JP2014120735A5 - - Google Patents
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Description
また、図３に示す積層構造のシリコン窒化膜３８にボロン（Ｂ）を添加し、シリコン酸化膜３２にストレスを印加した際のシリコン酸化膜３２の劣化量について図５を参照して説明する。ここで、シリコン窒化膜３８に添加されたボロンの量は約２ａｔ％である。図５からわかるように、シリコン窒化膜３８にボロンを添加することにより、水素放出を抑制する効果があることがわかる。この効果は、ボロンを導入することで、Ｂ−Ｎ結合がシリコン窒化膜３８の中の空隙表面にあるＮ−Ｈ結合を置換することによると考えられる。そのため、水素拡散防止膜１４であるシリコン窒化膜も、ボロンを添加することによって、水素放出を抑制する効果があると考えられる。
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