JP2009010037A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置は、半導体基板100の上に形成され、半導体基板100表面に設けられた金属シリサイド層101を露出するコンタクトホール102aを有する絶縁膜102と、コンタクトホール102aの側壁部及び底部に形成され、金属シリサイド層101と接続する第1の高融点金属膜103と、第1の高融点金属膜103の上に形成された第2の高融点金属膜104と、第2の高融点金属膜104の上に形成され、コンタクトホール102aの内部を充填する銅膜105とを備える。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について、図1〜図4を参照しながら説明する。
図2は、本発明の第1の実施形態の第1の変形例に係る半導体装置及びその製造方法を説明するための要部断面図を示している。
図3は、本発明の第1の実施形態の第2の変形例に係る半導体装置及びその製造方法を説明するための要部断面図を示している。
図4は、本発明の第1の実施形態の第3の変形例に係る半導体装置及びその製造方法を説明するための要部断面図を示している。
以下、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について、図5〜図8を参照しながら説明する。
図6は、本発明の第2の実施形態の第1の変形例に係る半導体装置及びその製造方法を説明するための要部断面図を示している。
図7は、本発明の第2の実施形態の第2の変形例に係る半導体装置及びその製造方法を説明するための要部断面図を示している。
図8は、本発明の第2の実施形態の第3の変形例に係る半導体装置及びその製造方法を説明するための要部断面図を示している。
101 金属シリサイド層
102 絶縁膜
102b 吸湿性が相対的に高い絶縁膜
103 第1の高融点金属膜
104 第2の高融点金属膜
105 銅膜
106 第3の高融点金属膜
107 タンタル膜
108 高融点金属酸化膜
102a コンタクトホール
103a、104a、106a、107a 凹部
Claims (37)
- 半導体基板の上に形成され、前記半導体基板表面に設けられた金属シリサイド層を露出するコンタクトホールを有する絶縁膜と、
前記コンタクトホールの側壁部及び底部に形成され、前記金属シリサイド層と接続する第1の高融点金属膜と、
前記第1の高融点金属膜の上に形成された第2の高融点金属膜と、
前記第2の高融点金属膜の上に形成され、前記コンタクトホールの内部を充填する銅膜とを備える、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第1の高融点金属膜は、チタン膜又はタンタル膜である、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第2の高融点金属膜は、窒化タンタル膜である、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記金属シリサイド層は、ニッケルシリサイド層である、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第1の高融点金属膜と前記第2の高融点金属膜との間に形成され、前記第1の高融点金属膜の窒化膜である第3の高融点金属膜をさらに備える、半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記第1の高融点金属膜は、チタン膜又はタンタル膜である、半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記第2の高融点金属膜は、窒化タンタル膜である、半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記金属シリサイド層は、ニッケルシリサイド層である、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第2の高融点金属膜と前記銅膜との間に形成されたタンタル膜をさらに備える、半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、
前記第1の高融点金属膜は、チタン膜又はタンタル膜である、半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、
前記第2の高融点金属膜は、窒化タンタル膜である、半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、
前記金属シリサイド層は、ニッケルシリサイド層である、半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記第2の高融点金属膜と前記銅膜との間に形成されたタンタル膜をさらに備える、半導体装置。 - 請求項13に記載の半導体装置において、
前記第1の高融点金属膜は、チタン膜又はタンタル膜である、半導体装置。 - 請求項13に記載の半導体装置において、
前記第2の高融点金属膜は、窒化タンタル膜である、半導体装置。 - 請求項13に記載の半導体装置において、
前記金属シリサイド層は、ニッケルシリサイド層である、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記絶縁膜は、吸湿性が相対的に高い材料からなり、
前記コンタクトホールの側壁部において、前記絶縁膜と前記第1の高融点金属膜との間に形成され、前記第1の高融点金属膜の酸化膜である高融点金属酸化膜をさらに備える、半導体装置。 - 請求項17に記載の半導体装置において、
前記第1の高融点金属膜は、チタン膜又はタンタル膜である、半導体装置。 - 請求項17に記載の半導体装置において、
前記第2の高融点金属膜は、窒化タンタル膜である、半導体装置。 - 請求項17に記載の半導体装置において、
前記金属シリサイド層は、ニッケルシリサイド層である、半導体装置。 - 請求項17に記載の半導体装置において、
前記絶縁膜は、O3−TEOS膜、SOD膜、又は低誘電率膜からなる、半導体装置。 - 請求項17に記載の半導体装置において、
前記第1の高融点金属膜と前記第2の高融点金属膜との間に形成され、前記第1の高融点金属膜の窒化膜である第3の高融点金属膜をさらに備える、半導体装置。 - 請求項22に記載の半導体装置において、
前記第1の高融点金属膜は、チタン膜又はタンタル膜である、半導体装置。 - 請求項22に記載の半導体装置において、
前記第2の高融点金属膜は、窒化タンタル膜である、半導体装置。 - 請求項22に記載の半導体装置において、
前記金属シリサイド層は、ニッケルシリサイド層である、半導体装置。 - 請求項22に記載の半導体装置において、
前記絶縁膜は、O3−TEOS膜、SOD膜、又は低誘電率膜からなる、半導体装置。 - 請求項17に記載の半導体装置において、
前記第2の高融点金属膜と前記銅膜との間に形成されたタンタル膜をさらに備える、半導体装置。 - 請求項27に記載の半導体装置において、
前記第1の高融点金属膜は、チタン膜又はタンタル膜である、半導体装置。 - 請求項27に記載の半導体装置において、
前記第2の高融点金属膜は、窒化タンタル膜である、半導体装置。 - 請求項27に記載の半導体装置において、
前記金属シリサイド層は、ニッケルシリサイド層である、半導体装置。 - 請求項27に記載の半導体装置において、
前記絶縁膜は、O3−TEOS膜、SOD膜、又は低誘電率膜からなる、半導体装置。 - 請求項22に記載の半導体装置において、
前記第2の高融点金属膜と前記銅膜との間に形成されたタンタル膜をさらに備える、半導体装置。 - 請求項32に記載の半導体装置において、
前記第1の高融点金属膜は、チタン膜又はタンタル膜である、半導体装置。 - 請求項32に記載の半導体装置において、
前記第2の高融点金属膜は、窒化タンタル膜である、半導体装置。 - 請求項32に記載の半導体装置において、
前記金属シリサイド層は、ニッケルシリサイド層である、半導体装置。 - 請求項32に記載の半導体装置において、
前記絶縁膜は、O3−TEOS膜、SOD膜、又は低誘電率膜からなる、半導体装置。 - 請求項3、7、11、15、19、24、29、又は34に記載の半導体装置の製造方法であって、
Atomic Layer Deposition(ALD)法により、前記第2の高融点金属膜を堆積する、半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102184912A (zh) * | 2011-04-18 | 2011-09-14 | 复旦大学 | 金属铜与镍硅化合物的的叠层接触结构及其制备方法 |
US8531033B2 (en) | 2009-09-07 | 2013-09-10 | Advanced Interconnect Materials, Llc | Contact plug structure, semiconductor device, and method for forming contact plug |
JP2018139276A (ja) * | 2017-02-24 | 2018-09-06 | 株式会社豊田中央研究所 | 炭化珪素半導体装置とその製造方法 |
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JP2003309082A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Nec Corp | 半導体装置の構造 |
WO2007112361A2 (en) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | International Business Machines Corporation | Structure and method of forming electrodeposited contacts |
-
2007
- 2007-06-26 JP JP2007167991A patent/JP2009010037A/ja active Pending
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