JPH04249747A - 顕微分光測定装置 - Google Patents
顕微分光測定装置Info
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- JPH04249747A JPH04249747A JP2416957A JP41695790A JPH04249747A JP H04249747 A JPH04249747 A JP H04249747A JP 2416957 A JP2416957 A JP 2416957A JP 41695790 A JP41695790 A JP 41695790A JP H04249747 A JPH04249747 A JP H04249747A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
-
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- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0229—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using masks, aperture plates, spatial light modulators or spatial filters, e.g. reflective filters
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、顕微分光測定装置の改
良に関する。
良に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の一般的な顕微分光測定装
置を示し、光源１からの光を試料２に照射し、その透過
光を対物レンズ３で集光し、像面４に拡大像を形成する
。さらに、この像面４からの光をリレーレンズ５を介し
て結像させ、その後、接眼レンズ６により像面４を観察
する。一方、分光測定を行う場合には、光路切換え用ミ
ラー７を像面４とリレーレンズ５との間に介装すること
により分光測定系８に光を導き、この分光測定系８およ
び表示装置９により分光スペクトルを得て、解析を行う
。しかしながら、例えば図４（ａ） に示すような試料
２中の測定対象部位Ａのみの分光スペクトルを測定した
い場合でも、試料２全体が測定対象となるため、物質Ａ
，Ｂ，Ｃの混合スペクトルしか得られず、目的とする物
質Ａのみの分光スペクトルを得ることができない。そこ
で、この問題を解決するために、図３に示すように、像
面４に測定対象以外からの光束を遮蔽するマスク１０，
１１を設置し、測定対象物質の光束のみを分光して、そ
の分光スペクトルを得るのである。つまり、図４（ｂ）
に示すように、像面４に、各辺がナイフエッジに形成
され、かつスリット長を任意に変更できる長方形のスリ
ットからなる遮蔽マスク１０，１１を設置し、測定対象
物質Ａ以外の物質Ｂ，Ｃからの光束を遮蔽し、かつ物質
Ａからの光束が最大限に得られるようにスリット長を可
変させ、測定を行う。
置を示し、光源１からの光を試料２に照射し、その透過
光を対物レンズ３で集光し、像面４に拡大像を形成する
。さらに、この像面４からの光をリレーレンズ５を介し
て結像させ、その後、接眼レンズ６により像面４を観察
する。一方、分光測定を行う場合には、光路切換え用ミ
ラー７を像面４とリレーレンズ５との間に介装すること
により分光測定系８に光を導き、この分光測定系８およ
び表示装置９により分光スペクトルを得て、解析を行う
。しかしながら、例えば図４（ａ） に示すような試料
２中の測定対象部位Ａのみの分光スペクトルを測定した
い場合でも、試料２全体が測定対象となるため、物質Ａ
，Ｂ，Ｃの混合スペクトルしか得られず、目的とする物
質Ａのみの分光スペクトルを得ることができない。そこ
で、この問題を解決するために、図３に示すように、像
面４に測定対象以外からの光束を遮蔽するマスク１０，
１１を設置し、測定対象物質の光束のみを分光して、そ
の分光スペクトルを得るのである。つまり、図４（ｂ）
に示すように、像面４に、各辺がナイフエッジに形成
され、かつスリット長を任意に変更できる長方形のスリ
ットからなる遮蔽マスク１０，１１を設置し、測定対象
物質Ａ以外の物質Ｂ，Ｃからの光束を遮蔽し、かつ物質
Ａからの光束が最大限に得られるようにスリット長を可
変させ、測定を行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記方
法で測定対象を限定すると、図４（ｃ） に示すように
