JP2014039367A

JP2014039367A - キャンドモータ、真空ポンプ、キャンの製造方法

Info

Publication number: JP2014039367A
Application number: JP2012179335A
Authority: JP
Inventors: Takanori Inada; 高典稲田; Takashi Hozumi; 崇史穂積; Shinya Yoshida; 真也吉田; Yoshinori Kojima; 善徳小島; Toshiharu Nakazawa; 敏治中澤
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2012-08-13
Filing date: 2012-08-13
Publication date: 2014-02-27

Abstract

【課題】樹脂製のキャンを備えたキャンドモータにおいて、モータステータと、モータロータとの離隔距離を低減する。
【解決手段】真空ポンプに連結され、該真空ポンプの回転駆動源として使用されるキャンドモータは、ステータコアと、ステータコアの内側に配置されたロータと、ステータコアとロータとの間に配置され、ステータコアとロータとを隔離する樹脂製のキャンとを備える。キャンは、ロータの回転中心軸線方向に延びる中空形状の胴部を有する。胴部の外径側の面および内径側の面の少なくとも一方は、回転中心軸線方向におけるステータコアと対向する対向範囲のうちの少なくとも一部の範囲における回転中心軸線に対する傾きが０．５度未満の略水平状である。
【選択図】図２

Description

本発明は、キャンドモータのキャンに関する。

従来から、例えば、下記特許文献１に記載されるようなモータを備えた真空ポンプが知られている。かかる真空ポンプは、半導体製造工程における真空チャンバ内のプロセスガスの排気などに広く使用されている。

このような真空ポンプ用のモータでは、真空ポンプをシールするために、モータステータとモータロータとを隔離するロータ室が形成されており、ロータ室は、真空ポンプ側に固定される隔壁、すなわち、キャンによって、モータステータに対して密閉された空間となっている。このように、モータステータとモータロータとがキャンによって隔離された構造を備えるモータは、キャンドモータと称される。

かかるキャンドモータでは、従来、薄肉ステンレススチール等の非磁性金属製のキャンが使用されてきた。しかし、非磁性金属製のキャンを使用した場合、モータステータからの磁束の作用によって表面に渦電流が発生し、このときの損失によってモータ効率が低下する。かかるモータ効率の低下を防ぐために、樹脂製のキャンを使用する技術が知られている。樹脂製のキャンは、通常、射出成形によって製造される。かかる樹脂のキャンは、真空ポンプの圧力変動に耐えられるだけの機械的強度を確保するために、非磁性金属製のキャンよりも厚みが大きくなる。キャンの厚みが大きくなることは、モータステータと、モータロータとの離隔距離が大きくなることを意味する。かかる離隔距離が大きくなると、モータ特性が低下してしまう。

特開２００５−１８４９５８号公報

以上から、樹脂製のキャンを備えたキャンドモータにおいて、モータステータと、モータロータとの離隔距離を低減することが求められる。また、樹脂製のキャンについて、真空ポンプの圧力変動に耐えきれる機械的強度を確保することが求められる。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、例えば、以下の形態として実現することが可能である。

本発明の第１の形態は、真空ポンプに連結され、真空ポンプの回転駆動源として使用されるキャンドモータとして提供される。このキャンドモータは、ステータコアと、ステータコアの内側に配置されたロータと、ステータコアとロータとの間に配置され、ステータコアとロータとを隔離する樹脂製のキャンとを備える。キャンは、ロータの回転中心軸線方向に延びる中空形状の胴部を有する。胴部の外径側の面および内径側の面の少なくとも一方は、回転中心軸線方向におけるステータコアと対向する対向範囲のうちの少なくとも一部の範囲における回転中心軸線に対する傾きが０．５度未満の略水平状である。

樹脂製のキャンを射出成形で製造する場合、成形後、円滑に脱型する際に、成形品には
、若干の勾配が形成される。第１の形態のキャンドモータによれば、かかるキャンの勾配が低減されているので、キャンと、ステータコアおよびロータのうちの少なくとも一方と、をより平行に配置できる。したがって、ステータとロータとの離隔距離を低減できる。その結果、モータ特性を向上できる。

