８は、補正用電圧生成部５が出力する補正用電圧がＡ／Ｄ変換器２０に入力されるように、切替部４の制御を行う。これにより、補正用電圧生成部５が出力する補正用電圧は、各Ａ／Ｄ変換器２０に入力される。

続いて、制御部８は、補正用電圧生成部５を制御して補正用電圧Ｖｒｅｆ１を出力させる。各Ａ／Ｄ変換器２０は、入力された補正用電圧Ｖｒｅｆ１に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）を第２の補正計算部２１０に出力する。続いて、制御部８は、補正用電圧生成部５を制御して補正用電圧Ｖｒｅｆ２を出力させる。各Ａ／Ｄ変換器２０は、入力された補正用電圧Ｖｒｅｆ２に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）を第２の補正計算部２１０に出力する。続いて、制御部８は、補正用電圧生成部５を制御して補正用電圧Ｖｒｅｆ３を出力させる。各Ａ／Ｄ変換器２０は、入力された補正用電圧Ｖｒｅｆ３に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）を第２の補正計算部２１０に出力する。これにより、第２の補正計算部２１０には各Ａ／Ｄ変換器２０の出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とが入力される。

続いて、第２の補正計算部２１０は、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とに基づいて、第１の補正計算部１１０が第１の補正式を算出する方法と同様の方法で、第２の補正式を算出する。

次に、本実施形態における固体撮像装置の画素部１に光が入射し、画素２が生成した信号をデジタル信号に変換する手順について説明する。初めに、垂直駆動部６が、画素選択信号φＳＬを“Ｈｉｇｈ”レベルにすることにより画素部１の１行目の画素２が選択され、選択された１行目の各画素２の信号がアナログ信号処理部３へそれぞれ出力される。なお、選択された各画素２からは、画素２内の光電変換素子をリセットしたときに出力されるリセット時の信号と、入射光量に応じた光信号との２つの信号が出力される。そして、アナログ信号処理部３では、各画素２から出力されたリセット時の信号と入射光量に応じた光信号との差を演算することによって、リセット時のノイズを抑圧した画素信号を生成し、生成した画素信号を入力信号Ｖｉｎとして、画素２の列毎に備えられたＡ／Ｄ変換器１０に出力する。このとき、制御部８は、切替部４と補正用電圧生成部５とを制御して、補正用電圧生成部５が生成した補正用電圧Ｖｒｅｆ１を各Ａ／Ｄ変換器２０に入力させる。

続いて、制御部８は、Ａ／Ｄ変換器１０，２０に出力する入力パルスφＰＬを“Ｈｉｇｈ”レベルにする。このことによって、各Ａ／Ｄ変換器１０，２０内のパルス遅延回路１１は、アナログ信号処理部３または補正用電圧生成部５より入力された入力信号Ｖｉｎまたは補正用電圧Ｖｒｅｆ１の信号レベルとＧＮＤ（グランド）との差分に応じた遅延時間で入力パルスφＰＬを遅延させ、各遅延素子の遅延時間に応じた周波数を有するパルス信号φＣＫを発生する。そして、カウンタ１２は、パルス遅延回路１１から出力されるパルスφＣＫを計数する。

予め定められた一定期間が経過した後に、ラッチ＆エンコーダ回路１４は、パルス遅延回路１１内でのパルス信号φＣＫの位置情報を検出する。同時にラッチ回路１３は、カウンタ１２の計数結果をラッチする。その後、制御部８が入力パルスφＰＬを“Ｌｏｗ”レベルとすることにより、パルス遅延回路４１内での入力パルスφＰＬの遅延を停止し、パルス信号φＣＫの生成を終了する。

その後、信号処理回路１５は、ラッチ回路１３が出力するデジタル信号φＤ２と、ラッチ＆エンコーダ回路１４が出力するデジタル信号φＤ３とを処理し、アナログ信号処理部３または補正用電圧生成部５から入力された入力信号Ｖｉｎまたは補正用電圧Ｖｒｅｆ１の信号レベルに応じたデジタル信号φＤ４を出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ）またはφＤ（Ｖｒｅｆ１）として出力とする。すなわち、各Ａ／Ｄ変換器１０は、画素２の画素信号に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ）を出力する。また、各Ａ／Ｄ変換器２０は、補正用電圧生成部５の補正用電圧Ｖｒｅｆ１に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）を出力する。

