JP5768353B2 - 窒化物系化合物半導体素子の製造方法 - Google Patents
窒化物系化合物半導体素子の製造方法 Download PDFInfo
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これにより、高い歩留まりで正確に切断することができ、一枚のウエハーから取り出せるチップ数を増加させて、生産性が向上する。
これにより、カッターによる加工幅を制限する事で、半導体層や電極の破損を防ぎ、かつウエハーの未切断を防ぐことができる。
図1〜3は、それぞれ本発明の製造方法の一工程を示す概略断面図であり、図4は本発明の製造方法の一工程を示す概略図である。
また、カッター21のウエハー1に対する押し込み深さは、研磨後のGaN基板11の厚みの15%以下が好ましい。これにより、カッターがウエハー外周部と接触する際に生じるカッターの跳ねを抑制することができ、外周部の歩留りを向上させることができる。
ウエハー1に対して押圧するカッター21の荷重は、0.2N以上0.4N以下が好ましく、0.3Nがさらに好ましい。荷重が大きすぎると溝の幅が大きくなって半導体層や電極を破損する恐れがあり、小さすぎると溝31が形成できない。したがって、このようにカッターによる加工幅を制限する事で、半導体層や電極の破損を防ぎ、かつウエハーの未割断を防ぐことができる。
カッター21の押し込み深さ、荷重においては、露出したn型層12内に溝31を形成するために、適宜調整することができる。
厚さ550μm、大きさ3インチφのGaN基板11の上に順にn型GaN(n型層12)10.5μmと、p型GaN(p型層13)0.1μmとを積層したウエハー1を用意した。このウエハー1のn型GaNとp型GaNが積層された半導体層20側から、予め所定の形状で1.2μmの深さでエッチングして、図1に示すように電極を設けるべきn型GaNを一部露出させた後、n電極とp電極をそれぞれn型GaNとp型GaN上に形成した。分離させやすくするために、ウエハー1のGaN基板11側を研磨機により研磨して、GaN基板11の厚みを200μmにした。
実施例1の溝31を形成する工程において、角度dが、55°〜75°になるようにカッター21を傾け、カッター押し込み深さ25μm、荷重0.3Nで1ラインにつき3回スクライブしてウエハー1に溝31を形成した。形成した溝を、光学顕微鏡で上面から撮影した写真を、図5A〜D(A:55°、B:60°、C:65°、D:75°)に示す。角度dを60°以下にするとカッター21の刃先がウエハー1に対して平坦になり、ウエハー1と刃先との接触面積が大きくなるため、ウエハー1に溝31が入りにくく、また角度dを75°以上にすると、カッター21がウエハー1上ではね易くなった。この後、引き続きカッタースクライブを行って溝31を形成したが、チップに分離することができたのは角度dが65°のもののみであった。
実施例1の溝31を形成する工程において、溝31をGaN基板11の半導体層20が積層されていない側から形成する他は同様にして、チップに分離した。
実施例1の溝31を形成する工程において、溝31をナノレーザーで加工速度15mm/sec、レーザーパワー1W、レーザー周波数100kHzにて深さ50μmほどの溝を形成し、応力をかけて切り込み面で割る他は同様にして、チップに分離した。
実施例1の溝31を形成する工程において、溝31をナノレーザーでGaN基板11の半導体層20が積層されていない側から加工速度15mm/sec、レーザーパワー1W、レーザー周波数100kHzにて深さ50μmほどの溝を形成し、応力をかけて切り込み面で割る他は同様にして、チップに分離した。
実施例1の研磨後のウエハーをダイサーのテーブルに固定し、ブレード幅30μmのブレードを用いて、半導体層側からX軸とY軸方向にそれぞれブレード押し込み深さ100μmでダイシングしてハーフカットした。ハーフカット後、ウエハーをテーブルから剥がし取り、GaN基板側から軽くローラーで押さえることによりチップに分離したが、歩留まりは約5%であった。
光出力については実施例1及び参考例1〜3の光出力を算出し、参考例1を100%として、実施例1及び参考例2,3の光出力の比率を比較した。結果を表1に示す。また、実施例1、参考例1及び4については半導体チップの形状を走査型電子顕微鏡(SEM)により比較した。
参考例1を基準とすると、実施例1は光出力の向上がみられ、一方レーザーで切断した参考例2,3は光出力が大幅に低下した。
ダイサーで切断した参考例4のチップは、ダイサーが接触した切断線で無数のクラックが生じた。GaN基板はブレードの幅でブレードが押し込まれた深さまで削り取られ、ブレードでハーフカットしなかったGaN基板の断面(チップ側面)には、実施例1と同様にほぼ真っ直ぐな縦線が複数入っていた。
11 GaN基板
12 n型層
13 p型層
20 半導体層
21 カッター
22 テーブル
31 溝
Claims (2)
- GaN基板上に窒化物系化合物半導体が積層されたウエハーをチップ状に分離する方法であって、
前記GaN基板を厚み100μm以上210μm以下になるように研磨する工程と、
前記ウエハーを、窒化物系化合物半導体が積層された側から、前記ウエハーに対してカッターの中心軸の角度が60°より大きく75°より小さく、カッター押し込み深さが前記GaN基板の厚みの15%以下でカッターにより複数回スクライブすることで切断する工程と、
を具備することを特徴とする窒化物系化合物半導体チップの製造方法。 - 前記カッターにより複数回スクライブすることで切断する工程は、前記ウエハーに対して押圧するカッターの荷重が0.2N以上0.4N以下であって、同じ荷重で複数回スクライブを行うことを特徴とする請求項1に記載の窒化物系化合物半導体チップの製造方法。
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JP2010232471A JP5768353B2 (ja) | 2010-10-15 | 2010-10-15 | 窒化物系化合物半導体素子の製造方法 |
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