本発明の第２の形態として、第１の形態のキャンドモータが備えるキャンは、対向範囲の厚みが、その他の部位の厚みよりも小さくてもよい。かかる形態によれば、対向範囲の厚みが、その他の部位の厚みよりも小さいので、ステータとロータとの離隔距離をいっそう低減できる。対向範囲においては、キャンの機械的強度は、ステータコアによって補強され、その他の部位は、自身の厚みによって機械的強度が好適に確保されるので、キャン全体の機械的強度も確保できる。

本発明の第３の形態として、第２の形態のキャンドモータが備えるキャンは、対向範囲よりも、回転中心軸線方向のうちの第１の側において、対向範囲と比べて、内径側の肉厚が大きく、対向範囲よりも、第１の方向と反対側の第２の側において、対向範囲と比べて、外径側の肉厚が大きくてもよい。かかる形態によれば、射出成形によって、胴部に対応する部位を備えた成形品を製造し、その後、成形品を加工することによって、加工の箇所における成形品の厚みを低減して、キャンを製造する際に、加工量を抑制して、効率的な加工を行える。

本発明の第４の形態は、真空ポンプとして提供される。この真空ポンプは、第１ないし第３の形態のいずれかのキャンドモータを備えていてもよい。

本発明の第５の形態は、所定の方向に延びる中空形状の胴部を有する、キャンドモータ用のキャンの製造方法として提供される。このキャンの製造方法は、射出成形によって、胴部に対応する部位を備えた成形品を製造する射出成形工程と、成形品のうちの外径側の面および内径側の面の少なくとも一方を加工することによって、少なくとも一方の面の所定の方向に対する傾きを低減して、キャンを製造する加工工程とを備える。かかる形態によれば、第１および第２の形態のキャンドモータが備えるキャンについても好適に製造できる。

第５の形態において、加工工程は、少なくとも一方の面の所定の方向に対する傾きを低減する工程を含んでもよい。さらに、加工工程では、成形品の第１の側において、成形品の内径側の面を加工して、当該加工箇所の厚みを低減してもよい。また、成形品の第２の側において、成形品の外径側の面を加工して、当該加工箇所の厚みを低減してもよい。かかる形態とすれば、第３の形態のキャンドモータが備えるキャンを好適に製造できる。

本発明の第６の形態は、第５の形態の射出成形工程を備える。また、第６の形態は、第５の形態の加工工程に代えて、成形品のうちの外径側の面および内径側の面のうちの少なくとも一方の面を加工することによって、加工の箇所における成形品の厚みを低減する工程を備える。かかる形態によれば、射出成形のみによってキャンを製造する場合と比べて、キャンの形状の自由度を大きくできる。

本発明の実施例としての真空ポンプの概略構成を示す説明図である。実施例としてのキャンドモータの概略構成を示す説明図である。キャンの製造方法を示す説明図である。

Ａ．実施例：

図１は、真空ポンプ２０の概略断面を示す。図１では、真空ポンプ２０が有する回転中心軸線ＡＲを含む断面を示している。図示するように、真空ポンプ２０は、一対のロータ３０（図１では、一方のロータのみを示す）を備えている。本実施例では、ロータ３０は、第１段ロータ３１、第２段ロータ３２および第３段ロータ３３と、ポンプ主軸３４とを備えている。かかるロータ３０は、その両端部の近傍で、軸受部材５０，６０に設けられた軸受５１，６１によって支承されている。このロータ３０は、ケーシング４０に収容されている。ケーシング４０の上方には、吸気口（図示省略）が形成され、下方には、排気口（図示省略）が形成される。

かかるロータ３０は、真空ポンプ２０の回転中心軸線ＡＲの一端側に設けられたモータ１００によって駆動される。一対のロータ３０の一端側の軸端には、互いに噛み合う一対のタイミングギア７０（図１では一方のギヤのみ示す）が固定されている。ロータ３０の他端側の軸端は、モータ１００に連結されている。本実施例では、モータ１００は、ブラシレス直流モータである。なお、図１では、モータ１００の構成を簡略化して示している。

モータ１００を駆動すると、一対のロータ３０は、ケーシング４０の内面およびロータ３０同士の間にわずかな隙間を保持して、非接触で逆方向に回転する。一対のロータ３０の回転につれて、吸込側のガスは、ロータ３０とケーシング４０との間に閉じこめられて、吐出側に移送される。吸気口（図示省略）から導入されたガスは、３段のロータ３０により圧縮移送されて、排気口（図示省略）から排出される。

