JP6657794B2 - 光拡散度測定装置及び光拡散度測定方法 - Google Patents
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Description
像鮮明度測定装置は、試験片を透過する光量を移動するくしを通して検知する光学系装置と、検知した光量の変動を計測処理する計測系装置とから構成される。光学系装置に備えられる光学くしは、JIS K7374:2007においては、遮光部分と透過部分との比が1:1で、その幅が0.125mm、0.25mm、0.5mm、1.0mm及び2.0mmの5種類と規定されている。
近年、素子の高精細化により凹凸形状も高精細化となっており、上記問題はより深刻なものとなっている。
[1]光源と、前記光源から試験片へ照射される測定光を整形する光源スリットと、前記光源スリットを焦点面とし、前記光源スリットを透過した測定光を前記試験片に当てる第1レンズと、前記試験片に当てられた測定光の透過光又は反射光を受け、透過光又は反射光を集光する第2レンズと、前記第2レンズの焦点面上に配置され、遮光部分を移動させることで透過部分の幅を可変とする可変スリットと、前記可変スリットを透過した測定光を受光する受光器とを備える光拡散度測定装置。
[2]前記可変スリットは、透過部分の幅を略連続的に調整可能である[1]に記載の光拡散度測定装置。
[3]前記可変スリットは、透過部分の幅を0.125mm以下に調整可能である[1]又は[2]に記載の光拡散度測定装置。
[4]前記可変スリットの透過部分の幅を測定する変位計をさらに備える[1]〜[3]のいずれかに記載の光拡散度測定装置。
[5]前記光源から試験片へ照射する測定光を光源スリットで整形し、前記光源スリットを透過した測定光を、前記光源スリットを焦点面とする第1レンズを経て前記試験片に当て、前記試験片に当てられた測定光の透過光又は反射光を、第2レンズ及び可変スリットを経て受光器に集光させ、前記受光器で受光した光量に基づいて光拡散度を測定する光拡散度測定方法であって、前記可変スリットの遮光部分を移動させることで透過部分の幅を略連続的に変更し、略連続的に変更した前記可変スリットの透過部分の幅に対する光量を測定する工程を含む光拡散度測定方法。
第2レンズ13は、透過式の光拡散度測定装置の場合には、試験片20に当てられた測定光の透過光を受け、透過光を集光する。第2レンズ13は、集光した透過光を可変スリット14に当てる。
第2レンズ13は、反射式の光拡散度測定装置の場合には、試験片20に当てられた測定光の反射光を受け、反射光を集光する。第2レンズ13は、集光した反射光を可変スリット14に当てる。
第2レンズ13としては、コンデンサーレンズ等の集光レンズを用いることができる。
遮光部分14aとしては、測定光を遮光可能なものであれば特に限定されるものではなく、金属板及び透明ガラスに金属を蒸着したもの等を採用することができる。
(2−1)の具体例は、任意の時点での透過部分の幅をdaとした際、次の透過部分の幅が(da+0.100mm以下)である。
(2−2)の具体例は、任意の時点での透過部分の幅をdaとした際、次の透過部分の幅が(da+da/10[mm]以下)である。なお、次の透過部分の幅(da+da/10[mm]以下)をdbとした場合、その次の透過部分の幅は(db+da/10[mm]以下)である。
可変スリット14の透過部分の幅の変更が、上記(2−1)の態様の場合、幅調整は、0.050mm以下であることが好ましく、0.025mm以下であることがより好ましく、0.010mm以下であることがさらに好ましい。
可変スリット14の透過部分の幅の変更が、上記(2−2)の態様の場合、幅調整は、d/20[mm]以下に設定することも可能であり、d/100[mm]以下に設定することも可能である。
可変スリット14が透過部分の幅を略連続的に調整可能であることによって、既存の像鮮明度測定装置の光学系装置では0.125mm、0.25mm、0.5mm、1.0mm及び2.0mmの計5点しか光量を測定することができなかったものが、無数の点で測定が可能になり、数種類の凹凸形状が混在した試験紙において個々の成分に対応した測定及び評価が可能となる。
可変スリット14は、透過部分の幅を0.125mm以下に調整可能であることが好ましい。可変スリット14が透過部分の幅を0.125mm以下に調整可能であることによって、既存の像鮮明度測定装置の光学系装置で正確に評価することができなかった微細な表面凹凸形状を有した試験片20の光拡散度に対する依存性を正確に測定することができる。可変スリット14が透過部分の幅の下限は、特に限定されないが、0.0125mm程度であることが好ましい。可変スリット14が透過部分の幅の上限は、特に限定されないが、2.5mm程度であることが好ましい。
受光器15は、検知した光量を計測処理する計測系装置(図示せず)と接続され、検知した光量を計測系装置に送信する。計測系装置は、受信した光量のデータに基づいて、表面凹凸形状による光拡散度を算出する。