、遮蔽マスク１０，１１を通して観測されるのは物質Ａ
のみであり、他の物質Ｂ，Ｃは遮蔽されているために試
料２の像全体における物質Ａの位置関係を目視観察によ
り再確認することができない。まして、測定対象が微小
になるほど、あるいは測定物質の全体像が半導体チップ
や生体細胞組織のように複雑であるほど測定対象の位置
関係を把握することが非常に重要であるにもかかわらず
、遮蔽マスク１０，１１を通しては非常に困難である。 そこで、測定対象物質の位置関係を再確認するためには
、遮蔽マスク１０，１１を一旦取り除くか、あるいはス
リットを移動させなければならない。そのため再測定す
るためには、遮蔽マスク１０，１１の位置、スリット長
を高精度に再現するのが非常に困難であり、ひいては測
定精度の低下を招くものである。
法で測定対象を限定すると、図４（ｃ） に示すように
、遮蔽マスク１０，１１を通して観測されるのは物質Ａ
のみであり、他の物質Ｂ，Ｃは遮蔽されているために試
料２の像全体における物質Ａの位置関係を目視観察によ
り再確認することができない。まして、測定対象が微小
になるほど、あるいは測定物質の全体像が半導体チップ
や生体細胞組織のように複雑であるほど測定対象の位置
関係を把握することが非常に重要であるにもかかわらず
、遮蔽マスク１０，１１を通しては非常に困難である。 そこで、測定対象物質の位置関係を再確認するためには
、遮蔽マスク１０，１１を一旦取り除くか、あるいはス
リットを移動させなければならない。そのため再測定す
るためには、遮蔽マスク１０，１１の位置、スリット長
を高精度に再現するのが非常に困難であり、ひいては測
定精度の低下を招くものである。
【０００４】上記の従来欠点に鑑み、本発明は、遮蔽マ
スクを移動させることなく、容易に試料の測定対象部位
の位置確認を行うことのできる構成の簡単な顕微分光測
定装置を提供せんとするものである。
スクを移動させることなく、容易に試料の測定対象部位
の位置確認を行うことのできる構成の簡単な顕微分光測
定装置を提供せんとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、光源からの光を試料に照射し、該試料
からの反射光あるいは透過光を対物レンズを介して分光
測定する顕微分光測定装置において、前記対物レンズの
後方にハーフミラーを取り外し可能に設けて二つの分岐
光路を形成し、一方の分岐光路における前記対物レンズ
の像点にのみ所定のマスクを設けると共に、該マスクの
後方にマスクを通して前記試料に光を照射する第２の光
源を取り外し可能に設け、他方の分岐光路における前記
対物レンズの像点において、第１の光源からの光による
前記試料の全体像と第２の光源からの光によるマスクの
像との合成像を観察できるように構成したことを特徴と
している。
めに、本発明は、光源からの光を試料に照射し、該試料
からの反射光あるいは透過光を対物レンズを介して分光
測定する顕微分光測定装置において、前記対物レンズの
後方にハーフミラーを取り外し可能に設けて二つの分岐
光路を形成し、一方の分岐光路における前記対物レンズ
の像点にのみ所定のマスクを設けると共に、該マスクの
後方にマスクを通して前記試料に光を照射する第２の光
源を取り外し可能に設け、他方の分岐光路における前記
対物レンズの像点において、第１の光源からの光による
前記試料の全体像と第２の光源からの光によるマスクの
像との合成像を観察できるように構成したことを特徴と
している。
【０００６】
【作用】上記の構成によれば、一方の分岐光路の像点で
結像する試料像のうちマスクを透過できる測定対象部位
と、第２の光源からの光による試料面上のマスクの像と
が一致し、第１の光源からの光による試料全体の像と第
２の光源からの光による試料面上のマスクの像とを合成
した像が他方の分岐光路の像点で結像するので、この合
成像を観察することによって、マスクを移動させること
なく試料全体における測定対象部位の位置関係が明らか
になる。その後、第２の光源およびハーフミラーを取り
除いて、マスクを透過する測定対象部位からの光を分光
測定系に導入することで、分光測定が可能となる。
結像する試料像のうちマスクを透過できる測定対象部位
と、第２の光源からの光による試料面上のマスクの像と
が一致し、第１の光源からの光による試料全体の像と第
２の光源からの光による試料面上のマスクの像とを合成
した像が他方の分岐光路の像点で結像するので、この合
成像を観察することによって、マスクを移動させること
なく試料全体における測定対象部位の位置関係が明らか
になる。その後、第２の光源およびハーフミラーを取り
除いて、マスクを透過する測定対象部位からの光を分光
