JP2014035415A - 光学素子及びそれを有する光学装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板(透明基材10)上に設けられる第1層(第二無機化合物層22)と、透明基板と第1層との間に設けられる第2層(第一無機化合物層21)と、から構成され、第1層の屈折率が均一であり、第1層の物理膜厚が、使用される光の中心波長の4倍以上であり、第1層の屈折率が、第2層の屈折率よりも低いことを特徴とする、光学素子1である。
【選択図】図1
Description
前記第1層の屈折率が均一であり、
前記第1層の物理膜厚が、使用される光の中心波長の4倍以上であり、
前記第1層の屈折率が、前記第2層の屈折率よりも低いことを特徴とする。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を詳細に説明する。ただし本発明は、以下に説明する実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において種々の変形及び変更が可能である。
図2は、本発明の光学素子における第二の実施形態を示す断面模式図である。図2の光学素子2は、図1の光学素子1と比較して、第2層(第一無機化合物層21)が、層内に屈折率勾配を有する層である点を除いては図1の光学素子1と共通している。第2層層内に屈折率勾配を設けるには、原料ガラスの種類、量、塗布液の濃度、熱処理温度、酸処理の方法等を適宜調整すればよい。
図3は、本発明の光学素子における第三の実施形態を示す断面模式図である。図3の光学素子3は、図1の光学素子1と比較して、第1層の上、即ち、第二無機化合物層22の上に、第1層よりも屈折率が低い第3層となる第三無機化合物層23が設けられている点を除いては図1の光学素子1と共通している。
図4は、本発明の光学素子における第四の実施形態を示す断面模式図である。図4の光学素子4は、図3の光学素子3と比較して、第2層(第一無機化合物層21)が、層内に屈折率勾配を有する層である点を除いては図3の光学素子3と共通している。第2層層内に屈折率勾配を設ける方法としては、後述する実施例2にて説明する方法を採用することができる。
図5は、本発明の光学素子における第五の実施形態を示す断面模式図である。図5の光学素子5は、図3の光学素子3と比較して、第2層(第一無機化合物層21)が、基板に接するB1層21aとB2層21bとからなる積層体である点を除いては図3の光学素子3と共通している。
図6は、本発明の光学素子における第六の実施形態を示す断面模式図である。図6の光学素子6は、基本的構成が図2の光学素子2と同様である。尚、図6の光学素子6の詳細については、実施例にて説明する。
図7は、本発明の光学素子を搭載した光学装置の例を示す断面模式図である。図7の光学装置30は、具体的には、カメラ等の撮影装置である。図7の光学装置30は、複数のレンズからなるレンズ群31と、ローパスフィルタ32と、撮像素子33と、を有している。本発明の光学素子は、ローパスフィルタ32の表面に設けられている。図7の光学装置30において、本発明の光学素子は、ゴースト、フレアの原因になる反射光の発生を防止する役割を果たす。また本発明の光学素子は、ゴミ付着の少なく、膜強度が強いため良好な撮影が可能になる。
以下、図1の光学素子1の作製例について説明する。尚、各層、各部材の屈折率は、d線の波長である587.6nmにおける屈折率である。また反射防止層20を構成する各層の物理膜厚は、特に説明がない限り、d線を利用して測定した膜厚測定によって得られた物理膜厚である。これは、実施例1以外の実施例及び比較例においても同様である。
本実施例では、透明基材10として、屈折率が1.70の透明ガラス基板を用いた。
真空蒸着法により、透明基材10上に、屈折率が1.38であるフッ化マグネシウム(MgF2)を成膜して第2層(第一無機化合物層21)を形成した。このとき第2層(第一無機化合物層21)の物理膜厚は95nmであった。
次に、原料ガラスを200乃至300メッシュアンダー程度のガラス粉に粉砕したのち市販のスクリーンオイル等と混合することでペースト状の塗工液を調製した。次に、スクリーン印刷法により、第2層(第一無機化合物層21)上に、先程調製した塗工液を塗布して塗膜を形成した。このとき塗膜の厚さは、4000nmであった。次に、熱処理を行い塗膜を相分離させた後、酸処理で層の多孔質化を行うことにより第1層(第二無機化合物層22)を形成した。以上により、第2層(第一無機化合物層21)と第1層(第二無機化合物層22)とからなる反射防止層20を有する光学素子1を得た。
得られた光学素子について、以下に説明する方法により評価を行った。
走査型透過電子顕微鏡により光学素子1を構成する反射防止層20の断面状態を観察した。その結果、第1層(第二無機化合物層22)の物理膜厚は4000nmであることが確認できた。
