JP4594707B2 - 半導体チップ製造方法 - Google Patents
半導体チップ製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4594707B2 JP4594707B2 JP2004345198A JP2004345198A JP4594707B2 JP 4594707 B2 JP4594707 B2 JP 4594707B2 JP 2004345198 A JP2004345198 A JP 2004345198A JP 2004345198 A JP2004345198 A JP 2004345198A JP 4594707 B2 JP4594707 B2 JP 4594707B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- manufacturing
- groove
- wafer
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Led Devices (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
また、チップ断面が斜めになるため、チップサイズを小さくすることが困難で、一枚のウェハーから取り出せるチップ数が制約され、生産性が悪化するという問題点も有していた。
このようにして350μm角のチップになるようにスクライブラインを入れ、第二の割り溝を形成する。但し、第二の割り溝を形成する位置は、第一の割り溝11aの線の中央線11bと合致しない位置とする。
2 n型層
2a n型GaN層
3 p型層
3a p型GaN層
11 第一の割り溝
11a 第一の割り溝
11b 第一の割り溝の中央線
22 第二の割溝
W1 第一の割り溝の線幅
W2 第二の割り溝の線幅
Claims (6)
- サファイアからなる基板の主面上に窒化ガリウム系化合物半導体のn型層およびp型層を順に積層したウェハーから窒化ガリウム系化合物半導体チップを製造する半導体チップ製造方法において、
前記ウェハーの窒化ガリウム系化合物半導体層側に、第一の割り溝を所望のチップ形状で線状に、エッチングにより窒化ガリウム系化合物半導体層のn型層が露出するように形成する工程と、
前記ウェハーの基板側に第一の割り溝の中央線と合致しない位置で、第一の割り溝の線幅(W1)より細い線幅(W2)を有する第二の割り溝を形成する工程と、
前記第一の割り溝および前記第二の割り溝に沿って、前記ウェハーをチップ状に分離し、前記サファイア基板の面に対して60〜85°をなす破断面を有し、かつ、その破断線が第一の割り溝11の線幅(W1)以内に収まる半導体チップを製造する工程と、
を有することを特徴とする半導体チップ製造方法。 - 前記サファイア基板のC面を主面としたときに、前記第一および第二の割り溝は、オリフラ(11‐20)と平行な第一の方向と、当該第一の方向と直交する第二の方向とに沿って形成され、その第一および第二の割り溝に沿ってウェハーを分離する、請求項1に記載の半導体チップ製造方法。
- 前記第一の割り溝の線と合致しない位置は、基板を平面視した場合に、第一の割り溝の中央線に対してその第一の割り溝の線幅(W1)の20〜100%だけ離れた位置である、請求項1または2に記載の半導体チップ製造方法。
- 前記第二の割り溝を形成する前に、基板側を研磨して基板の厚さを60〜100μmに調整する工程を具備する、請求項1から3の何れか1項に記載の半導体チップ製造方法。
- 前記第一の割り溝に、窒化ガリウム系化合物半導体チップの電極を形成する電極形成面を臨ませる、請求項1から4の何れか1項に記載の半導体チップ製造方法。
- 前記第二の割り溝をエッチング、ダイシング、パルスレーザー、およびスクライブから選ばれた少なくとも一つの方法により形成する、請求項1から5の何れか1項に記載の半導体チップ製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004345198A JP4594707B2 (ja) | 2003-12-05 | 2004-11-30 | 半導体チップ製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003407550 | 2003-12-05 | ||
JP2004345198A JP4594707B2 (ja) | 2003-12-05 | 2004-11-30 | 半導体チップ製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005191551A JP2005191551A (ja) | 2005-07-14 |
JP4594707B2 true JP4594707B2 (ja) | 2010-12-08 |
Family
ID=34797667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004345198A Active JP4594707B2 (ja) | 2003-12-05 | 2004-11-30 | 半導体チップ製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4594707B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5250856B2 (ja) | 2006-06-13 | 2013-07-31 | 豊田合成株式会社 | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法 |
JP5183892B2 (ja) | 2006-07-03 | 2013-04-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法 |
EP3267495B1 (en) | 2007-08-03 | 2019-10-23 | Nichia Corporation | Semiconductor light emitting element |
WO2011090024A1 (ja) * | 2010-01-19 | 2011-07-28 | シャープ株式会社 | 機能素子およびその製造方法 |
JP5489801B2 (ja) * | 2010-03-18 | 2014-05-14 | 株式会社ディスコ | サファイアウエーハのスクライブ方法 |
CN103069586B (zh) | 2010-08-06 | 2016-03-30 | 日亚化学工业株式会社 | 发光元件的制造方法 |
JP5747741B2 (ja) * | 2011-08-30 | 2015-07-15 | 豊田合成株式会社 | 半導体発光チップの製造方法 |
KR101899468B1 (ko) * | 2011-09-28 | 2018-09-17 | 서울반도체 주식회사 | 발광 다이오드 패키지 및 그 제조 방법 |
JP6520964B2 (ja) | 2017-01-26 | 2019-05-29 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子の製造方法 |
