JP2014033060A - 電力用半導体装置モジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】外部端子をできる限り削減して、電力用半導体装置モジュールを小型化すると共に、配線インダクタンスを低減する。
【解決手段】第1の電位と第2の電位との間に直列に介挿され、それぞれ相補的に動作する第1のトランジスタおよび第2のトランジスタを有した複数のインバータを備え、それらがモジュール化された電力用半導体装置モジュールであって、複数のインバータのうち所定の1つのインバータにおいてのみ第1および第2のトランジスタの温度を検出する構成を有し、第1および第2のトランジスタの温度検出のための制御端子がモジュールの側面から突出する。
【選択図】図3
【解決手段】第1の電位と第2の電位との間に直列に介挿され、それぞれ相補的に動作する第1のトランジスタおよび第2のトランジスタを有した複数のインバータを備え、それらがモジュール化された電力用半導体装置モジュールであって、複数のインバータのうち所定の1つのインバータにおいてのみ第1および第2のトランジスタの温度を検出する構成を有し、第1および第2のトランジスタの温度検出のための制御端子がモジュールの側面から突出する。
【選択図】図3
Description
本発明は、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)等の電圧駆動型の半導体装置が搭載された電力用半導体装置モジュールに関する。
電力用半導体装置モジュールにおいて、搭載された半導体装置に接続する電気配線は、一般的に電気抵抗が小さく、安価な銅などが使用されており、電流通電時の発熱が半導体装置や電力用半導体装置モジュールを構成する部材の耐熱温度を越えないように電流密度が設計されている。
一方、電力用半導体装置モジュールは、年々、搭載される半導体装置の損失低減や冷却性能、絶縁性能の向上により小型化が進み、これに伴い、複数の半導体装置を内蔵する集積化や、過電流、過熱から半導体装置を保護する機能を内蔵したインテリジェント化も進んでいる。
このため、電力用半導体装置モジュールの外部端子数は大幅に増加し、主電流配線の小型化も限界に達しており、電力用半導体装置モジュールの小型化を進めるには無駄な空間をできる限り削減して電気配線を配置する必要がある。特に外部配線と接続する外部端子は、空気中に露出するため、絶縁物で覆われた電力用半導体装置モジュール内部の電気配線より絶縁距離を確保する必要があり、電力用半導体装置モジュールを小型化するためには、外部端子をできる限り削減すると共に、露出位置を十分考慮する必要がある。
集積化された電力用半導体装置モジュールの従来技術としては、例えば特許文献1の図11に開示されるように、6個の半導体装置をモジュール化した6in1構造の電力用半導体装置モジュールが挙げられる。
特許文献1に示された電力用半導体装置モジュールでは、6個の半導体装置のそれぞれからボンディングワイヤを介して5本の制御端子が外部に引き出された構成を採っている。5本の制御端子は、一般的に、半導体装置の通電を制御するゲート端子、エミッタセンス端子、過電流から半導体装置を保護するための電流センス端子、過熱から半導体装置を保護するための温度センスダイオードのアノード端子およびカソード端子で構成されている。このため、特許文献1に示された電力用半導体装置モジュールでは制御端子数が多く、小型化することが困難であった。
また、直流高電圧側配線と、直流低電圧側配線とが離れた位置に配設されているため、配線インダクタンスが大きいという問題があった。
本発明は上記のような問題点を解決するためになされたもので、外部端子をできる限り削減して、電力用半導体装置モジュールを小型化すると共に、配線インダクタンスを低減することを目的とする。
本発明に係る電力用半導体装置モジュールの態様は、第1の電位と第2の電位との間に直列に介挿され、相補的に動作する第1のトランジスタおよび第2のトランジスタをそれぞれ有した複数のインバータを備え、それらがモジュール化された電力用半導体装置モジュールであって、前記複数のインバータのうち所定の1つにおいてのみ前記第1および第2のトランジスタの温度を検出する構成を有し、前記第1および第2のトランジスタの温度検出のための制御端子がモジュールの側面から突出することを特徴とする。
本発明に係る電力用半導体装置モジュールによれば、温度検出のための制御端子数を削減することができるので、電力用半導体装置モジュールを小型化できる。
<実施の形態1>