第1層(第二無機化合物層22)の膜厚バラツキと光学素子の特性との関係、即ち、第1層(第二無機化合物層22)の物理膜厚と反射防止性能との関係を考察するために、第1層の物理膜厚を±50nm変えた光学素子も同様に作製した。即ち、第1層の物理膜厚が3950nm、4050nmの光学素子も作製した。次に、反射率測定器を用いて、第1層の物理膜厚がそれぞれ異なる三種類の光学素子について、波長400nm乃至700nmにおける反射率を測定した。図8は、図1の光学素子の反射率特性を示すグラフであり、(a)は、入射角0度の光に対する反射特性を示すグラフであり、(b)は、入射角45度の光に対する反射特性を示すグラフである。図8(a)及び(b)に示されるように、第1層の物理膜厚がそれぞれ異なる三種類の光学素子において、波長400nm乃至700nmにおける反射率は、いずれも2%以下であった。また図8(a)及び(b)に示されるように、波長ごとの反射防止特性は、第1層(第二無機化合物層22)の物理膜厚が±50nmの範囲で変化したとしても際立った相違は見られなかった。従って、本実施例の良好な反射防止性能が確認できた。
第1層(第二無機化合物層22)の断面観察及び反射率測定結果より、第1層(第二無機化合物層22)の屈折率を求めた。その結果、第1層(第二無機化合物層22)の屈折率は1.10であった。ここで本実施例の光学素子1の各構成部材の物理膜厚及び屈折率を下記表1に示す。
綿不織布(ユニチカ(株)社製、商品名:クリント)を用いて、このコットン布を、荷重(300g/cm2)をかけながら20回往復させた。この後、第1層(第二無機化合物層22)の表面を観察した。その結果、第1層の表面に傷は確認されなかった。
図9は、比較例1にて作製された光学素子を示す断面模式図である。以下、比較例1の光学素子100の作製方法について説明する。
実施例1と同様に、第1層の物理膜厚を±50nm変えた光学素子(550nm、650nm)も同様に作製した。その上で、実施例1と同様の方法により、第1層の物理膜厚がそれぞれ異なる三種類の光学素子について、波長400nm乃至700nmにおける反射率を測定した。
以下、図2の光学素子2の製造方法について説明する。
本実施例では、透明基材10として、屈折率が1.46の透明ガラス基板を用いた。
スクリーン印刷法により、透明基材10上に、実施例1(3)で使用した塗工液を塗布した。尚、塗工液を塗布する際に、塗工液中に含まれるガラスペーストの濃度を適宜調整した。これにより、塗膜の厚み高さ方向で相分離の態様が変わり、熱処理後酸処理を行ったときに厚み高さ方向で層内の空隙の割合が変化していた。ここで第2層(第一無機化合物層21)の物理膜厚は、2000nmであった。
スクリーン印刷法により、第2層(第一無機化合物層21)上に、実施例1(3)で使用した塗工液を塗布して塗膜を形成した。このとき塗膜の厚さは、4000nmであった。次に、熱処理を行って塗膜を相分離させた後、酸処理で層の多孔質化を行うことにより第1層(第二無機化合物層22)を形成した。以上により、第2層(第一無機化合物層21)と第1層(第二無機化合物層22)とからなる反射防止層20を有する光学素子2を得た。
得られた光学素子について、以下に説明する方法により評価を行った。
走査型透過電子顕微鏡により光学素子1を構成する反射防止層20の断面状態を観察した。その結果、第1層(第二無機化合物層22)の物理膜厚は4000nmであり、第2層(第一無機化合物層21)の物理膜厚は2000nmであることが確認できた。
反射率測定器を用いて、本実施例にて作製した光学素子について、波長400nm乃至700nmにおける反射率を測定した。図11は、図2の光学素子の反射率特性を示すグラフである。図11に示されるように、波長400nm乃至700nmにおける反射率は、いずれも1%未満(0度反射:ほぼ0.5%、45度反射:ほぼ0.8%)であった。従って、本実施例の良好な反射防止性能、即ち、波長依存性のない、均一で良好な反射防止性能が確認できた。
第1層(第二無機化合物層22)及び第2層(第一無機化合物層21)の断面観察及び反射率測定結果より、各層(第一無機化合物層21、第二無機化合物層22)の屈折率を求めた。本実施例の光学素子2の各構成部材の物理膜厚及び屈折率を下記表3に示す。
以下、図3の光学素子3の製造方法について説明する。
本実施例では、透明基材10として、屈折率が1.545の透明ガラス基板を用いた。
真空蒸着法により、透明基材10上に、屈折率が1.38であるフッ化マグネシウム(MgF2)を成膜して第2層(第一無機化合物層21)を形成した。このとき第2層(第一無機化合物層21)の物理膜厚は90nmであった。
次に、実施例1(3)で使用した塗工液を用いて、スクリーン印刷法により、第2層(第一無機化合物層21)上に、上記塗工液を塗布して塗膜を形成した。このとき塗膜の厚さは、4200nmであった。次に、熱処理を行って塗膜を相分離させた後、酸処理で層の多孔質化を行うことにより第1層(第二無機化合物層22)を形成した。