測定系に導入することで、分光測定が可能となる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１および図２は、本発明による顕微分光測定装
置の一実施例を示す構成概要図であり、これらの図にお
いて図３および図４に示す符号と同一のものは同一物ま
たは相当物を示す。
する。図１および図２は、本発明による顕微分光測定装
置の一実施例を示す構成概要図であり、これらの図にお
いて図３および図４に示す符号と同一のものは同一物ま
たは相当物を示す。
【０００８】この実施例の顕微分光測定装置は透過法に
よって試料２の顕微分光測定を行う装置であって、試料
２に光（ここでは可視光）を照射する第１の光源１が、
その試料２の前方に設置される。試料２の後方には、試
料２から透過した光または照射光によって励起された蛍
光や燐光などの光を集光して、試料２の拡大像を結像さ
せる対物レンズ３が設置される。この対物レンズ３の後
方には、ハーフミラー１２が取り外し可能に設置され、
このハーフミラー１２によって対物レンズ３以降の光路
は二つの分岐光路ａ，ｂに分岐される。
よって試料２の顕微分光測定を行う装置であって、試料
２に光（ここでは可視光）を照射する第１の光源１が、
その試料２の前方に設置される。試料２の後方には、試
料２から透過した光または照射光によって励起された蛍
光や燐光などの光を集光して、試料２の拡大像を結像さ
せる対物レンズ３が設置される。この対物レンズ３の後
方には、ハーフミラー１２が取り外し可能に設置され、
このハーフミラー１２によって対物レンズ３以降の光路
は二つの分岐光路ａ，ｂに分岐される。
【０００９】光路ａにおける対物レンズ３の像点４ａに
は、試料２の測定対象部位以外からの光を遮蔽する例え
ば、各辺がナイフエッジに形成され、かつスリット長を
任意に変更できる長方形のスリットからなる遮蔽マスク
１０，１１が設置される（図４（ｂ），（ｃ） 参照）
。なお、遮蔽する手段としては他に、円形のピンホール
を用いてもよい。一方、ハーフミラー１２で分岐される
他方の光路ｂには、上記対物レンズ３の像点４ｂが焦点
位置となるように接眼レンズ６が設置される。
は、試料２の測定対象部位以外からの光を遮蔽する例え
ば、各辺がナイフエッジに形成され、かつスリット長を
任意に変更できる長方形のスリットからなる遮蔽マスク
１０，１１が設置される（図４（ｂ），（ｃ） 参照）
。なお、遮蔽する手段としては他に、円形のピンホール
を用いてもよい。一方、ハーフミラー１２で分岐される
他方の光路ｂには、上記対物レンズ３の像点４ｂが焦点
位置となるように接眼レンズ６が設置される。
【００１０】さらに、上述した一方の光路ａの遮蔽マス
ク１０，１１の後方には、その遮蔽マスク１０，１１を
通して上記試料２に光（可視光）を照射する第２の光源
１３が取り外し可能に設置されている。この光源１３の
さらに後方には、上記遮蔽マスク１０，１１を透過して
くる試料２からの光を取り込む分光測定系８および表示
装置９が設置されている。
ク１０，１１の後方には、その遮蔽マスク１０，１１を
通して上記試料２に光（可視光）を照射する第２の光源
１３が取り外し可能に設置されている。この光源１３の
さらに後方には、上記遮蔽マスク１０，１１を透過して
くる試料２からの光を取り込む分光測定系８および表示
装置９が設置されている。
【００１１】次に、上記顕微分光測定装置による分光測
定動作について説明する。先ず、図１に示すようにハー
フミラー１２および第２の光源１３を共に光路上に設置
した状態のもとで、試料２の全体観察が次のようにして
行われる。第１の光源１からの光によって試料２の視野
全体が照射され、その全視野像は対物レンズ３によって
、各分岐光路ａ，ｂの像点４ａ，４ｂで結像される。像
点４ａにおいて全視野像を結像する光束は、遮光マスク
１０，１１によって透過を制限され、試料２の測定対象
部位からの光だけが透過する。
定動作について説明する。先ず、図１に示すようにハー
フミラー１２および第２の光源１３を共に光路上に設置
した状態のもとで、試料２の全体観察が次のようにして
行われる。第１の光源１からの光によって試料２の視野
全体が照射され、その全視野像は対物レンズ３によって
、各分岐光路ａ，ｂの像点４ａ，４ｂで結像される。像
点４ａにおいて全視野像を結像する光束は、遮光マスク
１０，１１によって透過を制限され、試料２の測定対象
部位からの光だけが透過する。
【００１２】また、対物レンズ３に対して遮光マスク１
０，１１の位置は試料面の共役点となっているので、遮
蔽マスク１０，１１に照射される第１の光源１３からの
光はハーフミラー１２を透過し、対物レンズ３によって
遮蔽マスク１０，１１のスリット像が試料面に結像され