図1は本発明に係る実施の形態1の電力用半導体装置モジュール100の構成を示す平面図であり、図2は直流高電圧端子2側から見た側面図であり、何れもモールド樹脂8を省略して示している。また、図3は電力用半導体装置モジュール100の構成を示す回路図である。
図1は本発明に係る実施の形態1の電力用半導体装置モジュール100の構成を示す平面図であり、図2は直流高電圧端子2側から見た側面図であり、何れもモールド樹脂8を省略して示している。また、図3は電力用半導体装置モジュール100の構成を示す回路図である。
図3に示すように、電力用半導体装置モジュール100は、温度検出機能を有するIGBTチップ9a、9b、9c、9d、9eおよび9fと、IGBTチップ9a〜9fのそれぞれに逆並列に接続されたダイオードチップ10a、10b、10c、10d、10eおよび10fとで構成される6組の半導体チップ群11a、11b、11c、11d、11eおよび11fを備えている。
半導体チップ群11aおよび11b、半導体チップ群11cおよび11d、半導体チップ群11eおよび11fの組はそれぞれ直列接続され、それぞれの接続ノードに出力端子4、5、6が接続される構成となっている。
また、半導体チップ群11a、11cおよび11eのそれぞれのIGBTチップ9a、9cおよび9eのコレクタ側(ダイオードチップ10a、10cおよび10eのカソード側)は並列接続され、接続ノードに直流高電圧端子2が接続される構成となっている。
また、半導体チップ群11b、11dおよび11fのそれぞれのIGBTチップ9b、9dおよび9fのエミッタ側(ダイオードチップ10b、10dおよび10fのアノード側)は並列接続され、接続ノードに直流低電圧端子3が接続される構成となっている。
IGBTチップ9a〜9fには、それぞれ制御端子群7a、7b、7c、7d、7eおよび7fが接続されている。
上記構成より、半導体チップ群11aと11bは、直流高電圧端子2(第1の電位を与える)と直流低電圧端子3(第2の電位を与える)との間に直列に介挿され、相補的に動作するトランジスタと、フリーホイールダイオードとで構成される1つのインバータであると言える。
また、半導体チップ群11cと11dは、直流高電圧端子2と直流低電圧端子3との間に直列に介挿され、相補的に動作するトランジスタと、フリーホイールダイオードとで構成される1つのインバータであると言える。
また、半導体チップ群11eと11fは、直流高電圧端子2と直流低電圧端子3との間に直列に介挿され、相補的に動作するトランジスタと、フリーホイールダイオードとで構成される1つのインバータであると言える。
制御端子群7aは、IGBTチップ9aを駆動させるためのゲート電圧を印加するゲート端子711、エミッタの出力を検出するエミッタセンス端子712およびIGBTチップ9aの主電流を検出するための電流センス端子713を含んでいる。
制御端子群7bは、IGBTチップ9bを駆動させるためのゲート電圧を印加するゲート端子721、エミッタの出力を検出するエミッタセンス端子722およびIGBTチップ9bの主電流を検出するための電流センス端子723を含んでいる。
制御端子群7cは、IGBTチップ9cを駆動させるためのゲート電圧を印加するゲート端子731、エミッタの出力を検出するエミッタセンス端子732およびIGBTチップ9cの主電流を検出するための電流センス端子733、IGBTチップ9cの温度を検出するための温度センスダイオード51のアノード端子734およびカソード端子735を含んでいる。
制御端子群7dは、IGBTチップ9dを駆動させるためのゲート電圧を印加するゲート端子741、エミッタの出力を検出するエミッタセンス端子742およびIGBTチップ9dの主電流を検出するための電流センス端子743、IGBTチップ9dの温度を検出するための温度センスダイオード52のアノード端子744およびカソード端子745を含んでいる。
なお、温度センスダイオード51および52は、それぞれIGBTチップ9cおよび9dの内部に設けられ、アノードパッドやカソードパッドのみがIGBTチップの上面に露出する構成となっている、なお、他のIGBTチップにも温度センスダイオードが内蔵されているが、後に説明するように他のIGBTチップでは温度センスダイオードを使用しないので、図3においては図示されていない。
制御端子群7eは、IGBTチップ9eを駆動させるためのゲート電圧を印加するゲート端子751、エミッタの出力を検出するエミッタセンス端子752およびIGBTチップ9eの主電流を検出するための電流センス端子753を含んでいる。