続いて、水平駆動部７は、読み出し制御信号φＨを順次“Ｈｉｇｈ”レベルとすることによって、各Ａ／Ｄ変換器１０が出力する出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ）を順次補正部９の第１の補正計算部１１０に入力させ、各Ａ／Ｄ変換器２０が出力する出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）を順次補正部９の第２の補正計算部２１０に入力させる。

補正部９の第１の補正計算部１１０は、第１の補正式により、出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ）を補正し、補正後デジタル信号φＤ（Ｈ）を固体撮像装置の１行目の画素２の撮像信号として外部に出力する。補正部９の第２の補正計算部２１０は、補正用電圧Ｖｒｅｆ１に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）を一時記憶する。

続いて、垂直駆動部６が、画素選択信号φＳＬを“Ｌｏｗ”レベルにすることにより、１行目の画素２の読み出しを完了する。

固体撮像装置は、上述の手順を繰り返し実行し、２行目から最終行の画素２が生成した電荷をデジタル信号に変換し、固体撮像装置の２行目から最終行の画素２の撮像信号として外部に出力する。これにより、固体撮像装置は、全ての画素２の撮像信号を外部に出力することができる。

なお、２行目の画素２が生成した電荷をデジタル信号に変換し、固体撮像装置の２行目の画素２の撮像信号として外部に出力する際には、制御部８は、切替部４と補正用電圧生成部５とを制御して、補正用電圧生成部５が生成した補正用電圧Ｖｒｅｆ２を各Ａ／Ｄ変換器２０に入力させる。そして、各Ａ／Ｄ変換器２０は、補正用電圧生成部５の補正用電圧Ｖｒｅｆ２に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）を出力する。補正部９の第２の補正計算部２１０は、補正用電圧Ｖｒｅｆ２に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）を一時記憶する。

また、３行目の画素２が生成した電荷をデジタル信号に変換し、固体撮像装置の３行目の画素２の撮像信号として外部に出力する際には、制御部８は、切替部４と補正用電圧生成部５とを制御して、補正用電圧生成部５が生成した補正用電圧Ｖｒｅｆ３を各Ａ／Ｄ変換器２０に入力させる。そして、各Ａ／Ｄ変換器２０は、補正用電圧生成部５の補正用電圧Ｖｒｅｆ３に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）を出力する。補正部９の第２の補正計算部２１０は、補正用電圧Ｖｒｅｆ３に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）を一時記憶する。

また、４行目から最終行の画素２が生成した電荷をデジタル信号に変換し、固体撮像装置の４行目から最終行の画素２の撮像信号として外部に出力する際には、補正用電圧生成部５と、Ａ／Ｄ変換器２０とは、上記の処理を実行しない。このとき、第２の補正計算部２１０は、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とに基づいて各Ａ／Ｄ変換器２０の第２の補正式を算出する。これにより、第２の補正計算部２１０は、固体撮像装置が画像を撮像する毎に各Ａ／Ｄ変換器２０の第２の補正式を新たに算出することができる。なお、補正計算部２１０は、第２の補正式を算出した後、一時記憶している出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ１）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とを消去する。

次に、第１の補正式を新たに算出する手順について説明する。図３は、本実施形態における第１の補正式を新たに算出する手順を示したフローチャートである。
（ステップＳ１０１）固体撮像装置は画像を撮像する。このとき、第２の補正計算部２１０は、各Ａ／Ｄ変換器２０の補正式を算出する。その後、ステップＳ１０２の処理に進む。

（ステップＳ１０２）判定部２２０は、第２の補正計算部２１０が記憶している各Ａ／Ｄ変換器２０の第２の補正式の補正係数と、ステップＳ１０１で算出した各Ａ／Ｄ変換器２０の第２の補正式の補正係数との変化率を算出する。その後、ステップＳ１０３の処理に進む。

（ステップＳ１０３）判定部２２０は、ステップＳ１０２で算出した変化率と予め定められた基準値とを比較する。その後、ステップＳ１０４の処理に進む。なお、固体撮像装置が複数のＡ／Ｄ変換器２０を備えている場合、任意のＡ／Ｄ変換器２０の第２の補正式の補正係数の変化率と、予め定められた基準値とを比較してもよく、複数のＡ／Ｄ変換器２０の第２の補正式の補正係数の変化率の平均値と、予め定められた基準値とを比較してもよい。

