JP6613069B2 - 真空ポンプ装置 - Google Patents

Description

本発明は、真空ポンプ装置に関する。

従来、真空ポンプ装置は、例えば半導体製造装置が配置される真空チャンバ内のプロセスガスを排気するために使用されている。一般に、半導体製造工程では、真空チャンバ内が清浄雰囲気であることが要求される。このため、真空ポンプ装置として、ポンプ内部のガス流路に油を使用しないドライ真空ポンプが用いられている。このようなドライ真空ポンプとして、例えば２軸ルーツ型の多段容積式ドライ真空ポンプなどが知られている。

２軸ルーツ型の多段容積式ドライ真空ポンプは、対向する一対のルーツ型の多段のロータをケーシング内に備え、これらのロータ間およびロータとケーシングとの隙間が微少になるようにクリアランスが設けられる。そして、この一対のロータが同期反転することにより、ロータとケーシングとの間に形成された空間にプロセスガスが閉じ込められて後段に移送される。多段容積式ドライ真空ポンプでは、この移送が連続して行われることによりプロセスガスの排気が行われる。

真空ポンプには、真空ポンプのロータを回転駆動するモータが備えられる。一般に、真空ポンプでは、消費電力の削減が課題とされ、従来、例えばモータロータの発熱の低下を図ることにより、真空ポンプのエネルギ効率が低下するのを抑制している。

特開２００５−６１４２１号公報

真空ポンプ装置では、所望のポンプ性能が達成できるように、例えば真空チャンバ内で多量のプロセスガスが発生するような高負荷時を基準としてモータの出力が決められる。しかし、真空ポンプ装置は低負荷で駆動される場合も多く、こうした場合にはモータの効率が悪くなる場合があった。

モータの効率を低下させる損失としては、機械的な損失を除くと、モータロータの回転に伴って生じる渦電流損失などの鉄損と、コイルに流れる電流からジュール熱として生じる銅損と、が挙げられる。低負荷時には、コイルに流れる電流は小さいので銅損は小さくなる。しかし、負荷の大きさにかかわらず、モータロータの回転数に依存して鉄損は大きくなる。モータロータ及びモータステータの構成は、モータの出力に関わり、大負荷時を基準として決められているので、特に低負荷高回転数でモータが駆動されるときには、鉄損の影響が大きくなってモータのエネルギ効率が悪くなる。

また、従来、真空ポンプ装置のモータとして、キャンド構造等のモータが用いられている。しかし、キャンド構造等のモータを用いると、真空ポンプがオーバーハング（片持ち）構造になるため、高回転数化および小型化に不向きであった。さらに、一般に、真空ポンプ装置では、装置を容易に製造できることが望まれる。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、エネルギ効率が高く容易に製造可能な真空ポンプ装置を提供することを目的の一つとする。また
、高回転数化および小型化が可能な真空ポンプ装置を提供することを目的の一つとする。

本発明の真空ポンプ装置は、ポンプロータを回転させて気体を真空引きする真空ポンプである。真空ポンプ装置は、ポンプロータに回転動力を出力するための主軸と、主軸に取り付けられたモータロータと、主軸の軸方向にモータロータと対向して配置されるモータステータと、を備える。モータステータは、周方向に等間隔で配置されて主軸の軸方向に突出する複数のコア部と、複数のコア部とは別々に設けられて複数のコア部と固定されることにより複数のコア部を支持する支持部と、複数のコア部に巻回されるステータコイルと、を有する。そして、複数のコア部は、帯状のアモルファス金属が積層されて形成され、帯状のアモルファス金属の幅方向が主軸の軸方向に沿うように配置される。

かかる構成により、一般的な珪素鋼板よりも電気抵抗の小さいアモルファス金属が積層されてコア部が形成されるので、鉄損を小さくすることができる。また、ステータは、周方向に等間隔で配置されるコア部と、複数のコア部を支持する支持部とが、それぞれに形成されるので、ステータを容易に形成することができる。したがって、かかる構成により、エネルギ効率が高く容易に製造可能な真空ポンプ装置を提供することができる。また、モータロータとモータステータとが回転軸方向に対向して設けられているので、真空ポンプ装置の高回転数化および小型化を図ることができる。

