JP2008177343A - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
半導体装置とその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008177343A JP2008177343A JP2007009148A JP2007009148A JP2008177343A JP 2008177343 A JP2008177343 A JP 2008177343A JP 2007009148 A JP2007009148 A JP 2007009148A JP 2007009148 A JP2007009148 A JP 2007009148A JP 2008177343 A JP2008177343 A JP 2008177343A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- interlayer insulating
- insulating film
- silicon nitride
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Mram Or Spin Memory Techniques (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体基板上にトランジスタと磁気トンネル接合素子とを含む電子部品を形成した半導体基材上に、銅配線14を埋め込んだ層間絶縁膜11を形成し、この層間絶縁膜11上にライナ膜15として2.5g/cm3以上の膜密度を有するシリコン窒化膜を形成する。
【選択図】 図1
Description
12 配線用溝
13 バリアメタル膜
14 銅配線
15 ライナ膜
Claims (3)
- 半導体基板上にトランジスタと磁気トンネル接合素子とを含む電子部品を形成した半導体基材上に形成された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜に形成された配線用溝内に埋め込まれた銅配線と、
前記銅配線が形成された前記層間絶縁膜上に形成されるシリコン窒化膜と、
を備え、
前記シリコン窒化膜の膜密度は、2.5g/cm3以上であることを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板上にトランジスタと磁気トンネル接合素子(以下、MTJ素子という)とを含む電子部品が形成された半導体基材上に層間絶縁膜を形成する層間絶縁膜形成工程と、
前記層間絶縁膜に配線用溝を形成し、前記配線用溝に銅配線を形成する銅配線形成工程と、
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)法で、前記MTJ素子の電気磁気特性に影響を及ぼさない温度で、SiH4ガスとNH3ガスとN2ガスとの原料ガスの全体に対するSiH4ガスの流量比を1.8%以上4.2%以下となる条件で、前記銅配線が形成された前記層間絶縁膜上にシリコン窒化膜を作製するシリコン窒化膜形成工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記MTJ素子の電気磁気特性に影響を及ぼさない温度は、300℃以下であることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007009148A JP2008177343A (ja) | 2007-01-18 | 2007-01-18 | 半導体装置とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007009148A JP2008177343A (ja) | 2007-01-18 | 2007-01-18 | 半導体装置とその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008177343A true JP2008177343A (ja) | 2008-07-31 |
Family
ID=39704155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007009148A Pending JP2008177343A (ja) | 2007-01-18 | 2007-01-18 | 半導体装置とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008177343A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014120735A (ja) * | 2012-12-19 | 2014-06-30 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
CN105514264A (zh) * | 2014-09-24 | 2016-04-20 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种阻变存储器及其制备方法、电子装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003017564A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-17 | Fujitsu Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2006019376A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
-
2007
- 2007-01-18 JP JP2007009148A patent/JP2008177343A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003017564A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-17 | Fujitsu Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2006019376A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014120735A (ja) * | 2012-12-19 | 2014-06-30 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
CN105514264A (zh) * | 2014-09-24 | 2016-04-20 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种阻变存储器及其制备方法、电子装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5203844B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5695453B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2022103430A (ja) | 半導体チャネル材料及び窒素を含む、デバイス及びメモリ・アレイ | |
US8796814B2 (en) | Semiconductor memory device and method of manufacturing the same | |
JP2009290073A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2006523963A (ja) | 磁気抵抗ランダムアクセスメモリ装置及びその製造方法 | |
JP2009194210A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
TWI701771B (zh) | 在包括cmos基電晶體之積體電路產品上防護嵌入式mram陣列的方法 | |
JP2005244178A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
CN107658289A (zh) | 半导体器件及其制造方法 | |
JP2007250907A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
CN110678995A (zh) | 集成磁阻设备的方法 | |
JP2010080774A (ja) | 半導体装置 | |
US10170692B2 (en) | Semiconductor device with integrated magnetic tunnel junction | |
JP5107128B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2015177006A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
CN109817620A (zh) | 半导体器件 | |
KR101335714B1 (ko) | 그래핀 확산 방지막 및 이를 이용한 전자소자 | |
JP4455214B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2008177343A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
KR20050085682A (ko) | 자기전자 디바이스에서 사용하기 위한 플럭스 집중시스템을 제작하는 방법 | |
US20100193956A1 (en) | Multi-layer metal wiring of semiconductor device preventing mutual metal diffusion between metal wirings and method for forming the same | |
JP2016171256A (ja) | 半導体装置、および、半導体装置の製造方法 | |
JP2007165505A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2009010037A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091210 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20100519 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110512 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110517 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110706 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110830 |