る。この遮蔽マスク１０，１１のスリット像は、試料２
の測定対象部位と重なることになる。
０，１１の位置は試料面の共役点となっているので、遮
蔽マスク１０，１１に照射される第１の光源１３からの
光はハーフミラー１２を透過し、対物レンズ３によって
遮蔽マスク１０，１１のスリット像が試料面に結像され
る。この遮蔽マスク１０，１１のスリット像は、試料２
の測定対象部位と重なることになる。
【００１３】上記試料面上で結像するスリット像もまた
、全視野像と同様に、対物レンズ３で拡大されハーフミ
ラー１２で反射されて光路ｂの像点４ｂで結像される。 したがって、光路ｂ上の像点４ｂには、第１の光源１か
らの光による試料２の拡大された全視野像と、第２の光
源１３からの光による遮蔽マスク１０，１１のスリット
像とを合成した像が結像される。上述したように、スリ
ット像は、試料２の測定対象部位と重なる像であるから
、上記合成像は試料２の全視野と、測定対象部位とを識
別した形で同時に見せていることになる。この合成像を
接眼レンズ６を介して観察することにより、観察者は試
料２の全視野における測定対象部位の位置を確認できる
。
、全視野像と同様に、対物レンズ３で拡大されハーフミ
ラー１２で反射されて光路ｂの像点４ｂで結像される。 したがって、光路ｂ上の像点４ｂには、第１の光源１か
らの光による試料２の拡大された全視野像と、第２の光
源１３からの光による遮蔽マスク１０，１１のスリット
像とを合成した像が結像される。上述したように、スリ
ット像は、試料２の測定対象部位と重なる像であるから
、上記合成像は試料２の全視野と、測定対象部位とを識
別した形で同時に見せていることになる。この合成像を
接眼レンズ６を介して観察することにより、観察者は試
料２の全視野における測定対象部位の位置を確認できる
。
【００１４】このようにして、測定対象部位の位置を確
認した後、ハーフミラー１２および第２の光源１３を各
光路から取り除くことによって、本来の分光測定が可能
となる。すなわち、この状態では図２に示すように、光
路ｂが取り除かれ光源１３もないので、試料２の拡大像
を結像する光束のうち、遮光マスク１０，１１で制限さ
れない測定対象部位からの光だけが分光測定系８に導か
れ、分光測定系８内の分光器により分光スペクトルが測
定され、その測定結果が表示装置９によって表示される
。
認した後、ハーフミラー１２および第２の光源１３を各
光路から取り除くことによって、本来の分光測定が可能
となる。すなわち、この状態では図２に示すように、光
路ｂが取り除かれ光源１３もないので、試料２の拡大像
を結像する光束のうち、遮光マスク１０，１１で制限さ
れない測定対象部位からの光だけが分光測定系８に導か
れ、分光測定系８内の分光器により分光スペクトルが測
定され、その測定結果が表示装置９によって表示される
。
【００１５】なお、上記実施例では、透過式の顕微分光
測定装置の場合について示したが、図１に仮想線で示す
ように光源１４からの光を試料面で反射させて分光測定
を行う反射式の顕微分光測定装置の場合にも同様に適用
できる。また、上記実施例では顕微可視光分光測定装置
の場合で説明したが、赤外線や紫外線を用いた顕微分光
測定装置の場合は光源１，１４として、それらの光と可
視光を同時に発する光源を用いるか、または分光測定時
は光源を赤外線光源や紫外線光源に置き換えて行えばよ
い。
測定装置の場合について示したが、図１に仮想線で示す
ように光源１４からの光を試料面で反射させて分光測定
を行う反射式の顕微分光測定装置の場合にも同様に適用
できる。また、上記実施例では顕微可視光分光測定装置
の場合で説明したが、赤外線や紫外線を用いた顕微分光
測定装置の場合は光源１，１４として、それらの光と可
視光を同時に発する光源を用いるか、または分光測定時
は光源を赤外線光源や紫外線光源に置き換えて行えばよ
い。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、上述した構成より成り、対物
レンズの後方に取り外し可能に設けたハーフミラーで二
つの分岐光路を形成し、一方の分岐光路における対物レ
ンズの像点にのみ設けたマスクの後方に、このマスクを
通して試料に光を照射する第２の光源を取り外し可能に
設け、他方の分岐光路における対物レンズの像点におい
て、試料全体に光を照射する第１の光源からの光による
試料の全体像と前記第２の光源からの光によるマスクの
像との合成像を観察できるようにしているので、簡単な
構成によりマスクを移動させることなく試料全体におけ
る測定対象部位の位置を確認できる。
レンズの後方に取り外し可能に設けたハーフミラーで二