図２は、ロータ３０を回転駆動するモータ１００の概略構成を示す。以下の説明では、モータ１００について、回転中心軸線ＡＲ方向のうちの、真空ポンプ２０（より具体的には、ロータ３０）に連結される側を連結側Ｓ２とも呼び、連結側Ｓ２と反対側を外方側Ｓ１とも呼ぶ。図２に示すように、モータ１００は、ステータ１１０とロータ１２０とキャン１３０とステータフレーム１４０とを備える。

ステータフレーム１４０は、フレーム本体１４１と側板１４２とを備える。フレーム本体１４１は、回転中心軸線ＡＲに沿って内部空間が形成された、円筒形状を有している。フレーム本体１４１は、突出部１４６を備えている。突出部１４６は、フレーム本体１４１の内面から、内側に突出した部位であり、フレーム本体１４１の連結側Ｓ２の端部付近に、回転中心軸線ＡＲを中心として環状に形成されている。突出部１４６の突出長さは、開口部１３３が胴部１３１（詳細は後述）から突出する突出長さと略等しく形成されている。側板１４２は、円板形状を有しており、フレーム本体１４１の外方側Ｓ１の開口を閉じる。フレーム本体１４１の外方側Ｓ１の端面には、凹部１４５が形成され、この凹部１４５にＯリング１５３が配置されている。Ｏリング１５３は、フレーム本体１４１と側板１４２との間で、回転中心軸線ＡＲ方向に圧縮され、ステータフレーム１４０の内部と外部との間をシールする。なお、側板１４２は、ボルト（図示省略）によって、フレーム本体１４１に取り付けられている。かかるステータフレーム１４０は、例えば、鉄やアルミで形成できる。ステータ１１０、ロータ１２０およびキャン１３０は、このステータフレーム１４０の内部空間に収容されている。

ステータ１１０は、ステータコア１１１にコイルが装着された構成を有する。ステータ１１０の回転中心軸線ＡＲ方向の両端では、ステータコア１１１の外方に向けてコイル部１１２，１１３が突出している。ステータ１１０は、ステータフレーム１４０のフレーム本体１４１の内部にステータコア１１１が嵌め込まれることによって、回転中心軸線ＡＲと同心にステータフレーム１４０に固定される。ステータコア１１１は、例えば、珪素鋼板を積層して形成できる。ロータ１２０は、ステータ１１０の内部に、回転中心軸線ＡＲ
と同心に配置され、真空ポンプ２０のロータ３０のポンプ主軸３４に直結されている。

かかるステータ１１０とロータ１２０との間には、キャン１３０が設けられている。キャン１３０は、ステータ１１０とロータ１２０とを離隔する。このキャン１３０は、胴部１３１と、閉塞部１３２と、開口部１３３とを備えている。

胴部１３１は、略円筒形状を有し、回転中心軸線ＡＲと同心に配置されている。この胴部１３１は、外方側Ｓ１の第１胴部１３４と、連結側Ｓ２の第２胴部１３５とを有する。第１胴部１３４は、ステータコア１１１の内面と対向するように、回転中心軸線ＡＲ方向におけるステータコア１１１の設置範囲の全体に延びて形成されている。胴部１３１のうちのステータコア１１１と対向する範囲を対向範囲ＦＲとも呼ぶ。

第２胴部１３５は、対向範囲ＦＲよりも連結側Ｓ２に形成されている。第２胴部１３５の厚みは、第１胴部１３４の厚みよりも大きい。具体的には、第２胴部１３５は、第１胴部１３４よりも外径側の肉厚が大きい。つまり、第２胴部１３５の内面は、回転中心軸線ＡＲと直交する方向において、第１胴部１３４と同一の位置にあるが、第２胴部１３５の外面は、第１胴部１３４の外面よりも外側に位置している。その結果、第２胴部１３５の外径は、第１胴部１３４の外径よりも大きくなっている。この第２胴部１３５の外方側Ｓ１の端面は、ステータコア１１１の連結側Ｓ２の端面に当接している。

