JP5973839B2 - 真空ポンプ用モータ及びこれを備える真空ポンプ - Google Patents
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Description
先ず、図1及び図2に基づいて、本発明の一実施形態に係るモータ100について説明する。本実施形態に係るモータ100は、真空ポンプのロータ30(図3参照)を回転駆動するものである。モータ100は、モータステータ110とモータロータ120と、モータフレーム140とを備える。
モータステータ110は、ステータコア111aにコイル111bが装着された構成を有する。具体的には、モータステータ110において、ポンプ主軸21の回転中心軸線Cの方向における両端では、ステータコア111aの外方に向けてコイル111bが突出し
ている。モータステータ110は、モータフレーム140のフレーム本体141の内面にステータコア111aが嵌め込まれることによって、ポンプ主軸21の回転中心軸線Cに関して同心にモータフレーム140に固定される。ステータコア111aは、例えば、珪素鋼板を積層して形成できる。
モータロータ120は、モータステータ110の内部に、ポンプ主軸21の回転中心軸線Cに関して同心に配置され、真空ポンプ20のポンプ主軸21に直結されている。モータロータ120は、ポンプ主軸21の外周面に装着されているスリーブ121と、このスリーブ121上に固定されているロータコア123と、ロータコア123においてポンプ主軸21の回転中心軸線Cに沿った方向の両側に配置されているエンドリング125と、スリーブ121の外周面上であってエンドリング125の更に外方の両側に配置されるバランスリング127とを備えている。
本実施形態のモータ100の内部には、キャン130が設けられている。キャン130は、モータロータ120が存在する空間とモータステータ110が存在する空間を分離するためのものである。これは、真空ポンプ20(図3参照)に使用されるモータ100の場合、ポンプ主軸21とモータロータ120が存在している空間は真空(或は減圧)状態を維持する必要があるからである。また、真空ポンプ20は半導体製造設備に用いられる場合があるが、半導体製造時に用いるプロセスガスなどが外部に漏洩しないようにするための対策が必要であり、キャン130がその役割を果たすこととなる。
次に、上述のように構成されたモータ100の作用について説明する。モータ100の製造時において、スリーブ121、ロータコア123、エンドリング125をポンプ主軸21に取り付けた状態では、製造誤差に起因する回転アンバランスが生じてしまう。回転アンバランスを解消するためには、例えばエンドリング125の一部を除肉することも考えられるが、耐食性コーティングが除去されてしまうため、その部分がプロセスガスによって腐食してしまう。
次に、図3に基づいて、本実施形態に係るモータ100を具備する真空ポンプ20について説明する。この図では、真空ポンプ20が有する2本のポンプ主軸21の回転中心軸線Cを含む断面を示している。図示するように、真空ポンプ20は、一対のロータ30を備えている。本実施形態のモータ100では、ロータ30は、第1段ロータ31、第2段ロータ32、第3段ロータ33及び第4段ロータ34を備えている。これらのロータ30を支持するポンプ主軸21は、その両端部の近傍で、軸受51,61によって支持されている。また、ロータ30は、ケーシング40内に収容されている。
21 ポンプ主軸
100 モータ
110 モータステータ
120 ロータ
121 スリーブ
123 ロータコア
125 エンドリング
127 バランスリング
130 キャン
Claims (5)
- 真空ポンプのポンプ主軸に直結された、真空ポンプ用のモータにおいて、
前記ポンプ主軸に直接的或いは間接的に装着されるモータロータと、
前記ポンプ主軸の回転軸に関して同心にモータフレームに固定されるモータステータと、
前記ポンプ主軸の回転軸の方向に延びて前記ポンプ主軸に直接的或いは間接的に接触する第1の部分、および前記ポンプ主軸に垂直な方向に延びる第2の部分をそれぞれが含む1対のバランスリングであって、前記第2の部分がロータコアの両端部から離れた両側に位置するバランスリングと
を備え、
前記バランスリングは、耐食性を有する材料を含み、前記第1の部分および前記第2の部分によって形成される断面L字状の形状を有し、
前記ロータコアの両端部にはエンドリングが設けられ、前記エンドリングと前記バランスリングの第1の部分との間、および前記エンドリングと前記バランスリングの第2の部分との間には所定の隙間が形成されていることを特徴とするモータ。 - 前記バランスリングの第1の部分は、前記ポンプ主軸に装着されるスリーブに前記ロータコアとともに取り付けられることを特徴とする、請求項1に記載のモータ。
- 前記バランスリングの第1の部分は、前記ロータコアに当接されて前記ロータコアの位置決めをする機能を有することを特徴とする、請求項1又は2に記載のモータ。
- 前記モータロータは、表面に耐食性コーティング又は耐食性塗装による表面処理が行われていることを特徴とする、請求項1〜3の何れか一項に記載のモータ。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載のモータを備えていることを特徴とする真空ポンプ。
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