（ステップＳ１０４）判定部２２０は、ステップＳ１０３で比較した結果に基づいて、ステップＳ１０２で算出した変化率が、予め定められた基準値以上であると判定した場合にはステップＳ１０６の処理に進み、それ以外の場合（予め定められた基準値未満の場合）にはステップＳ１０５の処理に進む。

（ステップＳ１０５）判定部２２０は、第１の補正式を新たに算出しないと判定する。また、第２の補正計算部２１０は、ステップＳ１０１で算出した第２の補正式を破棄する。その後、ステップＳ１０１の処理に戻る。
（ステップＳ１０６）判定部２２０は、第１の補正式を新たに算出すると判定する。その後、ステップＳ１０７の処理に進む。

（ステップＳ１０７）アップデート信号出力部２３０は、判定部２２０が第１の補正式を新たに算出すると判定したため、第１の補正式を新たに算出させるための信号を第１の補正計算部１１０に出力する。その後、ステップＳ１０８の処理に進む。
（ステップＳ１０８）第１の補正計算部１１０は、アップデート信号出力部２３０から第１の補正式を新たに算出するための信号が入力されたため、第１の補正式を新たに算出する。また、第１の補正計算部１１０は、以降の出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ）の補正は、新たに算出した第１の補正式を用いて行う。また、第２の補正計算部２１０は、記憶している第２の補正式を消去し、ステップＳ１０１で算出した第２の補正式を記憶する。その後、ステップＳ１０１の処理に戻る。なお、第１の補正計算部１１０が第１の補正式を新たに算出する方法はどのような方法でもよい。

例えば、ステップＳ１０８で第１の補正計算部１１０が第１の補正式を新たに算出する方法としては、ステップＳ１０２で判定部２２０が算出した第２の補正式の補正係数の変化率を用いて、第１の補正計算部１１０が第１の補正式を新たに算出する方法がある。固体撮像装置の温度が変化することで第１の補正式の補正係数と第２の補正式の補正係数が変化する場合、Ａ／Ｄ変換器１０の第１の補正式の補正係数の変化率と、Ａ／Ｄ変換器２０の第２の補正式の補正係数の変化率とは同じ変化率であると考えられる。そのため、第１の補正計算部１１０は、第１の補正式の補正係数の変化率が第２の補正式の補正係数の変化率と同一の変化率となるように、第１の補正式の補正係数を補正する。具体的には、第２の補正式の補正係数が１．２倍に変化した場合、第１の補正計算部１１０は、第１の補正式の補正係数を１．２倍とする。これにより、第１の補正計算部１１０は、第２の補正式の補正係数の変化率を用いて、第１の補正式を新たに算出することができる。

また、ステップＳ１０８で第１の補正計算部１１０が第１の補正式を新たに算出する方法としては、固体撮像装置がＡ／Ｄ変換器２０を複数備えている場合、判定部２２０は、各Ａ／Ｄ変換器２０の第２の補正式の補正係数の変化率の平均を算出する。そして、第１の補正計算部１１０は、この変化率の平均を用いて第１の補正式の補正係数を補正する方法がある。これにより、第１の補正計算部１１０は、第２の補正式の補正係数の変化率の平均を用いて、第１の補正式を新たに算出することができる。

また、ステップＳ１０８で第１の補正計算部１１０が第１の補正式を新たに算出する方法としては、固体撮像装置が２つのＡ／Ｄ変換器２０を備えており、図１に示したようにＡ／Ｄ変換器１０を挟むように互いに離れて配置されている場合は、単純に２つのＡ／Ｄ変換器２０の第２の補正式の補正係数の変化率の平均を用いるのではなく、２つのＡ／Ｄ変換器２０からの距離を考慮して第１の補正式を算出する方法がある。具体的には、判定部２２０は、２つのＡ／Ｄ変換器２０からの距離に応じて補正係数の変化率を算出する。そして、第１の補正計算部１１０は、２つのＡ／Ｄ変換器２０からの距離に応じた補正係数の変化率を用いて第１の補正式の補正係数の補正を行う。これにより、第１の補正計算部１１０は、２つのＡ／Ｄ変換器２０からの距離に応じた補正係数の変化率を用いて、第１の補正式を新たに算出することができる。