閉塞部１３２は、キャン１３０の外方側Ｓ１の端面であり、胴部１３１の内部空間を、胴部１３１の外方側Ｓ１の端部で閉じる。本実施例では、閉塞部１３２は、連結側Ｓ２から外方側Ｓ１に向かって、外径および内径が小さくなる形状を有している。この閉塞部１３２の厚みは、第１胴部１３４の厚みよりも大きい。具体的には、閉塞部１３２は、第１胴部１３４よりも内径側の肉厚が大きい。つまり、閉塞部１３２の外面は、第１胴部１３４の付近では、回転中心軸線ＡＲと直交する方向において、第１胴部１３４とほぼ同一の位置にあるが、閉塞部１３２の内面は、第１胴部１３４の内面よりも内側に位置している。

開口部１３３は、キャン１３０の連結側Ｓ２の端部であり、キャン１３０の連結側Ｓ２の開口を形成する。開口部１３３は、本実施例では、その外径が胴部１３１の外径よりも大きく形成されたフランジ形状を有している。開口部１３３の外方側Ｓ１の端面は、突出部１４６の連結側Ｓ２の端面と当接している。かかる当接関係と、上述した、第２胴部１３５とステータコア１１１との当接関係とによって、キャン１３０の回転中心軸線ＡＲ方向の位置が位置決めされる。

かかるキャン１３０は、樹脂によって形成されており、胴部１３１，閉塞部１３２および開口部１３３は、一体的に形成されている。本実施例では、キャン１３０の材質は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂である。

かかるキャン１３０において、閉塞部１３２および第２胴部１３５の厚みは、真空ポンプ２０の稼働時の圧力変動に耐えうる機械的強度を有する厚みで形成される。これらの厚みは、通常、ＪＩＳＢ８２６７等に記載の圧力容器計算方法に基づいて設定され、１．５〜２．０ｍｍ程度である。本実施例では、開口部１３３の厚み（回転中心軸線ＡＲ方向の厚み）は、第２胴部１３５の厚みとほぼ同一である。こうすれば、射出成形を利用してキャン１３０を製造する際に、樹脂がキャビティ内を円滑に流通できるので、製造が行いやすい。

一方、第１胴部１３４の厚みは、閉塞部１３２および第２胴部１３５の厚みよりも小さく形成されている。第１胴部１３４の厚みは、例えば、０．５ｍｍ〜１．０ｍｍとするこ
とができる。このように、第１胴部１３４を薄肉化することにより、ステータコア１１１とロータ１２０との離隔距離が小さくなるので、モータ１００のモータ特性が向上する。

この第１胴部１３４の外面１３４ａおよび内面１３４ｂは、対向範囲ＦＲの全体にわたって、回転中心軸線ＡＲに対する傾きが０．５°以下の略水平状となるように形成されている。樹脂製のキャンは、通常、射出成形によって製造される。また、射出成形では、成形後、円滑に脱型できるように、金型には、若干の勾配が設けられる。かかる勾配は、抜き勾配と称され、通常、１〜２°である。このため、成形品にも勾配が形成される。以上の説明からも明らかなように、第１胴部１３４の外面１３４ａおよび内面１３４ｂは、抜き勾配に起因して生じる傾きが低減されている。かかる胴部１３１の形状は、後述するキャン１３０の製造方法によって実現される。

この傾きは、小さいほど望ましい。例えば、当該傾きは、０．３°以下とすることが望ましく、０．２°以下とすることがより望ましく、０°とすることが最も望ましい。本実施例では、外面１３４ａおよび内面１３４ｂの傾きは０°である。つまり、外面１３４ａおよび内面１３４ｂと回転中心軸線ＡＲとは、正確に平行となっている。本実施例では、第２胴部１３５の外面および内面についても、回転中心軸線ＡＲに対する傾きが０°となっている。

かかるキャン１３０は、ステータコア１１１と、第１胴部１３４とが周方向に当接するように、取り付けられる。第１胴部１３４の外面１３４ａは、回転中心軸線ＡＲに対して傾きを有していないので、ステータコア１１１と第１胴部１３４とは、対向範囲ＦＲの全体にわたって確実に密着することができる。換言すれば、外面１３４ａの回転中心軸線ＡＲに対する傾きが低減された分だけ、当該傾きに起因してステータコア１１１と外面１３４ａとの間に生じる局所的な隙間が低減されている。したがって、外面１３４ａが回転中心軸線ＡＲに対して傾きを有する場合と比べて、ステータコア１１１とロータ１２０との離隔距離を低減できる。また、第１胴部１３４は、上述したように、閉塞部１３２および第２胴部１３５と比べて薄肉化されているが、ステータコア１１１と第１胴部１３４とが、対向範囲ＦＲの全体にわたって確実に密着することによって、第１胴部１３４の機械的強度がステータコア１１１によって補強される。

