JP2014126408A5 - - Google Patents
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Description
本発明の一側面は、被検面の反射特性を測定する測定装置であって、第1面光源を含み該第1面光源からの光で前記被検面を照明する照明部と、前記照明部により照明された前記被検面からの反射光を受ける受光面を含み、該受光面に形成された第1光強度分布を検出する検出部と、メモリと、前記検出部により検出された前記第1光強度分布と前記メモリにより保存された情報とに基づいて、前記第1面光源の替りに該第1面光源とは形状および大きさのうち少なくとも一方が異なる第2面光源が配置された場合に前記被検面からの反射光により前記受光面に形成されて前記検出部により検出されうる第2光強度分布を推定し、前記第2光強度分布に基づいて前記被検面の前記反射特性を得る処理部と、を含み、前記情報は、前記照明部により照明された互いに異なる複数の反射特性を有する複数の被検面からの反射光により前記受光面に形成されて前記検出部により検出されうる複数の第3光強度分布と、前記第1面光源の替りに点光源が配置された場合に前記照明部により照明された前記複数の被検面からの反射光により前記受光面に形成されて前記検出部により検出されうる複数の第4光強度分布との間の関係を示す、ことを特徴とする。
Claims (17)
- 被検面の反射特性を測定する測定装置であって、
第1面光源を含み該第1面光源からの光で前記被検面を照明する照明部と、
前記照明部により照明された前記被検面からの反射光を受ける受光面を含み、該受光面に形成された第1光強度分布を検出する検出部と、
メモリと、
前記検出部により検出された前記第1光強度分布と前記メモリにより保存された情報とに基づいて、前記第1面光源の替りに該第1面光源とは形状および大きさのうち少なくとも一方が異なる第2面光源が配置された場合に前記被検面からの反射光により前記受光面に形成されて前記検出部により検出されうる第2光強度分布を推定し、前記第2光強度分布に基づいて前記被検面の前記反射特性を得る処理部と、を含み、
前記情報は、前記照明部により照明された互いに異なる複数の反射特性を有する複数の被検面からの反射光により前記受光面に形成されて前記検出部により検出されうる複数の第3光強度分布と、前記第1面光源の替りに点光源が配置された場合に前記照明部により照明された前記複数の被検面からの反射光により前記受光面に形成されて前記検出部により検出されうる複数の第4光強度分布との間の関係を示す、
ことを特徴とする測定装置。 - 前記処理部は、前記第4光強度分布の鏡面反射光成分と拡散反射光成分とに基づいて、前記受光面に関して設定された評価領域に形成される前記第2光強度分布を得ることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 設定可能な測定条件は、前記第2面光源の前記形状、前記第2面光源の前記大きさおよび前記受光面に関して設定された前記評価領域のうち少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項2に記載の測定装置。
- 前記第2面光源は円形の光源であり、前記検出部は2次元受光素子を含むことを特徴とする請求項1ないし3のうちいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記第2面光源は矩形の光源であり、前記検出部は2次元受光素子または1次元受光素子を含むことを特徴とする請求項1ないし3のうちいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記第2面光源はn角形の光源であり、前記検出部は2次元受光素子を含むことを特徴とする請求項1ないし3のうちいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記反射特性は、鏡面光沢度、ヘイズ、DOIおよび写像性のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1ないし6のうちいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記処理部は、前記第2光強度分布の鏡面反射光成分をガウシアン分布に基づいて推定し、前記第2光強度分布の拡散反射光成分をランバート散乱に基づいて推定することを特徴とする請求項1ないし7のうちいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記処理部は、前記被検面の拡散反射率のデータと、既知の拡散反射率を有する基準面を被検面として前記受光面に形成された光強度分布のデータとに基づいて、前記第2光強度分布の前記拡散反射光成分を推定することを特徴とする請求項8に記載の測定装置。