制御端子群7fは、IGBTチップ9fを駆動させるためのゲート電圧を印加するゲート端子761、エミッタの出力を検出するエミッタセンス端子762およびIGBTチップ9fの主電流を検出するための電流センス端子763を含んでいる。
図1および図2に示すように、ゲート端子711、721、731、741、751および761は、それぞれIGBTチップ9a〜9fのゲートパッド(図示せず)にアルミニウムなどのワイヤWRを介して電気的に接続され、エミッタセンス端子712、722、732、742、752および762は、それぞれIGBTチップ9a〜9fのエミッタ電極(図示せず)にアルミニウムなどのワイヤWRを介して電気的に接続されている。
また、電流センス端子713、723、733、743、753および763は、それぞれIGBTチップ9a〜9fの電流センスパッド(図示せず)にアルミニウムなどのワイヤWRを介して電気的に接続されている。
アノード端子744およびカソード端子745は、それぞれ温度センスダイオード51のアノードパッド(図示せず)およびカソードパッド(図示せず)にアルミニウムなどのワイヤWRを介して電気的に接続され、アノード端子754およびカソード端子755は、それぞれ温度センスダイオード52のアノードパッド(図示せず)およびカソードパッド(図示せず)にアルミニウムなどのワイヤWRを介して電気的に接続されている。
このように電力用半導体装置モジュール100は、三相のインバータ回路として構成されると共に、過電流や過熱からIGBTチップを保護するために電流や温度を検出するための制御端子も備えている。
図1に示されるように高電圧側となるIGBTチップ9a、9cおよび9eと、ダイオードチップ10a、10cおよび10eは、電極パターン12a上に、IGBTチップ9a、9cおよび9eの順に一列に配設され、また、これらに並列して、ダイオードチップ10a、10cおよび10eが、この順に一列に配設されている。なお、IGBTチップ9a、9cおよび9eは、電力用半導体装置モジュール100の外側よりの位置に配列され、ダイオードチップ10a、10cおよび10eは、電力用半導体装置モジュール100の中央よりの位置に配列されている。
なお、図2に示されるように、IGBTチップ9eおよびダイオードチップ10eは、それぞれ半田層14aおよび14bを介して電極パターン12a上に搭載され、それはIGBTチップ9a、9cおよびダイオードチップ10aおよび10cにおいても同じである。
また、低電圧側となるIGBTチップ9bおよびダイオードチップ10bは、電極パターン12b上に並列して配設され、電極パターン12b上においてダイオードチップ10bは電力用半導体装置モジュール100の中央よりの位置に配列され、IGBTチップ9bは外側よりの位置に配列されている。
低電圧側となるIGBTチップ9dおよびダイオードチップ10dは、電極パターン12c上に並列して配設され、電極パターン12c上においてダイオードチップ10dは電力用半導体装置モジュール100の中央よりの位置に配列され、IGBTチップ9dは外側よりの位置に配列されている。
低電圧側となるIGBTチップ9fおよびダイオードチップ10fは、電極パターン12d上に並列して配設され、電極パターン12d上においてダイオードチップ10fは電力用半導体装置モジュール100の中央よりの位置に配列され、IGBTチップ9fは外側よりの位置に配列されている。
なお、図2に示されるように、IGBTチップ9fおよびダイオードチップ10fは、それぞれ半田層14cおよび14dを介して電極パターン12d上に搭載されるが、搭載される電極パターンが変わるだけで、IGBTチップ9b、9dおよびダイオードチップ10bおよび10dにおいても同じである。
なお、電極パターン12a〜12dは、銅等の金属で構成され、フィラーが充填されたエポキシ樹脂やセラミック等で構成される絶縁基板13上に配列され、電極パターン12b〜12dは、電極パターン12aに隣り合うように電極パターン12b〜12dの順に一列に配設されている。
以上のように、IGBTチップ9cは、IGBTチップ9aと9eとの間に挟まれており、IGBT9aおよび9eより冷却性が低く、電流通電による発熱でIGBT9aおよび9eより温度が上昇する可能性がある。同様に、IGBTチップ9dは、IGBTチップ9bと9fとの間に挟まれており、IGBTチップ9dおよび9fより冷却性が低く、電流通電による発熱でIGBTチップ9dおよび9fより温度が上昇する可能性がある。
従って、IGBTチップの過熱保護動作用として温度を監視する箇所は、温度が最も上昇する可能性のあるIGBTチップ9cおよび9dのみとしている。