具体的な本発明の光拡散度測定方法を以下に示す。
基準光量の測定は、可変スリット14の透過部分の幅の変更に伴って測定することが好ましい。
可変スリット14の透過部分の幅の変更が、(1)の形態の場合の基準光量の測定は、可変スリット14の透過部分の幅が変更したタイミングに合わせて、基準光量の測定を断続的に行うことが好ましい。(1)の形態において、基準光量の測定を断続的に行う場合のタイミングは、例えば、(2−1)又は(2−2)の形態において決定する可変スリット14の透過部分の幅が断続的に変更したタイミングとすることができる。また、可変スリット14の透過部分の幅の変更が、(1)の形態の場合の基準光量の測定は、可変スリット14の透過部分の幅の変更に伴って連続して基準光量の測定をしてもよい。
可変スリット14の透過部分の幅の変更が、(2)の形態の場合の基準光量の測定は、可変スリット14の透過部分の幅が断続的に変更したタイミングに合わせて、基準光量の測定を断続的に行うことが好ましい。
可変スリット14の透過部分の幅の変更が、(2)の形態の場合の基準光量の測定である場合は、1度基準光量の測定した後の再測定の際に、変曲点を有する箇所又は変曲点を有するであろうと見込む箇所において変更幅を小さくして測定することが好ましい。
その後、可変スリット14の遮光部分を移動させることで透過部分の幅を略連続的に変更させ、略連続的に変更した可変スリット14の透過部分の幅に対する光量を測定する。このとき、可変スリット14の透過部分の幅の変位は、変位計30を用いて同時に測定する。可変スリット14の透過部分の幅の変位を測定することで、可変スリット14の透過部分の幅と光量とを関連させることができる。可変スリット14の透過部分の幅と光量とを関連させることで、透過部分の幅に対する光量が評価光量(Mn)として得られる。
評価光量の測定は、可変スリット14の透過部分の幅の変更に伴って測定することが好ましい。
可変スリット14の透過部分の幅の変更が、(1)の形態の場合の評価光量の測定は、可変スリット14の透過部分の幅が変更したタイミングに合わせて、評価光量の測定を断続的に行うことが好ましい。(1)の形態において、評価光量の測定を断続的に行う場合のタイミングは、例えば、(2−1)又は(2−2)の形態において決定する可変スリット14の透過部分の幅が断続的に変更したタイミングとすることができる。また、可変スリット14の透過部分の幅の変更が、(1)の形態の場合の評価光量の測定は、可変スリット14の透過部分の幅の変更に伴って連続して評価光量の測定をしてもよい。
可変スリット14の透過部分の幅の変更が、(2)の形態の場合の基準光量の測定は、可変スリット14の透過部分の幅が断続的に変更したタイミングに合わせて、評価光量の測定を断続的に行うことが好ましい。
可変スリット14の透過部分の幅の変更が、(2)の形態の場合の評価光量の測定である場合は、1度評価光量の測定した後の再測定の際に、変曲点を有する箇所又は変曲点を有するであろうと見込む箇所において変更幅を小さくして測定することが好ましい。
試験片20に方向性を持つ凹凸がある場合には、この方向性を持つ凹凸に対する直角方向と平行方向の光拡散度は異なるので、両方を測定する。
11:光源スリット
12:第1レンズ
13:第2レンズ
14:可変スリット
15:受光器
20:試験片
30:変位計
Claims (5)
- 光源と、
前記光源から試験片へ照射される測定光を整形する光源スリットと、
前記光源スリットを焦点面とし、前記光源スリットを透過した測定光を前記試験片に当てる第1レンズと、
前記試験片に当てられた測定光の透過光又は反射光を受け、透過光又は反射光を集光する第2レンズと、
前記第2レンズの焦点面上に配置され、遮光部分を移動させることで透過部分の幅を可変とする可変スリットと、
前記可変スリットを透過した測定光を受光する受光器とを備える光拡散度測定装置。 - 前記可変スリットは、透過部分の幅を略連続的に調整可能であり、
略連続的に変更した前記可変スリットの透過部分の幅に対する光量を測定する請求項1に記載の光拡散度測定装置。 - 前記可変スリットは、透過部分の幅を0.125mm以下に調整可能である請求項1又は2に記載の光拡散度測定装置。
- 前記可変スリットの透過部分の幅を測定する変位計をさらに備える請求項1〜3のいずれか1項に記載の光拡散度測定装置。
- 光源から試験片へ照射する測定光を光源スリットで整形し、前記光源スリットを透過した測定光を、前記光源スリットを焦点面とする第1レンズを経て前記試験片に当て、前記試験片に当てられた測定光の透過光又は反射光を、第2レンズ及び可変スリットを経て受光器に集光させ、前記受光器で受光した光量に基づいて光拡散度を測定する光拡散度測定方法であって、
前記可変スリットの遮光部分を移動させることで透過部分の幅を略連続的に変更し、略連続的に変更した前記可変スリットの透過部分の幅に対する光量を測定する工程を含む光拡散度測定方法。
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