また、複数のコア部は、帯状のアモルファス金属が主軸の軸方向に垂直な方向に積層されて形成されていてもよい。この場合には、複数のコア部は、帯状のアモルファス金属が巻回されて形成される環状または円盤状の部材を複数に切断することにより形成されてもよい。
こうすれば、アモルファス金属が径方向に積層されてコア部が形成されるので、鉄損を小さくすることができる。

また、複数のコア部は、帯状のアモルファス金属が円柱状に巻回されることにより形成されてもよい。
こうすれば、コア部の中心と主軸の回転中心とを繋ぐ方向において、アモルファス金属が積層されてコア部が形成されるので、鉄損を小さくすることができる。

また、モータロータは、第１モータロータと第２モータロータとを有し、モータステータは、主軸の軸方向に第１モータロータと第２モータロータとに挟まれて配置されてもよい。そして、コア部は、支持部の第１モータロータと対向する面および第２モータロータと対向する面に固定されてもよい。
こうすれば、さらに真空ポンプ装置の高効率化と小型化とを図ることができる。

また、ステータコイルは、コイル部材が巻回されて形成されてもよい。
こうすれば、ステータコイルを溝部に配置したときの隙間を小さくして、真空ポンプ装置のエネルギ効率の向上を図ることができる。

また、真空ポンプは、ポンプロータとして、平行に配置されて同期回転する一対のポンプロータを有してもよい。
さらに、真空ポンプは、一対のポンプロータが多段のロータを有する多段容積式であってもよい。

本実施形態の真空ポンプ装置の概略構成を示す断面図である。 本実施形態の真空ポンプ装置の概略構成を示す他の断面図である。 本実施形態のモータの概略構成を示す断面図である。 本実施形態のモータに用いられるステータコアの概略構成を示す図である。 本実施形態のステータコアを製造する過程の一例を示す図である。 本実施形態のステータコアを製造する過程の一例を示す図である。 本実施形態のステータコイルの一例を示す図である。 一般的な真空ポンプ装置における吸気側圧力（Ｐａ）に対する排気速度（Ｌ／Ｍ）及び消費電力（Ｗ）を示す図である。 消費電力（Ｗ）に対する真空ポンプ装置の効率（排気速度性能）を示す図である。 変形例のステータコアの概略構成を示す図である。 変形例のモータの概略構成を示す断面図である。

以下、本発明の一実施形態に係る真空ポンプ装置を図面に基づいて説明する。なお、図面では、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。本実施形態の真空ポンプ装置は、多段容積式ポンプとして構成され、例えば半導体、液晶、太陽光パネル、又は、ＬＥＤ等の製造設備の一つとして利用することができる。

図１は、本実施形態の真空ポンプ装置の概略構成を示す断面図である。図１は、真空ポンプ装置１００が有する一対のポンプロータ３１０，４１０のうちの一方のポンプロータ３１０の回転中心軸線ＡＲ１を含む断面を示している。また、図２は、本実施形態の真空ポンプ装置の概略構成を示す他の断面図である。図２は、真空ポンプ装置１００が有する一対のポンプロータ３１０，４１０の双方の回転中心軸線ＡＲ１，ＡＲ２を含む断面を示している。

図１，２に示すように、真空ポンプ装置１００は、モータ２００と、モータ２００によって回転駆動される一対のポンプ主軸３００，４００と、ポンプ主軸３００，４００と一体に回転する一対のポンプロータ３１０，４１０とを備えている。なお、図１では、一方のポンプ主軸３００及びポンプロータ３１０のみが図示されている。

一対のポンプロータ３１０，４１０は、多段の圧縮段を構成する。一例として、ポンプロータ３１０は、ポンプ主軸３００にそれぞれ間隔を空けて取り付けられた第１段〜第５段ポンプロータ３１１〜３１５を備えている。また、ポンプロータ４１０は、ポンプ主軸４００にそれぞれ間隔を空けて取り付けられた第１段〜第５段ポンプロータ４１１〜４１５を備えている。

第１段〜第５段ポンプロータ３１１〜３１５，４１１〜４１５は、上ケーシング３２０と下ケーシング３３０とによって形成される空間内に収容されている。上ケーシング３２０の上部には上閉止板３２２が取り付けられ、下ケーシング３３０の下部には下閉止板３３２が取り付けられる。

上閉止板３２２には、ポンプロータ３１０，４１０へ処理ガスを吸気するための吸気口３２４が形成される。下閉止板３３２には、ポンプロータ３１０，４１０から処理ガスを排気するための排気口３３４が形成される。