出力端子4〜6の一方端と、IGBTチップ9a、9cおよび9eのそれぞれの制御端子群7a、7cおよび7eの一方端は、平面視形状が矩形のモールド樹脂8の側面の1つから外部へ同方向に突出し、出力端子4と制御端子群7a、出力端子5と制御端子群7cおよび出力端子6と制御端子群7eは、それぞれ近接して外部に突出している。
なお、出力端子4は、IGBTチップ9aおよびダイオードチップ10aのそれぞれの上面のエミッタパッド(図示せず)およびアノードパッド(図示せず)にそれぞれ接続されると共に、他方端は電極パターン12bに接続される構成となっている。
また、出力端子5は、IGBTチップ9cおよびダイオードチップ10cのそれぞれの上面のエミッタパッド(図示せず)およびアノードパッド(図示せず)に接続されると共に、他方端は電極パターン12cに接続される構成となっている。
また、出力端子6は、IGBTチップ9eおよびダイオードチップ10eのそれぞれの上面のエミッタパッド(図示せず)およびアノードパッド(図示せず)に接続されると共に、他方端は電極パターン12dに接続される構成となっている。
また、直流高電圧端子2は、電極パターン12aのダイオードチップ10eに隣接する部分に一方端が接続され、他方端は出力端子4〜6および制御端子群7a、7cおよび7eが突出している方向とは反対側のモールド樹脂8の側面から外部へ突出している。
一方、直流低電圧端子3は、IGBTチップ9b、9d、および9fのそれぞれの上面のエミッタパッド(図示せず)と、ダイオードチップ10b、10dおよび10fのそれぞれの上面のアノードパッド(図示せず)に共通に接続され、その一方端と、IGBTチップ9b、9d、および9fのそれぞれの制御端子群7b、7dおよび7fの一方端は、出力端子4〜6および制御端子群7a、7cおよび7eが突出している方向とは反対側の側面から外部へ同方向に突出している。なお、直流低電圧端子3は、制御端子群7fに隣接する位置から突出し、直流高電圧端子2の他方端は、制御端子群7fとは反対側において直流低電圧端子3と隣り合うように突出している。
以上説明した電力用半導体装置モジュール100においては、ゲートパッド、電流センスパッド、温度センスダイオードのアノードパッド、カソードパッドおよびエミッタ電極間に印加される電圧は非常に小さく、最大でも15〜20V程度である。このため、これらに接続される制御端子群7a〜7fにおける制御端子間の絶縁距離は小さくでき、近接して配置することが可能である。
また、出力端子4はIGBTチップ9aのエミッタ電極に相当し、出力端子5はIGBTチップ9cのエミッタ電極に相当し、出力端子6はIGBTチップ9eのエミッタ電極に相当する。このため、出力端子4とIGBTチップ9aの制御端子群7a間、出力端子5とIGBTチップ9cの制御端子群7c間、出力端子6とIGBTチップ9eの制御端子群9e間に印加される電圧も非常に小さいため、絶縁距離を小さくでき、近接して配置することが可能である。
また、直流低電圧端子3は、IGBTチップ9b、9dおよび9fのエミッタ電極に相当するので、直流低電圧端子3とIGBTチップ9b、9dおよび9fの制御端子群7b、7dおよび7f間に印加される電圧も非常に小さいため、絶縁距離を小さくでき、近接して配置することが可能である。また、制御端子群7b、7dおよび7f間に印加される電圧も非常に小さいため、絶縁距離を小さくでき、近接して配置することが可能である。
このように、温度が最も上昇する可能性のあるIGBTチップ9cおよび9dのみで、それぞれ温度センスダイオード51および52を使用し、温度センスダイオード51にはアノード端子734およびカソード端子735を接続し、温度センスダイオード52にはアノード端子744およびカソード端子745を接続する構成とすることで、温度制御を行うことが可能であり、かつ、制御端子数を削減して電力用半導体装置モジュール100を小型化することができる。
また、直流高電圧端子2と直流低電圧端子3とが隣り合うように近接して外部に突出させることによって、直流高電圧端子2と直流低電圧端子3との間の配線インダクタンスを低減することができる。
<実施の形態2>
図4は本発明に係る実施の形態2の電力用半導体装置モジュール200の構成を示す平面図であり、図5は直流高電圧端子21側から見た側面図であり、何れもモールド樹脂25を省略して示している。また、図6は電力用半導体装置モジュール200の構成を示す回路図である。
図4は本発明に係る実施の形態2の電力用半導体装置モジュール200の構成を示す平面図であり、図5は直流高電圧端子21側から見た側面図であり、何れもモールド樹脂25を省略して示している。また、図6は電力用半導体装置モジュール200の構成を示す回路図である。