例えば、左側に配置されているＡ／Ｄ変換器２０の第２の補正式の補正係数の変化率をΔＡＬ２０とし、右側に配置されているＡ／Ｄ変換器２０の第２の補正式の補正係数の変化率をΔＡＲ２０とする。また、左側に配置されているＡ／Ｄ変換器２０と右側に配置されているＡ／Ｄ変換器２０との間には、ｎ個のＡ／Ｄ変換器１０が等間隔に設置されているとする。また、Ａ／Ｄ変換器１０の第１の補正式の補正係数は、左側のＡ／Ｄ変換器１０から順に、Ａ１０＿１，Ａ１０＿２，Ａ１０＿３，・・・，Ａ１０＿ｎとする。

この場合、固体撮像装置が備えている各Ａ／Ｄ変換器１０の第１の補正式の補正係数の変化率は、２つのＡ／Ｄ変換器２０からの距離を考慮すると、左側から順に、ΔＡＬ２０，｛ΔＡＬ２０×（ｎ−１）＋ΔＡＲ２０×１｝／ｎ，｛ΔＡＬ２０×（ｎ−２）＋ΔＡＲ２０×２｝／ｎ，・・・，ΔＡＲ２０となる。

従って、左側から１番目のＡ／Ｄ変換器１０の第１の補正式の補正後の補正係数は、Ａ１０＿１×ΔＡＬ２０となる。また、左側から２番目のＡ／Ｄ変換器１０の第１の補正式の補正後の補正係数は、Ａ１０＿２×｛ΔＡＬ２０×（ｎ−１）＋ΔＡＲ２０×１｝／ｎとなる。また、左側から３番目のＡ／Ｄ変換器１０の第１の補正式の補正後の補正係数は、Ａ１０＿３×｛ΔＡＬ２０×（ｎ−２）＋ΔＡｒ２０×２｝／ｎとなる。また、左からｎ番目、即ち最も右側のＡ／Ｄ変換器１０の第１の補正式の補正後の補正係数は、Ａ１０＿ｎ×ΔＡＲ２０となる。

このように、２つのＡ／Ｄ変換器２０からの距離に応じた補正係数の変化率を用いて第１の補正式の補正係数の補正を行うことで、例えば、左側に配置されているＡ／Ｄ変換器２０と右側に配置されているＡ／Ｄ変換器２０との間で温度勾配がある場合にも、この温度勾配に応じて、第１の補正式を新たに算出することができる。

また、ステップＳ１０８で第１の補正計算部１１０が第１の補正式を新たに算出する方法としては、固体撮像装置が画像を撮像する前に第１の補正式を算出する方法と同様の方法で、第１の補正式を算出する方法がある。この方法は、第２の補正式の補正係数の変化率を用いて第１の補正式の補正係数を補正する方法と比較すると処理量は増加するが、以前に算出した第１の補正式の補正係数を補正するのではなく、基準電圧を用いて第１の補正計算部１１０が第１の補正式を算出するため、第１の補正式の精度はより向上する。

上述したとおり、本実施形態によれば、複数のＡ／Ｄ変換器１０の第１の補正式を繰り返し算出するのではなく、Ａ／Ｄ変換器１０の数よりも少ない数のＡ／Ｄ変換器２０の第２の補正式を繰り返し算出する。そして、第２の補正式の補正係数が一定の変化率以上変化した場合、Ａ／Ｄ変換器１０の第１の補正式を新たに算出する。これにより、固体撮像装置は、繰り返し算出する補正式の数を減らすことができるため、Ａ／Ｄ変換器１０の第１の補正式の算出処理を軽減することができる。

また、本実施形態によれば、第１の補正計算部１１０は、Ａ／Ｄ変換器２０の第２の補正式の補正係数に基づいて、Ａ／Ｄ変換器１０の第１の補正式を算出することも可能である。この場合、以前に算出した第１の補正式の補正係数を補正することで、第１の補正式を算出するため、基準電圧を用いて第１の補正式を算出するよりも処理量が少なくて済む。従って、固体撮像装置は、第１の補正式の補正処理をより軽減することができる。

（第２の実施形態）
以下、本発明の第２の実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態の固体撮像装置と第１の実施形態の固体撮像装置とで異なる点は、画素部１がオプティカルブラック画素（ＯＢ画素）を備えている点と、補正用電圧生成部５が備える電圧回路は、電圧Ｖｒｅｆ３を生成する第１の電圧回路５１と、電圧Ｖｒｅｆ２を生成する第２の電圧回路５２とである点である。