上ケーシング３２０及び下ケーシング３３０の反モータ２００側（モータ２００から遠い側、図１及び図２中、右側）には、反モータ２００側へ突き出したポンプ主軸３００，４００を収容する排気側中間部材３６０が設けられている。また、排気側中間部材３６０の反モータ２００側には、排気側カバー３７０が設けられている。排気側中間部材３６０及び排気側カバー３７０は、上ケーシング３２０及び下ケーシング３３０から反モータ２
００側へ突き出したポンプ主軸３００，４００を収容する。ポンプ主軸３００，４００は、上ケーシング３２０と下ケーシング３３０とによって形成される空間から反モータ２００側へ突き出した部分において、軸受３４２，４４２によって軸支されている。軸受３４２，４４２は、排気側中間部材３６０及び排気側カバー３７０内に収容されている。また、排気側カバー３７０の内部には、一対のタイミングギア３８０，４８０が収容されている。タイミングギア３８０，４８０は、ポンプ主軸３００，４００と連結され、相互に噛み合うようになっている。

排気側中間部材３６０は、ポンプ主軸３００，４００と対向する面に周方向に沿って溝が形成されており、排気側中間部材３６０とポンプ主軸３００，４００との間には、この溝を含む中間室３６２，４６２が設けられている。中間室３６２，４６２と排気口３３４は、連通路３６４によって連通されている。

上ケーシング３２０及び下ケーシング３３０のモータ２００側（図１及び図２中、左側）には、モータ２００側へ突き出したポンプ主軸３００，４００を収容する吸気側中間部材３４５が設けられている。吸気側中間部材３４５は、上ケーシング３２０及び下ケーシング３３０からモータ２００側へ突き出したポンプ主軸３００，４００を収容する。ポンプ主軸３００は、吸気側中間部材３４５に収容される軸受３４０によって軸支され、ポンプ主軸３００の端部がモータ２００に接続されている。また、ポンプ主軸４００は、吸気側中間部材３４５に収容される軸受４４０によって軸支され、ポンプ主軸４００の端部はサイドキャップ４５０内に収容されている。

モータ２００を駆動すると、ポンプ主軸３００、ポンプロータ３１０、及び、タイミングギア３８０が回転駆動される。タイミングギア３８０，４８０が相互に噛み合うことによって、ポンプ主軸４００及びポンプロータ４１０も回転駆動される。一対のポンプロータ３１０，４１０は、上ケーシング３２０及び下ケーシング３３０の内面との間、第１段〜第５段ポンプロータ３１１〜３１５，４１１〜４１５同士の間にわずかな隙間を保持して、非接触で逆方向に同期回転する。一対のポンプロータ３１０，４１０の回転につれて、吸気口３２４から導入された処理ガスは、第１段〜第５段ポンプロータ３１１〜３１５，４１１〜４１５により圧縮移送されて、排気口３３４から排出される。

次に、モータ２００の構成について説明する。図３は、本実施形態のモータの概略構成を示す断面図である。モータ２００は、真空ポンプ装置１００（ポンプロータ３１０）の回転駆動源として使用される。モータ２００は、モータフレーム２５０と、ポンプ主軸３００に設けられたモータロータ２２０と、モータフレーム２５０に固定されたモータステータ２３０と、を備える。図示するように、モータ２００は、モータロータ２２０とモータステータ２３０とがポンプ主軸３００の回転中心軸線ＡＲ１方向に対向する、いわゆるアキシャルギャップ型のモータとして構成されている。

モータロータ２２０は、ポンプ主軸３００に直結され、永久磁石２２２を備えている。モータフレーム２５０は、フレーム本体２５２とステータ支持部２５４とを備える。フレーム本体２５２は、回転中心軸線ＡＲ１に沿って内部空間が形成された、有底円筒形状に形成されている。ステータ支持部２５４は、円盤形状に形成されており、フレーム本体２５２の内部に配置される。ステータ支持部２５４は、フレーム本体２５２の内部空間を、モータロータ２２０が配置されるロータ室と、モータステータ２３０が配置されるステータ室とに離隔する。

モータステータ２３０は、ステータコア２３２にステータコイル２３６が装着された構成を有する。モータステータ２３０は、ステータコア２３２がステータ支持部２５４に取り付けられることによって、ステータ支持部２５４を介して、回転中心軸線ＡＲ１と同心
にフレーム本体２５２に固定される。