図6に示すように、電力用半導体装置モジュール200は、温度検出機能を有するIGBTチップ26a、26b、26cおよび26dと、IGBTチップ26a〜26dのそれぞれに逆並列に接続されたダイオードチップ27a、27b、27cおよび27dとで構成される、4組の半導体チップ群28a、28b、28cおよび28dを備えている。
半導体チップ群28aおよび28b、半導体チップ群28cおよび28dの組はそれぞれ並列接続されると共に、半導体チップ群28aおよび28bの組と、半導体チップ群28cおよび28dの組は直列接続される。
この直列接続された接続ノードには出力端子23が接続され、半導体チップ群28aおよび28bのIGBTチップ26aおよび26bのコレクタ側(ダイオードチップ27aおよび27bのカソード側)の接続ノードには直流高電圧端子21が接続される。
また、半導体チップ群28cおよび28dのIGBTチップ26cおよび26dのエミッタ側(ダイオードチップ27cおよび27dのアノード側)の接続ノードには直流低電圧端子22が接続されている。
上記構成より、半導体チップ群28aと28cは、直流高電圧端子21(第1の電位を与える)と直流低電圧端子22(第2の電位を与える)との間に直列に介挿され、相補的に動作するトランジスタと、フリーホイールダイオードとで構成される1つのインバータであると言え、半導体チップ群28bと28dは、直流高電圧端子21と直流低電圧端子22との間に直列に介挿され、相補的に動作するトランジスタと、フリーホイールダイオードとで構成される1つのインバータであると言える。
そして2つのインバータの出力端子が共通化され、半導体チップ群28aおよび28bのIGBTチップ26aおよび26bの組が共通して動作し、半導体チップ群28cおよび28dのIGBTチップ26cおよび26dの組が共通して動作し、IGBTチップ26aおよび26bの組と、IGBTチップ26cおよび26dの組とが相補的に動作することでハーフブリッジ回路を構成する。
また、IGBTチップ26a〜26dには、それぞれ制御端子群24a、24b、24cおよび24dが接続される。
制御端子群24aは、IGBTチップ26aを駆動させるためのゲート電圧を印加するゲート端子2411、エミッタの出力を検出するエミッタセンス端子2412およびIGBTチップ26aの主電流を検出するための電流センス端子2413、IGBTチップ26aの温度を検出するための温度センスダイオード61のアノード端子2414およびカソード端子2415を含んでいる。
制御端子群24bは、IGBTチップ26bを駆動させるためのゲート電圧を印加するゲート端子2421、エミッタの出力を検出するエミッタセンス端子2422およびIGBTチップ26bの主電流を検出するための電流センス端子2423を含んでいる。
制御端子群24cは、IGBTチップ26cを駆動させるためのゲート電圧を印加するゲート端子2431、エミッタの出力を検出するエミッタセンス端子2432およびIGBTチップ26cの主電流を検出するための電流センス端子2433、IGBTチップ26cの温度を検出するための温度センスダイオード62のアノード端子2434およびカソード端子2435を含んでいる。
制御端子群24dは、IGBTチップ26dを駆動させるためのゲート電圧を印加するゲート端子2441、エミッタの出力を検出するエミッタセンス端子2442およびIGBTチップ26dの主電流を検出するための電流センス端子2443を含んでいる。
図4および図5に示すように、ゲート端子2411、2421、2431および2441は、それぞれIGBTチップ26a〜26dのゲートパッド(図示せず)にアルミニウムなどのワイヤWRを介して電気的に接続され、エミッタセンス端子2412、2422、2432および2442は、それぞれIGBTチップ26a〜26dのエミッタ電極(図示せず)にアルミニウムなどのワイヤWRを介して電気的に接続されている。
また、電流センス端子2413、2423、2433および2443は、それぞれIGBTチップ26a〜26dの電流センスパッド(図示せず)にアルミニウムなどのワイヤWRを介して電気的に接続されている。
アノード端子2414およびカソード端子2415は、それぞれ温度センスダイオード61のアノードパッド(図示せず)およびカソードパッド(図示せず)にアルミニウムなどのワイヤWRを介して電気的に接続され、アノード端子2434およびカソード端子2435は、それぞれ温度センスダイオード62のアノードパッド(図示せず)およびカソードパッド(図示せず)にアルミニウムなどのワイヤWRを介して電気的に接続されている。