つの分岐光路を形成し、一方の分岐光路における対物レ
ンズの像点にのみ設けたマスクの後方に、このマスクを
通して試料に光を照射する第２の光源を取り外し可能に
設け、他方の分岐光路における対物レンズの像点におい
て、試料全体に光を照射する第１の光源からの光による
試料の全体像と前記第２の光源からの光によるマスクの
像との合成像を観察できるようにしているので、簡単な
構成によりマスクを移動させることなく試料全体におけ
る測定対象部位の位置を確認できる。
【図１】本発明の顕微分光測定装置で試料の全視野を観
察する場合の構成を示す構成概要図である。
察する場合の構成を示す構成概要図である。
【図２】実施例の顕微分光測定装置で分光測定を行う場
合の構成を示す構成概要図である。
合の構成を示す構成概要図である。
【図３】従来の顕微分光測定装置の構成概要図である。
【図４】遮光マスクによる非測定対象部位の遮蔽方法を
説明する平面図である。
説明する平面図である。
１ 第１の光源
３ 対物レンズ
１０ マスク
１２ ハーフミラー
１３ 第２の光源
Claims (1)
- 【請求項１】 光源からの光を試料に照射し、該試料
からの反射光あるいは透過光を対物レンズを介して分光
測定する顕微分光測定装置において、前記対物レンズの
後方にハーフミラーを取り外し可能に設けて二つの分岐
光路を形成し、一方の分岐光路における前記対物レンズ
の像点にのみ所定のマスクを設けると共に、該マスクの
後方にマスクを通して前記試料に光を照射する第２の光
源を取り外し可能に設け、他方の分岐光路における前記
対物レンズの像点において、第１の光源からの光による
前記試料の全体像と第２の光源からの光によるマスクの
像との合成像を観察できるように構成したことを特徴と
する顕微分光測定装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2416957A JPH04249747A (ja) | 1990-12-30 | 1990-12-30 | 顕微分光測定装置 |
| EP19910122120 EP0493777A3 (en) | 1990-12-30 | 1991-12-23 | Microscopic spectrometer |
| US07/813,474 US5241362A (en) | 1990-12-30 | 1991-12-26 | Microscopic spectrometer with auxiliary imaging system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2416957A JPH04249747A (ja) | 1990-12-30 | 1990-12-30 | 顕微分光測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04249747A true JPH04249747A (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=18525124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2416957A Pending JPH04249747A (ja) | 1990-12-30 | 1990-12-30 | 顕微分光測定装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5241362A (ja) |
| EP (1) | EP0493777A3 (ja) |
| JP (1) | JPH04249747A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006242822A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Chino Corp | 光学的測定装置 |
| JP2010502956A (ja) * | 2006-08-28 | 2010-01-28 | サーモ エレクトロン サイエンティフィック インストルメンツ リミテッド ライアビリティ カンパニー | 画像駆動分析による分光器顕微鏡法 |
| JP2017083399A (ja) * | 2015-10-30 | 2017-05-18 | 大日本印刷株式会社 | 光拡散度測定装置及び光拡散度測定方法 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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