図４は、本実施形態のモータに用いられるステータコアの概略構成を示す図である。図示するように、ステータコア２３２は、モータロータ２２０の永久磁石２２２と対向する複数（例えば６個、１２個など）のコア部２３３と、複数のコア部２３３と固定されて複数のコア部２３３を支持する支持部２３４と、を有する。複数のコア部２３３は、回転中心軸線ＡＲ１方向に突出し、周方向に等間隔で配置される。複数のコア部２３３のそれぞれには、ステータコイル２３６が巻回される。

図５及び図６は、本実施形態のステータコアを製造する過程の一例を示す図である。本実施形態のステータコア２３２は、コア部２３３がアモルファス（非晶質）金属によって形成される。アモルファス金属としては、一例として、鉄、ニッケル、コバルトなどの強磁性金属を主成分としたものを用いることができる。一般に、アモルファス金属は、急冷によって非晶質体を形成させて薄い箔状に成形される。この箔状のアモルファス金属を利用して、帯状のアモルファス金属５００を用意する。帯状のアモルファス金属５００は、その断面が幅Ｗｓと厚みＴｓとを有し、幅Ｗｓの方が厚みＴｓよりも大きい。ここで、帯状のアモルファス金属５００は、コア部２３３の厚さ（回転中心軸線ＡＲ１方向の長さ）Ｈｓと等しい幅Ｗｓであることが好ましい（図４及び図５参照）。なお、コア部２３３の厚さＨｓは、モータ２００の定格出力等に基づいて決められればよい。

そして、図５に示すように、帯状のアモルファス金属５００を円柱体などの巻枠５１０に渦巻き状に巻回し、空芯円柱状のアモルファス金属体５２０を製造する。そして、帯状のアモルファス金属５００を巻回することによってアモルファス金属体５２０の外径が所望の大きさ（ステータコア２３３の外径）に至ったら、アモルファス金属体５２０を巻枠５１０から外す。ここで、アモルファス金属体５２０は、帯状のアモルファス金属５００を巻枠５１０に巻回しながら、加熱及び冷却、もしくは、接着等を用いることによって、形状が固定されてもよい。また、所望の外径に至った後に、アモルファス金属体５２０の外縁に被膜を施すこと等によって形状が固定されてもよい。こうして形成されたアモルファス金属体５２０は、アモルファス金属が径方向（回転中心軸線ＡＲ１に垂直な直線ＡＣ方向、図６参照）に積層される。

続いて、アモルファス金属体５２０を複数に切断することによって複数のコア部２３３を形成する。一例として、複数のコア部２３３は、アモルファス金属体５２０を等しい角度で放射状に切断することによって形成される。こうして形成されるコア部２３３は、帯状のアモルファス金属５２０の幅方向Ａｗが回転中心軸線ＡＲ１に沿うように配置され、且つ、アモルファス金属が径方向に積層された構造を有する。そして、図６に示すように、複数のコア部２３３を支持部２３４に固定することによってステータコア２３２が製造される。ここで、支持部２３４は、一例として、アモルファス金属体５２０と同様に、帯状のアモルファス金属を巻枠５１０に巻回することによって環状または円盤状に形成されたものを用いることができる。ただし、支持部２３４は、アモルファス金属で形成されるものに限らず、他の金属で形成されてもよい。コア部２３３と支持部２３４との固定は、例えば、接着剤を用いた接着、又は溶加材を用いた溶接によって行うことができる。また、コア部２３３と支持部２３４との固定は、ビスなどを用いた締結によってなされてもよい。

このようにコア部２３３と支持部２３４とを別々に形成することにより、例えばアモルファス金属体５２０の一部を切除して溝部および凸部（コア部）を形成する場合に比して、ステータコア２３２を容易に製造することができる。また、アモルファス金属体５２０の一部を切除してステータコア２３２を製造する場合には、切除したアモルファス金属はステータコア２３２として利用することができない。これに対して、本実施形態では、ア
モルファス金属体５２０を放射状に複数に切断して複数のコア部２３３を形成するので、余ったアモルファス金属体５２０を別のステータコア２３２のコア部２３３として利用することができる。したがって、ステータコア２３２の製造コストを低下することができる。

