JP2014126728A - 光導波路素子及び光変調器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リブ部22とその両側にそれぞれ接続された一対のスラブ部23,24とからなるコア12を有するリブ型導波路を備え、コア12は、特定の偏光状態にある基本モード及び高次モードを伝搬可能であり、リブ部22は、PN接合を形成するP型半導体部3a及びN型半導体部4aを有し、第1スラブ部23のP型半導体部3bはリブ部22のP型半導体部3aと接続され、第2スラブ部24のN型半導体部4bはリブ部22のN型半導体部4aと接続され、P型半導体部3a,3b又はN型半導体部4a,4bよりも高濃度にドーパントを含有する半導体材料からなるP型導体部5及びN型導体部6が、高次モードが伝搬される領域に設けられている。
【選択図】図1
Description
特許文献1には、横方向にPIN接合を有し、PIN接合中のキャリア密度を変化させて屈折率を制御する単一モードのシリコンリブ型導波路について開示されている。
特許文献2には、横方向にPNダイオードを有するシリコンリブ型導波路であり、P及びN領域のドーパント密度は一様でなく非線形的に変化しており、P及びN領域の各々の電極に隣接する部分でドーパント密度が最高値をとり、導波モードの中心でドーパント密度が最低値をとる光変調器が記載されている。
非特許文献1には、位相変調部として横方向にPNダイオードを有するシリコンリブ型導波路を有するマッハ−ツェンダー型導波路を用いた10Gbps(ギガビット毎秒)の高速な光変調器が開示され、消光比が10dB以上、光損失が10.5dB以下であることが報告されている。
前記コアの周囲には、上部クラッド及び下部クラッドが設けられ、前記電極は、前記上部クラッドの上面に形成され、前記電極と前記P型導体部及び前記N型導体部との間は、前記上部クラッドを貫通する接続導体部により電気的に接続されていることが好ましい。
前記リブ型導波路の前記リブ部の幅が、500〜600nmであることが好ましい。
前記遷移領域における前記一対のスラブ部の幅が、光の伝搬方向に沿って線形的に変化することが好ましい。
前記遷移領域における前記一対のスラブ部の幅が、光の伝搬方向に沿って二次関数的に変化することが好ましい。
前記矩形導波路の前記接続部とは反対側の端部には、先端に向かって幅が狭くなる逆テーパ型導波路が接続されることが好ましい。
2つの1×2光分岐部の間に2本のアーム部が設けられたマッハ−ツェンダー型導波路を有する光導波路素子であって、前記1×2光分岐部がマルチモード干渉計からなり、前記2本のアーム部のそれぞれが前記リブ型導波路を有し、前記リブ型導波路と前記1×2光分岐部との間が前記矩形導波路で接続されていることが好ましい。
前記光導波路素子に対して光を入射させ、又は前記光導波路素子から光を出射させる端部では、先端に向かって幅が狭くなる逆テーパ型導波路が矩形導波路の端部に接続されることが好ましい。
図1に、本発明の光導波路素子におけるリブ型導波路の断面構造の模式図を示す。図1の下部には、電極10,11間の等価回路を示している。
光導波路のコア12は、リブ部22と、その両側にそれぞれ接続された一対のスラブ部23,24とを有する。リブ部22の厚さtribは、スラブ部23,24の厚さtslabより大きい。この例では、スラブ部23,24は、リブ部22の下部で側方に接続されており、下部クラッド2に面する下面を共通にしている。
P型半導体部3のPN接合13とは反対側の端部には、P型導体部5が接続されている。同様に、N型半導体部4のPN接合13とは反対側の端部には、N型導体部6が接続されている。P型導体部5は、P型半導体部3よりも高濃度にP型ドーパントを含有する半導体材料からなり、N型導体部6は、N型半導体部4よりも高濃度にN型ドーパントを含有する半導体材料からなる。