このように電力用半導体装置モジュール200は、半導体チップ群が2並列接続されたハーフブリッジ回路を構成し、過電流や過熱からIGBTチップを保護するために電流や温度を検出するための制御端子を備えている。
図4に示されるように高電圧側となるIGBTチップ26a、26bおよびダイオードチップ27a、27bは、電極パターン29a上に、IGBTチップ26aおよび26bの順に一列に配設され、また、これらに並列して、ダイオードチップ27aおよび27bが、この順に一列に配設されている。なお、直流高電圧端子21は、電極パターン29aのダイオードチップ27bに隣接する部分に一方端が接続され、電極パターン29bのIGBTチップ26dおよびダイオードチップ27d側の端縁部の上方を通って、他方端がモールド樹脂25の側面から突出している。
なお、図5に示されるように、IGBTチップ26bおよびダイオードチップ27bは、それぞれ半田層14aおよび14bを介して電極パターン29a上に搭載されるが、これはIGBTチップ26aおよびダイオードチップ27aにおいても同じである。
また、IGBTチップ26dおよびダイオードチップ27dは、それぞれ半田層14cおよび14dを介して電極パターン29b上に搭載されるが、これはIGBTチップ26cおよびダイオードチップ27cにおいても同じである。
また、電極パターン29aおよび29bは、銅等の金属で構成され、フィラーが充填されたエポキシ樹脂やセラミック等で構成される絶縁基板33上に配列されている。
IGBTチップ26a、26b、ダイオードチップ27a、27bは、直流高電圧端子21の電極パターン29aへの接続場所を確保するため、電極パターン29aの中心より上方向にずらした位置に接続される。このため、電極パターン29a端部により近い位置に接続されたIGBTチップ26aは、IGBTチップ26bより冷却性が低下し、電流通電による発熱でIGBTチップ26aはIGBTチップ26bより温度が上昇する可能性がある。これは、IGBTチップ26aが電極パターン29a端部に近い位置にあるため、伝熱面積が小さくなるためである。
また、低電圧側となるIGBTチップ26c、26dおよびダイオードチップ27c、27dは、電極パターン29aと並列して配設された電極パターン29b上に、IGBTチップ26cおよび26dの順に一列に配設され、また、これらに並列して、ダイオードチップ27cおよび27dが、この順に一列に配設されている。
なお、IGBTチップ26c、26d、ダイオードチップ27c、27dも、直流高電圧端子21の配設ルートを確保するため、電極パターン29bの中心より上方向にずらした位置に接続される。このため、電極パターン29b端部により近い位置に接続されたIGBTチップ26cは、IGBTチップ26dより冷却性が低下し、電流通電による発熱でIGBTチップ26cはIGBTチップ26dより温度が上昇する可能性がある。これは、IGBTチップ26cが電極パターン29b端部に近い位置にあるため、伝熱面積が小さくなるためである。
従って、IGBTチップの過熱保護動作用として温度を監視する箇所は、温度が最も上昇する可能性のあるIGBTチップ26aおよび26cのみとしている。
出力端子23の一方端と、IGBTチップ26aおよび26bのそれぞれの制御端子群24aおよび24bの一方端は、平面視形状が矩形のモールド樹脂25の側面の1つから外部へ同方向に突出している。なお、出力端子23と制御端子群24aおよび24bは、近接して外部に突出している。
なお、出力端子23は、IGBTチップ26a、26bおよびダイオードチップ27a、27bのそれぞれの上面のエミッタパッド(図示せず)およびアノードパッド(図示せず)にそれぞれ共通に接続されると共に、他方端は電極パターン29bに接続される構成となっている。
一方、直流低電圧端子22は、一方端がIGBTチップ26c、26dおよびダイオードチップ27c、27dのそれぞれの上面のエミッタパッド(図示せず)およびアノードパッド(図示せず)にそれぞれ共通に接続されると共に、他方端は、IGBTチップ26cおよび26dの制御端子群24cおよび24dと共に、出力端子23、制御端子群24aおよび24bが突出している方向とは反対側のモールド樹脂25の側面から外部へ近接して同方向に突出している。
なお、直流低電圧端子22は、制御端子群24dに隣接する位置から突出し、直流高電圧端子21の他方端は、制御端子群24dとは反対側において直流低電圧端子22と隣り合うように突出している。