図７は、本実施形態のステータコイルの一例を示す図である。図示するように、本実施形態のステータコイル２３６は、コア部２３３の高さＨｓと等しい幅Ｗｃの帯状のコイル部材がステータコア２３２のコア部２３３に渦巻き状に巻回されることによって形成されている。帯状のコイル部材は、その断面が幅Ｗｃと厚みＴｃとを有し、幅Ｗｃの方が厚みＴｃよりも大きい。ただし、ステータコイル２３６を形成するコイル部材の幅Ｗｃは、コア部２３３の高さＨｓよりも小さくてもよい。この帯状のコイル部材は、その幅方向が回転中心軸線ＡＲ１に沿うように、コアブ２３３に巻き回される。なお、ステータコイル２３６の内周側の端部は、引出し用のコイル部材３２７がはんだ付け等で接続されてもよい。このようにコア部２３３に帯状のコイル部材が巻回されてステータコイル２３６が形成されることにより、線状のコイル部材を巻回する場合に比べて、ステータコア２３２の溝部２３４にステータコイル２３６を隙間なく配置することができる。これにより、モータ２００の高性能化および小型化を図ることができる。

図８は、一般的な真空ポンプ装置における吸気側圧力（Ｐａ）に対する排気速度（Ｌ／Ｍ）及び消費電力（Ｗ）を示す図である。一般的に、真空ポンプ装置では、吸気側圧力が大きいときには気体を圧縮するポンプロータの負荷が大きくなり、消費電力が大きくなると共に排気速度が低下する。そして、真空ポンプ装置では、高負荷時にも所望の排気性能を実現できるように、高負荷時を基準として装置の構成が決定される。しかし、真空ポンプ装置は、半導体の製造工程に設けられる場合等には、常に高負荷の環境で駆動されるのではなく、低負荷の環境で駆動される場合も多い。つまり、真空ポンプ装置は、消費電力の小さい環境で運転される場合も多い。

図９は、消費電力（Ｗ）に対する真空ポンプ装置の効率（排気速度性能）を示す図である。図９中実線は本実施形態の真空ポンプ装置を示し、破線はステータコアが一般的な珪素鋼板で形成された比較例の真空ポンプ装置を示している。本実施形態の真空ポンプ装置１００では、一般的な珪素鋼板よりも電気抵抗の小さいアモルファス金属でステータコア２３２のコア部２３３を形成しているので、モータ２００の鉄損を小さくすることができる。このため、図９に示すように、本実施形態の真空ポンプ装置１００では、比較例と比べて、特に消費電力が小さいときの効率を高くすることができる。これにより、真空ポンプ装置が低負荷で運転されるときのエネルギ効率を向上することができ、効率の高い真空ポンプ装置を実現することができる。

以上説明した本実施形態の真空ポンプ装置１００では、アモルファス金属が径方向に積層されてアモルファス金属体５２０が形成される。このアモルファス金属体５２２が複数に切断されることによって複数のコア部２３３が形成される。そして、複数のコア部２３３が支持部２３４に固定されることにより、モータ２００のステータコア２３２が形成される。このように複数のコア部２３３と支持部２３４とがそれぞれに形成されてステータコア２３２を形成することにより、ステータコア２３２を容易に製造することができる。また、ステータコア２３２のコア部２３３は、アモルファス金属が径方向に積層されて形成されるので、モータ２００の鉄損を小さくすることができる。さらに、本実施形態の真空ポンプ装置１００では、モータロータ２２０とモータステータ２３０とが回転中心軸線ＡＲ１に対向して設けられているので、真空ポンプ装置１００の高回転数化および小型化を図ることができる。

（変形例１）
上記した実施形態では、帯状のアモルファス金属５００を巻回して形成されたアモルファス金属体５２０を放射状に切断することにより、コア部２３３が形成されるものとした。しかし、帯状のアモルファス金属５００を巻回することによって円柱状に形成したものを、コア部２３３として用いてもよい。図１０は、変形例のステータコアの構成概略を示す図である。図示するように、変形例のステータコア２３２Ａでは、帯状のアモルファス金属５００が円柱状に巻回されて複数のコア部２３３Ａがそれぞれに形成されている。こうして構成される複数のコア部２３３Ａは、帯状のアモルファス金属５００の幅方向Ａｗが回転中心軸線ＡＲ１に沿うように配置された構造を有する。また、コア部２３３Ａは、コア部２３３Ａの中心と回転中心軸線ＡＲ１とを結ぶ方向ＡＣにおいて、アモルファス金属５００が積層された構造を有する。このように構成された変形例のステータコア２３２Ａにおいても、モータ２００の鉄損を小さくすることができる。