また、第１胴部１３４の内面１３４ｂは、回転中心軸線ＡＲに対して傾きを有していないので、内面１３４ｂとロータ１２０との離隔距離は、回転中心軸線ＡＲ方向の任意の位置で一定になる。内面１３４ｂとロータ１２０とは、両者の干渉を避けるために所定の離隔距離を確保する必要があるため、内面１３４ｂが回転中心軸線ＡＲに対して傾きを有している場合には、干渉を回避するために最低限必要な離隔距離を有する部位が局所的に生じる。一方、第１胴部１３４によれば、回転中心軸線ＡＲに対して傾きを有する場合と比べて、当該傾きが低減された分だけ、ステータコア１１１とロータ１２０との離隔距離を低減できる。

さらに、本実施例においては、ステータコア１１１と第１胴部１３４とは、これらの当接箇所で接着剤によって接着される。このように、ステータコア１１１と第１胴部１３４とが接着剤によって接着されることにより、ステータコア１１１と第１胴部１３４とが一体的に形成された状態となる。このため、ステータコア１１１が第１胴部１３４の機械的強度をいっそう補強できる。なお、接着剤には、真空ポンプ２０の稼働時における耐熱性を考慮して、耐熱性接着剤、例えば、シリコン系やエポキシ系などを使用可能である。

上述したキャン１３０は、以下のようにして製造することができる。まず、射出成形によって、胴部１３１、閉塞部１３２および開口部１３３に対応する部位を備えた成形品ＰＭを製造する。次に、成形品ＰＭのうちの外径側の面および内径側の面を加工することに
よって、当該加工の箇所における成形品ＰＭの厚みを低減して、キャン１３０を製造する。かかる製造手順によれば、射出成形に起因する形状的制約にとらわれずに、キャンの形状の自由度を大きくできる。以下、成形品ＰＭの加工について詳しく説明する。

図３は、キャンの製造方法、より具体的には、成形品ＰＭの加工方法を示す。図３では、成形品ＰＭの半分の断面のみを示している。成形品ＰＭの第１胴部１３４に対応する部位には、上面２１１と下面２２１とが形成されている。上面２１１と下面２２１は、抜き勾配に起因して、回転中心軸線ＡＲに対して１〜２°程度の傾きを有している。

本実施例では、かかる成形品ＰＭのうちの上面２１１側と下面２２１側との両方を加工する。具体的には、成形品ＰＭのうちの上面２１１側の上面側部位２１０を切削加工することによって、回転中心軸線ＡＲに平行な外面１３４ａを形成する。本実施例では、切削箇所は、外方側Ｓ１の部位、すなわち、第１胴部１３４および閉塞部１３２に対応する部位である。ただし、切削箇所は、第１胴部１３４に対応する部位を含んでいればよく、その他の部位の切削は省略可能である。

同様に、成形品ＰＭのうちの下面２２１側の下面側部位２２０を切削加工することによって、回転中心軸線ＡＲに平行な内面１３４ｂを形成する。本実施例では、切削箇所は、連結側Ｓ２の部位、すなわち、第１胴部１３４、第２胴部１３５および開口部１３３に対応する部位である。ただし、切削箇所は、第１胴部１３４に対応する部位を含んでいればよく、その他の部位の切削は省略可能である。

かかる切削加工は、本実施例では、旋盤加工によって行う。ただし、成形品ＰＭの加工手法は、特に制限するものではなく、成形品ＰＭの所要箇所の厚みを低減して、所要の形状を形成できるものであればよい。例えば、加工手法は、研削加工、研磨加工、エッチング、または、これらの組み合わせなどであってもよい。

かかる製造方法によれば、上述したキャン１３０を好適に製造できる。また、成形品ＰＭの上面２１１側については、外方側Ｓ１のみを加工し、下面２２１側については、連結側Ｓ２のみを加工するので、全体にわたって所要量以上の厚みを有する成形品ＰＭを製造し、当該成形品ＰＭを加工する場合と比べて、加工に無駄がなく、効率的である。

Ｂ．変形例：
Ｂ−１．変形例１：
キャン１３０の第１胴部１３４の外面１３４ａおよび内面１３４ｂのうちの一方のみが、回転中心軸線ＡＲに対して０．７°以下の傾きを有していてもよい。この場合、成形品ＰＭのうちの、上面２１１側および下面２２１側のうちの一方側のみを加工してもよい。こうしても、従来の構成と比べて、上述した効果をある程度奏する。

Ｂ−２．変形例２：
第１胴部１３４の対向範囲ＦＲのうちの一部の部位のみが、回転中心軸線ＡＲに対して０．５°以下の傾きを有していてもよい。こうしても、従来の構成と比べて、上述した効果をある程度奏する。

Ｂ−３．変形例３：
対向範囲ＦＲは、必ずしも薄肉化する必要はなく、閉塞部１３２、あるいは、第２胴部１３５と同程度の厚みを有していてもよい。この場合、成形品ＰＭに対して、第１胴部１３４の外面１３４ａおよび内面１３４ｂの回転中心軸線ＡＲに対する傾きを低減するのに必要な最低限の加工を行ってもよい。

Ｂ−４．変形例４：
キャン１３０は、必ずしも、外方側Ｓ１で閉じた形状を有している必要はない。例えば、第１胴部１３４が、外方側Ｓ１に延びて形成され、側板１４２に気密に当接していてもよい。かかる場合、対向範囲ＦＲよりも外方側Ｓ１の第１胴部１３４の厚みは、対向範囲ＦＲの厚みよりも大きくてもよい。

以上、いくつかの実施例に基づいて本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の組み合わせ、または、省略が可能である。

２０…真空ポンプ
３０…ロータ
３１…第１段ロータ
３２…第２段ロータ
３３…第３段ロータ
３４…ポンプ主軸
４０…ケーシング
５０，６０…軸受部材
５１，５２…軸受
７０…タイミングギア
１００…モータ
１１０…ステータ
１１１…ステータコア
１１２…コイル部
１２０…ロータ
１３０…キャン
１３１…胴部
１３２…閉塞部
１３３…開口部
１３４…第１胴部
１３４ａ…外面
１３４ｂ…内面
１３５…第２胴部
１４０…ステータフレーム
１４１…フレーム本体
１４２…側板
１４５…凹部
１４６…突出部
１５０…補強部材
１５３…Ｏリング
２１０…上面側部位
２１１…上面
２２０…下面側部位
２２１…下面
Ｓ１…外方側
Ｓ２…連結側
ＡＲ…回転中心軸線
ＰＭ…成形品
ＦＲ…対向範囲

Claims

真空ポンプに連結され、該真空ポンプの回転駆動源として使用されるキャンドモータであって、
ステータコアと、
前記ステータコアの内側に配置されたロータと、
前記ステータコアと前記ロータとの間に配置され、前記ステータコアと前記ロータとを隔離する樹脂製のキャンであって、前記ロータの回転中心軸線方向に延びる中空形状の胴部を有するキャンと
を備え、
前記胴部の外径側の面および内径側の面の少なくとも一方は、前記回転中心軸線方向における前記ステータコアと対向する対向範囲のうちの少なくとも一部の範囲における前記回転中心軸線に対する傾きが０．５度未満の略水平状である
キャンドモータ。
請求項１に記載のキャンドモータであって、
前記キャンは、前記対向範囲の厚みが、その他の部位の厚みよりも小さい
キャンドモータ。
請求項２に記載のキャンドモータであって、
前記キャンは、
前記対向範囲よりも、前記回転中心軸線方向のうちの第１の側において、前記対向範囲と比べて、内径側の肉厚が大きく、
前記対向範囲よりも、前記第１の方向と反対側の第２の側において、前記対向範囲と比べて、外径側の肉厚が大きい
キャンドモータ。
請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載のキャンドモータを備えた真空ポンプ。
所定の方向に延びる中空形状の胴部を有する、キャンドモータ用のキャンの製造方法であって、
射出成形によって、前記胴部に対応する部位を備えた成形品を製造する射出成形工程と、
前記成形品のうちの外径側の面および内径側の面のうちの少なくとも一方の面を加工することによって、前記少なくとも一方の面の前記所定の方向に対する傾きを低減して、前記キャンを製造する加工工程と
を備えたキャンの製造方法。