次に、第1層の表面について酸処理を行うことによって、第1層表面から約100nmまでの深さ範囲において第1層の多孔質化を部分的に進行させた。これにより、第1層上に第3層(第三無機化合物層23)を形成した。以上により、第2層(第一無機化合物層21)と第1層(第二無機化合物層22)と第3層(第三無機化合物層23)とからなる反射防止層20を有する光学素子3を得た。
得られた光学素子について、以下に説明する方法により評価を行った。
走査型透過電子顕微鏡により光学素子1を構成する反射防止層20の断面状態を観察した。その結果、第1層(第二無機化合物層22)の物理膜厚は4075nmであり、第3層(第三無機化合物層23)の物理膜厚は125nmであることが確認できた。
反射率測定器を用いて、本実施例にて作製した光学素子について、波長400nm乃至700nmにおける反射率を測定した。図12は、図3の光学素子の反射率特性を示すグラフである。図12に示されるように、波長400nm乃至700nmにおける反射率は、いずれも1.5%未満(0度反射:0.5%未満、45度反射:1.2%以下)であった。従って、本実施例の良好な反射防止性能が確認できた。
第1層(第二無機化合物層22)及び第3層(第三無機化合物層23)の断面観察及び反射率測定結果より、各層(第二無機化合物層22、第三無機化合物層22)の屈折率を求めた。本実施例の光学素子3の各構成部材の物理膜厚及び屈折率を下記表4に示す。
以下、図4の光学素子4の製造方法について説明する。
本実施例では、透明基材10として、d線(587.6nm)での屈折率が1.46の透明ガラス基板を用いた。
実施例2(2)と同様の方法により第2層(第一無機化合物層21)を形成した。ここでd線(587.6nm)における第2層(第一無機化合物層21)の物理膜厚は、2000nmであった。
次に、実施例1(3)で使用した塗工液を用いて、スクリーン印刷法により、第2層(第一無機化合物層21)上に、上記塗工液を塗布して塗膜を形成した。このときd線(587.6nm)での塗膜の厚さは、4120nmであった。次に、熱処理を行い相分離を行なった後、酸処理で層の多孔質化を行うことにより第1層(第二無機化合物層22)を形成した。
次に、第1層の表面について酸処理を行うことによって、第1層表面から約100nmまでの深さ範囲において第1層の多孔質化を部分的に進行させた。これにより、第1層上に第3層(第三無機化合物層23)を形成した。以上により、第2層(第一無機化合物層21)と第1層(第二無機化合物層22)と第3層(第三無機化合物層23)とからなる反射防止層20を有する光学素子4を得た。
得られた光学素子について、以下に説明する方法により評価を行った。
走査型透過電子顕微鏡により光学素子1を構成する反射防止層20の断面状態を観察した。その結果、第1層(第二無機化合物層22)の物理膜厚は4000nmであり、第3層(第三無機化合物層23)の物理膜厚は120nmであることが確認できた。
反射率測定器を用いて、本実施例にて作製した光学素子について、波長400nm乃至700nmにおける反射率を測定した。図13は、図4の光学素子の反射率特性を示すグラフである。図13に示されるように、波長400nm乃至700nmにおける反射率は、いずれも0.5%未満であった。従って、本実施例の良好な反射防止性能が確認できた。
第1層(第二無機化合物層22)、第2層(第一無機化合物層21)及び第3層(第三無機化合物層23)の断面観察及び反射率測定結果より、各層(第二無機化合物層22、第三無機化合物層22)の屈折率を求めた。本実施例の光学素子4の各構成部材の物理膜厚及び屈折率を下記表5に示す。
以下、図5の光学素子5の製造方法について説明する。
本実施例では、透明基材10として、屈折率が1.545の透明ガラス基板を用いた。
真空蒸着法により、透明基材10上に、屈折率が1.63である酸化アルミニュウム(Al2O3)を成膜してB1層21aを形成した。このときB1層21aの物理膜厚は165nmであった。
次に、実施例1(3)で使用した塗工液を用いて、スクリーン印刷法により、第2層(第一無機化合物層21)上に、上記塗工液を塗布して塗膜を形成した。このとき塗膜の厚さは、4150nmであった。次に、熱処理を行って塗膜を相分離させた後、酸処理で層の多孔質化を行うことにより第1層(第二無機化合物層22)を形成した。
次に、第1層の表面について酸処理を行うことによって、第1層表面から約100nmまでの深さ範囲において第1層の多孔質化を部分的に進行させた。これにより、第1層上に第3層(第三無機化合物層23)を形成した。以上により、第2層(第一無機化合物層21)と第1層(第二無機化合物層22)と第3層(第三無機化合物層23)とからなる反射防止層20を有する光学素子5を得た。
得られた光学素子について、以下に説明する方法により評価を行った。
走査型透過電子顕微鏡により光学素子1を構成する反射防止層20の断面状態を観察した。その結果、第1層(第二無機化合物層22)の物理膜厚は4025nmであり、第3層(第三無機化合物層23)の物理膜厚は125nmであることが確認できた。