（変形例２）
上記した実施形態では、モータ２００は、一組のモータロータ２２０，モータステータ２３０を有するものとした。しかし、モータ２００は、モータロータ２２０及びモータステータ２３０の少なくとも一方を２つ以上有してもよい。図１１は、変形例のモータの概略構成を示す断面図である。変形例のモータ２００Ａでは、ポンプ主軸３００がステータ支持部２５３及びモータステータ２３０Ａを貫通して設けられ、ポンプ主軸３００に対して、２つのモータロータ２２０Ａ，２２０Ｂがモータステータ２３０Ａを挟むように取り付けられている。そして、モータステータ２３０Ａのステータコア２３２には、回転中心軸線ＡＲ１方向の両方の端面にコア部２３３が設けられてステータコイル２３６が巻回されている。こうした構成により、モータ２００の高性能化を図ったり、モータ２００の径方向の小型化を図ったりすることができる。また、２つのモータロータ２２０Ａ，２２０Ｂによってモータステータ２３０を挟むことにより、モータ２００の駆動時にポンプ主軸３００が回転中心軸線ＡＲ１の一方向に付勢されるのを抑制することができ、モータロータ２２０及びポンプ主軸３００を安定して回転させることができる。なお、モータ２００は、モータステータ２３０がモータロータ２２０に挟まれるものに代えて、又は加えて、モータロータ２２０がモータステータ２３０に挟まれるように構成されてもよい。

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、実施形態および変形例の任意の組み合わせが可能であり、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。

１００ 真空ポンプ装置
２００ モータ
２２０，２２０Ａ，２２０Ｂ モータロータ
２３０，２３０Ａ モータステータ
２３２，２３２Ａ ステータコア
２３３，２３３Ａ コア部
２３４ 支持部
２３６ ステータコイル
３００，４００ ポンプ主軸
３１０，４１０ ポンプロータ

Claims (7)

1. ポンプロータを回転させて気体を真空引きする真空ポンプ装置であって、
   前記ポンプロータに回転動力を出力するための主軸と、
   前記主軸に取り付けられたモータロータと、
   前記主軸の軸方向に前記モータロータと対向して配置されるモータステータと、
   前記モータステータを支持するステータ支持部であって、前記モータロータが配置されるロータ室と前記モータステータが配置されるステータ室とを離隔する、ステータ支持部と、
   を備え、
   前記モータステータは、周方向に等間隔で配置されて前記主軸の軸方向に突出する複数のコア部と、前記複数のコア部とは別々に設けられて前記複数のコア部と固定されることにより当該複数のコア部を支持する支持部と、前記複数のコア部に巻回されるステータコイルと、を有し、
   前記複数のコア部は、帯状のアモルファス金属が積層されて形成され、前記帯状のアモルファス金属の幅方向が前記主軸の軸方向に沿うように配置される、
   真空ポンプ装置。
2. 請求項１に記載の真空ポンプ装置であって、
   前記複数のコア部は、前記帯状のアモルファス金属が前記主軸の軸方向に垂直な方向に積層されて形成されている、
   真空ポンプ装置。
3. 請求項２に記載の真空ポンプ装置であって、
   前記複数のコア部は、前記帯状のアモルファス金属が巻回されて形成される環状または円盤状の部材を複数に切断することにより形成される、
   真空ポンプ装置。
4. 請求項１に記載の真空ポンプ装置であって、
   前記複数のコア部は、前記帯状のアモルファス金属が円柱状に巻回されることにより形成される、
   真空ポンプ装置。
5. 請求項１乃至４の何れか１項に記載の真空ポンプ装置であって、
   前記ステータコイルは、前記複数のコア部の高さ以下の幅を有する帯状のコイル部材が巻回されて形成されている、
   真空ポンプ装置。
6. 請求項１乃至５の何れか１項に記載の真空ポンプ装置であって、
   前記ポンプロータとして、平行に配置されて同期回転する一対のポンプロータを有する、
   真空ポンプ装置。
7. 請求項６に記載の真空ポンプ装置であって、
   前記一対のポンプロータが多段のロータを有する多段容積式である、
   真空ポンプ装置。

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