JP2014063444A - 透明導電性フィルム、タッチパネル、及び透明導電性フィルムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明導電性フィルム10は、透明プラスチックフィルム基材1と、透明プラスチックフィルム基材1の少なくとも一方の面にパターン形成されて、金属微粒子を含む透明導電膜2と、パターン形成後の透明導電膜2上に成膜された硬化膜3とを備えている。
【選択図】図1
Description
透明プラスチックフィルム基材1として用いるポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡社製、A4300−125)の一方の面に、透明導電膜2を形成するための塗液(透明導電膜形成用塗液)として金ナノワイヤーの塗液をダイコート法で塗布し、60℃で1分間乾燥させて透明導電膜2を形成した。続いて、下記パターニング方法により透明導電膜2のパターンを形成した。さらに、透明導電膜2上に、下記組成の硬化膜3を形成するための塗液(硬化膜形成用塗液)をマイクログラビアコーターで塗布し、60℃で1分間乾燥させ、メタルハライドランプにより400mJ/cm2の紫外線を照射し、硬化膜3を形成した。硬化後の硬化膜3の膜厚は、200nmであった。以上のようにして、透明導電性フィルム10を作製した。
フォトリソグラフィ法
レジスト :ネガ型レジスト
露光 :高圧水銀100mJ/cm2
現像 :1%炭酸ナトリウム
エッチング:王水系エッチング液
剥離 :3%水酸化ナトリウム
樹脂 : KAYARAD PET−50(日本化薬社製) 100重量部
開始剤 : イルガキュア184(チバ・ジャパン社製) 4重量部
溶剤 : 酢酸エチル 2000重量部
透明プラスチックフィルム基材として用いるポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡社製、A4300−125)の一方の面に、透明導電膜形成用塗液として金ナノワイヤーの塗液をダイコート法で塗布し、60℃で1分間乾燥させて透明導電膜を形成した。続いて、透明導電膜上に、実施例と同様の組成の硬化膜形成用塗液をマイクログラビアコーターで塗布し、60℃で1分間乾燥させ、メタルハライドランプにより400mJ/cm2の紫外線を照射し、硬化膜を形成した。硬化後の硬化膜の膜厚は、200nmであった。さらに、実施例と同様のパターニング方法により、透明導電膜のパターンを形成した。以上のようにして透明導電性フィルムを作製した。
透明プラスチックフィルム基材として用いるポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡社製、A4300−125)の一方の面に、透明導電膜形成用塗液として金ナノワイヤーの塗液をダイコート法で塗布し、60℃で1分間乾燥させて透明導電膜を形成した。さらに、実施例と同様のパターニング方法により透明導電膜のパターンを形成した。以上のようにして透明導電性フィルムを作製した。
透明導電性フィルムをパターニングする際、エッチングに要する時間を測定し、パターニングの容易さを以下のように判定した。
エッチングに要する時間が3分以下の場合:○
エッチングに要する時間が3分以上10分以下の場合:△
エッチングに要する時間が10分以上の場合:×
透明導電膜の初期状態での表面抵抗値(R0)を測定し、以下の条件で環境試験を行った。そして、環境試験後の表面抵抗値(R1)を測定し、環境試験の前後における表面抵抗値の変化率(R1/R0)を算出した。
耐熱試験:温度85℃、時間240時間
耐寒試験:温度−40℃、時間240時間
耐湿熱試験:温度60℃、湿度95%RH、時間240時間
2 透明導電膜
3 硬化膜
10 透明導電性フィルム
11 非導電性パターン領域
12 導電性パターン領域
13 金属配線
Claims (6)
- 透明フィルム基材と、
前記透明フィルム基材の少なくとも一方の面にパターン形成されて、金属微粒子を含む透明導電膜と
前記パターン形成後の前記透明導電膜上に成膜された硬化膜とを備えていることを特徴とする透明導電性フィルム。 - 前記金属微粒子が金属ナノワイヤーであることを特徴とする、請求項1に記載の透明導電性フィルム。
- 前記硬化膜が熱硬化樹脂あるいは光硬化性樹脂を含有することを特徴とする、請求項1又は2に記載の透明導電性フィルム。
- 請求項1乃至3のいずれか1つに記載の透明導電性フィルムを備えたタッチパネル。
- 透明フィルム基材上の少なくとも一方の面に透明導電膜及び硬化膜を有する透明導電性フィルムの製造方法であって、
前記透明フィルム基材上に金属微粒子を含む透明導電膜を形成する第1工程と、
前記第1工程後に、前記透明導電膜をパターニングする第2工程と、
前記第2工程後に、前記透明導電膜上に前記硬化膜を形成する工程とを備えていることを特徴とする透明導電性フィルム。 - 前記第2工程では、フォトリソグラフィ法を用いて前記透明導電膜をパターニングすることを特徴とする、請求項5に記載の透明導電性フィルム。
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