図４は、本実施形態における固体撮像装置の概略構成を示すブロック図である。図示する例では、固体撮像装置は、固体撮像装置は、複数の画素２と遮光されたオプティカルブラック画素２０１が行列状に配置された画素部１と、アナログ信号処理部３と、切替部４と、補正用電圧生成部５と、垂直駆動部６と、水平駆動部７と、制御部８と、補正部９と、Ａ／Ｄ変換器１０（第１のＡ／Ｄ変換部）と，Ａ／Ｄ変換器２０（第２のＡ／Ｄ変換部）とを備えている。

また、補正部９は、Ａ／Ｄ変換器１０の線形性を補正する第１の補正式を算出する第１の補正計算部１１０と、Ａ／Ｄ変換器２０の線形性を補正する第２の補正式を算出する第２の補正計算部２１０と、第２の補正式に変化があるか否かを判定する判定部２２０と、第１の補正計算部１１０にアップデート信号を出力するアップデート信号出力部２３０とを備えている。なお、固体撮像装置が備える各部は、画素部１を除いて、第１の実施形態の固体撮像装置が備える各部と同様である。Ａ／Ｄ変換器１０とＡ／Ｄ変換器２０との構成も、第１の実施形態と同様、図２に示す構成である。オプティカルブラック画素２０１は、光が入射しないように覆われた（マスクされた）画素である。

次に、本実施形態における第１の補正計算部１１０が第１の補正式を算出する手順について説明する。第１の補正式は、Ａ／Ｄ変換器１０が出力するデジタル信号φＤを補正するための補正式である。第１の補正計算部１１０は、固体撮像装置が画像を撮像する前（例えば、起動直後）に以下の処理を行い、各Ａ／Ｄ変換器１０の第１の補正式を算出して記憶する。

初めに、制御部８は、アナログ信号処理部３が出力する入力信号Ｖｉｎが各Ａ／Ｄ変換器１０に入力されるように、切替部４の制御を行う。続いて、制御部８は、垂直駆動部６を制御して、画素部１の５行目のオプティカルブラック画素２０１の信号をアナログ信号処理部３に入力させる。また、アナログ信号処理部３は、ノイズを抑圧した画素信号を生成し、生成した画素信号を入力信号Ｖｉｎ（ｏｂ）として、画素２およびオプティカルブラック画素２０１の列毎に備えられたＡ／Ｄ変換器１０に出力する。各Ａ／Ｄ変換器１０は、入力されたオプティカルブラック画素２０１の入力信号Ｖｉｎ（ｏｂ）に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ（ｏｂ））を第１の補正計算部１１０に出力する。

続いて、制御部８は、補正用電圧生成部５が出力する補正用電圧が各Ａ／Ｄ変換器１０に入力されるように、切替部４の制御を行う。これにより、補正用電圧生成部５が出力する補正用電圧は、各Ａ／Ｄ変換器１０に入力される。続いて、制御部８は、補正用電圧生成部５を制御して補正用電圧Ｖｒｅｆ２を出力させる。各Ａ／Ｄ変換器１０は、入力された補正用電圧Ｖｒｅｆ２に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）を第１の補正計算部１１０に出力する。続いて、制御部８は、補正用電圧生成部５を制御して補正用電圧Ｖｒｅｆ３を出力させる。各Ａ／Ｄ変換器１０は、入力された補正用電圧Ｖｒｅｆ３に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）を第１の補正計算部１１０に出力する。これにより、第１の補正計算部１１０には各Ａ／Ｄ変換器１０の出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ（ｏｂ））と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とが入力される。なお、入力信号Ｖｉｎ（ｏｂ）と、基準電圧Ｖｒｅｆ２、Ｖｒｅｆ３の大きさは、Ｖｉｎ（ｏｂ）が一番小さく、Ｖｒｅｆ２が２番目に小さく、Ｖｒｅｆ３が一番大きい（Ｖｉｎ（ｏｂ）＜Ｖｒｅｆ２＜Ｖｒｅｆ３）。

続いて、第１の補正計算部１１０は、出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ（ｏｂ））と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とに基づいて、各Ａ／Ｄ変換器１０の補正式の算出を行う。なお、第１の補正計算部１１０が算出する各Ａ／Ｄ変換器１０の補正式は、Ａ／Ｄ変換器１０の出力を補正することができる補正式であればどのような補正式でもよい。例えば、補正式の算出方法は、第１の実施形態における補正式の算出方法と同様の方法で行う。

次に、本実施形態における第２の補正計算部２１０が第２の補正式を算出する手順について説明する。第２の補正式は、Ａ／Ｄ変換器２０が出力する出力デジタル信号φＤを補正するための補正式である。第２の補正計算部２１０は、固体撮像装置が画像を撮像する前（例えば、起動直後）に以下の処理を行い、各Ａ／Ｄ変換器２０の第２の補正式を算出して記憶する。また、第２の補正計算部２１０は、固体撮像装置が撮像信号を外部に出力する際に以下の処理を行い、各Ａ／Ｄ変換器２０の第２の補正式を算出する。

初めに、制御部８は、アナログ信号処理部３が出力する入力信号Ｖｉｎが各Ａ／Ｄ変換器１０に入力されるように、切替部４の制御を行う。続いて、制御部８は、垂直駆動部６を制御して、画素部１の１列目と５行目に配置されているオプティカルブラック画素２０１のうち、各行１つのオプティカルブラック画素２０１の信号をアナログ信号処理部３に入力させる。また、アナログ信号処理部３は、ノイズを抑圧した画素信号を生成し、生成した画素信号を入力信号Ｖｉｎ（ｏｂ）として、各Ａ／Ｄ変換器２０に出力する。各Ａ／Ｄ変換器２０は、入力されたオプティカルブラック画素２０１の入力信号Ｖｉｎ（ｏｂ）に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ（ｏｂ））を第２の補正計算部２１０に出力する。

続いて、制御部８は、補正用電圧生成部５が出力する補正用電圧が各Ａ／Ｄ変換器２０に入力されるように、切替部４の制御を行う。これにより、補正用電圧生成部５が出力する補正用電圧は、各Ａ／Ｄ変換器２０に入力される。続いて、制御部８は、補正用電圧生成部５を制御して補正用電圧Ｖｒｅｆ２を出力させる。各Ａ／Ｄ変換器２０は、入力された補正用電圧Ｖｒｅｆ２に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）を第２の補正計算部２１０に出力する。続いて、制御部８は、補正用電圧生成部５を制御して補正用電圧Ｖｒｅｆ３を出力させる。各Ａ／Ｄ変換器２０は、入力された補正用電圧Ｖｒｅｆ３に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）を第２の補正計算部２１０に出力する。これにより、第２の補正計算部２１０には各Ａ／Ｄ変換器２０の出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ（ｏｂ））と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とが入力される。

続いて、第２の補正計算部２１０は、出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ（ｏｂ））と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とに基づいて、第１の補正計算部１１０と同様の方法で、第２の補正式を算出する。

上述したとおり、本実施形態においては、Ａ／Ｄ変換器１０，２０は、オプティカルブラック画素２０１の画素信号に基づいた入力信号Ｖｉｎ（ｏｂ）に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ（ｏｂ））と、補正用電圧生成部５が出力する補正用電圧Ｖｒｅｆ２に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、補正用電圧生成部５が出力する補正用電圧Ｖｒｅｆ３に応じた出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とを出力する。そして、第１の補正計算部１１０は、Ａ／Ｄ変換器１０が出力した出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ（ｏｂ））と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とに基づいて、第１の補正式を算出する。また、第２の補正計算部２１０は、Ａ／Ｄ変換器２０が出力した出力デジタル信号φＤ（Ｖｉｎ（ｏｂ））と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ２）と、出力デジタル信号φＤ（Ｖｒｅｆ３）とに基づいて、第２の補正式を算出する。

すなわち、本実施形態では、第１の実施形態とは異なり、補正用電圧Ｖｒｅｆ１の代わりにオプティカルブラック画素２０１が出力する信号を用いて第１の補正式と第２の補正式の算出を行う。従って、補正用電圧生成部５が備える電圧回路は、電圧Ｖｒｅｆ３を生成する第１の電圧回路５１と、電圧Ｖｒｅｆ２を生成する第２の電圧回路５２との２つの回路となるため、回路規模を削減することができる。

以上、この発明の第１の実施形態と第２の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。

１・・・画素部、２・・・画素、３・・・アナログ信号処理部、４・・・切替部、５・・・補正用電圧生成部、６・・・垂直駆動部、７・・・水平駆動部、８・・・制御部、９・・・補正部、１０，２０・・・Ａ／Ｄ変換器、１１・・・パルス遅延回路、１２・・・カウンタ、１３・・・ラッチ回路、１４・・・ラッチ＆エンコーダ回路、１５・・・信号処理回路、５１・・・第１の電圧回路、５２・・・第２の電圧回路、５３・・・第３の電圧回路、１１０・・・第１の補正計算部、２０１・・・オプティカルブラック画素、２１０・・・第２の補正計算部、２２０・・・判定部、２３０・・・アップデート信号出力部

Claims (10)

1. 行列状に配置された複数の画素と、
   前記複数の画素の各列の出力信号が入力され、当該出力信号をデジタル信号に変換して出力する複数の第１のＡ／Ｄ変換器と、
   補正用信号が入力され、当該補正用信号をデジタル信号に変換して出力する第２のＡ／Ｄ変換器と、
   前記第１のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号の線形性を補正するための第１の補正式を算出する第１の補正計算部と、
   前記第２のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号に基づいて、当該第２のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号の線形性を補正するための第２の補正式を算出する第２の補正計算部と、
   前記第２の補正計算部が算出した前記第２の補正式の係数と、当該第２の補正式よりも前に算出した前記第２の補正式の係数とを比較した結果に基づいて、前記第１の補正式を算出するか否かを判定する判定部と、
   前記第１の補正式を算出すると判定された場合、前記第１の補正計算部に前記第１の補正式を算出させるための信号を出力する信号出力部と、
   を備えたことを特徴とする固体撮像装置。
2. 前記補正用信号は、基準となる定電圧である
   ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
3. 前記補正用信号は、光が入射しないようにマスクされた前記画素の出力である
   ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
4. 前記第１の補正計算部は、前記第１の補正式を算出する際に、前記第２の補正式の係数の変化量に基づいて、前記第１の補正式の係数を補正する
   ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
5. 前記複数の第１のＡ／Ｄ変換器は、前記補正用信号が入力され、当該信号をデジタル信号に変換して出力し、
   前記第１の補正計算部は、前記補正用信号が入力された前記第１のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号に基づいて、前記第１の補正式を算出する
   ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
6. 行列状に配置された複数の画素の各列の出力信号が複数の第１のＡ／Ｄ変換器に入力され、当該複数の第１のＡ／Ｄ変換器が当該出力信号をデジタル信号に変換して出力するステップと、
   補正用信号が第２のＡ／Ｄ変換器に入力され、当該第２のＡ／Ｄ変換器が当該補正用信号をデジタル信号に変換して出力するステップと、
   第１の補正計算部が、前記第１のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号の線形性を補正するための第１の補正式を算出するステップと、
   第２の補正計算部が、前記第２のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号に基づいて、当該第２のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号の線形性を補正するための第２の補正式を算出するステップと、
   判定部が、前記第２の補正計算部が算出した前記第２の補正式の係数と、当該第２の補正式よりも前に算出した前記第２の補正式の係数とを比較した結果に基づいて、前記第１の補正式を算出するか否かを判定するステップと、
   信号出力部が、前記第１の補正式を算出すると判定された場合、前記第１の補正計算部に前記第１の補正式を算出させるための信号を出力するステップと、
   を有することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
7. 前記補正用信号は、基準となる定電圧である
   ことを特徴とする請求項６に記載の固体撮像装置の駆動方法。
8. 前記補正用信号は、光が入射しないようにマスクされた前記画素の出力である
   ことを特徴とする請求項６に記載の固体撮像装置の駆動方法。
9. 前記第１の補正計算部が、前記第１のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号の線形性を補正するための第１の補正式を算出するステップでは、前記第１の補正計算部が、前記第１の補正式を算出する際に、前記第２の補正式の係数の変化量に基づいて、前記第１の補正式の係数を補正する
   ことを特徴とする請求項６に記載の固体撮像装置の駆動方法。
10. 前記補正用信号が前記複数の第１のＡ／Ｄ変換器に入力され、前記複数の第１のＡ／Ｄ変換器が、当該信号をデジタル信号に変換して出力するステップ
    を有し、
    前記第１の補正計算部が、前記補正用信号が入力された前記第１のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号の線形性を補正するための第１の補正式を算出するステップでは、前記第１の補正計算部が、前記第１のＡ／Ｄ変換器が出力する前記デジタル信号に基づいて、前記第１の補正式を算出する
    ことを特徴とする請求項６に記載の固体撮像装置の駆動方法。

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