CN114665375B (zh) * | 2022-05-24 | 2022-09-23 | 度亘激光技术(苏州)有限公司 | 半导体芯片制造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09106965A (ja) * | 1995-10-09 | 1997-04-22 | Yamaha Corp | 六方晶窒化ガリウム系半導体層の劈開方法 |
JPH10125958A (ja) * | 1997-10-20 | 1998-05-15 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化ガリウム系化合物半導体チップの製造方法 |
JPH1140849A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | GaN系結晶成長用基板およびその用途 |
JPH11177139A (ja) * | 1997-12-16 | 1999-07-02 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2001230497A (ja) * | 1999-12-06 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化物半導体装置 |
JP2001284293A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Toyoda Gosei Co Ltd | 半導体ウエハーのチップ分割方法 |
-
2004
- 2004-11-30 JP JP2004345198A patent/JP4594707B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09106965A (ja) * | 1995-10-09 | 1997-04-22 | Yamaha Corp | 六方晶窒化ガリウム系半導体層の劈開方法 |
JPH1140849A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | GaN系結晶成長用基板およびその用途 |
JPH10125958A (ja) * | 1997-10-20 | 1998-05-15 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化ガリウム系化合物半導体チップの製造方法 |
JPH11177139A (ja) * | 1997-12-16 | 1999-07-02 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2001230497A (ja) * | 1999-12-06 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化物半導体装置 |
JP2001284293A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Toyoda Gosei Co Ltd | 半導体ウエハーのチップ分割方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005191551A (ja) | 2005-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2780618B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体チップの製造方法 | |
JP5119463B2 (ja) | 発光素子及びその製造方法 | |
JP5179068B2 (ja) | 化合物半導体素子の製造方法 | |
TWI295075B (ja) | ||
WO2011145370A1 (ja) | 半導体発光チップおよび基板の加工方法 | |
JP2861991B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体チップの製造方法 | |
KR100789200B1 (ko) | 반도체 칩 제조 방법 및 반도체 칩 | |
JP2011129765A (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JP2748355B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体チップの製造方法 | |
JP2012227187A (ja) | 半導体発光チップの製造方法および半導体発光チップ | |
JP4710148B2 (ja) | 窒化物半導体チップの製造方法 | |
KR20100020521A (ko) | 반도체 발광 장치 및 그 제조 방법 | |
JP4594707B2 (ja) | 半導体チップ製造方法 | |
JP4776478B2 (ja) | 化合物半導体素子及びその製造方法 | |
JP3227287B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体チップの製造方法と窒化ガリウム系化合物半導体素子 | |
JP2910811B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体ウエハーの切断方法 | |
JP3338360B2 (ja) | 窒化ガリウム系半導体ウエハの製造方法 | |
JP2005252245A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体ウェハー | |
JP3772807B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 | |
JP4938374B2 (ja) | 窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法 | |
JP3454355B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 | |
JP3928621B2 (ja) | 発光素子用ウエハー | |
JP3938101B2 (ja) | 発光素子の製造方法 | |
JP5768353B2 (ja) | 窒化物系化合物半導体素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071023 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100706 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100827 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100914 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100917 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130924 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4594707 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130924 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |