JP2013208013A - キャンドモータ - Google Patents

Abstract

【課題】ロータ室が減圧雰囲気下で使用され、運転中にキャン部材が大きな圧縮力を受ける場合であっても、キャン部材の肉厚を大きくすることなく、圧縮力に対して変形する虞のないキャン部材を備えたキャンドモータを提供する。
【解決手段】ステータの内周部を覆う円筒状の樹脂隔壁１８−１によってステータとロータとが隔離する。隔壁の外周部が、ステータの磁極歯部と径方向で噛みあう噛みあい部を形成する。噛みあい部は各突起部１８５及び突起部間に位置する胴部１８１の外表面によって形成する。
【選択図】図７

Description

本発明は、ポンプの回転駆動に用いられるキャンドモータに関し、特に、真空ポンプの駆動モータに好適に使用されるキャンドモータに関する。

従来から、例えば、特開２００３−１５３４９４号に記載されるような真空ポンプが知られている。真空ポンプは、半導体製造工程における真空チャンバー内のプロセスガスの排気等に広く用いられている。

真空ポンプ用モータでは、プロセスガスとの接触による腐食等からステータコア部を保護するため、ステータとロータとを隔離するロータ室が形成されており、ロータ室は、ポンプケーシング側に固定される隔壁（換言すれば、キャン部材）によって、ステータに対して密閉された空間となっている。このようにモータステータとモータロータとがキャン部材によって隔離された構造を備えるモータは、通常、キャンドモータと称される。キャンドモータは、化学液を送出するためのポンプにも使用されており、例えば、特開平１１−８９１５８号には、ポンプ回転軸とモータロータが一体構造とされ、ガソリン等の液体をステータとロータとの間の空隙に流すようにされたモータが記載されている。この場合も、取扱液がステータコア部に接触することを防止するためにキャン部材が設けられている。

キャン部材は、従来、ステンレススチール等の非磁性金属板で形成されることが多いが、非磁性金属板であっても、ステータからの磁束の作用によって表面に渦電流が発生し、このときの損失によってモータ効率が低下する。

一方、樹脂製のキャン部材も使用されているが、隔壁の機械的強度を維持するために、金属製キャン部材に比べて隔壁の板厚寸法が大きく採られる。上記化学液送出用ポンプの場合、一般的には、モータステータ内側での減圧による圧力変動はほとんど生じることがなく、また、モータ周囲の大気圧側で生じる、キャン部材に対する圧縮方向への圧力変動もわずかである。むしろ、キャン部材が外側へ拡張する方向の圧力が加わるのが通常であり、この場合、加わった圧力は、キャン部材の外周にあるステータコアによって支持されるので、比較的薄肉のキャン部材であっても拡張破裂することはない。これに対し、真空ポンプ用キャンドモータでは、運転中に生じるロータ室内の真空領域とモータ周囲の大気圧との圧力差によって、圧縮方向への大きな圧力がキャン部材に直接作用する。換言すれば、キャン部材が、ロータ室内側に向けて大きな引張力を受ける。従って、真空ポンプ用キャンドモータでは、キャン部材が圧縮力によって径方向内側へ座屈変形することを防止するため、キャン部材の厚みを大きくすることによってキャン部材の強度を増している。キャン部材の厚みはＪＩＳ Ｂ８２６７等に記載の圧力容器計算方法に基づいて設定され、通常、１．５〜２．０ｍｍ程度である。しかし、キャン部材の厚みを大きくすると、必然的に、モータステータとモータロータとの間の離間距離が大きくなる。従って、ステータとロータ間の磁気空隙が大きくなり、これにより、モータ効率が低下する。

このように、キャン部材には十分な機械的強度が求められる一方、モータ効率の観点からは、キャン部材はできるだけ薄肉であることが望ましい。

特開２００５−１８４９５８号には、キャン部材を薄肉化しつつキャン部材の強度を増すように、キャン部材の外周面にリブが形成されたキャンドモータが提案されている。

特開２００３−１５３４９４号 特開平１１−８９１５８号 特開２００５−１８４９５８号

本発明の一つの目的は、ロータ室が減圧雰囲気下で使用され、運転中にキャン部材が大きな圧縮力を受ける場合であっても、キャン部材の肉厚を大きくすることなく、圧縮力に対して変形する虞のないキャン部材を備えたキャンドモータを提供することである。

本発明のさらなる目的は、ステータとロータ間の磁気空隙を最小限にすることによってモータ効率を著しく向上させることができるキャンドモータを提供することである。

本発明のさらなる目的は、部品点数及び組立工数を大幅に低減することができるキャンドモータを提供することである。

本発明のさらなる目的は、ステータのスロット内の空間を最大限に利用し、モータ効率を著しく向上させることができるキャンドモータを提供することである。

本発明のさらなる目的は、上記キャンドモータを備える真空ポンプを提供することである。

請求項１の発明によれば、ステータの内周部を覆う円筒状の樹脂隔壁によってステータとロータとが隔離された、真空ポンプの回転駆動に使用されるキャンドモータであって、隔壁の外周部が、ステータの磁極歯部と径方向で噛みあう噛みあい部を形成している、キャンドモータが提供される。この構成によれば、隔壁の外周部が、ステータの磁極歯部と径方向で噛みあう噛みあい部を形成している。このため、真空ポンプ運転中に隔壁に作用する径方向内側への圧縮力を、部分的にステータ側で支持することができる。従って、従来の構成と比較して隔壁の壁厚を著しく減少させることができ、これにより、ステータとロータの間の空隙を著しく減少させてモータ効率を向上させることができる。

請求項２の発明によれば、請求項１に記載のキャンドモータであって、噛みあい部は、磁極歯部と密着するように磁極歯部に対して相補的な断面形状を備えており、噛みあい部は、隔壁の長さ方向に延びるリブを形成している、キャンドモータが提供される。この構成によれば、噛みあい部は、磁極歯部と密着するように磁極歯部に対して相補的な断面形状を備えており、噛みあい部は、隔壁の長さ方向に延びるリブを形成している。このため、噛みあい部が磁極歯部に嵌まり合うように円筒状の隔壁をステータ内に容易に挿入させることができ、隔壁をステータに密着させることができる。これにより、ステータとロータの間の空隙を著しく減少させてモータ効率を向上させることができる。

請求項３の発明によれば、請求項１または２に記載のキャンドモータであって、ステータは、磁極歯部の間に形成されたスロットを備えており、噛みあい部は、スロット内に巻線を保持することができるように径方向外側に延びている、キャンドモータが提供される。この構成によれば、噛みあい部は、スロット内に巻線を保持することができるように径方向外側に延びているので、従来、別個の部材としてスロットに挿入されていた巻線保持部材（換言すれば、スペーサ）の使用を省略することができる。従って、モータの部品点数及び組立工数を大幅に低減することができ、モータの製造コストを大幅に削減することができる。

請求項４の発明によれば、請求項３に記載のキャンドモータであって、噛みあい部は、スロット内で径方向外側に向けて開口する凹部を備えている、キャンドモータが提供される。この構成によれば、噛みあい部は、径方向外側に向けて開口する凹部を備えている。このため、噛みあい部によって磁極歯部との径方向の噛みあいを維持しつつ、従来の平坦な短冊状の巻線保持部材（換言すれば、スペーサ）と比較して、スロット内の空間を最大限に利用することができる。このため、例えば、スロット内に収容できる巻数を多くすることにより、モータ効率を著しく向上させることができる。

請求項５の発明によれば、請求項１〜４のいずれか一項に記載されるキャンドモータを備える、真空ポンプが提供される。

本発明によれば、ロータ室が減圧雰囲気下で使用され、運転中にキャン部材が大きな圧縮力を受ける場合であっても、キャン部材の肉厚を大きくすることなく、圧縮力に対して変形する虞のないキャン部材を備えたキャンドモータを提供することができる。

また、本発明によれば、ステータとロータ間の磁気空隙を最小限にすることによってモータ効率を著しく向上させることができるキャンドモータを提供することができる。

また、本発明によれば、部品点数及び組立工数を大幅に低減することができるキャンドモータを提供することができる。

また、本発明によれば、ステータのスロット内の空間を最大限に利用し、モータ効率を著しく向上させることができるキャンドモータを提供することができる。

また、本発明によれば、上記キャンドモータを備える真空ポンプを提供することができる。

本発明のキャンドモータが適用される真空ポンプの構成例を示す側断面図である。 図１におけるモータ部分Ｍの詳細を示す断面図（図１のＹ−Ｙ矢視断面図）である。 図１における隔壁の詳細を示す斜視図である。 本発明における隔壁の他の構成例を示す斜視図である。 図１におけるモータ部分Ｍの径方向の断面図（図２のＺ−Ｚ矢視断面図）である。 図５の部分拡大図である。 図１における隔壁の詳細を示す部分断面図である。 本発明における隔壁の噛みあい部の他の例を示す部分断面図である。 本発明における隔壁の噛みあい部の他の例を示す部分断面図である。 本発明における隔壁の噛みあい部の他の例を示す部分断面図である。 本発明における隔壁の噛みあい部の他の例を示す部分断面図である。

以下、図１〜図１１を参照して、本発明の実施形態を説明する。

図１に、従来の真空ポンプの全体構造の一例である側断面図を示す。図１に示すように、ポンプＰは、一対のポンプロータ１−１、１−２（図１は側断面図にて１軸のみを示す）を備え、各ポンプロータは、それぞれ、ロータ１−１ａ（１−２ａ）、１−１ｂ（１−
２ｂ）、１−１ｃ（１−２ｃ）とポンプ主軸２−１（２−２）とから構成されており、ポンプケーシング３内に配置されている。尚、ポンプロータ１−１、１−２はポンプケーシング３内に平行に配置されているが、図１は側断面図であるため、１軸のみを示している。ポンプロータ１−１、１−２は、タイミングギヤ５を介して相互に反転し、各段のロータ１−１ａ（１−２ａ）、１−１ｂ（１−２ｂ）、１−１ｃ（１−２ｃ）によってガスが移送され、ガスの排気が行われる。尚、図示は省略するが、ポンプケーシング３には、吸気口と排気口が設けられており、ポンプロータ１−１、１−２の回転により、吸気口に吸い込んだガスを排出口から排出するようになっている。

図２は、図１におけるモータ部分Ｍの詳細を示す、図１のＹ−Ｙ矢視断面図である。モータＭのモータステータ１１は樹脂材１２にて全体が覆われており、その外周部でポンプＰに取り付ける部分に取付部１３が樹脂材１２と一体に形成されている。モータステータ１１は、取付部１３を介してボルト（図示せず）によりポンプケーシング３に取り付けられる。

各々のポンプ主軸２−１、２−２にモータロータ１６−１、１６−２が直結されている。各ロータ室１７−１、１７−２はモータステータ１１の内周側を覆う円筒状の隔壁（換言すればキャン部材）１８−１、１８−２によって密閉された空間となっている。隔壁１８−１、１８−２は樹脂製である。

図３は、隔壁１８−１の構成の詳細を示す斜視図である。隔壁１８−２は隔壁１８−１と同様の構成を有するので、図３には、隔壁１８−１のみを示す。図３に示すように、隔壁１８−１は、実質的に円筒状の胴部１８１を備え、胴部１８１の長さ方向の一端部１８２が閉鎖され、他端部１８３が開口している。開口端１８３の周縁には環状フランジ部１８４が形成されており、環状フランジ部１８４は、図示しないボルト等を介してポンプケーシング３側に密封状態に固定される。胴部１８１の外周面は、隔壁１８−１の長さ方向に延びるリブを備えており、リブは、後述する噛みあい部によって形成されている。

尚、図３に示す例では、隔壁１８−１は、その長さ方向において環状フランジ部１８４とは反対側の端部１８２が閉鎖された、有底円筒状に一体成型されている。しかし、隔壁１８−１は、環状フランジ部１８４とは反対側の端部が開口した形態を備えていてもよい。図４に、そのような開口端１８２´を備えた隔壁１８−１´の例を示す。この場合、別個の閉鎖部材が、密封状態で開口端１８２´に固定される。

図５は、図２におけるモータ部分Ｍの径方向の断面図（図２のＺ−Ｚ矢視断面図）である。モータＭはポンプＰの主軸２−１、２−２に直結されたそれぞれのモータロータ１６−１、１６−２の軸１６´−１、１６´―２に永久磁石１９が周設され、その外周には隔壁１８−１、１８−２を間に介在させてステータ１１が配置されている。ステータ１１は、ステータコア２２と、ステータコア２２の径方向内側に延びる複数の磁極歯部２０と、磁極歯部２０間に形成されたスロット３０内に磁極歯部２０を巻回するように配置される巻線２１を備えている。各磁極歯部２０の先端部は、永久磁石１９に対向する表面積を大きくするように、永久磁石１９に対して実質的に平行に（換言すれば、周方向に）延びて、ステータコア２２から概ね直線状に延びる磁極基部２０−１よりも大きな断面積を有する、延長部（換言すれば、拡張部）２０−２を形成している（図６参照）。

磁極歯部２０は巻線２１の通電時に両モータロータ１６−１、１６−２間の中心軸Ｃにおいて対称の位置で、且つ反対の磁極を形成するように同期して反転するブラシレス直流モータを構成する。尚、本実施形態では、モータＭに２軸型ブラシレス直流モータを用いているが、本発明では、１軸型ブラシレス直流モータを用いてもよい。また、本発明が適用されるモータは、電気モータであれば特に限られない。

また、本発明は真空ポンプに好適に適用されるが、本明細書において、用語「真空ポンプ」とは、運転中にポンプケーシング内がポンプ周囲に対して減圧された状態で使用されるポンプを意味する。すなわち、「真空」とは、相対的な真空を含み、絶対真空のみを意味するものではない。また、本発明は、真空ポンプ以外のポンプに適用されてもよい。

次に、図６及び図７を参照して、隔壁１８−１の形態について詳細に説明する。図６は、図５の部分拡大図であるが、巻線２１は図示を省略されている。図７は、隔壁１８−１を単独で示す図であり、隔壁１８−１の胴部１８１の長さ方向を横切る部分断面図である。

図６を参照すると、上記したように、ステータ１１の各磁極歯部２０の先端部は、永久磁石１９に対向する表面積を大きくするように、永久磁石１９に対して実質的に平行に（換言すれば、周方向に）延びて、磁極基部２０−１よりも大きな断面積を有する延長部２０−２を形成している。磁極歯部２０の間には、巻線２１（図示省略）が収容されるスロット３０が形成されている。一方、隔壁１８−１の外周部は、各スロット３０内で磁極歯部２０と径方向に噛みあう噛みあい部を形成するように構成されている。具体的には、隔壁１８−１の胴部１８１には、スロット３０に対応して、隔壁１８−１の径方向外側に突出する突起部１８５が形成されている。図６に示すように、各突起部１８５は、隔壁１８−１の外周部が磁極歯部２０の先端部と嵌まり合うように（換言すれば、隔壁１８−１の外周部が磁極歯部２０の先端部と密着するように）磁極歯部２０の先端部に対して相補的な断面形状を備えている。具体的には、図７の断面図に示されるように、突起部１８５は、胴部１８１から径方向に突出する、幅（換言すれば、周方向寸法）の小さい基部１８５−１と、基部１８５−１の先端から胴部１８１の周方向に伸長する、幅の大きい延長部（換言すれば、拡張部）１８５−２を備えている。延長部１８５−２は、磁極歯部２０の延長部２０−２と径方向で噛みあうように、スロット３０内で延長部２０−２に径方向に対向して配置される噛みあい面１８５−３と、ステータコア２２に対向する向きに配置される平坦な先端面１８５−４とを有している。各突起部１８５及び各突起部１８５間に位置する胴部１８１の外表面によって、磁極歯部２０の先端部が嵌まり込むことができる溝１８６が形成される。こうして、本実施形態では、隔壁１８−１の各突起部１８５及び各突起部１８５間に位置する胴部１８１の外表面によって、本発明における噛みあい部が形成されている。

上記のような構成のキャンドモータＭによってポンプＰを回転駆動すると、ポンプケーシング３及びロータ室１７−１、１７−２内は、真空領域を形成し、ロータ室１７−１、１７−２を画定する隔壁１８−１、１８−２には、モータＭ周囲の大気圧と真空領域の圧力との差圧によって、図６に示すような径方向の大きな圧縮力Ｆが作用する（換言すれば、ロータ室１７−１、１７−２内側への大きな引張力が作用する）。しかし、本発明では、隔壁１８−１、１８−２の外周部が、ステータ１１の磁極歯部２０と径方向で噛みあう噛みあい面１８５−３を有する噛みあい部を形成しているので、ポンプ運転中に発生する径方向の圧縮力の一部をステータ１１によって支持することができる。すなわち、上記実施形態では、圧縮力の一部が、噛みあい面１８５−３を介してステータ１１により支持されるので、従来のように圧縮力の全てを隔壁１８−１、１８−２で支持する必要が無い。このため、隔壁１８−１、１８−２を従来より薄肉に形成しても、圧縮力によって隔壁１８−１、１８−２が内側へ座屈変形する虞が無い。従って、磁気空隙内に位置する隔壁１８−１、１８−２の厚みを従来より大幅に小さくすることができ、これにより、磁気空隙を最小限にしてモータ効率を改善することができる。

また、上記実施形態のように、本発明では、噛みあい部の噛みあい面１８５−３を含む断面形状は、磁極歯部２０の先端部に対して相補的な断面形状であることが好ましく、ま
た、図３及び図４に示すように、噛みあい部は、隔壁１８−１、１８−２の長さ方向全体に延びて、リブを形成していることが好ましい。これにより、モータＭの組立時、隔壁１８−１、１８−２の外周部が磁極歯部２０の先端部に嵌まり合うように、隔壁１８−１、１８−２をリブに沿ってステータ１１内に容易に挿入し、隔壁１８−１、１８−２をステータ１１に容易に密着させることができる。従って、ステータとロータ間の空隙を最小限にすることができる。この点で、本発明は、真空ポンプ以外のポンプに対しても有利に適用されることができる。尚、本発明では、噛みあい部が形成するリブは、図３、図４に示すように隔壁１８−１（１８−２）の全長に亘って連続して延びていなくてもよく、複数の区分に亘って断続的に延びていてもよい。また、隔壁１８−１（１８−２）の全長の一部に亘って延びていてもよい。

さらに、本発明では、噛みあい部を所定の径方向寸法に形成することにより、噛みあい部を、スロット３０内に巻線を保持する巻線保持部としても機能させることができる。従来、ステータのスロット内に巻線を保持するために、「スペーサ」と称される、別個の巻線保持部材が使用されている。巻線保持部材は、通常、非金属性材料としての樹脂材料を短冊状に加工した部材であり、各スロット毎に挿入されて、巻線をほどけないようにスロット内に保持するために使用される。巻線は、モータ完成後にスロット内に樹脂を充填することによって固定されるが、スペーサは、樹脂充填までの工程の間巻線を保持するために必要とされる。本発明では、例えば、上記実施形態における突起部１８５の延長部１８５−２に所定の厚みを持たせることにより、延長部１８５−２を従来のスペーサに代えて巻線保持部として機能させてもよい。延長部１８５−２は、スロット３０内に配置される部分であり、磁気空隙内に位置する部分ではないため、延長部１８５−２の厚みを増しても、モータ効率には影響しない。この構成により、別個の巻線保持部材を使用する必要がなく、従って、キャンドモータの部品点数及び組立工数を大幅に低減することができる。

尚、上記実施形態では、突起部１８５は、断面が概ねＴ字形状に形成されているが、これは、本実施形態における磁極歯部２０の先端部の断面形状が、概ね逆Ｔ字形状に形成されているためであり、本発明において噛みあい部を構成する突起部の断面形状は、対応する磁極歯部２０の先端部の断面形状によって変わり得る。他の断面形状を有する突起部１８５´の例を図８に示す。この例では、磁極歯部２０の先端部が、略三角形状の断面形状を備える延長部２０−２´を形成している。このため、突起部１８５´は、延長部２０−２´の略三角形状の斜辺と噛みあう噛みあい面１８５´−３と、ステータコア２２に対向して配置される平坦な先端面１８５´−４とを備えた、略逆三角形状の部分を含んでいる。図６及び図７に示す実施形態と同様に、隔壁１８−１、１８−２に作用する圧縮方向の力の一部を、噛みあい面１８５´−３を介してステータ１１に支持させることができる。さらに、突起部１８５´は、スロット３０内に巻線（図示省略）を保持できるように径方向外側に延びる巻線保持部１８７を備えている。

図９〜図１１は、噛みあい部の断面形状のさらなる例を示す。上記実施形態では、突起部１８５、１８５´の先端面１８５−４、１８５´−４は、平坦な面を形成しているが、図９〜図１１の例では、噛みあい部は、スロット３０内で径方向外側に向けて開口する凹部（換言すれば、溝）を備えている。図９は、図７に示されるような概ねＴ字状断面の突起部の先端面に、矩形状断面を有する矩形溝２８８が形成された突起部２８５の例を示す図である。具体的には、突起部２８５の先端面２８５−４の幅方向における略中央部に、矩形状断面を有する矩形溝２８８が形成されている。上記実施形態と同様に、突起部２８５の基部２８５−１の先端から幅方向に延びる延長部２８５−２は、スロット３０内で磁極歯部２０の延長部２０−２に対向して配置される噛みあい面２８５−３を備えており、噛みあい面２８５−３が延長部２０−２と径方向で噛みあうことによって、圧縮方向の力の一部をステータ１１に支持させることができる。さらに、図９の例では、先端面２８５−４に矩形溝２８８が形成されているので、延長部２８５−２がスロット３０内に配置さ
れても、スロット３０内の空間を巻線保持空間として最大限に利用することができるので、モータ効率を向上させることができる。

図１０は、図８に示されるような略逆三角形状断面の突起部の先端面に、逆三角形状断面を有する三角溝（換言すれば、Ｖ字溝）３８８が形成された突起部３８５の例を示す図であり、図１１は、図７に示されるような概ねＴ字状断面の突起部の先端面に、円弧状断面を有する円弧溝４８８が形成された突起部４８５の例を示す図である。図１０及び図１１に示す例でも、図９に示す例と同様に、突起部３８５、４８５の先端面に溝３８８、４８８を形成することによって、噛みあい面３８５−３、４８５−３による磁極歯部２０との径方向の噛みあいを維持しつつ、スロット３０内の空間を巻線保持空間として最大限に利用することができるので、モータ効率を向上させることができる。尚、図１０及び図１１の例では、凹部３８８、４８８は、突起部３８５、４８５における先端面の幅方向全体に形成されているが、図９の例と同様に、先端面の一部にのみ形成されていてもよい。

本発明は、ポンプに使用されるキャンドモータに広く適用することができ、特に、ロータ室が減圧雰囲気下で使用される真空ポンプに好適に使用することができる。

Ｐ ポンプ
Ｍ モータ部分
Ｃ 中心軸
１−１、１−２ ポンプロータ
１−１ａ、１−１ｂ、１−１ｃ ロータ
１−２ａ、１−２ｂ、１−２ｃ ロータ
２−１、２−２ ポンプ主軸
３ ポンプケーシング
５ タイミングギヤ
１１ モータステータ
１２ 樹脂材
１３ 取付部
１６−１、１６−２ モータロータ
１７−１、１７−２ ロータ室
１８−１、１８−２ 樹脂隔壁（キャン部材）
１６´―１、１６´―２ 軸
１９ 永久磁石
２２ ステータコア
２０ 磁極歯部
２０−１ 磁極基部
２０−２、２０−２´ 延長部
２１ 巻線
３０ スロット
１８１ 胴部
１８２、１８３ 端部
１８４ 環状フランジ部
１８５、１８５´、２８５、３８５、４８５ 突起部
１８５−１、２８５−１、４８５−１ 基部
１８５−２、２８５−２、４８５−２ 延長部
１８５−３、１８５´−３、２８５−３、３８５−３、４８５−３ 噛みあい面
１８５−４、１８５´−４、２８５−４ 先端面
１８７、３８７ 巻線保持部
１８６ 溝
２８８、３８８、４８８ 凹部（溝）

Claims (5)

1. ステータの内周部を覆う円筒状の樹脂隔壁によってステータとロータとが隔離された、真空ポンプの回転駆動に使用されるキャンドモータであって、
   前記隔壁の外周部が、前記ステータの磁極歯部と径方向で噛みあう噛みあい部を形成している、キャンドモータ。
2. 請求項１に記載のキャンドモータであって、
   前記噛みあい部は、前記磁極歯部と密着するように前記磁極歯部に対して相補的な断面形状を備えており、前記噛みあい部は、前記隔壁の長さ方向に延びるリブを形成している、キャンドモータ。
3. 請求項１または２に記載のキャンドモータであって、
   前記ステータは、前記磁極歯部の間に形成されたスロットを備えており、
   前記噛みあい部は、前記スロット内に巻線を保持することができるように径方向外側に延びている、キャンドモータ。
4. 請求項３に記載のキャンドモータであって、
   前記噛みあい部は、前記スロット内で径方向外側に向けて開口する凹部を備えている、キャンドモータ。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載されるキャンドモータを備える、真空ポンプ。

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