JP2014090117A - 半導体装置、半導体装置の実装構造、および半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置、半導体装置の実装構造、および半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 機能部15を含む半導体層1と、機能部15に積層された主面電極21と、主面電極21に積層された絶縁層24と、半導体層1の厚さ方向Zに交差する方向を向く外側面4と、を備え、外側面4は、第1部分41と、第1部分41に対して厚さ方向Zの一方側に位置する第2部分46と、を有し、第1部分41は、第2部分46と比べて平滑面となっている。
【選択図】 図4
Description
図1は、本発明の第1実施形態にかかる半導体装置の正面図である。図2は、本発明の第1実施形態にかかる半導体装置の平面図である。図3は、本発明の第1実施形態にかかる半導体装置の底面図である。図4は、図2のIV−IV線に沿う断面図である。図5は、本発明の第1実施形態にかかる半導体装置の拡大平面図である。図6は、図4のVI−VI線に沿う部分拡大図である。
図18を用いて、本発明の第1実施形態の第1変形例について説明する。
1’ 半導体基板
100,101 半導体装置
11,11’ 主面
12,12’,12’’ 裏面
15 機能部
21 主面電極
24,24’ 絶縁層
26,26’ 裏面電極
4 外側面
41 第1部分
411 端縁
42a,42b,42c,42d 直線部
43a,43b,43c,43d 曲線部
46 第2部分
701 母材
702 レジスト層
703 溝
711 装置
781,784 ステージ
782 第1電極
783 第2電極
785 第1テープ
786 第2テープ
791 ホルダ
792 フレーム
793 弾性板
796 ブレイクツール
800 実装構造
801 搭載部材
802 導通部材
804 接合部材
L1 幅
R1 仮想帯状領域
Z 厚さ方向
Claims (22)
- 機能部を含む半導体層と、
前記機能部に積層された主面電極と、
前記主面電極に積層された絶縁層と、
前記半導体層の厚さ方向に交差する方向を向く外側面と、を備え、
前記外側面は、第1部分と、前記第1部分に対して前記厚さ方向の一方側に位置する第2部分と、を有し、
前記第1部分は、前記第2部分と比べて平滑面となっている、半導体装置。 - 前記第1部分は、前記厚さ方向において前記第2部分から離れるほど平面視において前記機能部に近づくように、前記厚さ方向に対して傾斜している部位を有する、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1部分は、少なくとも前記半導体層によって構成されている、請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第1部分は、前記絶縁層によって構成されている部位を有する、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第1部分の表面粗さは、1nm以上0.2μm以下である、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第1部分は、平面視において、前記機能部の周囲を一周している、請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第2部分は、前記厚さ方向に沿う形状である、請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第2部分は、少なくとも前記半導体層によって構成されている、請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第2部分の表面粗さは、1nmより大きく4μm以下である、請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第2部分は、平面視において、前記機能部の周囲を一周している、請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第1部分は、前記第2部分の位置する側とは反対側に位置する端縁を有し、
前記端縁は、直線状である、請求項1ないし請求項10のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記端縁は全体にわたって、幅が2μmの仮想帯状領域内に収まる、請求項11に記載の半導体装置。
- 前記端縁は、各々が一方向に沿って延びる4つの直線部を有し、
各直線部は、矩形の一辺を形成するように配置されている、請求項11または請求項12に記載の半導体装置。 - 前記端縁は、前記4つの直線部のうちの2つにつながる曲線部を有する、請求項13に記載の半導体装置。
- 前記端縁は、前記絶縁層によって構成されている、請求項11ないし請求項14のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記半導体層に積層された裏面電極を更に備え、
前記半導体層は、前記裏面電極および前記主面電極の間に位置している、請求項1ないし請求項15のいずれかに記載の半導体装置。 - 請求項1ないし請求項16のいずれかに記載の半導体装置と、
前記半導体装置が搭載された搭載部材と、
前記半導体装置における前記主面電極、および、前記搭載部材のいずれにも接する導通部材と、を備える、半導体装置の実装構造。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法であって、
母材を複数の装置に固片化する工程を備え、
前記固片化する工程は、エッチングによって前記母材に溝を形成する工程を含む、半導体装置の製造方法。 - 前記固片化する工程の前に、半導体基板に機能部を形成する工程と、前記半導体基板に絶縁層を積層させる工程と、前記機能部に主面電極を積層させる工程と、を更に備える、請求項18に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記溝を形成する工程においては、前記半導体基板のうち前記機能部が形成された側に、前記溝を形成する、請求項19に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記溝を形成する工程においては、ドライエッチングを行う、請求項18ないし請求項20のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記固片化する工程は、前記溝を形成する工程の後に、前記溝に沿って前記母材を割る工程を含む、請求項18ないし請求項21のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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JP2012240212A JP2014090117A (ja) | 2012-10-31 | 2012-10-31 | 半導体装置、半導体装置の実装構造、および半導体装置の製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017041525A (ja) * | 2015-08-19 | 2017-02-23 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
WO2023176370A1 (ja) * | 2022-03-17 | 2023-09-21 | ローム株式会社 | 半導体素子および半導体装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5527623A (en) * | 1978-08-17 | 1980-02-27 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor wafer dividing method |
JPH0945958A (ja) * | 1995-08-01 | 1997-02-14 | Oki Electric Ind Co Ltd | 端面発光型ledアレイ及びその製造方法 |
JP2001007316A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-01-12 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2008227284A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2011077418A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Nec Corp | 半導体素子、半導体ウェハ、半導体ウェハの製造方法、半導体素子の製造方法 |
-
2012
- 2012-10-31 JP JP2012240212A patent/JP2014090117A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5527623A (en) * | 1978-08-17 | 1980-02-27 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor wafer dividing method |
JPH0945958A (ja) * | 1995-08-01 | 1997-02-14 | Oki Electric Ind Co Ltd | 端面発光型ledアレイ及びその製造方法 |
JP2001007316A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-01-12 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2008227284A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2011077418A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Nec Corp | 半導体素子、半導体ウェハ、半導体ウェハの製造方法、半導体素子の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017041525A (ja) * | 2015-08-19 | 2017-02-23 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
WO2023176370A1 (ja) * | 2022-03-17 | 2023-09-21 | ローム株式会社 | 半導体素子および半導体装置 |
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