P型導体部5及びN型導体部6を構成する半導体材料は、P型半導体部3及びN型半導体部4の半導体材料と同じものを用いることが好ましい。また、P型ドーパント及びN型ドーパントも、半導体部と導体部とで同じものを用いることが好ましい。
IV族半導体の場合、P型ドーパントとしては、ホウ素(B)等のIII族元素が挙げられる。P型半導体部3及びP型導体部5を形成する方法としては、コア12を構成する半導体材料層に、P型ドーパントをイオン注入等により添加する方法が挙げられる。
また、IV族半導体のN型ドーパントとしては、リン(P)やヒ素(As)等のV族元素が挙げられる。N型半導体部4及びN型導体部6を形成する方法としては、コア12を構成する半導体材料層に、N型ドーパントをイオン注入等により添加する方法が挙げられる。
一対のスラブ部の一方である第1スラブ部23は、互いに接続されたP型半導体部3b及びP型導体部5を有し、第1スラブ部23のP型半導体部3bとリブ部22のP型半導体部3aとが互いに接続され、一体のP型半導体部3を形成している。
また、一対のスラブ部の一方である第2スラブ部24は、互いに接続されたN型半導体部4b及びN型導体部6を有し、第2スラブ部24のN型半導体部4bとリブ部22のN型半導体部4aとが互いに接続され、一体のN型半導体部4を形成している。
図1に示す例では、電極10,11は、リブ部22及びスラブ部23,24(すなわちコア12)の上部を覆う上部クラッド7の上面に形成されている。電極10,11とP型導体部5及びN型導体部6との間は、上部クラッド7を貫通する接続導体部8,9により電気的に接続されている。
図1に示す例では、接続導体部8,9及び電極10,11は、P型導体部5及びN型導体部6のそれぞれの上面5a,6aに接続されている。
表1に、シリコンコアを有するリブ型導波路のリブ幅に対する光損失を示す。
リブ幅400nmでは、N=2の高次モードはスラブ側に局在するため、リブ型導波路は単一モード導波路であるが、表1より、光損失は高い。リブ幅が大きいほど光損失は小さく、しかし高次モードがリブ中央に局在する傾向を有する。リブ幅を最大700nmまで大きくして同様のモード計算を実施したところ、N=2より高い次数のTE成分のモードはリブ型導波路を伝搬しないことを確認した。
以下、「基本モード」はTE成分のN=1モードを、「高次モード」はTE成分のN=2モードを指す。
具体的には、スラブ部23,24にP型導体部5及びN型導体部6を設けている。従来技術では、スラブ部において電極との電気的接続を良好にするため、電極との接続部の周辺にドーパント濃度の高い領域を設けるものがある(例えば特許文献2参照)。本発明では、P型導体部5及びN型導体部6の形成範囲をリブ部22の近くまで伸ばし、高次モードが伝搬される領域に設けている。
上述したように、高次モードはスラブ部23,24にも広がっているため、P型導体部5及びN型導体部6での減衰は、高次モードに対して強く生じる。これにより、高次モードを選択的に減衰させることができる。よって、本発明によるリブ型導波路は、リブ幅を広げて側壁荒れによる光損失の影響を低減しながらも、基本モードのみが伝搬する単一モード導波路としての透過損失を実現することができ、変調における特性の劣化(例えば強度変調における消光比の低下や、位相変調におけるQ値の低下など)を避けることができる。
図1の例では、PN接合13はコアの底面から概ね垂直に形成されている。PN接合をコアの底面に対して傾斜させたり、コアの底面と平行にしたりすることも考えられるが、図1に示すように横向きのPNダイオードが構成されることが望ましい。
また、高次モードの励起を抑圧するためには、P型導体部5及びN型導体部6のドーピング密度(ドーパント濃度)の分布は概ね一様であることが好ましい。ドーピング密度が不均一であると、高速の電気信号を印加した場合に、スラブ部23,24での強度変調により高次モードが励起されて、消光比やQ値等の特性の劣化につながるためである。
図6〜9に、シリコン導波路の電界プロファイルをモード計算により求めた結果の一例を示す。