反射率測定器を用いて、本実施例にて作製した光学素子について、波長400nm乃至700nmにおける反射率を測定した。図14は、図5の光学素子の反射率特性を示すグラフである。図14に示されるように、波長400nm乃至700nmにおける反射率は、いずれも1.5%未満(0度反射:0.5%未満、45度反射:1.3%以下)であった。従って、本実施例の良好な反射防止性能が確認できた。
第1層(第二無機化合物層22)、第2層(第一無機化合物層21)及び第3層(第三無機化合物層23)の断面観察及び反射率測定結果より、各層(第二無機化合物層22、第三無機化合物層22)の屈折率を求めた。本実施例の光学素子5の各構成部材の物理膜厚及び屈折率を下記表6に示す。
以下、図6の光学素子6の製造方法について説明する。
本実施例では、透明基材10として、屈折率が1.545の透明ガラス基板を用いた。
スクリーン印刷法により、透明基材10上に、実施例1(3)で使用した塗工液を塗布した。尚、塗工液を塗布する際に、塗工液中に含まれるガラスペーストの濃度を適宜調整することにより、塗膜の厚み高さ方向で分相する状態が変わり、熱処理後酸処理を行ったときに厚み高さ方向で層内の多孔質の割合が変化するようにした。ここで第2層(第一無機化合物層21)の物理膜厚は、250nmであった。
スクリーン印刷法により、第2層(第一無機化合物層21)上に、実施例1(3)で使用した塗工液を塗布して塗膜を形成した。このとき塗膜の厚さは、2000nmであった。次に、熱処理を行って塗膜を相分離させた後、酸処理で層の多孔質化を行うことにより第1層(第二無機化合物層22)を形成した。以上により、第2層(第一無機化合物層21)と第1層(第二無機化合物層22)とからなる反射防止層20を有する光学素子6を得た。
得られた光学素子について、以下に説明する方法により評価を行った。
走査型透過電子顕微鏡により光学素子6を構成する反射防止層20の断面状態を観察した。その結果、第1層(第二無機化合物層22)の物理膜厚は2000nmであり、第2層(第一無機化合物層21)の物理膜厚は250nmであることが確認できた。
第1層(第二無機化合物層22)の膜厚バラツキによる特性、即ち、第1層(第二無機化合物層22)の物理膜厚と反射防止性能との関係を考察するために、第1層の物理膜厚を変えた光学素子(1000nm)も同様に作製した。次に、反射率測定器を用いて、第1層の物理膜厚がそれぞれ異なる三種類の光学素子について、波長400nm乃至700nmにおける反射率を測定した。
第1層(第二無機化合物層22)及び第2層(第一無機化合物層21)の断面観察及び反射率測定結果より、第1層(第二無機化合物層22)及び第2層(第一無機化合物層21)の屈折率を求めた。ここで本実施例の光学素子6の各構成部材の物理膜厚及び屈折率を下記表7に示す。
Claims (11)
- 透明基板上に設けられる第1層と、前記透明基板と前記第1層との間に設けられる第2層と、から構成され、
前記第1層の屈折率が均一であり、
前記第1層の物理膜厚が、使用される光の中心波長の4倍以上であり、
前記第1層の屈折率が、前記第2層の屈折率よりも低いことを特徴とする、光学素子。 - 前記第1層の物理膜厚が、2000nm乃至20000nmの範囲にあることを特徴とする、請求項1記載の光学素子。
- 前記第2層の屈折率が均一であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の光学素子。
- 前記第2層が、層内に屈折率勾配を有する層であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の光学素子。
- 前記第2層の屈折率の範囲が1.15乃至1.46であり、
前記第2層の物理膜厚が、使用される光の中心波長の3倍以上であることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光学素子。 - 前記第1層の表面が、多孔質であることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記第1層の上に第3層がさらに設けられており、
前記第3層の屈折率が前記第1層よりも低いことを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光学素子。 - 前記第3層が、前記第1層の表面を多孔質化してなる層であることを特徴とする、請求項7に記載の光学素子。
- 前記第1層が、無機材料からなる層であることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記第1層が、相分離ガラスからなる層であることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の光学素子。
- 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の光学素子と、撮像素子と、を有することを特徴とする、光学装置。
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