JP5226510B2 - 光学表面の曲率を測定するシステムおよび方法 - Google Patents
光学表面の曲率を測定するシステムおよび方法 Download PDFInfo
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Description
本特許出願は、米国特許法第119条(e)により、名義"Zino Altman"で2005年6月30日に出願された米国仮(provisional)特許出願第60/694989号からの優先権の利益を主張するものであり、この開示全体は、参照により全て記載されたものとしてここに組み込まれる。
レンズ倍率をS/sとして定義した場合、距離L,lが判る。
Claims (12)
- 物体表面の曲率を測定する方法であって、
(a)複数の光源で発生した、既知のサイズを有する光パターンを用いて物体表面を照射して、光学表面から反射した虚像を形成すること、
(b)光パターンから光学表面によって形成された反射虚像のサイズを測定すること、
(c)光パターンの既知のサイズおよび反射虚像のサイズから、光学表面の曲率を計算すること、
(d)光源間の相互距離を調整することによって、光パターンのサイズを調整すること、
(e)調整したサイズを有する光パターンについてステップ(b)(c)を繰り返して、光学表面の計算した曲率の精度を改善すること、を含む方法。 - 物体からの2次およびより高次の反射が、反射虚像のサイズ測定に影響を与えることを抑制することをさらに含む請求項1記載の方法。
- 光パターンから光学表面によって形成された反射虚像のサイズを測定することは、
複数の画素を有する電荷結合素子(CCD)を用いて、反射虚像を検出することと、
反射虚像によって照射されたCCDの画素から前記サイズを測定することとを含む請求項1記載の方法。 - 反射虚像のサイズを測定する際、設定した閾値未満の強度を有する光照射画素を無視することをさらに含む請求項3記載の方法。
- 光パターンは、物体の材料によって吸収される光を生成するようにした請求項1記載の方法。
- 物体表面の曲率を測定するためのシステムであって、
既知のサイズを有する光パターンを用いて物体表面を照射して、物体表面から反射した虚像を形成するようにした像発生器と、
物体表面からの反射虚像を検出するための像検出器と、
光パターンの既知のサイズおよび像検出器によって検出された反射虚像のサイズから、物体表面の曲率を計算するようにしたコントローラと、を備え、
像発生器は、可動ステージと、可動ステージに装着された複数の光源とを備え、
コントローラは、可動ステージを制御して、光源間の相互距離を調整することによって、像発生器からの光パターンのサイズを調整し、光学表面の計算した曲率の精度を改善するするようにしたシステム。 - 複数の光源は、紫外光を発生するようにした請求項6記載のシステム。
- 複数の光源は、物体材料に吸収される波長を有する光を発生するようにした請求項6記載のシステム。
- 像検出器は、電荷結合素子(CCD)である請求項6記載のシステム。
- 物体によって形成された2次およびより高次の反射が、反射虚像のサイズ測定に影響を与えることを抑制するための抑制手段をさらに含む請求項6記載のシステム。
- 抑制手段は、2次およびより高次の反射からの少なくとも一部の光が検出されないように、像検出器による像検出のための特定の基準を含む請求項10記載のシステム。
- 2次およびより高次の反射からの少なくとも一部の光が、像検出器に到達しないようにするための光学手段をさらに含む請求項10記載のシステム。
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