シリコン導波路の場合、コアはSi、クラッドはSiO2である。コア及びクラッドの材料屈折率は、おのおの3.5および1.45である。コアとクラッドの屈折率差が大きく、高コントラストである。図6及び図7に、Wrib=500nmでの基本モード(N=1)及び高次モード(N=2)のモード電界の分布を等高線で示す。また、図8及び図9には、スラブ部の厚さ方向の略中間の高さ(図6及び図7の等高線上に矢印Rで示す。)の水平線上に沿った電界プロファイルを示す。横軸に導波路上での位置をとり、縦軸に各々のプロファイルの電界の最大値で規格化した電界をとって表示している。また、図8及び図9では、Wrib=500nm,550nm,600nm,650nm,700nmでの電界プロファイルを重ねて表示している。
よって、本発明の光導波路素子において、高次モード減衰による性能向上の効果は高屈折率コントラスト導波路に対して顕著である。特にシリコン系導波路(Siコア・SiO2クラッド)に対して効果を発揮する。また、同様にコアとクラッドとの屈折率差(あるいは屈折率比)の大きい導波路でも本発明は有効と考えられる。
10Gbps以上の高速の強度変調器及び位相変調器に利用可能な光導波路について詳しく説明する。図1の等価回路のように、電気的にはリブ型導波路がLRC直列共振回路となるため、LRC共振による高速性能の劣化を避ける必要がある。そこで、PN接合に一定の逆バイアス電圧を印加し、電気容量Cを低減させてLRC共振周波数を増大させることにより、高速動作させることができる。例えば、約1V以上の一定の逆バイアスを加えると、LRC共振周波数を約20GHz以上に増大させることができる。逆バイアスを5V程度にすると、LRC共振周波数を約35GHz以上に増大させることができ、100Gpbsのデジタルコヒーレント伝送の位相変調器として利用することができる。同時に、電気容量が低減するため、ゼロバイアス時での40Ω以下という低インピーダンス状態を解消して、導波路のインピーダンスを50Ω以上に増加することができる。これにより、通常50Ωのインピーダンスを有する高速電気回路とのインピーダンス整合が可能になる。
前述のように、光損失を低減するためには、リブ幅wribは500nm以上とする必要がある。wribが600nmを超えると、高次モードはリブ部により強く局在するので、P型導体部及びN型導体部における高次モードの減衰が不十分となり、消光比やQ値が低減する。よって、リブ幅wribは概ね500〜600nm以上の範囲にあることが好ましい。
図1に示すようなリブ型導波路を用いて、光変調器等の光集積回路を構成するためには、矩形導波路との接続が好ましい。図2に、矩形導波路と接続されたリブ型導波路の斜視図を模式的に示す。図2に示す矩形導波路21(図2のA)は、リブ型導波路(図2のC)のリブ部22と同じ幅及び厚さ(図1のwrib及びtribを参照)を有する。矩形導波路からリブ型導波路への遷移領域(図2のB)では、スラブ部23,24の幅がゼロから連続的に変化する部分25を有する。遷移領域では、一対のスラブ部23,24の幅が、光の伝搬方向に沿って線形的、あるいは二次関数的に変化することが好ましい。線形的に変化する場合は、設計が容易である。光損失をさらに低減するためには、スラブ部23,24の幅を二次関数的に変化させることが好ましい。
遷移領域Bの長さは、光の波長よりも十分に長くすることが好ましい。特に限定されるものではないが、例えば、20μm程度が挙げられる。
逆テーパ型導波路を用いると、光ファイバと矩形導波路とを光結合する際に、両者の端面の間でのモード不整合を低減し、光ファイバとの光結合における損失を低減することができる。モード不整合を低減すると、高次モードの発生を低減できるが、完全には除去できない。光集積回路を構成する場合、このモード不整合が高次モードの発生の主要因となる。本発明によるリブ型導波路は、高次モードを減衰させる手段として有効である。