以上説明した電力用半導体装置モジュール200においては、温度が最も上昇する可能性のあるIGBTチップ26aおよび26cのみで、それぞれ温度センスダイオード61および62を使用し、温度センスダイオード61にはアノード端子2414およびカソード端子2415を接続し、温度センスダイオード62にはアノード端子2334およびカソード端子2435を接続する構成とすることで、温度制御を行うことが可能であり、かつ、制御端子数を削減して電力用半導体装置モジュール200を小型化することができる。
また、直流高電圧端子21と直流低電圧端子22とが隣り合うように近接して外部に突出させることによって、直流高電圧端子21と直流低電圧端子22との間の配線インダクタンスを低減することができる。
<実施の形態3>
図7は本発明に係る実施の形態3の電力用半導体装置モジュール300の構成を示す平面図であり、図8は直流高電圧端子31および直流低電圧端子32側から見た側面図であり、何れもモールド樹脂8を省略して示している。
図7は本発明に係る実施の形態3の電力用半導体装置モジュール300の構成を示す平面図であり、図8は直流高電圧端子31および直流低電圧端子32側から見た側面図であり、何れもモールド樹脂8を省略して示している。
なお、電力用半導体装置モジュール300は、実施の形態1の電力用半導体装置モジュール100と回路構成は同じであり、三相のインバータ回路として構成されると共に、過電流や過熱からIGBTチップを保護するために電流や温度を検出するための制御端子を備えている。なお、図1および図2に示した電力用半導体装置モジュール100と同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
図7に示すように電力用半導体装置モジュール300においては、直流高電圧端子2および直流低電圧端子3の代わりに直流高電圧端子31および直流低電圧端子32が設けられ、直流高電圧端子31および直流低電圧端子32は、制御端子群7a〜7fがモールド樹脂8から外部へ突出している側面とは90度異なる方向の側面から外部に突出する構成となっている。
すなわち、直流高電圧端子31は、電極パターン12aのダイオードチップ10eに隣接する部分に一方端が接続され、他方端が直近のモールド樹脂8の側面から突出している。また、直流低電圧端子32は、その一方端が、直流高電圧端子31と近接して隣り合うように、直流高電圧端子31が突出するモールド樹脂8の側面から突出している。
一般的に、三相インバータ用の電力用半導体装置モジュールでは、直流高電圧端子と直流低電圧端子に直流電圧源が接続され、三相の出力端子に三相モータなどの負荷が接続される。このような構成により、IGBTチップ9a〜9fとダイオードチップ10a〜10fのスイッチ動作(ON/OFF動作)の繰り返しによって、負荷に三相の交流電流が供給される。
このスイッチ動作による電流の時間変化(di/dt)によって、近傍の電気回路に電磁誘導による誘導起電力が発生する可能性があり、このような誘導起電力が、IGBTチップのゲート駆動回路や温度センサなどの信号回路に重畳すると、安定したスイッチ動作や確実な保護動作に影響を与える可能性がある。
電力用半導体装置モジュール300においては、直流高電圧端子31および直流低電圧端子32が、制御端子群7a〜7fがモールド樹脂8から外部へ突出している側面とは90度異なる方向の側面から外部に突出しているので、直流高電圧端子31と直流低電圧端子32との間で発生する磁束は制御端子群7a〜7fに鎖交せず、電磁誘導を防止できる。
図7には、直流高電圧端子31と直流低電圧端子32の近傍で発生する磁界の方向を記号で示している。直流高電圧端子31および直流低電圧端子32のそれぞれに流れる電流(矢印で示す)は互いに逆の方向であるので、各電流により直流高電圧端子31および直流低電圧端子32のそれぞれの周囲に発生する磁界は、直流高電圧端子31と直流低電圧端子32との間およびその近傍にのみ存在し、充分遠方においては互いにキャンセルしあう。
このため、IGBTチップのゲート駆動回路や温度センサ回路などに誘導起電力を発生させることなく、安定したIGBTチップの動作と保護動作を得ることができる。
<実施の形態4>
図9は本発明に係る実施の形態4の電力用半導体装置モジュール400の構成を示す平面図であり、図10は直流高電圧端子41および直流低電圧端子42側から見た側面図であり、何れもモールド樹脂25を省略して示している。なお、電力用半導体装置モジュール400は、実施の形態2の電力用半導体装置モジュール200と回路構成は同じであり、半導体チップ群が2並列接続されたハーフブリッジ回路を構成すると共に、過電流や過熱からIGBTチップを保護するために電流や温度を検出するための制御端子を備えている。なお、図4および図5に示した電力用半導体装置モジュール200と同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
図9は本発明に係る実施の形態4の電力用半導体装置モジュール400の構成を示す平面図であり、図10は直流高電圧端子41および直流低電圧端子42側から見た側面図であり、何れもモールド樹脂25を省略して示している。なお、電力用半導体装置モジュール400は、実施の形態2の電力用半導体装置モジュール200と回路構成は同じであり、半導体チップ群が2並列接続されたハーフブリッジ回路を構成すると共に、過電流や過熱からIGBTチップを保護するために電流や温度を検出するための制御端子を備えている。なお、図4および図5に示した電力用半導体装置モジュール200と同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
図9に示すように電力用半導体装置モジュール400においては、直流高電圧端子21および直流低電圧端子22の代わりに直流高電圧端子41および直流低電圧端子42が設けられ、直流高電圧端子41および直流低電圧端子42は、制御端子群24a〜24dがモールド樹脂25から外部へ突出している側面とは90度異なる方向の側面から外部に突出する構成となっている。
直流高電圧端子41は、電極パターン29aのダイオードチップ27bに隣接する部分に一方端が接続され、他方端が直近のモールド樹脂25の側面から突出している。また、直流低電圧端子42は、その一方端が、直流高電圧端子41と近接して隣り合うように、直流高電圧端子41が突出するモールド樹脂25の側面から突出している。
このように構成することにより、実施の形態4と同様に、直流高電圧端子41と直流低電圧端子42の近傍で発生する磁束が、制御端子群24a〜24dに鎖交せず、電磁誘導を防止できる。このため、IGBTチップのゲート駆動回路や温度センサ回路などに誘導起電力を発生させることなく、安定したIGBTチップの動作と保護動作を得ることができる。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
2,21,31,41 直流高電圧端子、3,22,32,42 直流低電圧端子。
Claims (6)
- 第1の電位と第2の電位との間に直列に介挿され、相補的に動作する第1のトランジスタおよび第2のトランジスタをそれぞれ有した複数のインバータを備え、それらがモジュール化された電力用半導体装置モジュールであって、
前記複数のインバータのうち所定の1つのインバータにおいてのみ前記第1および第2のトランジスタの温度を検出する構成を有し、前記第1および第2のトランジスタの温度検出のための制御端子がモジュールの側面から突出することを特徴とする、電力用半導体装置モジュール。 - 前記複数のインバータは、それらの出力端子を共通とし、
前記第1の電位側となる前記第1のトランジスタの組が共通して動作し、
前記第2の電位側となる前記第2のトランジスタの組が共通して動作し、
前記第1のトランジスタの組と前記第2のトランジスタの組とが相補的に動作する、請求項1記載の電力用半導体装置モジュール。 - 前記第1の電位を与える第1の端子と、前記第2の電位を与える第2の端子とが近接してモジュール側面から外部に突出する、請求項1または請求項2記載の電力用半導体装置モジュール。
- 前記第1および第2の端子は、
前記第2の電位側となる前記第2のトランジスタの制御端子群が突出するモジュール側面から外部に突出し、
前記第2の端子は、前記モジュール側面において前記制御端子群よりの位置から突出する、請求項3記載の電力用半導体装置モジュール。 - 前記第1および第2の端子は、
前記第1の電位側となる前記第1のトランジスタの第1の制御端子群が突出する第1のモジュール側面および、前記第2の電位側となる前記第2のトランジスタの第2の制御端子群が突出する第2のモジュール側面に対して90度異なる方向の側面から外部に突出する、請求項3記載の電力用半導体装置モジュール。 - 前記所定の1つのインバータは、前記複数のインバータのうち、動作時に最も温度が高くなる可能性のある第1および第2のトランジスタを含むインバータである、請求項1記載の電力用半導体装置モジュール。
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