- 前記処理部は、前記第2面光源の位置に点光源を配置した場合に前記被検面からの反射光によって前記受光面に形成される前記第2光強度分布を前記第1光強度分布に基づいて推定し、該推定により得られた前記第2光強度分布を分割して前記第2光強度分布の鏡面反射光成分と拡散反射光成分とを得ることを特徴とする請求項1ないし9のうちいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記処理部は、前記第1光強度分布を、該第1光強度分布の鏡面反射光成分と拡散反射光成分とに分割し、該分割により得られた2つの成分にそれぞれ基づいて、前記第2光強度分布の鏡面反射光成分および拡散反射光成分を推定することを特徴とする請求項1ないし9のうちいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記処理部は、前記第1光強度分布の前記拡散反射光成分と、前記点光源の大きさと前記第2面光源の大きさとの間の比とに基づいて、前記第2光強度分布の前記拡散光成分を推定することを特徴とする請求項11に記載の測定装置。
- 前記処理部は、前記第1光強度分布の前記鏡面反射光成分と前記第2光強度分布の前記鏡面反射光成分との間の関係を示す情報と、前記第1光強度分布の前記鏡面反射光成分とに基づいて、前記第2光強度分布の前記鏡面反射光成分を推定することを特徴とする請求項11または12に記載の測定装置。
- 前記反射光は、鏡面反射光と拡散反射光とを含み、前記処理部は、前記第1光強度分布を鏡面反射光成分と拡散反射光成分とに分割することにより、前記第2光強度分布を推定することを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 被検面の反射特性を測定する測定方法であって、
第1面光源からの光で前記被検面を照明し、前記被検面からの反射光を受ける受光面に形成された第1光強度分布を検出し、
前記第1光強度分布と情報とに基づいて、前記第1面光源の替りに該第1面光源とは形状および大きさのうち少なくとも一方が異なる第2面光源が配置された場合に前記被検面からの反射光により前記受光面に形成されて検出されうる第2光強度分布を推定し、
前記第2光強度分布に基づいて前記被検面の前記反射特性を得、
前記情報は、前記第1面光源からの光で照明された互いに異なる複数の反射特性を有する複数の被検面からの反射光により前記受光面に形成されて検出されうる複数の第3光強度分布と、前記第1面光源の替りに点光源が配置された場合に該点光源からの光で照明された前記複数の被検面からの反射光により前記受光面に形成されて検出されうる複数の第4光強度分布との間の関係を示す、
ことを特徴とする測定方法。 - 被検面の反射特性を測定する測定装置であって、
第1面光源を含み該第1面光源からの光で前記被検面を照明する照明部と、
前記照明部により照明された前記被検面からの反射光を受ける受光面を含み、該受光面に形成された第1光強度分布を検出する検出部と、
メモリと、
前記検出部により検出された前記第1光強度分布と前記メモリにより保存された情報とに基づいて、前記第1面光源の替りに該第1面光源とは形状および大きさのうち少なくとも一方が異なる第2面光源が配置された場合に前記被検面からの反射光により前記受光面に形成されて前記検出部により検出されうる第2光強度分布を推定し、前記第2光強度分布に基づいて前記被検面の前記反射特性を得る処理部と、を含み、
前記情報は、前記第1面光源の替りに点光源が配置された場合に前記照明部により照明された前記被検面からの反射光により前記受光面に形成されて前記検出部により検出されうる光強度分布を前記第1光強度分布に基づいて推定するための情報を含む、
ことを特徴とする測定装置。 - 被検面の反射特性を測定する測定方法であって、
第1面光源からの光で前記被検面を照明し、前記被検面からの反射光を受ける受光面に形成された第1光強度分布を検出し、
前記第1光強度分布と情報とに基づいて、前記第1面光源の替りに該第1面光源とは形状および大きさのうち少なくとも一方が異なる第2面光源が配置された場合に前記被検面からの反射光により前記受光面に形成されて検出されうる第2光強度分布を推定し、
前記第2光強度分布に基づいて前記被検面の前記反射特性を得、
前記情報は、前記第1面光源の替りに点光源が配置された場合に該点光源からの光で照明された前記被検面からの反射光により前記受光面に形成されて検出されうる光強度分布を前記第1光強度分布に基づいて推定するための情報を含む、
ことを特徴とする測定方法。
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