なお、逆テーパ型導波路は、コアサイズを徐々に狭めることでモードフィールドを拡大するスポットサイズ変換の構造の一例である。コアのサイズの拡大する向きとモードフィールドのサイズの拡大する向きが逆であるため、「逆テーパ型」と呼ばれる。
本発明の光導波路素子は、光分岐・合波部として1×2のマルチモード干渉計(MMI)を用いたマッハ−ツェンダー型導波路を構成することもできる。図3に、1×2MMIの模式図を示す。図3(a)が平面図、図3(b)が斜視図である。このMMI30では、片側に1本(符号31)、反対側の2本の矩形導波路32,33が接続されている。これらの矩形導波路31,32,33の幅は、リブ型導波路のリブ幅と同じであることが好ましい。具体例としては、リブ幅600nmに対して、矩形導波路31,32,33の幅を600nm、同じ側の矩形導波路32,33の間隔を300nm、MMIの幅を1700nm、MMIの長さを2400nmとすることが例示される。この場合、矩形導波路32,33からMMI30の長辺までの間隔は、計算上100nmが確保される。
1×2MMIは、Y字型の光分岐・合波部よりも光損失を低減できるという利点がある一方、高次モードが放射モードではなく伝搬モードになるため、消光比が低下するという問題がある。本発明の光導波路素子では、1×2MMIに入射する高次モードをリブ型光導波路により除去できるため、消光比の低下という問題は解消される。
上記マッハ−ツェンダー型導波路を用いた光変調器は、本発明の光導波路素子を用いた光集積回路の一例である。マッハ−ツェンダー型導波路を多段に接続したり、複数のマッハ−ツェンダー型導波路を並列に設けたり、Nが3以上となる1×Nの光分岐・合波部(例えばMMI)を用いて多ポート光スイッチ等の光集積回路を構成することができる。
(1)「P型−リブ部−N型−アーム間の空間−P型−リブ部−N型」
(2)「P型−リブ部−N型−アーム間の空間−N型−リブ部−P型」
(3)「N型−リブ部−P型−アーム間の空間−P型−リブ部−N型」
(4)「N型−リブ部−P型−アーム間の空間−N型−リブ部−P型」
光集積回路の基板の面内に光源や受光器を設け、本発明のリブ型導波路を有する導波路と接続することもできる。
光導波路素子に対して光を入射させ、又は前記光導波路素子から光を出射させる端部には、図2の矩形導波路21や、図4の導波路31A,31Bの端部に限らず、先端に向かって幅が狭くなる逆テーパ型導波路を接続することが好ましい。
図1に示す構成で、基板1、下部クラッド2、及びコア12の材料としてSOIウエファを用いた。厚さ2μmのシリカからなるBOX層を下部クラッド2とし、その上のシリコンからなるSOI層に対してイオン注入によりP型及びN型のドーパントを添加し、P型半導体部3、N型半導体部4、P型導体部5、N型導体部6を形成した。また、コア12の一部をエッチングにより除去し、リブ部22とスラブ部23,24を形成した。リブ幅wribは500〜600nm、リブ厚さtribは220nm、スラブ厚さtslabは95nm、P型導体部5及びN型導体部6の間隔wPNは約2μmとした。CVD等により、シリカからなる上部クラッド7を1〜2μm程度の厚さで堆積させた。また、上部クラッド7に形成した貫通穴に金属を充填して、P型導体部5及びN型導体部6の上面5a,6aに通ずる接続導体部8,9を形成し、さらに上部クラッド7の上面に金属の電極10,11を形成した。リブ型導波路の長さは、3〜6mm程度とした。
電極10,11から1〜5V程度の逆バイアス電圧を印加し、同時にいずれかの電極(Signal電極)に交流成分のみからなる高周波信号を伝搬させ、他方の電極(GND)を接地することにより、10〜100Gbpsの光ファイバ伝送に好適に利用可能な光変調器を構成した。
Claims (11)
- リブ部とその両側にそれぞれ接続された一対のスラブ部とからなるコアを有するリブ型導波路を備え、
前記リブ部は、特定の偏光状態にある基本モード及び高次モードを伝搬可能な断面寸法を有し、
前記リブ部は、P型半導体部及びN型半導体部を有し、これらP型半導体部及びN型半導体部がPN接合を形成し、
前記一対のスラブ部の一方である第1スラブ部は、互いに接続されたP型半導体部及びP型導体部を有し、前記第1スラブ部のP型半導体部は、前記リブ部のP型半導体部と接続され、
前記一対のスラブ部の一方である第2スラブ部は、互いに接続されたN型半導体部及びN型導体部を有し、前記第2スラブ部のN型半導体部は、前記リブ部のN型半導体部と接続され、
前記P型導体部及び前記N型導体部は、それぞれ電極と電気的に接続され、
前記P型半導体部は、P型ドーパントを含有する半導体材料からなり、
前記N型半導体部は、N型ドーパントを含有する半導体材料からなり、
前記P型導体部は、前記P型半導体部よりも高濃度にP型ドーパントを含有する半導体材料からなり、
前記N型導体部は、前記N型半導体部よりも高濃度にN型ドーパントを含有する半導体材料からなり、
前記P型導体部及び前記N型導体部が、前記高次モードが伝搬される領域に設けられていることを特徴とする光導波路素子。 - 前記半導体材料がシリコンであることを特徴とする請求項1に記載の光導波路素子。
- 前記コアの周囲には、上部クラッド及び下部クラッドが設けられ、前記電極は、前記上部クラッドの上面に形成され、前記電極と前記P型導体部及び前記N型導体部との間は、前記上部クラッドを貫通する接続導体部により電気的に接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光導波路素子。
- 前記リブ型導波路の前記リブ部の幅が、500〜600nmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光導波路素子。
- 前記リブ型導波路の少なくとも1つの端には、前記リブ部と等しい幅及び厚さを有する矩形コア部を有する矩形導波路が接続され、前記リブ型導波路と前記矩形導波路との接続部には、前記一対のスラブ部の幅が、ゼロから連続的に変化する遷移領域を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光導波路素子。
- 前記遷移領域における前記一対のスラブ部の幅が、光の伝搬方向に沿って線形的に変化することを特徴とする請求項5に記載の光導波路素子。
- 前記遷移領域における前記一対のスラブ部の幅が、光の伝搬方向に沿って二次関数的に変化することを特徴とする請求項5に記載の光導波路素子。
- 前記矩形導波路の前記接続部とは反対側の端部には、先端に向かって幅が狭くなる逆テーパ型導波路が接続されることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の光導波路素子。
- 2つの1×2光分岐部の間に2本のアーム部が設けられたマッハ−ツェンダー型導波路を有する光導波路素子であって、前記1×2光分岐部がマルチモード干渉計からなり、前記2本のアーム部のそれぞれが前記リブ型導波路を有し、前記リブ型導波路と前記1×2光分岐部との間が前記矩形導波路で接続されていることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の光導波路素子。
- 前記光導波路素子に対して光を入射させ、又は前記光導波路素子から光を出射させる端部では、先端に向かって幅が狭くなる逆テーパ型導波路が矩形導波路の端部に接続されることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の光導波路素子。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の光導波路素子を備え、前記P型導体部に接続された電極と、前記N型導体部に接続された電極との間に、一定の逆バイアス電圧を印加し、同時に、交流成分のみからなる電気信号をいずれかの電極に伝搬させることにより、光変調を行う光変調器。
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